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Arbeitsplatz mit laminarer Luftströmung Die Erfindung betrifft einen Arbeitsplatz mit lami- narer Luftströmung, welcher vorzugsweise zur Aufstellung in Räumen mit angenähert laminarer Strömung vorgesehen ist. In der Feinwerk- und Mikrotechnik sind für die Montage von Miniaturbauelementen staubfreie Arbeitsplätze oder Montagekabinen unerlässlich, die als Boxen mit laminarer Strömung oder Staubschutzkästen bekanntgeworden sind. Diese Arbeitsplätze bestehen oft aus einem tischartigen Gestell, dessen Arbeitsfläche zumeist von einem an der Frontseite offenen Kasten abgeschlossen ist.
Im Kasten ist vorzugsweise an der Hinterseite ein Filter angebracht, durch welches ein laminarer Luftstrom in Richtung auf bzw. durch die offene Frontseite ausgeblasen wird. Die Erzeugung des Luftstromes erfolgt durch ein meist unterhalb der Arbeitsfläche in einem schrankähnlichen Anbau untergebrachten Gebläse, welches die Luft seitlich über ein Vorfilter aus dem Raum ansaugt und über ein entsprechend gestaltetes Luftverteilersystem durch das rückwärtige Filter drückt. Der gesamte Luftinhalt des begrenzten Raumes wird also mit konstanter Stärke und Geschwindigkeit in eine parallel zur horizontalen Arbeitsfläche gerichtete Luftströmung versetzt, so dass sich dort keine Staubteilchen befinden oder ablagern können.
Die laminare Strömung soll auch die beim Arbeitsprozess entstehenden Verunreinigungen unverzüglich forttragen.
In der Halbleiter- und Transistorfertigung erfolgt die Aufstellung derartiger Arbeitsplätze einzeln und oder in Reihen entsprechend dem Verlauf von Fertigungsstrassen sowie bei höchsten Anforderungen bezüglich des Sauberkeitsniveaus innerhalb eines Raumes, in dem ebenfalls eine laminare Strömung fliesst.
Diese schrankähnlichen, in Anströmrichtung zum grössten Teil mit geschlossenen Wänden versehenen Arbeitsplätze stellen aber im Strömungsfeld des Raumes mit angenähert laminarer Strömung erhebliche Widerstandskörper dar und lösen schädliche Luftwirbel aus. Diese beinhalten nicht nur einen höheren Staubanteil, sondern führen auch zu Staubablagerungen und gefähr- den dadurch den technologischen Prozess. Ausserdem wirken sie sich zugleich ungünstig auf die mit hohen Kosten und unter hohem Energiebedarf erzeugte Laminarströmung im Raum aus.
Der Zweck der Erfindung besteht darin, ein extrem hohes Sauberkeitsniveau für Arbeitsplätze mit eigener Laminarströmung unter Vermeidung schädlicher Wirbelbildung zu erzielen.
Gegenstand der Erfindung ist ein Arbeitsplatz mit laminarer Luftströmung senkrecht oder parallel zu seiner horizontalen Arbeitsfläche, die von einem an der Frontseite offenen und an den übrigen Seiten mit Wänden versehenen Kasten abgeschlossen ist, dem ausserhalb als Mittel zum Erzeugen der laminaren Luftströmung ein Gebläse mit vor- und nachgeschalteten Filtern sowie Luftleitblechen zugeordnet ist. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zum Erzeugen der laminaren Luftströmung austauschbar an einer der Wände des Kastens angeordnet sind.
Bei einer besonderen Ausbildung des Arbeitsplatzes mit vertikal gerichteter Laminarer Luftströmung sind die Mittel zum Erzeugen derselben an der Decke des Kastens austauschbar angeordnet. Ausserdem kann die Arbeitsfläche perforiert ausgebildet sein, damit die senkrecht gerichtete Luftströmung ungehindert abfliessen kann.
Diese Anordnung ist für Arbeitsprozesse mit Ätzlö- sungen oder gesundheitsschädlichen Lösungsmitteln besonders vorteilhaft, weil damit neben grosser Sauberkeit ein wirksamer Schutz der Arbeitsperson gegen schädliche Dämpfe gewährleistet ist.
Der erfindungsgemässe Arbeitsplatz mit laminarer Strömung ist in einem Ausführungsbeispiel näher beschrieben und in der Zeichnung in Seitenansicht dargestellt. Es zeigen: Fig. 1 eine Anordnung und Ausgestaltung des Arbeitsplatzes mit laminarer Strömung in einem Raum mit horizontal gerichteter Laminarströmung, Fig. 2 eine Anordnung und Ausgestaltung des Ar-
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beitsplatzes mit laminarer Strömung in einem Raum mit vertikal gerichteter Laminarströmung.
Gemäss Fig. 1 ist in einem Raum 1 mit horizontal gerichteter Laminarströmung 2 ein Arbeitsplatz mit eigener laminarer Luftströmung 3 so aufgestellt, dass seine Rückseite senkrecht zur Anströmrichtung innerhalb des Raumes 1 steht. Der Arbeitsplatz weist eine horizontale Arbeitsfläche 4 auf, die von einem an der Frontseite offenen und an den übrigen Seiten mit Wänden 5 versehenen Kasten abgeschlossen ist. An einem Teil der Rückwand 5 sind austauschbar die in einer Einheit zusammengefassten Mittel zum Erzeugen der eigenen laminaren Luftströmung 3 am Kasten angeordnet. Diese bestehen im wesentlichen aus einem Gebläse 7 mit Luftleitblechen, welchen je ein Filter 6 vor- und nachgeschaltet ist.
Durch eine derartige Gestaltung und Anordnung des Arbeitsplatzes in einem Raum mit angenähert laminarer Strömung wird eine Wirbelbildung weitestgehend vermieden, sofern beide Laminarströmun- gen 2, 3 in Grösse und Richtung übereinstimmen. Auch bei einem sperrigen kastenförmigen Aufbau des Arbeitsplatzes tritt keine wesentliche Störung der Raumströmung ein, da der Kasten aerodynamisch gesehen nur einen offenen Rechteckrahmen darstellt. Ein derartiger Arbeitsplatz übernimmt bei Aufstellung in einem Raum mit angenähert laminarer Strömung zugleich die Funktion eines Staubverzehrers , wodurch z.
B. die vielfach in staubarmen Räumen aufzustellenden zusätzlichen Filteraggregate entfallen können.
Selbstverständlich ist es auch möglich, die Einheit zum Erzeugen einer laminaren Luftströmung an der Arbeitsfläche jeweils schwenkbar oder steckbar auszubilden, so dass ein einfaches Umrüsten des Arbeitsplatzes in Abhängigkeit der Strömungsrichtung am Aufstellungsort gewährleistet ist. In Fig. 2 ist eine besondere Ausbildung des Arbeitsplatzes gezeigt, welcher für die Aufstellung in Räumen 1' mit senkrechter Laminarströ- mung 2' vorgesehen ist.
In diesem Falle sind die gleichen Mittel 6, 7 zum Erzeugen der laminaren Luftströmung 3' an der Oberseite des Kastens angeordnet und seine Arbeitsfläche 4' ist perforiert ausgebildet, um die Luftströmung 3' senkrecht nach unten zu ermöglichen.
Eine derartige Anordnung ist ganz besonders für Arbeitsprozesse mit Ätzlösung oder gesundheitsschädlichen Lösungsmitteln von Vorteil, weil damit eine Abführung des eventuell entstehenden Staubes und/oder schädlicher Dämpfe erfolgt, was gleichzeitig zu einer bedeutenden Verbesserung des Arbeitsschutzes führt.