CH544156A - Verfahren zur Herstellung von oxydischen Halbleiterschichten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von oxydischen Halbleiterschichten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

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CH544156A
CH544156A CH553871A CH553871A CH544156A CH 544156 A CH544156 A CH 544156A CH 553871 A CH553871 A CH 553871A CH 553871 A CH553871 A CH 553871A CH 544156 A CH544156 A CH 544156A
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layers
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Adamitzki Wolfgang
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Bbc Brown Boveri & Cie
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