CH621222A5 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Stromversorgungseinrichtung für Kathoden von in Vakuumkammern angeordneten Elektronenstrahlkanonen, insbesondere von Aufdampfkanonen, mit magnetischer Strahlablenkung oder -fokussierung, bestehend aus einem Transformator mit einer Primär- und einer Sekundärwicklung, Zuleitungen, welche in die Vakuumkammer eingeführt sind, sowie aus phasenanschnittgesteuerten elektrischen Stellgliedern für die Heizstromsteuerung.

Bei Elektronenstrahlkanonen, deren Kathoden grundsätz- « lieh im Vakuum angeordnet sein müssen, geht es darum, den Strahlstrom, die Beschleunigungsspannung sowie die magnetische Beeinflussung des Strahls zum Zwecke einer Ablenkung und/oder Fokussierung einerseits möglichst konstant zu halten, andererseits aber auch gegebenenfalls diese Grössen möglichst rasch geänderten Betriebsbedingungen anzupassen. Beispielsweise stehen die Beschleunigungsspannung und die Magnetfeldstärke im Hinblick auf den Strahlverlauf und damit die Auftreffstelle des Strahls in Wechselbeziehung zueinander. Jegliche Beeinflussung des Magnetfeldes, die zu einer Feldänderung oder gar Feldverzerrung führt, verändert die Lage der Auftreffstelle. Unter anderem aus Gründen der Lebenserwartung der Kathode wird diese mit einer niedrigen Heizspannung von wenigen Volt bei hoher Stromstärke versorgt. Die Heizleistung bestimmt die Temperatur und damit den Emissionsstrom der Kathode bei gegebener Beschleunigungsspannung. Zur hohen Stromstärke für den Heizstrom kommt die Notwendigkeit hinzu, die Kathode auf dem hohen Beschleunigungsspan-nungs-Potential anzuordnen. Dies führt zu besonderen Isolationsproblemen.

Bei Aufdampfkanonen kommt hinzu, dass die Verdampfungsrate des zu verdampfenden Materials stark von einer stetigen Strahlführung abhängig ist. So kann beispielsweise die Verdampfungsrate durch Instabilitäten im Ablenksystem, die beispielsweise durch Magnetfeldüberlagerungen aufgrund des hohen Heizstroms bei Netzfrequenz entstehen können, um bis zu 20% verringert werden, ohne dass die Strahlleistung selbst verändert würde. Dieser Vorgang ist vermutlich auf eine dauernde Lageänderung der Auftreffstelle des Strahls zurückzuführen. Bei Stromversorgungseinrichtungen für Aufdampfkanonen kommt weiter hinzu, dass die Isolationswirkung von Isolatoren durch Kondensation leitfähiger Dämpfe, z.B. beim Verdampfen von Metallen, beeinträchtigt werden kann, so dass es zu Überschlägen kommt. Wegen der Gefahr von Überschlägen verbietet es sich auch, Transformatoren im Vakuum anzuordnen.

Zum Stande der Technik gehört ein eingangs beschriebene Stromversorgungseinrichtung, bei welcher der Transformator als Netzfrequenz-Transformator ausgeführt, ausserhalb der Vakuumkammer angeordnet und mit der Kathode über Koaxialkabel, über Hochspannungs- und Hochstrom-Durchführungen verbunden ist. Bei einer Heizspannung von 7 Volt und einer Heizstromstärke zwischen 25 und 100 Ampere muss die Sekundärspannung des Transformators beispielsweise 14 Volt betragen, da etwa die Hälfte der Heizleistung auf dem Wege vom Transformator zur Kathode durch den Ohmschen Widerstand in den Zuleitungen verlorengeht, und dies trotz grosser Querschnitte in den Zuleitungen. Allein die Leitungsverluste bedingen etwa eine doppelte Auslegung des Transformators. Hinzu kommt, dass der Transformator mit einer Hochspannungsisolation ausgeführt werden muss, da die auf Hochspannung (Beschleunigungsspannung) liegenden Sekundärseite von der auf Netzspannungspotential liegender Primärseite zuverlässig isoliert sein muss. Die Hochspannung auf der Sekundärseite ist auch der Grund für die Verwendung der Koaxialkabel, deren Umhüllung aus Sicherheitsgründen auf Erdpotential gelegt ist.

