CH619334A5 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Kontaktiereinrichtung für die Herstellung einer Drahtverbindung an einem Mikroschaltkreis mittels Ultraschall oder Thermokompression, mit einer Drahtvorratsspule, einer Drahtführungseinrichtung und einem mit einer Kapillare versehenen Kontaktierhorn, wobei der Kapillare eine Drahtklemmvorrichtung zur Bewirkung eines Vorschubs bzw. eines Festklemmens des Drahtes beim Bewegen des Kontaktierhorns zugeordnet ist
Kontaktiereinrichtungen der vorliegenden Art sind beispielsweise aus der US-PS 3 643 321 und der CH-PS 592 365 bekannt. Mit diesen Einrichtungen wird zur Kontaktierung mit Golddraht an einem aus der Kapillare hervortretenden Drahtende eine kleine Kugel angeschmolzen, die hierauf durch Absenken des Kontaktierhorns mit der Kapillare auf die zu kontaktierende Stelle des Mikroschaltkreises gedrückt wird, wobei die Kapillare gleichzeitig erhitzt oder mit Ultraschallenergie beaufschlagt wird. Nach Vornahme dieser Kugelverbindung wird durch eine weitere Bewegung des Kontaktierhorns der Draht in einer Schleife zu einer zweiten zu kontaktierenden Stelle des Mikroschaltkreises gezogen und dort durch einen Abquetschvorgang, auch «wedge bond» genannt, mit dem Mikroschaltkreis verbunden. Der Draht wird dann von dieser Quetschverbindung abgezupft und gleichzeitig wird dafür gesorgt, dass über die Mündung der Kapillare ein kleiner Abschnitt des in der Kapillare geführten Drahtes vorsteht, damit anschliessend eine neue Drahtkugel angeschmolzen werden kann.
Die Länge des vor dem Anschmelzen einer Drahtkugel über die Mündung der Kapillare vorstehenden Drahtabschnitts bestimmt weitgehend den Durchmesser der angeschmolzenen Kugel, so dass zur Erzielung eines gleichmässigen Kugeldurchmessers dieser Drahtabschnitt nach dem Abquetschen des Drahtes an der zweiten Kontaktierungsstelle immer mit gleicher Länge gebildet werden soll. Da bei den bekannten Einrichtungen die Länge dieses Drahtabschnittes durch das Niveau der zweiten Kontaktierungsstelle bestimmt ist, weil der Draht von diesem Punkt aus bis einer bestimmten Höhe der sich bewegenden Kapillare durch diese gezogen wird, weisen die Länge des Drahtabschnitts und damit auch der Kugeldurchmesser in nachteiliger Weise Abweichungen entsprechend dem jeweiligen Niveau der vorgängigen zweiten Kontaktierungsstelle auf.
Dazu kommt noch, dass die Haftfestigkeit des abgequetschten Drahtes an der zweiten Kontaktierungsstelle sehr gering ist, ja sehr gering sein muss, damit beim Abzupfen des Drahtes die Quetschverbindung mit dem Mikroschaltkreis nicht beschädigt wird. Da bei den bekannten Einrichtungen zur Bildung des vorstehenden Drahtabschnitts aus der Kapillare gezogen wird, bevor er von der Quetschverbindung abgezupft wird, ist es möglich, dass bei nicht ausreichender Haftkraft des Drahtes an der Quetschverbindung der Draht zu früh abreisst, so dass der über die Mündung der Kapillare vorstehende Drahtabschnitt die erforderliche Länge nicht aufweist und somit nur eine zu kleine oder überhaupt keine Drahtkugel angeschmolzen werden kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine Kontaktiereinrichtung zu schaffen, welche die Bildung einer gleichmässigen Drahtkugel auch bei veränderlichem Niveau der vorgängig hergestellten Quetschverbindung an der zweiten Kontaktierungsstelle und bei verschwindend kleiner Haftkraft des abgequetschten Drahtes erlaubt. Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Überprüfung der Haftfestigkeit der erwähnten Kugelverbindung vor der Herstellung der nachfolgenden Quetschverbindung zu ermöglichen.
