CH521668A - Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements - Google Patents
Verfahren zur Herstellung eines HalbleiterbauelementsInfo
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- H10P50/691—Etching of wafers, substrates or parts of devices using masks for semiconductor materials for Group V materials or Group III-V materials
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
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ID=5770606
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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