CH532128A - Verfahren zum Aufdampfen einer dünnen Schicht - Google Patents
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (5)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3518197A1 (de) * | 1985-05-21 | 1986-11-27 | Heinrich 7413 Gomaringen Grünwald | Verfahren zur entfernung von metallionen aus koerpern aus glas, keramischen werkstoffen und sonstigen amorphen werkstoffen sowie kristallinen werkstoffen |
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| US6254746B1 (en) | 1996-05-09 | 2001-07-03 | Applied Materials, Inc. | Recessed coil for generating a plasma |
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- 1970-09-21 FR FR7034073A patent/FR2062402A5/fr not_active Expired
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3518197A1 (de) * | 1985-05-21 | 1986-11-27 | Heinrich 7413 Gomaringen Grünwald | Verfahren zur entfernung von metallionen aus koerpern aus glas, keramischen werkstoffen und sonstigen amorphen werkstoffen sowie kristallinen werkstoffen |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| GB1263582A (en) | 1972-02-09 |
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| DE2045198A1 (de) | 1971-04-01 |
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| NL141582B (nl) | 1974-03-15 |
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