Zur Lösung dieser Aufgaben ist die erfindungsgemässe Kontaktiereinrichtung dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtklemmvorrichtung zwei zum Fassen des Drahts bestimmte Klammerelemente aufweist, von welchen das zweite gegenüber dem ersten beweglich ist, um den Draht einzuklemmen, und welche beide gemeinsam schwenkbar angeordnet sind, um den eingeklemmten Draht in seiner Längsrichtung zu bewegen, wobei sowohl dem zweiten Klammerelement als auch den beiden Klammerelementen gemeinsam je
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ein steuerbares Betätigungsorgan zugeordnet ist. Mittels dieser Drahtklemmvorrichtung lassen sich alle erforderlichen Drahtbewegungen ohne Zuhilfenahme der im Laufe der Herstellung der Drahtverbindung bestehenden Befestigung des Drahtendes auf dem Mikroschaltkreis gesteuert in gleichmässigem und vom Mikroschaltkreis unabhängigen Ausmass vornehmen, wodurch Störungen bei der Herstellung der Drahtverbindung vermieden werden.
Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes wird nachstehend anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine teilweise schematische Seitenansicht der Kontaktiereinrichtung,
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Drahtklemmvorrichtung der Fig. 1,
Fig. 3 eine Vorderansicht der Drahtklemmvorrichtung der Fig. 1.
Die in Fig. 1 dargestellte Kontaktiereinrichtung weist eine Drahtvorratsspule 1, eine Drahtführungseinrichtung 2, ein Kontaktierhorn 3 mit einer Kapillare 4 und eine Drahtklemmvorrichtung 5 auf.
Die Drahtvorratsspule umfasst einen auf einer Grundplatte 6 angeordneten, von einer Schutzhaube 7 umgebenen Spulenkörper 8, der mit dem Draht 9, z. B. einem Golddraht, bewickelt ist. Der obere Flansch des Spulenkörpers 8 ist mit einem Gleitring 10 versehen, über welchen der Draht 9 in einen zentrisch angeordneten, beispielsweise aus Glas bestehenden Trichter 11 vom Spulenkörper 8 abgewickelt wird. Auf einer mit der Grundplatte 6 verbundenen, in Fig. 1 nur angedeuteten Trägerplatte 12 ist in einem Halter 13 ein Drahtreiniger 14 angeordnet, durch welchen der Draht 9 geführt ist. Der Draht 9 ist anschliessend über eine Umlenkrolle 15 und ein Drahtführorgan 16 zur Kapillare 4 des Kontaktierhorns 3 geführt.
Das Kontaktierhorn 3 ist in bekannter Weise an einem angedeuteten Gehäuse 18 angeordnet, welches mittels einer nicht dargestellten Führung vertikal, d. h. in z-Richtung, verschiebbar ist. Das Gehäuse 18 ist hierbei an einem ebenfalls nicht dargestellten Sockel geführt, der an einem Kreuztisch befestigt ist, mittels welchem sich eine Positionierung des Kontaktierhorns 3 und damit der Kapillare in einer zur Zeichenebene der Fig. 1 senkrechten x,y-Ebene in bekannter Weise erzielen lässt. Das Kontaktierhorn 3 ist im unteren Teil einer im Gehäuse schwenkbar gelagerten Hornaufhängung 19 befestigt, deren oberes Ende mit steuerbaren Betätigungsmitteln zum Schwenken der Hornaufhängung 19, z. B. einem Elektromagnet, versehen ist. Diese Betätigungsmittel sind in Fig. 1 nicht dargestellt; sie sind zusammen mit Antriebsmitteln zur vertikalen Verschiebung des Gehäuses 18 beispielsweise in der CH-PS 592 365 beschrieben. Ferner ist das Kontaktierhorn 3 mit nicht dargestellten Mitteln zur gesteuerten Beheizung der Kapillare 4 oder zu dessen Versorgung mit Ultraschallenergie zwecks Kontaktierung des Drahts 9 mit dem Mikroschaltkreis versehen.
