CH643652A5 - Dispositif pour la mesure capacitive de deplacements. - Google Patents

Dispositif pour la mesure capacitive de deplacements. Download PDF

Info

Publication number
CH643652A5
CH643652A5 CH331681A CH331681A CH643652A5 CH 643652 A5 CH643652 A5 CH 643652A5 CH 331681 A CH331681 A CH 331681A CH 331681 A CH331681 A CH 331681A CH 643652 A5 CH643652 A5 CH 643652A5
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
measurement
electrodes
openings
scale
reader
Prior art date
Application number
CH331681A
Other languages
English (en)
Inventor
Hans Ulrich Meyer
Original Assignee
Hans Ulrich Meyer
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hans Ulrich Meyer filed Critical Hans Ulrich Meyer
Publication of CH643652A5 publication Critical patent/CH643652A5/fr

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2412Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap
    • G01D5/2415Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap adapted for encoders

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

L'invention se rapporte à un dispositif pour la mesure capacitive de déplacements, comprenant une échelle, d'une part, et un lecteur de mesure, d'autre part, ce dernier étant muni d'une série d'électrodes émettrices et d'au moins une électrode réceptrice.
Les dispositifs connus de ce genre comprennent une échelle portant une série d'électrodes et un lecteur de mesure comprenant une ou plusieurs électrodes, dont la position peut être déterminée par une mesure de capacité simple ou différentielle. Dans tous ces dispositifs, on cherche à diviser une grande plage de mesure en de petites plages de façon que les erreurs de transmission qui sont dues à un manque de précision dans les fonctions de transmission ne nuisent pas de façon sensible à la précision de la mesure.
Ainsi, une imprécision donnant une erreur de 1 % correspond à une erreur de 1 mm sur une mesure de 1 m. Par contre, si l'échelle est construite de façon à permettre une plage de mesure de 1 mm, l'erreur due à la transmission n'atteint que 1 um. Pour compenser les erreurs de division, on a intérêt à effectuer la mesure simultanément sur plusieurs divisions. Dans ce cas, la capacité simple ou différentielle est constituée par plusieurs capacités élémentaires successives.
L'invention a pour but d'offrir un dispositif du genre précité dans lequel l'échelle peut être réalisée le plus simplement possible.
A cet effet, le dispositif selon linvention est caractérisé en ce que l'échelle est constituée par un corps électriquement conducteur, présentant des ouvertures régulièrement espacées, ce corps traversant le lecteur de mesure de façon telle que les ouvertures constituent avec lesdites électrodes un condensateur différentiel formé par plusieurs condensateurs élémentaires, ce condensateur étant variable en fonction de la position dudit corps par rapport au lecteur de mesure.
Grâce à ces particularités, une telle échelle peut être construite très simplement, tout en présentant d'excellentes qualités au point de vue de la précision de la mesure. Un autre avantage réside dans le fait que le corps peut être alllongé, tout en restant dans sa limite d'élasticité, ce qui rend possible l'ajustage de la mesure. Enfin, le corps peut être mis au potentiel de la masse et, de ce fait, ne nécessite pas de connexion électrique.
Le dessin annexé représente, schématiquement et à titre d'exemple, une forme d'exécution de l'objet de l'invention.
La fig. 1 est une vue en perspective de l'échelle et du lecteur de mesure.
La fig. 2 est une coupe du lecteur de mesure et de l'échelle faite transversalement à la direction de la mesure.
La fig. 3 est une coupe longitudinale du lecteur de mesure montrant les électrodes émettrices.
La fig. 4 est une coupe montrant l'électrode réceptrice.
La fig. 5 représente schématiquement la disposition des électrodes.
La fig. 6 est une coupe d'une échelle présentant des parties remplies par un diélectrique.
Comme le montrent les fig. 1 et 2, le dispositif comprend une échelle constituée d'une bande métallique 10 et d'un lecteur de mesure 20. La bande 10 présente des ouvertures rectangulaires 11 régulièrement espacées, l'entre-axe étant désigné par T. Le lecteur 20 comporte une surface 21 portant des électrodes émettrices et une surface 28 portant une électrode réceptrice.
La bande 10 est disposée entre ces surfaces 21, 28. La surface 21, qui est visible à la fig. 3, comprend un multiple entier de 2N électrodes. Dans le cas représenté, 2N = 4.
L'entre-axe entre ces électrodes 22, 23, 24 et 25 est de T2N, donc dans le cas présent T/4, de sorte que, pour la valeur T de l'entre-axe des ouvertures 11 de la bande 10, on compte 2N, c'est-à-dire 4 électrodes.
Les électrodes sont connectées par des lignes 27 à un dispositif électronique de façon que N électrodes, dans le présent cas 2 électrodes, constituent au point de vue électrique une première plaque d'un condensateur différentiel. Les N électrodes suivantes constituent la deuxième plaque de ce condensateur différentiel. La plaque commune du condensateur différentiel est formée par la partie de l'électrode réceptrice 29 qui se trouve en regard de l'ouverture correspondante 11 de la bande 10, comme le montre la fig. 5.
De cette façon, les électrodes du lecteur 20 constituent, avec les ouvertures 11 de la bande 10, une série de condensateurs différentiels de même sens, qui sont interconnectés pour former un condensateur différentiel unique. On voit que la variation de la capacité différentielle est proportionnelle au déplacement de la bande. Si le déplacement de la bande dépasse une valeur déterminée, des moyens électriques décalent d'une électrode la répartition des électrodes émettrices.
La mesure peut être effectuée au moyen de différents circuits électriques connus, par exemple par celui décrit dans le brevet allemand No 2218824.
La mesure de la capacité différentielle donne donc une mesure de précision et, dès que cette mesure dépasse une valeur déterminée, la graduation est déplacée dans le sens de déplacement de l'échelle, de sorte que les plaques, qui sont formées de N électrodes, suivent le déplacement des ouvertures 11 de la bande 10 par des pas valant T/2N au point de vue électrique, c'est-à-dire dans le cas présent par des pas valant T/4, ce qui donne la mesure approchée.
La mesure exacte est la somme de la mesure de précision et de la mesure approchée.
Jusqu'ici, il n'a pas été tenu compte des deux ouvertures 11 de la bande 10 qui dépassent les bords des électrodes émettrices extérieures de la rangée et qui ne sont donc recouvertes que partiellement par les électrodes émettrices. En se reportant aux fig. 3 et 4, on voit que la somme des capacités partielles en regard de ces deux ouvertures correspond exactement à la capacité partielle d'une seule ouverture située à l'intérieur de la série d'électrodes émettrices. En d'autres termes, l'erreur qui se produit à une extrémité de la série d'électrodes est compensée par l'erreur qui se produit à l'autre extrémité, et cela pour autant que l'une des conditions suivantes soit respectée:
1) L'électrode réceptrice 29 doit être plus courte que la série des électrodes émettrices et présenter une longueur qui est un multiple entier de la distance T constituant l'entre-axe des ouvertures.
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
3
643 652
2) L'électrode réceptrice doit être aussi longue ou même plus longue que la série des électrodes émettrices. Dans ce cas, la longueur de la rangée des électrodes émettrices doit être égale à un multiple entier de la distance T. Dans les deux cas, il est désirable, pour éviter les effets de bord, ainsi que les parasites externes, d'entourer les électrodes 29 au moyen d'une surface 26 mise à la masse, comme montré aux fig. 3 et 4.
Pour éviter que des impuretés puissent se fixer dans les ouvertures de la bande 10 et pour protéger cette bande au point de vue mécanique et chimique, il est possible de la recouvrir d'une couche protectrice 12 présentant de bonnes propriétés diélectriques, cette 5 couche pouvant être par exemple en Téflon, comme montré à la fig. 6. Cela ne modifie en rien le fonctionnement du dispositif.
R
1 feuille dessins

