CH508213A - Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenstrahlmikroskops - Google Patents

Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenstrahlmikroskops

Info

Publication number
CH508213A
CH508213A CH1389669A CH1389669A CH508213A CH 508213 A CH508213 A CH 508213A CH 1389669 A CH1389669 A CH 1389669A CH 1389669 A CH1389669 A CH 1389669A CH 508213 A CH508213 A CH 508213A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
generating
electron beam
stereo image
image pair
beam microscope
Prior art date
Application number
CH1389669A
Other languages
English (en)
Inventor
Nat Weber Ulrich Dr Rer
Juergen Dipl Phys Gullasch
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of CH508213A publication Critical patent/CH508213A/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
CH1389669A 1968-09-23 1969-09-15 Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenstrahlmikroskops CH508213A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19681789019 DE1789019B1 (de) 1968-09-23 1968-09-23 Verfahren zur erzeugung eines stereobildes mittels der elektronenstrahlmikroskopie

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH508213A true CH508213A (de) 1971-05-31

Family

ID=5706761

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1389669A CH508213A (de) 1968-09-23 1969-09-15 Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenstrahlmikroskops
CH1389769A CH514840A (de) 1968-09-23 1969-09-15 Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenmikroskops

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH1389769A CH514840A (de) 1968-09-23 1969-09-15 Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenmikroskops

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3629577A (de)
CH (2) CH508213A (de)
DE (1) DE1789019B1 (de)
FR (1) FR2018682A1 (de)
GB (1) GB1274252A (de)
NL (1) NL6913045A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106891331A (zh) * 2015-12-17 2017-06-27 香港城市大学 用于操纵对象以进行成像的系统和方法
CN110993475A (zh) * 2019-12-05 2020-04-10 山东省分析测试中心 一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3993909A (en) * 1973-03-16 1976-11-23 U.S. Philips Corporation Substrate holder for etching thin films
US4128765A (en) * 1976-10-29 1978-12-05 Joseph Franks Ion beam machining techniques and apparatus
US4587431A (en) * 1983-04-22 1986-05-06 Jeol Ltd. Specimen manipulating mechanism for charged-particle beam instrument
DE8328167U1 (de) * 1983-09-30 1986-04-10 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Probenhalterung für Sekundärionen-Massenspektrometrie und andere empfindliche Teilchenstrahl-Analysenmethoden
JPS625548A (ja) * 1985-07-01 1987-01-12 Hitachi Ltd イオンビ−ム加工装置
NL8803101A (nl) * 1988-12-19 1990-07-16 Philips Nv Objecthouder voor positionering van een object in een stralenbundel.
NL8803153A (nl) * 1988-12-23 1990-07-16 Philips Nv Elektronenbundel apparaat met dynamische focussering.
US4975586A (en) * 1989-02-28 1990-12-04 Eaton Corporation Ion implanter end station
JP3133307B2 (ja) * 1989-10-13 2001-02-05 株式会社日立製作所 電子顕微鏡
DE4140710A1 (de) * 1991-12-10 1993-06-17 Integrated Circuit Testing Positioniersystem
US5337178A (en) * 1992-12-23 1994-08-09 International Business Machines Corporation Titlable optical microscope stage
US5481111A (en) * 1994-01-03 1996-01-02 Philips Electronics North America Corporation Electron microscope having a goniometer controlled from the image frame of reference
US5734164A (en) * 1996-11-26 1998-03-31 Amray, Inc. Charged particle apparatus having a canted column
IT247963Y1 (it) * 1999-12-23 2002-09-20 Fiat Auto Spa Dispositivo porta-campioni accessorio, per analisi stereoscopiche almicroscopio elettronico a scansione .
EP1158563A1 (de) * 2000-05-22 2001-11-28 Advantest Corporation Teilchenstrahlsystem
DE102010021534A1 (de) * 2010-05-19 2011-11-24 Eberhard-Karls-Universität Tübingen Universitätsklinikum Direktuntersuchung von biologischem Material ex vivo
US20120043712A1 (en) * 2010-08-17 2012-02-23 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Mechanism and method for aligning a workpiece to a shadow mask
US9720220B2 (en) * 2015-03-11 2017-08-01 University Of Manitoba Tomography accessory device for microscopes
CN108626546A (zh) * 2018-08-10 2018-10-09 韶关旭日国际有限公司 一种万向旋转云台
GB201819261D0 (en) * 2018-11-27 2019-01-09 Secr Defence Method of trace sampling