Bei der bekannten Lösung wird ausserdem die Primärseite des Transformators über phasenanschnittgesteuerte Thyristoren gesteuert. Dies setzt voraus, dass der Transformator stark überdimensioniert werden muss, damit er zum Schutze der Thyristoren nicht in den Sättigungsbereich gelangt. Will man auf diese Überdimensionierung verzichten, sind schaltungstechnische Schutzmassnahmen für die Thyristoren erforderlich, die dem Aufwand eines Wechselrichters gleich kommen. Die vorzuziehende Überdimensionierung zum Schutze der Thyristoren führt zusammen mit einer Überdimensionierung im Hinblick auf die Leitungsverluste zu Transformatoren, die etwa die 4fache Grösse gegenüber derjenigen Grösse besitzen, die (theoretisch) für die Kathodenheizung benötigt würde.

Bei einer bekannten Stromversorgungseinrichtung existieren ausserdem parasitäre Induktivitäten sowie durch die Ko-

3

axialkabel bedingte Kapazitäten, die bei den praktisch unvermeidbaren Kanonenkurzschlüssen für die steuernde Elektronik gefährlich sind. Dabei treten Nadelimpulse auf, die ein Vielfaches der Betriebsspannung erreichen können.

Es wurde daher schon versucht, den Heizstrom auf der 5 Sekundärseite gleichzurichten und im Stromkreis eine Drossel und einen Siebkreis vorzusehen. Hierdurch lassen sich die Verhältnisse geringfügig verbessern. Dennoch wird die Auftreffstelle bzw. der Brennfleck des Elektronenstrahls vom Heizbzw. Emissionsstrom beeinflusst. Zum Verhältnis dieses Vor- 10 gangs ist auszuführen, dass die den hohen Heizstrom führenden Zuleitungen unvermeidbar je nach Kanonenkonstruktion in mehr oder weniger grosser Nähe des Ablenkmagnetfeldes verlaufen müssen. Die die Zuleitungen umgebenden Magnetfelder überlagern sich dem Ablenkmagnetfeld, womit notwendigerweise 15 eine Verlagerung des Brennflecks verbunden ist. Eine derartige Feldüberlagerung wird bei bekannten Elektronenkanonen unter Einsatz zusätzlicher Mittel dazu benutzt, den Elektronen-strahl bewusst abzulenken. Der ungewollte Einfluss derartiger Störfelder muss hingegen bei der bekannten Stromversor- 20 gungseinrichtung durch Änderung der Ablenkung kompensiert werden. Hinzu kommt, dass eine Gleichrichtung auf der Sekundärseite eine zusätzliche Verlängerung der Zuleitungen mit sich bringt, welche die Verluste wieder vergrössern.

Es ist auch bereits ein Versuch bekannt geworden, die Lei- 25 tungsverluste und damit die Grösse des Transformators dadurch zu verringern, dass der Transformator unmittelbar unter der Vakuumkammer angeordnet wird. Durch die damit verbundene Leistungsverkürzung werden zwar die Zuleitungsverluste entsprechend reduziert, die übrigen Probleme bleiben j0 jedoch unverändert bestehen. Insbesondere kann auf Hoch-spannungs-Hochstromdurchführungen nicht verzichtet werden, und auch die Abschaltspitzen werden nur unwesentlich verringert.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Stromver- y\ sorgungseinrichtung für Elektronenstrahlkanonen anzugeben, durch die Leistungsverluste und damit der bauliche Aufwand des Transformators erheblich verringert werden, bei der eine merkliche Strahlbeeinflussung durch den Heizstrom der Kathode nicht mehr auftritt, bei der Hochspannungs-Hoch- 4« Stromdurchführungen nicht mehr benötigt werden und bei der Nadelimpulse bzw. Abschaltspitzen nicht mehr im nennenswerten Masse auftreten können.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt bei der eingangs beschriebenen Stromversorgungseinrichtung erfindungsge- 45 mäss dadurch, dass a) der Transformator in die Vakuumkammer integriert ist,

wobei eine Trennwand für die Trennung von Atmosphäre und Vakuum zwischen Primär- und Sekundärwicklung angeordnet ist und die Primärwicklung sich in der Atmosphäre und die Sekundärwicklung sich im Vakuum befindet.

b) der Transformator ein Mittelfrequenztransformator für Frequenzen oberhalb 20 kHz ist und c) dem Transformator eine Steuereinrichtung mit pulsbreiten gesteuerten Transistoren zur Zerhackung einer Gleichspan- r, nung mit Mittelfrequenz vorgeschaltet ist.

Durch die Anordnung der Vakuumtrennwand zwischen den Transformatorwicklungen entstehen auf der Primärseite keine Isolationsprobleme, da sich diese in der Atmosphäre und auf einem niedrigen Potential befindet. Lediglich die Sekundärseite «> befindet sich im Vakuum. Wie nachfolgend noch näher aufgezeigt wird, ist es aufgrund der weiteren Massnahmen nach der Erfindung jedoch möglich, die Wicklung der Sekundärseite einwindig auszuführen und hierbei als ein starres Gebilde auszuführen, welches frei aufgehängt werden kann, so dass - abgese- h 5 hen von einem Stützisolator - die Isolation ausschliesslich durch Vakuumspalte bewirkt werden kann. Die Vakuumtrennwand besteht aus amagnetischem Metall und hat gleichzeitig

621 222

die Wirkung einer elektrostatischen Abschirmung der Primärseite von der hochspannungsführenden Sekundärseite. Auf Hochspannungsführungen kann vollständig verzichtet werden, da der hohe Heizstrom ausschliesslich innerhalb der Vakuumkammer erzeugt wird. Durch Auslegung des Transformators als Mittelfrequenztransformator für Frequenzen oberhalb etwa 20 kHz (d.h. oberhalb der Hörschwelle) gelingt es, den Transformator einwindig auszuführen, womit eine der wesentlichen Vorraussetzungen für die Anordnung der Trennwand zwischen Atmosphäre und Vakuum geschaffen wird. Es entsteht ein Transformator mit wesentlich kleineren Volumen, da das Transformatorvolumen tendenzmässig etwa umgekehrt proportional der Frequenz ist. Mit der Verwendung von Mittelfrequenz dringt auch das ansonsten durch den Heizstrom erzeugte Magnetfeld nicht mehr in den Bereich der Massiv-eisen-Polschuhe ein, und zwar aufgrund des Skin-Effektes. Der Brennfleck steht ruhig, d.h. es tritt weder eine Oszillation noch eine permanente Verschiebung auf.

Durch die Verwendung eine Steuereinrichtung mit puls-breitengesteuerten Transistoren wird das Problem beseitigt, eine Überlastung der Transistoren durch Sättigung des Transformators zu vermeiden. Dies kann z.B. durch eine schnell ansprechende Uberstromschutzschaltung auf einfache Weise bewirkt werden. Durch die Möglichkeit, die Leistung des Transformators voll auszunutzen, wird dessen Bauvolumen weiter verringert. Durch die Gesamtheit der angegebenen Mittel ist es möglich, die Grösse des Transformators gegenüber dem Stande der Technik auf ein Zwanzigstel zu verringern. Hierdurch ist es wiederum möglich, den Transformator nicht nur in die Wand der Vakuumkammer zu integrieren, sondern ihn auch in unmittelbarer Nähe der Elektronenstrahlkanone anzuordnen. Beim Einsatz mehrerer Kanonen in der gleichen Vakuumkammer kann jeder Kanone wegen der Kleinheit des Transformators ein eigener Transformator zugeordnet werden, so dass die Umschaltmöglichkeiten wesentlich vereinfacht werden.

Durch die damit verbundene ausserordentlich kurzen Zuleitungen zwischen dem Transformator und der Elektronenstrahlkanone entfällt eines der beiden bisher notwendigen Hochspannungskabel. Ausserdem wird die parasitäre Kapazität auf weniger als 50% verringert. Die effektive parasitäre Induktivität des Hochspannungskreises wird vernachlässigbar klein, da aus dem einen Energiespeicher bildenen Streufeld eines kleineren Transformators eine wesentlich geringere Energie freigesetzt wird. Ferner ist das noch vorhandene einzige Hochspannungskabel für eine Dämpfungsbeschaltung zugänglich, und es wird eine Hochspannungsdurchführung benötigt, die aber, wie bereits weiter oben ausgeführt, keine Hochstromdurchführung ist.

Die Verwendung einer Steuereinrichtung mit impulsbreitengesteuerten Transistoren hat noch den zusätzlichen Vorteil einer linearen Stellkennlinie, d.h. einer linearen Abhängigkeit der Kathodenleistung von der Steuerspannung, wobei die Steuereinrichtung zwischen 0 und 100% regelbar ist.

Der Transformator für die erfindungsgemässe Stromversorgungseinrichtung kennzeichnet sich gemäss der weiteren Erfindung dadurch, dass die Wicklungen des Transformators in einem Gehäuse aus amagnetischem Werkstoff angeordnet sind, welches in die Vakuumkammer eingesetzt ist und aus einem in die Vakuumkammer gerichteten, hohlen Fortsatz sowie aus einer den Fortsatz unter Bildung eines Ringraumes vakuumdicht umschliessenden Kappe besteht, dass die Primärwicklung mit einem Eisenkern im Ringraum angeordnet ist und über einen Kanal mit der Atmosphäre in Verbindung steht, und dass die Sekundärwicklung innerhalb des hohlen Fortsatzes angeordnet ist, der mit dem Innenraum der Vakuumkammer in Verbindung steht.

Durch die angegebene Bauweise entsteht ein aus wenigen Teilen zusammengesetztes Transformatorengehäuse, in wel

621222

4

ches die elektrischen Teile einfach einsetzbar sind, und welches seinerseits leicht vakuumdicht in die Wandung der Vakuumkammer einsetzbar ist.

Es ist dabei besonders vorteilhaft, das Transformatorengehäuse im wesentlichen rotationssymmetrisch auszubilden und mit einem Flansch zu versehen, aus dem auf einer Seite der hohle Fortsatz koaxial hervorsteht, mit dem die Kappe unter gleichzeitiger Abdichtung gegenüber dem Flansch verschraub-bar ist, und es auf der anderen Seite mit einem koaxial hervorstehenden Rohrstutzen zu versehen, in dem eine Spannungs- i durchführung mit einem Durchführungsisolator vakuumdicht angeordnet ist, der gleichzeitig als Stützisolator für die Sekundärwicklung dient, welche an die Spannungsdurchführung angeschlossen ist. Durch diese Massnahme wird gleichzeitig die Aufhängung bzw. Befestigung für die Sekundärwicklung in i Baueinheit mit dem Transformatorengehäuse geschaffen. Weitere Isolatoren sind im Prinzip nicht erforderlich, so dass die Sekundärwicklung nur durch Luft- bzw. Vakuumspalte gegenüber dem Transformatorengehäuse isoliert ist.

Diese Massnahme wirkt sich dann besonders vorteilhaft 2 aus, wenn die Sekundärwicklung im wesentlichen aus einem im Fortsatz koaxial angeordneten Metallbolzen besteht, der die koaxiale Verlängerung der Spannungsdurchführung bzw. des Durchführungsisolators darstellt und gegenüber dem Gehäuse durch einen Zylinderspalt isoliert ist. 2

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes sei anhand der Figur nachfolgend näher erläutert, die ein Prinzipschaltbild der Stromversorgungseinrichtung mit einem Axialschnitt durch den Transformator und eine schematische Darstellung eines Elektronenstrahlverdampfers zeigt.

In der Figur ist mit 10 ein Elektronenstrahlverdampfer bezeichnet, der aus einem Verdampfertiegel 11 mit Kühlwasseranschlüssen 12, eine Kathode 13, einer Anode 14 und einem Ablenkmagnetsystem besteht, von dem lediglich eine Polschuhplatte 15 dargestellt ist. Die Kathode 13 wird über Zuleitungen 16 und 17 mit Heizstrom versorgt und gleichzeitig auf Hochspannungspotential gelegt. Während des Betriebs wird ein Elektronenstrahlbündel 18 erzeugt, welches durch die beiden Polschuhplatten 15, von denen die vordere entfernt ist, auf der dargestellten gekrümmten Bahn abgelenkt wird und auf das Verdampfungsmaterial 19 im Tiegel 11 auftrifft, und zwar an der Auftreffstelle 20. Derartige Elektronenstrahlverdampfer sind Stand der Technik. In diesem Zusammenhang wird auf die DE-PS 22 06 995 verwiesen.

Für die Heizstromversorgung der Kathode 13 dient eine Versorgungseinrichtung 21, die ihre Betriebsspannung UB über die Klemmen 22 und 23 erhält. Teil dieser Steuereinrichtung ist eine Steuerschaltung 24 für zwei impulsbreitengesteuerten Transistoren 25 und 26, die ihre Steuerspannung USTÜber die Klemme 27 erhält. Durch die Steuerschaltung 24 ist es möglich, die Impulsbreite von Rechteckimpulsen in linearen Abhängigkeit von der Steuerspannung UST zwischen 0 und 100% zu verändern. Die Versorgungseinrichtung 21 besitzt Ausgänge 28,29 und 30, an denen eine Spannung von 100 Volt in Form von Rechteckimpulsen anliegt, die durch die Steuerschaltung 24 mit einer Frequenz zwischen 20 und 40 kHz erzeugt werden. Die Ausgänge 28 und 30 führen über Leitungen 31 und 33 zu den Enden eine Primärwicklung 34 eines Transformators 35, während der Ausgang 29 über die Leitung 32 mit einer Mittelanzapfung der Primärwicklung 34 verbunden ist.

Der Transformator 35 besitzt ein Gehäuse 36 aus amagnetischem Werkstoff (VA-Stahl), welches seinerseits aus einem Flansch 37 mit einem hohlen Fortsatz 38 und einem Rohrstutzen 39 sowie einer Kappe 40 besteht. Die Kappe 40 ist über eine Ringmutter 41 mit dem Fortsatz 38 verschraubt und stützt sich mit ihrem äusseren Rand unter Zwischenschaltung eines O-Ringes 42 isoliert auf dem Flansch 37 ab.

Der Rohrstutzen 39 durchdringt eine Vakuumkammer 43, die hier durch eine Rezipientenboden gebildet wird. Durch eine Ringmutter 44 wird der Flansch 37 unter Zwischenschaltung eines O-Ringes 45 mit der Vakuumkammer 43 verspannt. Im Rohrstutzen 39 befindet sich ein Kanal 46, durch den die Leitungen 31,32 und 33 in einen Ringraum 47 geführt werden, der zwischen der Kappe 40 und dem Fortsatz 38 gebildet wird. Dieser Ringraum steht über den Kanal 46 mit der Atmosphäre in Verbindung und dient zur Aufnahme der bereits beschriebenen Primärwicklung 34, die in Form einer Toroidspule auf einen Eisenkern 48 aufgebracht ist. Es ist zu erkennen, dass der Ringraum 47 gegenüber dem Innenraum der Vakuumkammer 43 absolut dicht verschlossen ist.

Der hohle Fortsatz 38 wird von einer Sekundärwicklung 49 durchdrungen, die aus einem koaxial zum Fortsatz ausgerichteten Metallbolzen 50 und Anschlussleitung 51 und 52 besteht. Die Sekundärwicklung ist wie ersichtlich einwindig ausgeführt und steht über Klemmen 53 und 54 mit den Zuleitungen 16 und 17 zur Kathode 13 in Verbindung. Der Durchtritt der Anschlussleitung 52 zum unteren Ende des Metallbolzens 50 wird durch eine seitliche Ausfräsung 55 im Flansch 37 ermöglicht. Wie aus der Figur ersichtlich, wird zwischen dem Metallbolzen 50 und den Anschlussleitungen 51 und 52 allseitig ein ausreichender Vakuumspalt gegenüber den benachbarten metallischen Teilen eingehalten. Zwischen dem Metallbolzen 50 und dem Fortsatz 38 besteht ein Zylinderspalt 65.

Die Sekundärwicklung 49, insbesondere deren Metallbolzen 50 stützt sich über einen Gewindestift 56 auf einem Durchführungsisolator 57 ab, der unter Zwischenschaltung einer Vakuumdichtung 58 konzentrisch im Rohrstutzen 39 angeordnet ist. Auf diese Weise stellt der Durchführungsisolator 57 einen Stützisolator für den Metallbolzen 50 dar.

Das untere Ende des Gewindestiftes 56 steht über eine nicht näher bezeichnete Steckverbindung mit einer Hochspannungsleitung 59 in Verbindung, die von einer koaxialen Abschirmung 60 umgeben ist. Hochspannungsleitung und Abschirmung führen über Klemmen 61 und 62 zu einem Hochspannungsgerät 63, in dem eine Spannung von etwa 10 000 kV erzeugt wird. Diese Hochspannung teilt sich durch die angegebene Leitungsführung der Kathode 13 mit und stellt die sogenannte Beschleunigungsspannung dar. Das obere Ende der , Abschirmung 60 ist elektrisch leitend mit dem Rohrstutzen 39 und damit mit dem Anodenpotential verbunden, auf dem auch die Vakuumkammer 43 liegt.