Die in den Fig. 1 bis 3 dargestellte Drahtklemmvorrichtung 5 ist ebenfalls am Gehäuse 18 angeordnet und folgt damit vertikalen Verschiebebewegungen des Gehäuses. Sie enthält eine Drahtklammer 21, welche ein bezüglich des Einklemmens des Drahtes 9 festes, erstes Klemmblech 22, ein auf dem Klemmblech 22 schwenkbar gelagertes zweites Klemmblech 23 und eine blattförmige Schliessfeder 24, welche am ersten Klemmblech 22 befestigt ist und das äussere Ende des zweiten Klemmblechs 23 auf das erste Klemmblech 22 drückt und damit den zwischen den beiden Klemmblechen geführten Draht 9 einklemmt. Als Schwenklager für das zweite Klemmblech 23 weist das erste Klemmblech 22 einen Stift 25 oder einen ähnlichen Vorsprung auf. Das erste Klemmblech 22 und damit auch das zweite Klemmblech 23 und die Schliessfeder 24 sind am Gehäuse 18 in noch zu erläuternder Weise derart schwenkbar gelagert, dass sich die äusseren Enden der Klemmbleche 22,23
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innerhalb eines kleinen Schwenkbereichs in der Längsrichtung des Drahts 9 bewegen können.
Zum Öffnen der Drahtklammer ist ein nur in Fig. 2 und 3 dargestellter Schalthebel 27 am Gehäuse 18 angeordnet, der unter der Wirkung eines elektrisch erregbaren Kiemmagnets 28 (Fig. 1,3) auf den inneren Teil des beweglichen Klemmblechs 23 drückt und damit das äussere Ende des Klemmblechs 23 gegen die Kraft der Schliessfeder 24 vom festen Klemmblech
22 abhebt, so dass der Draht 9 freigegeben wird. Der Schalthebel 27 ist hierbei mit einer Spitze 29 versehen, die eine Öffnung der Schliessfeder 24 durchdringt und auf diese Weise ohne Einwirkung auf die Schliessfeder auf das bewegliche Klemmblech
23 drücken kann. In Fig. 3 ist die Schliessfeder 24 aus Übersichtsgründen weggelassen worden.
Am festen Klemmblech 22 ist eine horizontal verlaufende Welle 31 befestigt, die mittels Kugellager 32 am Gehäuse 18 gelagert ist. Am freien Ende der Welle 31 ist eine Schaltfahne 33 angebracht, die mit einem am Gehäuse 18 befestigten, bloss schematisch dargestellten Sensor 34 zusammenarbeitet. Der Sensor 34 fühlt die Drehlage der Schaltfahne 33 und damit die Schwenk- oder Wipplage des Klemmblechs 22 und damit der ganzen Drahtklammer 21 ab und erzeugt bei Erreichen einer bestimmten Drehlage in elektrisches Signal.
Die Drahtklammer 21 wird durch eine am festen Klemmblech 22 befestigten und über eine Federaufhängung 35 am Gehäuse 18 verankerten Feder 36 gegen einen einstellbaren Anschlag 37 (Fig. 1) nach oben gezogen. Die Federaufhängung 35 kann Mittel aufweisen, um die Zugkraft der Feder 36 einstellen zu können.
Zur Erzeugung einer Schwenk- oder Wippbewegung der Drahtklammer 21 ist ein weiterer, elektrisch erregbarer Magnet 38 (Fig. 1,3) am Gehäuse 18 angeordnet, der auf einen am festen Klemmblech 22 angebrachten Anker 39 wirkt und damit ein Wippen der Drahtklemmer 21 um die Achse der Welle 31 im Gegenuhrzeigersinn (Fig. 1) bewirkt. Die Drahtklammer 21 wird nach dem Ausschalten des Magnets 38 durch die Feder 36 gegen den Anschlag 37 zurückbewegt.
Zur Erzeugung der nachfolgend beschriebenen Bewegungsabläufe beim Herstellen einer Drahtverbindung an einem Mikroschaltkreis ist eine nicht dargestellte, programmierbare Steuereinrichtung vorgesehen, welche die Magnete 28 und 38 in bestimmten Zeitpunkten ein- bzw. ausschaltet und auch Steuersignale für ein Schwenken des Kontaktierhorns 3 sowie ein Verschieben des Gehäuses 18 in den x,y,z-Richtungen abgibt.
Beim Betrieb der vorliegenden Kontaktiervorrichtung zum Herstellen einer Drahtverbindung an einem Mikroschaltkreis können sich beispielsweise die nachfolgend angeführten Schritte folgen.
1. Das Kontaktierhorn 3 wird mit angeschmolzener, an der Mündung der Kapillare 4 liegender Drahtkugel auf die erste Kontaktierungsstelle des Mikroschaltkreises gesenkt. Hierbei ist der Wippmagnet 38 ausgeschaltet, so dass die Drahtklammer 21 am Anschlag 37 anliegt. Ferner ist beim Senken des Kontaktierhorns 3 bzw. des Gehäuses 18 der Kiemmagnet 28 eingeschaltet, so dass das bewegliche Klemmblech 23 mit Hilfe des Schalthebels 27 vom festen Klemmblech 22 im Bereich des Drahts 9 abgehoben ist, d. h. die Drahtklammer 21 geöffnet ist.
