CH475370A - Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf Unterlagen - Google Patents

Verfahren zur Herstellung dünner Schichten auf Unterlagen

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CH475370A
CH475370A CH542467A CH542467A CH475370A CH 475370 A CH475370 A CH 475370A CH 542467 A CH542467 A CH 542467A CH 542467 A CH542467 A CH 542467A CH 475370 A CH475370 A CH 475370A
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thin layers
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thin
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CH542467A
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Dionys Dr Hacman
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Balzers Patent Und Beteilungs
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process

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