Es ist erkennbar, dass für die Leitung 31,32 und 33 keine 1 vakuumdichte Durchführungen benötigt werden. Bei der Spannungsdurchführung 64, die aus dem Gewindestift 56 und dem Durchführungsisolator 57 besteht, handelt es sich nicht um eine Hochstromdurchführung. Der hohe Heizstrom wird vielmehr erst innerhalb der Vakuumkammer 43 in der Sekundärwicklung > 49 gebildet. Die Spannungsdurchführung 64 liegt ausserordentlich gut geschützt im Inneren des Transformatorgehäuses 36, wobei man bei der praktischen Ausführung dafür sorgen wird, dass die Ausfräsung 55 auf der dem Verdampfer 10 abgewandten Seite zu liegen kommt. Der hohle Fortsatz 38 zwischen Pri-i märwicklung 34 und Sekundärwicklung 49 stellt im Prinzip die Trennwand zwischen Atmosphäre und Vakuum dar. Hierdurch wird der Transformator ein integriertes Bauteil der Vakuumanlage, der in Verbindung mit dem weiteren elektrischen Einrichtungen zu den eingangs beschriebenen Vorteilen führt.

1 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

621222 2 PATENTANSPRÜCHE

1. Strom Versorgungseinrichtung für Kathoden von in Vakuumkammern angeordneten Elektronenstrahlkanonen, insbesondere von Aufdampfkanonen mit magnetischer Strahlablenkung oder -fokussierung, bestehend aus einem Transformator 5 mit einer Primär- und einer Sekundärwicklung, Zuleitungen, welche in die Vakuumkammer eingeführt sind, sowie aus pha-senanschnittsgesteuerten elektrischen Stellgliedern für die Heizstromsteuerung, dadurch gekennzeichnet, dass

- der Transformator (35) in die Vakuumkammer (43) inte- m griert ist, wobei eine Trennwand für die Trennung von Atmosphäre und Vakuum zwischen Primär- (34) und Sekundärwicklung (49) angeordnet ist und die Primärwicklung sich in der Atmosphäre und Sekundärwicklung sich im Vakuum befindet,

- der Transformator (35) ein Mittelfrequenztransformator 15 für Frequenzen oberhalb 20 kHz ist, und

- dem Transformator eine Steuereinrichtung (21) mit impulsbreitengesteuerten Transformatoren (25,26) zur Zerhak-kung einer Gleichspannung mit Mittelfrequenz vorgeschaltet ist.

2. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch M gekennzeichnet, dass die Wicklungen (34,49) des Transformators (35) in einem Gehäuse (36) aus amagnetischem Werkstoff angeordnet sind, welches in die Vakuumkammer (43) eingesetzt ist und aus einem in die Vakuumkammer gerichteten, hohlen Fortsatz (38) sowie aus einer den Fortsatz unter Bildung eines 25 Ringraumes (47) vakuumdicht umschliessenden Kappe (40) besteht, dass die Primärwicklung (34) mit einem Eisenkern (48) mit Ringraum angeordnet ist und über einen Kanal (46) mit der Atmosphäre in Verbindung steht, und dass die Sekundärwicklung (49) innerhalb des hohlen Fortsatzes angeordnet ist, der m mit dem Innenraum der Vakuumkammer (43) in Verbindung steht.

3. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Transformatoren-Gehäuse (36) im wesentlichen rotationssymmetrisch ausgebildet ist und einen » Flansch (37) aufweist, aus dem auf einer Seite der hohle Fortsatz (38) koaxial hervorsteht, mit dem die Kappe (40) unter gleichzeitiger Abdichtung gegenüber dem Flansch verschraub-bar ist, und aus dem auf der anderen Seite ein Rohrstutzen (39) koaxial hervorsteht, in dem eine Spannungsdurchführung (64) 40 mit einem Durchführungsisolator (57) vakuumdicht angeordnet ist, der gleichzeitig als Stützisolator für die Sekundärwicklung (49) dient, welche an die Spannungsdurchführung angeschlossen ist.

4. Stromversorgungseinrichtung nach Anspruch 3, dadurch 45 gekennzeichnet, dass die Sekundärwicklung (49) im wesentlichen aus einem im Fortsatz (38) koaxial angeordneten Metallbolzen (50) besteht, der die koaxiale Verlängerung der Spannungsdurchführung (64) bzw. des Durchführungsisolators (57) darstellt und gegenüber dem Gehäuse (36) durch einen 50 Zylinderspalt (65) isoliert ist.