CH501314A - Verfahren zum Prüfen der Vollständigkeit von Ätzungen - Google Patents

Verfahren zum Prüfen der Vollständigkeit von Ätzungen

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CH501314A
CH501314A CH717870A CH717870A CH501314A CH 501314 A CH501314 A CH 501314A CH 717870 A CH717870 A CH 717870A CH 717870 A CH717870 A CH 717870A CH 501314 A CH501314 A CH 501314A
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CH
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etchings
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checking
procedure
Prior art date
Application number
CH717870A
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English (en)
Inventor
Aaron Pliskin William
Edward Tayler James
Original Assignee
Ibm
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • H10W74/40Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their materials
    • H10W74/43Encapsulations, e.g. protective coatings characterised by their materials comprising oxides, nitrides or carbides, e.g. ceramics or glasses
CH717870A 1969-06-19 1970-05-14 Verfahren zum Prüfen der Vollständigkeit von Ätzungen CH501314A (de)

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US83488469A 1969-06-19 1969-06-19

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CH501314A true CH501314A (de) 1970-12-31

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CH717870A CH501314A (de) 1969-06-19 1970-05-14 Verfahren zum Prüfen der Vollständigkeit von Ätzungen

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JP (1) JPS4840809B1 (de)
CH (1) CH501314A (de)
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GB1249084A (en) 1971-10-06
FR2052378A5 (de) 1971-04-09
JPS4840809B1 (de) 1973-12-03
DE2018685A1 (de) 1970-12-23

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