Claims (6)

643 652
1. Dispositif pour la mesure capacitive de déplacements, comprenant une échelle (10), d'une part, et un lecteur de mesure (20),
d'autre part, ce dernier étant muni d'une série d'électrodes émettri-ces (22 à 25) et d'au moins une électrode réceptrice (29), caractérisé en ce que l'échelle (10) est constituée par un corps électriquement conducteur, présentant des ouvertures (11) régulièrement espacées, ce corps (10) traversant le lecteur (20) de mesure de façon telle que les ouvertures (11) constituent avec lesdites électrodes (22 à 25 et 29) un condensateur différentiel formé par plusieurs condensateurs élémentaires, ce condensateur étant variable en fonction de la position dudit corps (10) par rapport au lecteur (20) de mesure.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ouvertures (11) dans le corps (10) et les électrodes (22 à 25 et 29)
sont de forme rectangulaire de façon à obtenir une correspondance linéaire entre le déplacement et la variation de la capacité différentielle.
2
REVENDICATIONS
3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ouvertures (11) du corps sont remplies d'un diélectrique (12).
4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le corps (10) est constitué par une bande élastique, des moyens étant prévus pour tendre cette bande.
5. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que la longueur de l'électrode réceptrice (29) dans le sens du déplacement est un multiple de l'entre-axe (T) des ouvertures (11).
6. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 4, caractérisé en ce que le corps (10) est constitué par un support isolant recouvert d'une couche conductrice.
CH331681A 1980-05-27 1981-05-21 Dispositif pour la mesure capacitive de deplacements. CH643652A5 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3020411A DE3020411C2 (de) 1980-05-27 1980-05-27 Vorrichtung zum Messen der Verschiebung zweier Körper

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH643652A5 true CH643652A5 (fr) 1984-06-15

Family

ID=6103514

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH331681A CH643652A5 (fr) 1980-05-27 1981-05-21 Dispositif pour la mesure capacitive de deplacements.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4449179A (fr)
JP (1) JPS5761914A (fr)
CH (1) CH643652A5 (fr)
DE (1) DE3020411C2 (fr)
FR (1) FR2483603B1 (fr)
GB (1) GB2078966B (fr)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1152526B (it) * 1982-09-03 1987-01-07 Giacomo Giacomello Trasdutture a nastro metallico per misure micrometriche di grandezze lineari
DE3301741A1 (de) * 1983-01-20 1984-07-26 Bosch Gmbh Robert Kraftstoffpumpe mit permanentmagnetischer vorerregung und geregeltem kolbenhub
US4606008A (en) * 1983-07-25 1986-08-12 Cain Encoder Company Angular position detector
DE3440221C2 (de) * 1984-11-03 1993-11-18 Mauser Werke Oberndorf Meßuhr mit digitaler Anzeigeeinheit
AT383212B (de) * 1985-07-10 1987-06-10 Rsf Elektronik Gmbh Laengenmesssystem fuer werkzeugmaschinen
CH665714A5 (fr) * 1985-11-22 1988-05-31 Hans Ulrich Meyer Dispositif de mesure capacitif de longueurs et d'angles.
JPS62156519A (ja) * 1985-12-27 1987-07-11 Mitsutoyo Mfg Corp 静電容量型エンコ−ダ
CH670306A5 (fr) * 1986-11-13 1989-05-31 Hans Ulrich Meyer
US4893071A (en) * 1988-05-24 1990-01-09 American Telephone And Telegraph Company, At&T Bell Laboratories Capacitive incremental position measurement and motion control
CH677044A5 (fr) * 1988-06-20 1991-03-28 Weber Hans R
US5049824A (en) * 1988-12-12 1991-09-17 Mitutoyo Corp. Phase discrimination type electrostatic capacity detector
US5070302A (en) * 1989-09-05 1991-12-03 Eastman Kodak Company Capacitance probe for measuring a width of a clearance between parts
CH685214A5 (fr) * 1991-10-15 1995-04-28 Hans Ulrich Meyer Capteur capacitif de position.
US5237307A (en) * 1991-11-27 1993-08-17 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Non-contact tamper sensing by electronic means
US5406715A (en) * 1992-07-07 1995-04-18 Mitutoyo Corporation Tape measure device
US5477621A (en) * 1993-04-26 1995-12-26 Mitutoyo Corporation Electrical capacitance instrument and manufacturing method of the same
US5731707A (en) * 1996-04-17 1998-03-24 Mitutoyo Corporation Method and apparatus for synthesizing spatial waveforms in an electronic position encoder
EP0836076B1 (fr) * 1996-10-11 2002-05-22 Brown & Sharpe Tesa S.A. Dispositif de mesure de dimension capacitif
CN1064754C (zh) * 1998-12-18 2001-04-18 赵飙 改进型电容性位移传感器
JP4350220B2 (ja) * 1999-08-06 2009-10-21 株式会社ミツトヨ 変位測定装置
CN1155794C (zh) 1999-12-02 2004-06-30 株式会社三丰 静电电容式变位检测装置
DE10008093B4 (de) * 2000-02-22 2007-07-05 Ifm Electronic Gmbh Kapazitives Füllstandsmessgerät
US6892590B1 (en) * 2003-11-04 2005-05-17 Andermotion Technologies Llc Single-balanced shield electrode configuration for use in capacitive displacement sensing systems and methods
US7802505B2 (en) 2004-04-15 2010-09-28 Milwaukee Electric Tool Corporation Dust collection assembly for a power tool
US7259695B2 (en) * 2004-09-17 2007-08-21 Andermotion Technologies Llc Low-profile multi-turn encoder systems and methods
RU2297605C1 (ru) * 2005-08-09 2007-04-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Саратовский государственный технический университет (СГТУ) Датчик перемещений
CN102988054A (zh) * 2012-11-23 2013-03-27 东华大学 一种柔性无线电子卷尺的智能化测量人体的装置及方法
CN103822571B (zh) * 2014-03-19 2016-11-02 重庆理工大学 基于单排多层结构的电场式时栅直线位移传感器
DE102022117186A1 (de) 2022-07-11 2024-01-11 Ewellix AB Positionsgeber, Linearaktuator und Verfahren zur Positionsbestimmung

