CH491208A - Verdampfervorrichtung - Google Patents
VerdampfervorrichtungInfo
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Description
Verdampfervorrichtung Die vorliegende Erfindung betrifft eine Verdampfer vorrichtung mit einem Heizteil und einem Verdampferteil zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes.
Bei den bekannten Verdampfervorrichtungen, welche in Metallisierungsanlagen zum Aufdampfen von Metallen dienen, besteht das Problem, nicht nur auf kleinstem Raum die grössten Verdampferleistungen hervorzubrin gen, sondern auch diese Verdampfervorrichtungen be züglich Verschleiss bzw. Standzeiten zu verbessern. In diesem Sinne bezweckt die vorliegende Erfindung die bisher aufgrund der relativ geringen Widerstände der metallischen Heizelemente relativ grossräumigen Ausfüh rungen zu verbessern und durch entsprechende Kon struktion auch deren Standzeiten zu erhöhen. Diesen Zweck erreicht die Erfindung dadurch, dass als Heizteil ein Graphit- oder Kohlenstoffstab vorgesehen ist.
Der Erfindungsgegenstand wird anschliessend bei spielsweise anhand einer Figur erläutert, in welcher in schaubildlicher Darstellung eine Verdampfervorrichtung dargestellt ist. Diese besteht aus dem eigentlichen Ver dampfer 1 zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes, welcher beispielsweise aus Nitrid, Borid, einer Keramik masse oder ähnlichem hergestellt ist und von der Schmel- zc sowie dem verdampften Metall relativ wenig angegrif fen wird.
Dieser Verdampfer 1 weist an seiner für die Aufnahme des zu verdampfenden Metalles vorgesehenen Fläche einen Verdampfungstrog 3 auf und auf der dieser Fläche abgewandten Seite eine Nut 5 zur Aufnahme eines Graphitstabes 7, mit dessen Hilfe der Verdampfer 1 aufgeheizt wird. Diese Konstruktion weist den Vorteil auf, dass, bedingt durch den grossen elektrischen Wider stand des Graphites oder Kohlenstoffes, aus welchem der Stab 7 hergestellt ist, sehr hohe Temperaturen des Verdampfers 1 erreicht werden. Dieses Material weist dazu auch noch den Vorteil auf, dass es mit zunehmen der Temperatur biegefester wird und sich somit die Standzeiten mit steigender Temperatur verbessern.
Wei terhin ist Graphit unempfindlich gegen Temperatur schocks, so dass auch diesbezüglich die Standzeit wesent lich verbessert werden kann. Die Verdampfervorrichtung ist daher viel weniger heikel als die bisher bekannten Ausführungen. Durch die dargelegte Konstruktion wird der direkte zerstörende Kontakt zwischen dem zu ver dampfenden Metall und dem Graphit verhütet, was ebenfalls die Lebensdauer der Vorrichtung erhöht.
Die erläuterte Konstruktion ist bedeutend billiger, als die bisher bekannten. Sie lässt sich leicht bearbeiten und gibt erst noch der Vorrichtung sehr lange Standzeiten. Zudem kann sie in den Abmessungen klein gehalten werden. PATENTANSPRUCH Verdampfervorrichtung mit einem Heizteil und einem Verdampferteil zur Aufnahme des zu verdampfenden Stoffes, dadurch gekennzeichnet, dass als Heizteil ein Graphit- oder Kohlenstoffstab vorgesehen ist.
UNTERANSPRÜCHE 1. Verdampfervorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Verdampferteil rittlings auf dem Heizstab angeordnet ist.
2. Verdampfervorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Verdampferteil ungefähr der Heizstablänge bedeckt.
3. Verdampfervorrichtung nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass der Verdampferteil eine trogftirmige Verdampfungsfläche aufweist.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH754768A CH491208A (de) | 1968-05-20 | 1968-05-20 | Verdampfervorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
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| CH754768A CH491208A (de) | 1968-05-20 | 1968-05-20 | Verdampfervorrichtung |
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| CH491208A true CH491208A (de) | 1970-05-31 |
Family
ID=4326853
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CH754768A CH491208A (de) | 1968-05-20 | 1968-05-20 | Verdampfervorrichtung |
Country Status (1)
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| CH (1) | CH491208A (de) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2515691A1 (fr) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Kennecott Corp | Nacelle chauffee par resistance pour vaporisation de metal |
| EP0989200A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Bedampfungsvorrichtung |
-
1968
- 1968-05-20 CH CH754768A patent/CH491208A/de not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| FR2515691A1 (fr) * | 1981-10-30 | 1983-05-06 | Kennecott Corp | Nacelle chauffee par resistance pour vaporisation de metal |
| DE3239949A1 (de) * | 1981-10-30 | 1983-05-11 | Kennecott Corp., 06904 Stamford, Conn. | Widerstandsbeheiztes schiffchen zum verdampfen von metallen |
| EP0989200A1 (de) * | 1998-09-24 | 2000-03-29 | Leybold Systems GmbH | Bedampfungsvorrichtung |
| US6189806B1 (en) | 1998-09-24 | 2001-02-20 | Leybold Systems Gmbh | Metallizing device for vacuum metallizing |
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