CH650859A5 - Vorrichtung zum messen duenner schichten mittels betastrahlen. - Google Patents

Vorrichtung zum messen duenner schichten mittels betastrahlen. Download PDF

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CH650859A5
CH650859A5 CH9590/80A CH959080A CH650859A5 CH 650859 A5 CH650859 A5 CH 650859A5 CH 9590/80 A CH9590/80 A CH 9590/80A CH 959080 A CH959080 A CH 959080A CH 650859 A5 CH650859 A5 CH 650859A5
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Helmut Fischer
Willi Steegmueller
Werner Volz
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Helmut Fischer Gmbh & Co
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B15/00Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
    • G01B15/02Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung gemäss dem Oberbegriff des unabhängigen Anspruchs 1.
Bei solchen Vorrichtungen kann man dann optimal messen, wenn der Abstand Punktquelle/Blende optimal ist. Die Entfernungen liegen hier grössenordnungsmässig im Bereich von 0,1 bis 1 mm, so dass Änderungen des Abstands die einmal eingestellte Optimierung sehr verschlechtern. Solche Abstandsänderungen können entweder willkürlich oder unwillkürlich auf der Benutzerseite eintreten.
Nachteilig an den seitherigen Vorrichtungen ist auch, dass nach dem Anlegen der Gleichspannung an das Geiger-Müller-Rohr die Eigenschaften der Vorrichtung sich noch eine Zeitlang ändern. Einen «eingeschwungenen» Zustand hat man erst nach längerer Zeit. Dies ist in der vorliegenden Technik deshalb nachteilig, weil ja Betastrahlen ohnehin nur statistisch erfassbare Messergebnisse zur Folge haben, so dass sich die Statistik noch mit einem anderen zeitabhängigen Vorgang überlagert. Ausserdem haben die seitherigen Vorrichtungen den Nachteil, dass sie nur zeitraubend umzurüsten sind. Es gibt unterschiedliche Messprobleme (unterschiedliche Stoffe auf unterschiedlichen Schichten, unterschiedliche Dicken, unterschiedliche Blenden für unterschiedlich gekrümmte Messgegenstände usw.) Manchmal eignet sich Promethium besser als Strahler, manchmal Tallium, manchmal Strontium.
Schliesslich berücksichtigen die bekannten Vorrichtungen auch nicht, dass jeder Strahler ein Individuum hinsichtlich des strahlenden Isotopes ist und dass jede Vorrichtung auf dieses Individuum abgestimmt werden muss.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung anzugeben, die auf wirtschaftliche Weise sämtliche oben genannten Nachteile vermeidet.
Erfmdungsgemäss wird diese Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 aufgeführten Merkmale gelöst.
Damit erhält man mindestens folgende Vorteile:
a) Es entsteht ein kompaktes Messelement, das ähnlich wie eine Sicherung oder ein Tubus eines Mikroskops oder eine Glühbirne leicht ausgewechselt werden kann.
b) Es ist auf einfache Weise möglich, die Vorrichtung auf kleinste Messunsicherheit einzustellen.
c) Da die Bauweise optimiert ist, kann man bei gleicher Genauigkeit mit kleineren Blenden arbeiten, so dass es z.B.
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möglich ist, die Blendenvielzahl in der Praxis auf zwei Messelemente herabzusetzen, wodurch sich erfahrungsgemäss 95% aller Anwendungen abdecken lassen.
d) Im Falle einer Reparatur lässt sich im Herstellerwerk die Konterung lösen, und es können dort die notwendigen Arbeiten durchgeführt werden. Der Kunde erhält dann die komplette, wiedereingestellte Vorrichtung.
e) Da man nunmehr eine Einheit geschaffen hat, kann man diese in eine Warteposition in einem Ständer ähnlich einem Batterieladeständer oder einem Reagenzglasständer unter Spannung halten, das Messelement behält seine Eigenschaften bei und die im Messgerät im Rechner gespeicherten Konstanten behalten unverändert ihre Gültigkeit.
Durch die Merkmale des Anspruchs 3 erreicht man, dass man durch eine einzige Einstellung die Vorrichtung justieren kann, denn man braucht dann nur noch die zwei Teiltuben gegeneinander zu verschieben.
Durch die Merkmale des Anspruchs 4 erreicht man eine besonders günstige Zuordnung der Baueinheiten, obwohl eine andere Zuordnung ebenfalls möglich wäre.
Durch die Merkmale des Anspruchs 5 erreicht man eine besonders einfache Feineinstellvorrichtung, die die Koaxiali-tät stets beibehält und mit der man z.B. eine 3°-Umdrehung ohne weiteres realisieren kann und entsprechend feine Abstandsveränderungen erhält.
Durch die Merkmale des Anspruchs 6 erreicht man, dass man einerseits das GM-Rohr lagerichtig im hinteren Teiltubus und auf einfache Weise positionieren kann und andererseits den vorderen Teiltubus mit der ihm zugeordneten Baueinheit auf einfache Weise positionieren und in der richtigen Lage kontern kann.
Durch dieMerkmale des Anspruchs 7 bekommt man eine einfache Kontaktierung, kann den vorderen Teiltubus zugleich als Halterungsmittel in einem Messtisch verwenden, hat eine niedrige Streukapazität und gelangt dementsprechend in hohe Zählraten und hat so einfache Kontaktierungs-möglichkeiten wie z.B. bei einer Batterie.
Durch die Merkmale des Anspruchs 8 gelingt es, der Vorrichtung auch zugleich den Arbeitswiderstand sehr kapazitätsarm zu geben.
Durch die Merkmale des Anspruchs 9 kann man die Trä-gervorrichtung einfach auf das GM-Rohr aufsetzen und sie einfach mit diesem verbinden, ohne dass ins Gewicht fallende Abschattungen der zurückgestreuten Betastrahlen auftritt.
Durch die Merkmale des Anspruchs 10 erreicht man einen patronenartigen, sehr kapazitätsarmen Einsatz.
Ein GM-Rohr gemäss den Ansprüchen 11 hat sich sehr bewährt im Hinblick auf optimales Erfassen energiearmer rückgestreuter Strahlung, Grösse der Strahlung auffangenden Fläche und der Notwendigkeit, im Inneren eines GM-Rohrs einen Unterdruck zu schaffen.
Durch die Merkmale des Anspruchs 12 erreicht man, dass man den Blendring auswechseln kann und die gleiche Vorrichtung mit unterschiedlichen Blendringen sehr vielseitig einsetzen kann, falls auf beste Optimierung (Minimierung der statistischen Fehler) verzichtet werden kann.
Durch die Merkmale des Anspruchs 13 erreicht man, dass die Punktquelle beim Auswechseln der Blendringe nicht beschädigt wird.
Bei der Vorrichtung waren auch noch folgende Dinge zu berücksichtigen:
1. An sich kann man GM-Rohre mit Unterdruck herstellen oder sie mit Gas füllen, das Unterdruck hat. Im vorliegenden Fall wurden gasgefüllte GM-Rohre verwendet, da sie einen grösseren Ausgangsimpuls abgeben.
2. Bei entsprechend nachgeschalteten Verstärkern können Proportionalzählrohre wie GM-Zählrohre verwendet werden.
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3. Es gibt auch Ionisationskammern als Kernstrahlungsdetektoren. Deren Wirkungsgrad steigt jedoch mit dem Kammervolumen, während es ja gerade Sinn der Erfindung ist, verhältnismässig kleine Vorrichtungen zu schaffen. 5 4. Derzeitig bekannte Halbleiterdetektoren entfallen, da sie keine bis heute zu GM-Rohren äquivalente Eigenschaften haben, noch sehr tief gekühlt werden müssen und die Kühlungsapparatur die Austauschbarkeit der Vorrichtungen praktisch unmöglich macht.
io 5. Es entfallen auch die Szintilationsrohre. Diese benötigen ein Fotomultiplier, welch letzteres die Vorrichtung teuer, voluminös, kompliziert und umfangreich machen würde.
Die Erfindung wird nunmehr anhand von bevorzugten Ausführungsbeispielen beschrieben. In der Zeichnung zeigen: 15 Fig. 1 eine Seitenansicht der Vorrichtung*
Fig. 2 eine explodierte Darstellung der Vorrichtung nach Figur 2, bei der sich jedoch die Kontaktfeder auf der Kathode befindet,
Fig. 3 eine Ansicht gemäss dem Pfeil A in Figur 1, 20 Fig. 4 eine Ansicht antiparallel zum Pfeil A in den vorderen Teiltubus hinein,
Fig. 5 die Stirnansicht der Trägervorrichtung, wie sie auf dem GM-Rohr sitzt,
Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie 6-6 von Figur 5 in 25 nochmals vergrösserter Darstellung,
Fig. 7 eine Seitenansicht der Kontaktfeder,
Fig. 8 eine Axialansicht der Kontaktfeder,
Fig. 9 eine Axialansicht des Konterrings,
Fig. 10 eine nochmals vergrösserte Schnittansicht durch 30 das GM-Rohr,
Fig. 11 eine Axialansicht in den hinteren Teiltubus hinein, Fig. 12 eine Ansicht gemäss dem Pfeil B in Figur 1, Fig. 13 die Anordnung des Schraubrings im hinteren Teiltubus, die räumliche Lage des Arbeitswiderstands und der 35 Kontaktplatte mit gestrichelt angedeutetem hinteren Teil des GM-Rohrs,
Fig. 14 einen Radialschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel im Bereich des Blendrings,
Fig. 15 eine Radialansicht eines Werkzeugs für die Vor-4o richtung samt der Vorrichtung, beide zusammen eingesetzt in einem Bereitstellungsständer.
Soweit nicht anderes angegeben, sind die Figuren dreifach vergrösserte Darstellungen des Originals. In Wirklichkeit ist die Vorrichtung also nicht einmal daumengross. 45 Die Erfindung umfasst einen ersten Teiltubus 21, einen zweiten Teiltubus 22, ein GM-Rohr 23 sowie einen Blendring 24 und eine Trägervorrichtung 26 für eine Punktquelle 27.
Die Erfindung wird nunmehr vom ausgehend beschrieben. Ein Lagerstein 28 entsprechend der DE-PS 20 13 270 so (US-PS 3 714 436, GB-PS 1 323 906) ist koaxial zu einer geometrischen Längsachse 29 angeordnet. Der Lagerstein hat eine durch ihn hindurchgehende Blendenöffnung 30, die mindestens in Teilbereichen koaxial ist und im vorliegenden Fall die Gestalt eines Radialschlitzes hat. Der Lagerstein 28 ist im 55 Blendring 24 gefasst, der einen Kegelstumpfmantel 31 umfasst, der koaxial angeordnet ist. Er geht in einen Ringansatz 32 über, hinter den eine eingestochene Ringnut 33 folgt. Von dort aus geht der Blendring 24, zu dem die oben bezeichneten Teile gehören, in den Teiltubus 21 über, der koaxial angeord-60 net ist und die Gestalt einer weitgehend kreiszylindrischen Mutter hat. Um in einer nicht dargestellten Messanordnung einen Halt zu finden, ist eine Quernut 34 als Sekante in den Mantel des Teiltubus 21 eingeschnitten. Ausserdem ist in den Mantel des Teiltubus 21 eine achsparallele Längsnut 36 einge-65 schnitten, die von vorne achsparallel zugänglich ist, so dass dort ein Mitnahmewerkzeug eingesetzt werden kann. Hinten hat der Teiltubus 21 eine radiale Stirnfläche 37, die einen Ring bildet. Innen hat der Teiltubus 21 einen koaxialen kreis-
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zylindrischen Hohlraum 38, der in den entsprechenden inne- befindet. Von rückwärts ist in dem Ionisationsraum 71 ein ren Hohlraum des Blendrings 24 übergeht. Die Innenwand Keramikkörper 76 luftdicht eingeklebt. Er ist kreiszylindrisch des Teiltubus 21 ist mit einem Feingewinde 39 versehen, das und hat in seinem hinteren Endbereich einen kleinen Flansch an der Stirnfläche 37 beginnt und sich nahezu über die ganze 77. Ferner hat er eine koaxiale Durchgangsbohrung 78, durch
Länge des Teiltubus 21 erstreckt. Mit Ausnahme des Lager- 5 die hindurch sich der Draht 73 erstreckt.
steins 28 sind die bislang beschriebenen Teile metallisch. Von rückwärts ist auf den Flansch 77 luftdicht ein
Der Teiltubus 22 besteht aus Resitex als Isolationsmate- Schraubsockel 79 geklebt, der aus Metall besteht, einen zum rial und ist ein Dielektrikum. Er ist koaxial zur Längsachse 29 Flansch 77 passenden Anschlussflansch 81 aufweist, der wie angeordnet. Mit seinem Aussen-Feingewinde 41 kann er in der Flansch 77 einen Aussendurchmesser hat, der kleiner ist das Innen-Feingewinde 39 eingeschraubt werden. Diese Paa- io als der Durchmesser des Sacklochs 49.
rung Metall/Kunststoff hat einen niederen Reibungswider- Der Anschlussflansch 81 geht nach einer radialen, kreisstand, so dass die Teiltuben 21,22 feinfühlig gegeneinander ringförmigen, nach innen springenden Stirnfläche 82 in ein verdreht werden können. Aussengewinde 83 über. Der Schraubsockel 79 hat eine ko-Das Feingewinde 41 geht hinten in einen kreisringförmi- axiale Durchgangsbohrung 84, in der sich der Draht 73 wei-gen, radialen Ansatz 42 über, so dass ein Zylinderkörper 43 is terhin erstreckt und galvanisch leitend mit dem Schraubsok-etwas grösseren Durchmessers folgt. Nach einer kreisringför- kel 79 verbunden ist. Auf die hintere Radialfläche 86 ist ein migen Stufe 44 folgt ein im Durchmesser wesentlich kleinerer aus Glas bestehender Abpumpstutzen 87 aufgeschmolzen, Sockel 46. In seinem Boden 47 ist eine Einsenkung 48 vorge- durch den vor dem Abschmelzen im Ionisationsraum 71 über sehen, die wie der Sockel 46 koaxial ist. Der Teiltubus 22 hat die Durchgangsbohrungen 78,84 ein genügender Unterdruck innen ein koaxiales kreiszylindrisches Sackloch 49. Von ihm 20 geschaffen werden kann. Das GM-Rohr 23 ist mit seinem aus führt eine Durchgangsbohrung 51 in die Einsenkung 48. Schraubsockel 79 fest in den Messingring 53 eingeschraubt, Im Zylinderkörper 43 ist gemäss Figur 2 und indirekt so dass die Stirnflächen 58 und 82 fest aneinander hegen und auch aus Figur 13 hervorgehend ein Langloch 52 vorgesehen, keine nachträgliche Verdrehung zugelassen wird. Im montier-das durch die Wand des Zylinderkörpers 43 vollständig hin- ten Zustand ragt damit der Abpumpstutzen 87 geschützt in durchgeht, etwa die Länge eines 1/10 Watt-Widerstands hat 25 den hinteren Bereich des Sacklochs 49, ohne den Boden 47 zu und in der Ansicht von Fig. 2 etwa unter 45° liegt. berühren. Der Abpumpstutzen 87 berührt auch nicht den Wi-
Ein Messing-Ring 53 ist koaxial angeordnet. Mit seiner derstand 61 noch das Bein 64, da diese radial weiter aussen kreiszylindrischen Aussenumfangsfläche 54 ist er an die liegen.
Wand des Sacklochs 49 angeklebt, und zwar in einer solchen Ist das GM-Rohr 23 in den Teiltubus 22 hineinge-
axialen Lage, dass die Aussenumfangsfläche 54 mit einem 30 schraubt, dann schaut nur etwa die Hälfte des Keramikkör-
entsprechenden Teilbereich 56 im gemäss Fig. 2 rechten End- pers 76 nach vorne über den Teiltubus 22 hinaus.