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2925590A (en) * 1957-08-01 1960-02-16 North American Aviation Inc Capacitive pickoff
US3039051A (en) * 1959-08-12 1962-06-12 Zellweger Uster Ag Apparatus for gaging textile materials
US3312892A (en) * 1964-05-04 1967-04-04 Technology Instr Corp Of Calif Contactless electrical transducer having moving parts
US3487402A (en) * 1966-09-08 1969-12-30 Gen Electric Digital capacitance motion transducer
DE2149881B1 (de) * 1971-10-06 1973-02-01 Hartmann & Braun Ag Kapazitiver geber
GB1370233A (en) * 1972-01-06 1974-10-16 Goring Kerr Ltd Electrical sorting apparatus
CH539837A (de) * 1972-03-22 1973-07-31 Ulrich Meyer Hans Kapazitive Längenmesseinrichtung
JPS5412824B2 (fr) * 1972-04-20 1979-05-25
FR2213480B1 (fr) * 1973-01-08 1979-01-12 Cii
US3824460A (en) * 1973-04-02 1974-07-16 R Gustafson Leakage sensor
JPS5263361A (en) * 1975-11-19 1977-05-25 Fujitsu Ltd Static electricity angle detection device
SE411392B (sv) * 1977-12-09 1979-12-17 Inst Mikrovagsteknik Vid Tekni Metanordning for kapacitiv bestemning av det inbordes leget hos tva relativt varandra rorliga delar
FR2457003A1 (fr) * 1979-05-15 1980-12-12 Herve Marcel Capteur capacitif a dielectrique mobile

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5761914A (en) 1982-04-14
GB2078966A (en) 1982-01-13
JPH0136563B2 (fr) 1989-08-01
US4449179A (en) 1984-05-15
DE3020411A1 (de) 1981-12-24
DE3020411C2 (de) 1983-09-22
GB2078966B (en) 1984-04-18
FR2483603A1 (fr) 1981-12-04
FR2483603B1 (fr) 1986-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CH643652A5 (fr) Dispositif pour la mesure capacitive de deplacements.
EP0123646B1 (fr) Dispositif capacitif de mesure de force
EP1677083A1 (fr) Capteur de niveau d'un liquide.
WO2012160806A1 (fr) Capteur d'humidité capacitif
FR2929704A1 (fr) Detecteur capacitif, procede de fabrication d'un detecteur capacitif et dispositif de mesure l'integrant
EP2800957B1 (fr) Capteur de temperature capacitif comprenant deux condensateurs en pont diviseur de tension
EP0136200A1 (fr) Sonde de mesure de niveau de liquide dans un réservoir ou une conduite
NL8401143A (nl) Vochtbepalende meter met een dunne laag voor het meten van de absolute vochtigheid en werkwijze voor het vervaardigen hiervan.
FR2479452A1 (fr) Convertisseur de grandeurs mesurees parcours-frequence
DE4136995A1 (de) Kapazitiver drucksensor
FR2641072A3 (fr)
DE4141324A1 (de) Kapazitiver neigungssensor
FR2879395A1 (fr) Procede de gradation et d'arret de tension pour un composant a haute tension sur une carte a circuit imprime et dans un appareil de radiographie.
EP0141704B1 (fr) Filtre miniature hyperfréquence à résonateurs, constitués par des circuits bouchons, couplés par des condensateurs
EP4172514B1 (fr) Soufflet de protection pour articulation mécanique
BE1000714A3 (fr) Dispositif et procede pour mesurer la pression statique d'un fluide.
FR2482296A1 (fr) Transducteur de pression
FR2480937A1 (fr) Jaugeur de niveau de liquide
FR2474158A1 (fr) Transducteur fournissant des signaux caracteristiques du reglage en position longitudinale d'un composant mobile angulairement
EP1280169B1 (fr) Condensateur de mesure à haute stabilité thermique pour lignes électriques blindées à isolation gazeuse
FR2569836A1 (fr) Dispositif pour la mesure du diametre d'un fil
EP1688974B1 (fr) Condensateur à haute stabilité thermique pour des mesures sur des lignes haute-tension
CH645459A5 (fr) Calibre a coulisse a cadran de lecture.
EP0027067A1 (fr) Antenne plane bifilaire à rayonnement transversal et son application aux aériens radars
FR2569845A1 (fr) Dispositif resistif pour la detection de niveau et/ou volume de liquide dans un reservoir

Legal Events

Date Code Title Description
PL Patent ceased
PL Patent ceased