2. Es läuft die Zeit zur Herstellung der Kugelverbindung auf dem Mikroschaltkreis ab.
3. Unmittelbar nach dem Ablauf der Zeit zur Herstellung der Kugelverbindung wird der Kiemmagnet 28 ausgeschaltet, wodurch die Drahtklammer 21 geschlossen wird, indem die Schliessfeder 24 das bewegliche Klemmblech 23 im Bereich des Drahts 9 gegen das feste Klemmblech 22 drückt.
4. Beim nachfolgenden Heben des Kontaktierhorns 3 bzw. des Gehäuses 18 in eine höhere Lage zwecks Bildung eines gestreckten Drahtabschnitts zwischen der Kugelverbindung
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und der Kapillare 4, welcher anschliessend die Drahtverbindung zur zweiten Kontaktierungsstelle des Mikroschaltkreises herstellt, wird die geschlossene Drahtklammer 21 gegen den Zug der Feder 36 nach unten geschenkt, so dass die Zugkraft der Feder 36 an der Kugelverbindung am Mikroschaltkreis angreift und somit die Haftfestigkeit der Kugelverbindung prüft Hält die Kugelverbindung am Mikroschaltkreis nicht oder nicht ausreichend, so wird die Drahtklemmer 21 durch die Feder 36 nach oben an den Anschlag 37 gezogen. Beim Heben des Kontaktierhorns 3 bzw. des Gehäuses 18 wird der Sensor 34, der durch die sich bei der Bewegung der Drahtklammer 21 nach unten von der Schaltfahne 33 geschaltet wird, durch die nicht dargestellte Steuereinrichtung ständig überwacht.
5. Durch ein Signal des Sensor 34 wird angezeigt, dass sich die Drahtklammer 21 beim Nachziehen des Drahts 9 zwecks Bildung des gestreckten Drahtabschnitts nach unten bewegt und somit die Kugelverbindung in Ordnung ist. Erfolgt kein Sensorsignal bis zur Erreichung der einer bestimmten Länge des gestreckten Drahtabschnitts entsprechenden Höhe des Kontaktierhorns 3 bzw. des Gehäuses 18, was eine mangelhafte Kugelverbindung anzeigt, indem die Drahtklammer 21 am Anschlag 37 liegt, so wird ein Störsignal ausgelöst und der Vorgang der Herstellung der Kugelverbindung wiederholt.
6. Das Signal des Sensors 34, das eine ordnungsgemässe Kugelverbindung anzeigt, schaltet sofort den Kiemmagnet 28 ein. Nach einer Verzögerungszeit für das Öffnen der Drahtklammer 21 wird der Wippmagnet 31 eingeschaltet, wodurch die geöffnete Drahtklammer 21 vollständig nach unten geschwenkt wird.
7. Nach dem Erreichen der für die bestimmte Länge des gestreckten Drahtabschnitts erforderlichen Höhe des Kontaktierhorns 3 bzw. des Gehäuses 18 wird der Kiemmagnet 28 wieder ausgeschaltet, wodurch die Drahtklammer 21 geschlossen wird.
8. Bei geschlossener Drahtklammer 21 und eingeschaltetem Wippmagnet 38, d. h. nach unten geschwenkter Drahtklammer 21, wird das Kontaktierhorn 3 bzw. das Gehäuse in den x,y,z-Richtungen mit seiner Kapillare 4 zur zweiten Kontaktierungsstelle des Mikroschaltkreises gebracht.
9. Unmittelbar vor der Herstellung der Quetschverbindung an der zweiten Kontaktierungsstelle wird der Kiemmagnet 28 eingeschaltet, so dass die Drahtklammer 21 geöffnet wird.
10. An der zweiten Kontaktierungsstelle wird der Draht 9 durch die Kapillare 4 abgequetscht. Gleichzeitig wird der Wippmagnet 38 ausgeschaltet, so dass die Drahtklammer 21 bis zum Anschlag 37 nach oben schwenkt.
11. Unmittelbar nach dem Abquetschen des Drahts 9 wird der Kiemmagnet 28 wieder ausgeschaltet, wodurch die Drahtklammer 21 geschlossen wird.
12. Das Kontaktierhorn 3 bzw. das Gehäuse 18 wird in die Ausgangs- oder Null-Lage gehoben. Da die Drahtklammer 21 geschlossen ist, übt die Feder 36 einen Zug auf den Draht 9 aus, so dass der Draht von der Quetschverbindung am Mikroschaltkreis abgezupft wird. Anschliessend wird der Wippmagnet 38 eingeschaltet, so dass eine bestimmte, dem Wipphub der Drahtklammer 21 entsprechende Drahtlänge durch die Kapillare 4
geschoben wird. Unabhängig vom Zeitpunkt, in welchem beim Heben des Kontaktierhorns 3 bzw. des Gehäuses 18 das Abzupfen des Drahtes 9 von der Quetschverbindung effektiv erfolgt, ragt nach dem Einschalten des Wippmagnets 38 immer die gleiche Länge Drahtende aus der Mündung der Kapillare 4. Denn solange beim Heben der Draht an der Quetschverbindung noch halten sollte, wird die Drahtklammer 21 nach unten geschwenkt, so dass sie nach erfolgtem Abzupfen durch die Feder 36 an den Anschlag 37 zurückgeholt wird, wodurch der vor dem Abzupfen aus der Kapillare 4 gezogene Drahtabschnitt wieder in diese zurückgezogen wird. Die Länge des nach dem Einschalten des Wippmagnets 38 aus der Kapillare 4 vorstehenden Drahtabschnitts ist somit immer gleich lang und einzig durch die Begrenzungselemente des Wipphubs der Drahtklammer 21, nämlich den Anschlag des Polblechs 39 am Magnet 38 und den einstellbaren Anschlag 37 bestimmt.
13. Nach dem Einschalten des Wippmagnets 38 wird der die Kugel am Drahtabschnitt anschmelzende Abflammvorgang ausgelöst.
14. Hierauf wird der Kiemmagnet 28 eingeschaltet, wodurch die Drahtklammer 21 geöffnet wird.
15. Nach Erreichen der Ausgangs- oder Null-Lage in der z-Richtung wird der Wippmagnet 38 ausgeschaltet, wodurch die Drahtklammer 21 an den Anschlag 37 schenkt. Es kann jetzt die nächste Drahtverbindung gemäss den obenstehenden Schritten hergestellt werden.
Gegenüber den bekannten Kontaktiereinrichtungen weist die vorliegende Einrichtung mehrere Vorteile auf, von welchen der wichtigste die gleichmässige, von den vorgängig an einem Mikroschaltkreis hergestellten Drahtverbindungen unabhängige Länge des zur Bildung einer angeschmolzenen Drahtkugel erforderlichen Drahtabschnitts ist, die auch dann unverändert erzielt wird, wenn die Haftkraft der Quetschverbindung praktisch gleich null ist. Ein weiterer wichtiger Vorteil besteht durch die Möglichkeit, die Haftfestigkeit und damit die Güte der Kugelverbindung in definierter Weise und ohne Unterbrechung der Herstellung der Drahtverbindung oder ohne nachträgliche Massnahmen prüfen zu können. Die vorliegende Einrichtung eignet sich deshalb zufolge ihrer geringen Störanfälligkeit und einfachen Steuerbarkeit insbesondere für Drahtverbindungsautomaten. Zur Vermeidung von Störungen trägt auch der Drahtreiniger 14 bei, der ein frühzeitiges Verstopfen der Kapillare 4 und einen durch Metallstaub auf dem Draht verursachten Metallaufbau auf der Kapillarenspitze verhindert und der gleichzeitig als Drahtbremse wirkt.
Statt des beschriebenen, von der Schaltfahne 33 geschalteten Sensors 34 kann auch ein anderer Fühler für die Wipp- oder Schwenkbewegung der Drahtklammer 21 vorgesehen werden, beispielsweise ein Fühler, der mit der Drahtklammer 21 in der Nähe des Anschlags 37 direkt und nicht über die Welle 31 zusammenwirkt.
Die beschriebene Drahtklemmvorrichtung 5 ist wegen ihrer getrennten Funktionen des Drahtklemmens und des Drahtbewegens in vorteilhafter Weise auch für andere Steuerprogramme anwendbar.