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2360677A (en) * 1941-11-21 1944-10-17 Rca Corp Object support for electron microscopes
DE1226228B (de) * 1959-07-24 1966-10-06 Max Planck Gesellschaft Bewegbarer Praeparattisch fuer einen Korpus-kularstrahlapparat, insbesondere Elektronen-mikroskop oder Elektronenbeugungsgeraet
DE1539063C3 (de) * 1965-03-06 1974-07-04 Ugo Prof. Bologna Valdre (Italien) Präparatpatrone für Elektronenmikroskope mit allseitig kippbarem Präparatträger

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106891331A (zh) * 2015-12-17 2017-06-27 香港城市大学 用于操纵对象以进行成像的系统和方法
CN106891331B (zh) * 2015-12-17 2021-10-08 香港城市大学 用于操纵对象以进行成像的系统和方法
CN110993475A (zh) * 2019-12-05 2020-04-10 山东省分析测试中心 一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜

Also Published As

Publication number Publication date
NL6913045A (de) 1970-03-25
GB1274252A (en) 1972-05-17
US3629577A (en) 1971-12-21
CH514840A (de) 1971-10-31
DE1789019B1 (de) 1972-04-27
FR2018682A1 (de) 1970-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH508213A (de) Verfahren zur Erzeugung eines Stereobildpaares mittels eines Elektronenstrahlmikroskops
CH482266A (de) Verfahren zur Erzeugung eines intensiven Neutronenflusses
CH519965A (de) Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels eines kohärenten Lichtstrahles
CH526009A (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines Stellsignals für den Fahrantrieb eines dynamischen Bodenverdichtungsgerätes
AT264240B (de) Vorrichtung zur Bewegung eines Gegenstandes mittels eines Druckmittels längs einer Führungsbahn
CH529430A (de) Elektrische Spule zur Erzeugung eines n-poligen Magnetfelds
CH543102A (de) Verfahren zur Erzeugung eines praktisch nur in horizontaler Richtung räumlichen Bildes eines Objekts mittels eines Hologramms
CH526202A (de) Vorrichtung zur elektromagnetischen Ablenkung eines Elektronenstrahls
CH458781A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bildübertragung mittels flexibler faseroptischer Bauelemente
CH440480A (de) Verfahren zur Erzeugung eines Plasma
AT272803B (de) Verfahren zur Materialbearbeitung mittels gebündelter Energiestrahlen
CH494397A (de) Vorrichtung zur Erzeugung eines schwingenden Lichtbündels
CH362758A (de) Permanentmagnetisches Fokussierungssystem zur Erzeugung eines wenigstens angenähert homogenen Magnetfeldes für die gebündelte Führung des Elektronenstrahles einer Wanderfeldröhre
CH503394A (de) Verfahren zur Modulation eines Laserstrahles
CH435486A (de) Vorrichtung zur Bearbeitung eines Werkstückes bei gleichzeitiger Reproduktion eines Musters mittels eines Energiestrahles
CH504010A (de) Verfahren zur holographischen Untersuchung von schwingenden Objekten
CH515530A (de) Holographisches Verfahren zur Erzeugung einer Mehrzahl voneinander distanzierter Abbildungen eines Objektes
AT294665B (de) Verfahren zur Herstellung eines vorgebogenen Trägers
CH521195A (de) Verfahren und Vorrichtung zur serienweisen formverändernden Bearbeitung mittels eines steuerbaren Energiestrahls
AT358737B (de) Verfahren zur herstellung eines antihaemophilen mittels
CH532263A (de) Verfahren zur Erzeugung von Subwellen
CH436516A (de) Verfahren und Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Korpuskularstrahles
ATA507673A (de) Verfahren zur untersuchung eines objektes durch ultraschall
CH464382A (de) Verfahren zur Erzeugung eines monochromatischen Lichtstrahles mittels eines Laseroszillators und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
AT285756B (de) Blendenanordnung zur Begrenzung eines Röntgenstrahlenbündels

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased