CH628137A5 - Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede. - Google Patents
Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede. Download PDFInfo
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Description
La présente invention a pour objet un procédé de mesure à l'aide d'une tête de mesure d'une machine à mesurer comprenant un palpeur et une tête de mesure pour la mise en œuvre de ce procédé. Le procédé et la tête de mesure permettent de déterminer la position des points de l'espace pour les quels un contact mécanique a lieu entre le palpeur et la pièce à mesurer.
On opère les machines à mesurer en fixant la pièce sur une table porte-pièce mobile et en amenant les points à mesurer dans le champ de la tête de mesure qui est capable de les repérer avec la précision voulue par rapport à une origine. Les positions de la tête de mesure elle-même et celle de la table étant déterminées par le système de mesure de la machine par rapport à une origine commune et selon les axes de coordonnées choisis, il est facile d'en déduire par le calcul la position des points mesurés par rapport à cette origine.
Il existe des têtes de mesure donnant un signal électrique «tout ou rien» aussitôt qu'un contact mécanique s'établit, au point à mesurer, entre leur palpeur et la pièce. Dans ce cas, pour connaître la position du point de contact, on procède en utilisant ce signal électrique pour «enregistrer au vol» ou «figer» les coordonnées indiquées par le système de mesure de la machine au moment du contact et on ajoute à ces dernières les constantes dues à la forme géométrique du palpeur.
Dans les réalisations connues de telles têtes de mesure, la génération du signal électrique a lieu en utilisant les procédés suivants:
- Le contact mécanique établit un courant électrique entre le palpeur et la pièce.
- Le ou les contacts électriques établissant le signal sont actionnés par le palpeur. Ils sont souvent montés sur des guidages à zéro degré de liberté maintenus par des ressorts (voir mémoire exposé DT 25 51361 et Brevet anglais no 1 447 613).
- Le palpeur actionne un élément dont la position est repérée par des moyens magnétiques, capacitifs ou photoélectriques produisant une tension analogique approximativement proportionnelle au déplacement de cet élément. (Mémoire exposé DT2611781).
Le signal utile du type «tout ou rien» est produit par un comparateur de tension lors du passage à zéro de cette tension analogique.
- Un système de jauge de contrainte à fil résistant ou à semi-conducteur est fixé sur le palpeur lui-même ou sur son support, fait par exemple de lames flexibles. Il transforme la déformation du palpeur ou de son support intervenant lors du contact avec la pièce en une tension analogique proportionnelle.
(Brevet français No 73 23 193, No de publication 2 235 351.) Comme le cas précédent, le passage à zéro de cette tension est repéré par un comparateur de tension qui produit un signal tout ou rien. Ces systèmes sont affectés, en général, des défauts suivants:
1. Qualité inconstante du contact électrique
2. Vibration du contact électrique
3. Manque de rigidité, fragilité
4. Précision de la mesure dépendante de la longueur du palpeur.
Le brevet anglais 932069 fait état d'un palpeur constitué d'un cristal piézoélectrique vibrant à sa fréquence de résonance et entretenu à cette fréquence par un circuit oscillant. L'application dudit palpeur est limitée à celle de signaler l'avance de l'outil de coupe d'un tour. Ledit palpeur décèle l'instant de passage de l'outil provenant toujours d'une même direction. Une telle exécution ne peut être envisagée pour une application universelle comme dans une tête de mesure, où la direction dans laquelle on mesure est quelconque, mais où la précision de la mesure doit rester invariante. Aussi, dans le brevet anglais, le palpeur lui-même est constitué du cristal piézoélectrique et cette construction le rend très fragile et vulnérable à des chocs intempestifs.
Le but de l'invention est de fournir un procédé de mesure et une tête de mesure fiable pour sa mise en œuvre, où le contact avec un objet de mesure fournit à coup sûr un signal et où de faux signaux ne sont pas créés lors de la libération du contact mécanique avec l'objet de mesure ou lors de mouvements brusques de la tête, cette tête étant aussi précise que les têtes de mesure connues et économique.
A cet effet, le procédé de mesure objet de l'invention est s
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caractérisé en ce qu'on met lé palpeur en vibration à sa fréquence de résonance, en ce qu'on place ce palpeur en contact mécanique avec l'objet à mesurer, en ce qu'on détecte la perturbation de la vibration provoquée par ledit contact mécanique, et en ce qu'on relève la position du palpeur au moment précis où cette perturbation est détectée.
Le fonctionnement de la tête peut être tel que le dispositif de détection électronique associé au transducteur détecte une variation de la fréquence de l'oscillation lorsque le palpeur entre en contact mécanique avec l'objet de mesure. Le fonctionnement peut également être tel que le dispositif de détection électronique détecte une variation de l'amplitude de l'oscillation.
La tête de mesure pour la mise en œuvre de ce procédé comprend un palpeur relié à un support et est caractérisée par le fait qu'elle comporte un moteur qui fait vibrer à faible amplitude l'extrémité libre du palpeur à sa fréquence de résonance, et au moins un transducteur prévu pour capter les oscillations mécaniques du palpeur et relié à un dispositif de détection électronique destiné à détecter toute perturbation du signal émis par le transducteur provoquée par la mise en contact de l'extrémité libre du palpeur avec un objet à mesurer.
Le moteur peut être du type électro-magnétique, piézoélectrique ou électro-dynamique.
De même, le transducteur qui transforme l'oscillation mécanique du palpeur en un signal électrique, peut être du type électro-magnétique, piézo-électrique ou électro-dyna-mique.
L'oscillation du palpeur peut être obtenue par auto-entretien en amplifiant la tension émise par le transducteur dans un amplificateur électronique et en la transmettant au moteur avec la phase convenable. Une autre façon de procéder est d'alimenter le moteur soit avec un générateur accordé sur la fréquence propre du palpeur, ou avec un générateur synchronisé sur la fréquence propre du palpeur.
Le dispositif de détection électronique peut signaler la perturbation d'une des grandeurs physiques de l'oscillation du palpeur: soit son ampHtude ou sa fréquence.
Suivant le moteur utilisé, on pourra imprimer une oscillation plane ou un mouvement rotatif au palpeur.
La tête de mesure en accord avec l'invention peut se réaliser selon quatre schémas différents. Selon une première variante, le moteur et le transducteur sont fixés au support du palpeur. Selon une deuxième variante, le moteur et le transducteur sont fixés au palpeur lui-même. Selon une troisième variante, le moteur est fixé au support du palpeur et seulement le transducteur est fixé au palpeur.
Selon la quatrième variante, le moteur et le transducteur sont fixés au support du palpeur et un transducteur additionnel est fixé au palpeur lui-même.
La tête de mesure peut être construite de sorte que le palpeur soit rigidement lié à une partie d'un support de Boys. Le support de Boys est lui-même maintenu dans la tête de mesure sous l'effort d'un ressort hélicoïdal en compression.
La tête de mesure peut comporter un dispositif de transmission sans fil du signal de sortie du dispositif de détection utilisant soit des ondes radioélectriques, soit un système optique, soit un système à ultra-sons.
Dans les têtes de mesure selon les troisième et quatrième formes d'exécution, le signal perturbé émis par le transducteur fixé au palpeur est celui d'une tension croissante. Dans ces cas, le dispositif de détection électronique annoncera le dépassement d'un seuil supérieur de la tension.
Les avantages de la tête de mesure en accord avec l'invention sont nombreux.
En premier lieu, il dispose d'une grande sensibilité grâce au dispositif de détection. Sa bonne marche n'est pas sujette au fonctionnement peu fiable d'un contact électrique pouvant se salir, gripper, déformer.
Ensuite, il n'est pas sujet aux inconvénients des têtes avec palpeurs statiques, qui peuvent se mettre à vibrer légèrement lorsqu'ils ne sont plus en contact avec l'objet de mesure et donner de faux signaux. Avec la tête de mesure en accord avec l'invention, la détection de l'instant de contact est sans équivoque.
La construction de la tête de mesure en accord avec l'invention lui confère la rigidité voulue et la robustesse pour supporter des chocs même violents sur le palpeur, du fait que le ressort cède sous l'effet d'efforts intempestifs.
La précision de la mesure fournie par la tête ne dépend que dans une faible mesure de la longueur du palpeur. De plus, la mesure ne dépend aucunement de la température. Il n'y a pas de contacts qui pourraient être sujets à des dilatations thermiques.
La précision de mesure est très grande. En général, l'amplitude des vibrations à l'extrémité du palpeur selon la première forme d'exécution sont de l'ordre de ±0,1 [xm, ce qui permet une précision de mesure de la tête voisine de ± 1 [i. En effet, l'ensemble palpeur, moteur, transducteur peut être construit très solidement, et l'utilisation du support de Boys, en bloquant les 6 degrés de liberté, garantit une mise en place rigoureuse.
L'exécution est simple: le nombre de pièces est peu élevé et il n'y a pas d'usinages très précis, même en ce qui concerne le support de Boys.
Les figures en annexe représentent, à titre d'exemple, quelques formes possibles d'exécution de la tête de mesure, objet de l'invention. Toutes les variantes possibles ne sont pas représentées. En ce qui concerne les variantes représentées, la portée de l'invention ne se limite pas non plus à la forme des illustrations.
La figure 1 est une vue en coupe de la tête de mesure, avec son dispositif de détection schématisé par des blocs.
La figure 2a est une vue de dessous de la partie fixe du support de Boys de la tête de la figure 1.
La figure 3 est une coupe selon la ligne A—A de la figure 1.
Les figures 4,5a et 5b représentent des vues analogues à celles des figures 1, 2a et 2b d'un deuxième mode de réalisation de la tête de mesure.
Les figures 6 et 7 représentent de manière analogue à celle des figures 1 et 4 un troisième et un quatrième modes de réalisation de l'invention.
La figure 8 représente le schéma du circuit amplificateur A, des figures 1,4,6 et 7.
La figure 9 représente le schéma du circuit de détection D des figures 1,4 et 6.
Les figures 10 à 10c illustrent un mode de réalisation de l'invention dans lequel on imprime un mouvement circulaire au palpeur.
La figure 11 représente schématiquement une tête de mesure mettant en œuvre un générateur G.
En ce qui concerne la structure et le fonctionnement des supports de Boys auxquels il est fait référence dans la présente description, on notera qu'ils sont connus et décrits par exemple dans: «Métrologie Générale de MM. Basière et Gagnebet p. 400 éd. Dunod 1966. Il suffira de savoir que ces supports comprennent généralement une partie mobile (Si) (figures 1 à 3) et une partie fixe (S2) montées de façon à former un système à zéro degré de liberté au moyen de demi-billes (bi), (b2), (b3) solidaires de la partie mobile (Si), qui viennent s'engager dans des rainures prismatiques (ki), (k2) et (k3) de la partie fixe (S2).
Comme on le voit au mieux sur les figures 1,4,6 et 7, la tête de mesure selon l'invention comprend:
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- un support (S) permettant de la fixer à la machine,
- un fond (F) avec anneau sur lequel vient se fixer la partie fixe du support de Boys S2.
La partie mobile du support de Boys (SI) est tenue en place par le ressort (R) dont la force contre-balance l'effet de la pression de contact du palpeur (P) sur la pièce, empêchant la partie mobile (SI) du support de basculer sur ses billes, si cette force est inférieure à une certaine valeur. Tant que les supports (SI) et (S2) sont maintenus l'un contre l'autre par le ressort (R), ils forment un ensemble dont les 6 degrés de liberté sont bloqués. En cas de basculement, le ressort (R) est chargé de ramener les 2 supports l'un contre l'autre.
Dans l'exécution représentée à la fig. 1, le moteur (M) est un électroaiment et le transducteur (T) est un barreau aimanté, supportant une bobine. (Al) est un amplificateur électronique.
L'ensemble formé par le moteur (M) et le transducteur (T) permet de faire osciller le palpeur (P) à sa fréquence de résonance avec l'aide de l'amplificateur (Al).
En effet, si une tension de forme sinusoïdale est branchée aux bornes 3 et 4 du moteur (M) à la fréquence de résonance mécanique du palpeur (P), ce dernier se met à vibrer. Les variations de flux magnétique qui en résultent dans le transducteur (T) provoquent l'induction d'une tension à ses bornes 1 et 2.
Cette dernière est utilisée comme tension de réaction et, après amplification dans l'amplificateur (Al), avec la phase convenable, elle produit la tension aux bornes 3 et 4, fermant ainsi la boucle de réaction.
Aussitôt que le palpeur touche la pièce, l'oscillation est perturbée, sa fréquence change, elle s'amortit puis s'arrête, et le système de détection électronique, ou détecteur (D) donne son signal à la sortie (O). La pression sur le palpeur augmentant, le support (SI) bascule sur ses billes, d'un angle déterminé par l'amplitude du mouvement du palpeur.
Aussitôt que le palpeur est dégagé, (S 1 ) revient en place grâce au ressort (R) et le palpeur oscille à nouveau. En général, la tête est prête pour une nouvelle mesure environ 50 ms après avoir été dégagée.
L'exécution selon les figures 4 et 5 utilise comme moteur (M) les sandwiches de cristaux piézoélectriques (Cri) et (Cr2) de polarité inverse alors que le transducteur (T) est formé par les sandwiches (Cr3) et (Cr4) aussi de polarité inverse. Ces cristaux sont serrés avec une certaine précontrainte par la vis (V) entre l'écrou (E) et le support (SI).
La Fig. 5a montre une coupe B-B' dans laquelle apparaît la partie mobile (SI) du support de Boys portant les billes (bi), (b2), (b3), ainsi que la face des cristaux piézo-électriques (Cri) et (Cr3). La Fig. 5b montre le support fixe (S2) qui est identique à celui de la figure 1.
Si on alimente les bornes 3 et 4 avec une tension sinusoïdale dont la fréquence correspond à celle de la résonance mécanique du palpeur (P), l'effet piézo-électrique provoque des variations d'épaisseur des cristaux moteurs (Cri) et (Cr2) au rythme de cette fréquence et mettent en vibration le palpeur. Les tensions mécaniques qui en résultent dans les cristaux (Cr3) et (Cr4) du transducteur font apparaître aux bornes 1 et 2 une tension électrique. Cette dernière (comme dans le cas du système électromagnétique), utilisée comme tension de réaction, est amplifiée dans l'amplificateur (Al) avec la phase convenable, afin de fournir la tension aux bornes 3 et 4.
La détection de la touche se fait de la même manière par le détecteur (D) et avec les mêmes propriétés qu'avec le système électromagnétique mentionné plus haut.
L'exécution de la Fig. 6 comporte le même type d'éléments que celle de la Fig. 4, mais dans le but d'obtenir un palpeur le plus long possible tout en conservant une fréquence de vibration élevée et par là un temps de réponse court, l'ensemble moteur transducteur a été monté sur une tige (P'). A partir de cet endroit, le palpeur se prolonge en (P). Cette partie courte et légère a une fréquence propre élevée, donc un balayage à fréquence élevée.
L'exécution de la tête de la Fig. 7 correspond à celle de la Fig. 4 mais le palpeur (P) est remplacé par une tige (P') qui comporte à son extrémité un sandwich de cristaux piézoélectriques (Cr 5') et (Cr 6') associé à un palpeur (P).
La détection de la touche a lieu au moyen de deux dispositifs électroniques séparés dont l'un est raccordé à la sortie de l'amplificateur (Al) aux points 3 et 4 et l'autre aux cristaux (Cr5') et (Cr6') aux points 5 et 6. Les signaux produits par ces 2 dispositifs sont transmis à un circuit disjonctif OU.
La fig. 7 représente aussi le schéma bloc du système de détection complet où
(Rei) et (Re2) sont des redresseurs de pointe
(Col) et (Co2) sont des comparateurs
(Fa) un filtre actif à bande étroite
(al) un amplificateur de charge
(OU) un circuit logique disjonctif
Le fonctionnement en est le suivant:
A des vitesses de mesure relativement lentes et très lentes, aussitôt que la bille (B) touche, les oscillations de la tige (P') sont amorties, changent de fréquence et s'arrêtent en un temps négligeable pour ces vitesses. Il en résulte que le dispositif électronique branché aux bornes 3 et 4 donne un signal qui apparaît à la sortie du comparateur Co2 et du circuit OU. Par contre, le choc de la bille B est insuffisant pour que les cristaux Cr5 et Cr6 génèrent une tension piézo-électrique telle qu'il apparaisse immédiatement un signal à la sortie de Co 1.
Lorsqu'on élève la vitesse de mesure, lors de la touche, le temps d'amortissement des oscillations n'est plus négligeable. Il en résulte que le signal à la sortie de Co2 n'apparaît que lorsque le point de touche est dépassé. Ceci provoque une erreur de mesure qui varie avec la vitesse, ce qui est gênant si cette dernière n'est pas constante.
Le dispositif formé par les cristaux (Cr5') et (Cr6'), l'amplificateur (al), le redresseur (Rei) et le comparateur (Col) permet d'éviter cet inconvénient. En effet, la puissance de choc augmentant avec la vitesse, la tension générée par les cristaux (Cr5') et (Cr6') devient assez élevée pour faire apparaître sans retard un signal aux bornes de (Col) et à la sortie du circuit disjonctif OU.
On remarquera que pour traverser la porte OU, les comparateurs (Col) et (Co2) fournissent un signal logique de même nature, mais que (Co 1) commute lorsque le signal venant du redresseur (Rei) croît au-dessus d'une certaine valeur, alors que (Co2) le fait lorsque le signal provenant du redresseur (Re2) décroît en dessous d'une certaine valeur.
La partie électronique des différentes exécutions est réalisée de la manière suivante:
1. Le détail du système amplificateur (Ai) des figures 1,4, 6 et 7 est représenté à la Fig. 8
(al) est un amplificateur de charge tel qu'il décrit dans: Linear Integrated Circuit Application de G.B. Clayton pages 34 à 36.
(<p) est un déphaseur ajustable qui est réalisé simplement avec un filtre R.C. passe-bas ajustable avec un réglage de gain.
(a2) est un amplificateur dont la puissance et l'amplification est adaptée au moteur.
2. Le détail du détecteur de signal (D) des figures 1,4 et 6 est représenté à la fig. 9.
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Il est composé d'un filtre actif (Fa) à bande étroite accordé sur la fréquence de résonance de l'oscillateur, d'un redresseur de pointe (Re) et d'un commutateur (Co) dont le seuil est ajustable par le potentiomètre (Po). (Co) commute lorsque le signal provenant de (Re) décroît en dessous du seuil.
Les structures de (Fa) et de (Co) sont décrites dans:
Integrated Electronics Millmann-Halkias aux pages 556 et 519.
Une autre solution est d'utiliser le circuit intégré FX-105 de la maison Consumer Microcircuit Ltd, en Angleterre, décrit dans: Der Elektroniker No 7/1975 ou d'autres circuits intégrés du commerce.
Le détail des éléments Rei, Re2, Col, Co2, Fa et al du schéma bloc de la figure 7 peut être repris des figures 8 et 9.
En remplaçant, dans les figures 1,4,6 et 7 les moteurs et transducteurs monophasés par des systèmes triphasés à «champ tournant», on peut faire décrire un cercle à l'extrémité du palpeur et obtenir ainsi un exploration circulaire.
Un tel système, réalisé avec des cristaux piézo-électriques, est représenté aux figures 10a, 10b et 10c.
Les figures 10a et 10b représentent la disposition des cristaux alors que la figure 10c donne le schéma du générateur triphasé électronique tel qu'on peut le trouver dans le livre de R. Damaye à la page 33: «Les Oscillateurs, Générateurs et Conformateurs de signaux» Editions techniques et scientifiques françaises.
Pour les exécutions à balayage circulaire selon les figures 4 et 6, les sandwiches (Cri), (Cr2), (Cr3), (Cr4) sont remplacés par le système triphasé (Cri), (Cr2), (Cr3), (Cr4), (Cr5), (Cr6) et l'amplificateur Al par la partie électronique correspondante de la figure 10c. Le détecteur de signaux (D) peut être branché entre 1 et 2 de la figure 10c et est conforme au dispositif de la fig. 9.
En ce qui concerne l'exécution à balayage circulaire selon la Fig. 7, les sandwiches (Cri), (Cr2), (Cr3), (Cr4) sont remplacés par le système triphasé (Cri), (Cr2), (Cr3), (Cr4), (Cr5), (Cr6) et l'amplificateur (Al) par la partie électronique correspondante de la Fig. 10c alors que le sandwich formé par (Cr5') et (Cr6'), placé en bout de palpeur et le système de s détection (D) restent inchangés.
Si, dans les figures 1,4 et 6 on interrompt la boucle de réaction à l'entrée du moteur, en alimentant ce dernier par un générateur électronique ou électro-mécanique, dont la fréquence correspond à la fréquence propre du palpeur, tel io qu'un générateur à diapason décrit dans le livre de Damaye, «Les Oscillateurs, Générateurs et Conformateurs de signaux» à la page 99, le détecteur (D) signalera les changements de l'impédance de transfert dus à la touche du palpeur. Le schéma bloc sera alors celui de la Fig. 11 et le schéma élec-15 trique du détecteur (D) sera conforme à celui de la Fig. 9, avec ou sans filtre (Fa).