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1 Blatt Zeichnungen
Claims (7)
1. Kontaktiereinrichtung für die Herstellung einer Drahtverbindung an einem Mikroschaltkreis mittels Ultraschall oder Thermokompression, mit einer Drahtvorratsspule (1), einer Drahtführungseinrichtung (2) und einem mit einer Kapillare (4) versehenen Kontaktierhorn (3), wobei der Kapillare (4) eine Drahtklemmvorrichtung (5) zur Bewirkung eines Vorschubs bzw. eines Festklemmens des Drahtes (9) beim Bewegen des Kontaktierhorns (3) zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtklemmvorrichtung (5) zwei zum Fassen des Drahts (9) bestimmte Klammerelemente (22,23) aufweist, von welchen das zweite (23) gegenüber dem ersten (22) beweglich ist, um den Draht (9) einzuklemmen, und welche beide (22,23) gemeinsam schwenkbar angeordnet sind, um den eingeklemmten Draht in seiner Längsrichtung zu bewegen, wobei sowohl dem zweiten Klammerelement (23) als auch den beiden Klammerelementen gemeinsam (22,23) je ein steuerbares Betätigungsorgan (28,29) zugeordnet ist.
2. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Klammerelemente (22,23) bandförmig und dazu ausgebildet sind, den Draht (9) zwischen ihren äusseren Endbereichen zu fassen, und dass das zweite Klammerelement (23) auf einer Stütze (25) des ersten Klammerelements (22) gelagert ist und sein äusseres Ende durch eine am ersten Klammerelement (22) befestigte Blattfeder (24) auf das erste Klammerelement (22) gedrückt wird, wobei ein Schalthebel (27) vorgesehen ist, der bei Einwirkung auf den von der Stütze (25) aus inneren Teil des zweiten Klammerelements (23) dessen äusseres Ende vom ersten Klammerelement (22) abhebt.
3. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Betätigung des Schalthebels (27) ein erster Elektromagnet (28) vorgesehen ist.
4. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Klammerelement (22) um eine zur Drahtlängsrichtung senkrechten Achse (31) schwenkbar gelagert ist und dass zu seiner Betätigung ein zweiter Elektromagnet (38) vorgesehen ist, der das äussere Ende des ersten Klammerelements (22) in Drahtlängsrichtung schwenkt.
5. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtklemmvorrichtung (5) eine Feder (36) enthält, welche das erste Klammerelement (22) entgegen der durch den zweiten Elektromagnet (38) bewirkten Schwenkrichtung an einen einstellbaren Anschlag (37) drückt, derart, dass durch den zweiten Elektromagnet (38) ein Drahtvorschub bestimmter Länge bewirkt wird.
6. Kontaktiereinrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtklemmvorrichtung (5) einen Fühler (34) zum Abtasten einer Schwenkbewegung des ersten Kontaktelements (22) entgegen der Kraft der Feder (36) dann, wenn beide Elektromagnete (28,38) ausgeschaltet sind und der Draht in Bewegung ist, aufweist, wobei der Fühler (34) zur Abgabe eines elektrischen Signals ausgebildet ist.
7. Kontaktiereinrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sie einen in Drahtrichtung vor der Drahtklemmvorrichtung (5) angeordneten, den Draht (9) umschliessenden Drahtreiniger (14) aufweist, der gleichzeitig als Drahtbremse dient.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1096377A CH619334A5 (de) | 1977-09-07 | 1977-09-07 | |
| DE19782837841 DE2837841A1 (de) | 1977-09-07 | 1978-08-30 | Kontaktiereinrichtung fuer die herstellung einer drahtverbindung an einem mikroschaltkreis |
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| GB7835565A GB2004222B (en) | 1977-09-07 | 1978-09-05 | Contacting device for producing a wire connection to a microcircuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1096377A CH619334A5 (de) | 1977-09-07 | 1977-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH619334A5 true CH619334A5 (de) | 1980-09-15 |
Family
ID=4368639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH1096377A CH619334A5 (de) | 1977-09-07 | 1977-09-07 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4205773A (de) |
| CH (1) | CH619334A5 (de) |
| DE (1) | DE2837841A1 (de) |
| GB (1) | GB2004222B (de) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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|---|---|
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|---|---|---|---|
| PL | Patent ceased | ||
| PL | Patent ceased |