CH556688A - Verfahren zur herstellung von einkristallen und mittel zur ausfuehrung des verfahrens. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von einkristallen und mittel zur ausfuehrung des verfahrens.

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CH556688A CH425173A CH425173A CH556688A CH 556688 A CH556688 A CH 556688A CH 425173 A CH425173 A CH 425173A CH 425173 A CH425173 A CH 425173A CH 556688 A CH556688 A CH 556688A
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DE4343296C2 (de) * 1993-12-17 1996-09-12 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Siliziumhalbleiterscheibe mit drei gegeneinander verkippten kreissektorförmigen monokristallinen Bereichen und seine Verwendung

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