On peut également envisager un générateur (G) synchronisé sur la fréquence propre du palpeur (P) s'il est lui-même 2# commandé par la tension émise du transducteur (T) sur le support. Une telle liaison est indiquée par la ligne en pointillé. Il est évident que les formes d'exécution présentées avec des moteurs et ou des transducteurs piézo-électriques peuvent être réalisées au moyen de dispositifs électro-magnétiques ou électro-dynamiques. Un exemple d'utilisation de ces derniers pour l'entretien des vibrations des diapasons est décrit dans le livre de Damaye: «Les Oscillateurs, Générateurs et Conformateurs de signaux» en pages 99,101 et 109.
Vu la miniaturisation des circuits réalisables avec l'électro-30 nique moderne, les circuits des divers schémas blocs peuvent trouver place dans la tête de mesure elle-même. Dès lors, il peut s'avérer avantageux de pouvoir transmettre le signal de sortie du système de détection (D) ou du circuit disjonctif ou par voie sans fil au système de mesure. La transmission 35 pourra se faire par ondes radio-électriques, par voie optique ou par ultra-sons.
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6 feuilles dessins
Claims (11)
1. Procédé de mesure à l'aide d'une tête de mesure d'une machine à mesurer comprenant un palpeur, caractérisé en ce qu'on met le palpeur (P) en vibration à sa fréquence de résonance, en ce qu'on place ce palpeur en contact mécanique avec l'objet à mesurer, en ce qu'on détecte la perturbation de la vibration provoquée par ledit contact mécanique, et en ce qu'on relève la position du palpeur au moment précis où cette perturbation est détectée.
2. Tête de mesure pour la mise en œuvre du procédé selon la revendication 1, comprenant un palpeur relié à un support, caractérisée en ce qu'elle comporte un moteur (M) qui fait vibrer à faible amplitude l'extrémité libre du palpeur (P) à sa fréquence de résonance, et au moins un transducteur (T) prévu pour capter les oscillations mécaniques du palpeur et relié à un dispositif de détection électronique (D) destiné à détecter toute perturbation du signal émis par le transducteur provoquée par la mise en contact de l'extrémité libre du palpeur avec un objet à mesurer.
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REVENDICATIONS
3. Tête de mesure selon la revendication 2, caractérisée en ce que le moteur (M) est d'un type au groupe des moteurs électromagnétique, piézoélectrique et électrodynamique.
4. Tête de mesure selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisée en ce que le transducteur (T) est d'un type appartenant au groupe des transducteurs électromagnétique, piézoélectrique et électrodynamique.
5. Tête de mesure selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisée en ce que le moteur (M) et le transducteur (T)
sont fixés au support du palpeur.
6. Tète de mesure selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisée en ce que le moteur (M) et le transducteur (T)
sont fixés au palpeur (P).
7. Tête de mesure selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisée en ce que le moteur (M) est fixé au support du palpeur et en ce que le transducteur (T) est fixé au palpeur
(P).
8. Tête de mesure selon la revendication 5, caractérisée en ce que le moteur (M) est fixé au support du palpeur, en ce qu'un premier transducteur est fixé au support du palpeur et en ce qu'un deuxième transducteur est fixé au palpeur lui-même.
9. Tête de mesure selon l'une des revendications 2 à 8, caractérisée en ce que le support du palpeur est un support de Boys (Si, S2) maintenu dans la tête sous l'effet d'un ressort (R).
10. Tête de mesure selon l'une des revendications 2 à 9, caractérisée en ce que la vibration imprimée par le moteur (M) sur le palpeur (P) est une oscillation plane.
11. Tête de mesure selon l'une des revendications 2 à 9, caractérisée en ce que la vibration imprimée par le moteur (M) sur le palpeur (P) est un mouvement rotatif.
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| CH1175877A CH628137A5 (fr) | 1977-09-27 | 1977-09-27 | Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede. |
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| CH1175877A CH628137A5 (fr) | 1977-09-27 | 1977-09-27 | Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede. |
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