bereich des Langlochs 52 erscheint. Der Messingring 53 hat Die Trägervorrichtung 26 umfasst einen kreiszylindri-ein Innengewinde 57 sowie gemäss Fig. 13 rechts eine radiale sehen, koaxialen Ring 88 aus Metall, der einen etwas grösse-Stirnfläche 58. Der Messing-Ring 53 ist nur wenige Millime- ren Aussendurchmesser als die Kathode 67 hat. Der Ring 88 ter lang, dünn, damit massearm und stellt damit nur eine ge- 35 passt jedoch mit wenig Spiel - so dass sich eine Hilfs-Monta-ringe Kapazität gegenüber der Erde dar. In die Einsenkung 46 geführung ergibt - in den Innendurchmesser des Feingewin-ist eine metallene Kontaktscheibe 59 eingeklebt, die dort zwar des 39. Der Ring 88 ist mit seiner hinteren Stirnfläche 89 auf geschützt ist, jedoch den Sockel 46 nach hinten etwas der ebenfalls radialen Stirnfläche 68 festgeklebt. Die Aussen-überragt. wand des Rings 88 ragt also etwas über die Anode radial hin-Im Langloch 52 liegt ein 1/10 Watt-Widerstand 61 als Ar- 40 aus. Die Innenwand 91 des Rings 88 ist etwas nach aussen ge-beitswiderstand des GM-Rohrs 23. Da der Zylinderkörper 43 genüber der Innenwand der Kathode 67 versetzt und schattet dicker ist als der Durchmesser des Widerstands 61, hegt der daher den Ionisationsraum 71 nicht ab. Die Innenwand 91 Widerstand 61 geschützt im Langloch 52 und kann dort gege- geht an zwei 180° gegeneinander versetzten Stellen in eine ra-benenfalls auch vergossen sein. Sein rechtes Bein 62 ist mit ei- diale Speiche 92 über, die in Abschattungsrichtung dünn ist nem Lötpunkt 63 am Teilbereich 56 angelötet. Dies kann mit 45 und in der Mitte koaxial eine ringförmige Verdickung 93 aufHilfe heutiger Feinlötkolben durch das an sich kleine Lang- weist. Die Verdickung 93 hat ein koaxiales Durchgangsloch loch 52 hindurch geschehen. Das linke Bein 64 ist zweimal 94, in das die Punktquelle 27 von rückwärts bündig einge-rechtwinklig abgeknickt, verläuft teilweise im Aussenbereich klebt ist. Die Punktquelle 27 besteht aus einem Röhrchen 96 des Sacklochs 49, durchquert die Durchgangsbohrung 51 und von 0,2 mm Aussendurchmesser, das aus Betastrahlen absor-ist an die Kontaktscheibe 59 angelötet. 50 bierendem Material besteht. Obwohl eingangs auf den Mass-Auf dem Feingewinde 41 sitzt ein schmaler Konterring 66 stab der Zeichnungen hingewiesen worden ist, soll trotzdem mit entsprechendem Innenfeingewinde, dessen Aussendurch- nochmals zum Gcössenvergleich auf dieses Röhrchenmass messer wenig grösser als der Aussendurchmesser des Zylin- hingewiesen werden, da eventuell die notwendige Vergrösse-derkörpers 43 ist. Wenn man bei rotatorisch festgehaltenen rung die Wertschätzung für die Erfindung verfälschen kann. Teiltuben 21,22 den Konterring 66 fest gegen die Stirnfläche 55 Das Röhrchen 96 enthält koaxial einen Draht 97, der es 37 dreht und gegebenenfalls zusätzlich mit Lack oder einer nach rückwärts auf dem allergrÖssten Teil seiner Länge ab-Madenschraube sichert, verbleiben die Teiltuben 21,22 zuein- schliesst und der auf seiner vorderen Stirnfläche 98 ein Strah-ander in axial unveränderlicher Lage. ler-Kügelchen 99 trägt. Das vordere Ende des Röhrchens 96
Das GM-Rohr 23 umfasst eine metallene kreiszylinder- ist mit einer 10 um dicken Titanfolie 101 verschlossen. Der förmige Kathode 67, die einen Kreisringmantel darstellt, des- 60 Abstand des Strahlerkügelchens 99 von der Titanfolie 101
sen Aussendurchmesser kleiner ist als der Innendurchmesser liegt bei 0,1 bis 0,2 mm, falls das Strahlerkügelchen 99 aus des Feingewindes 39. Mit einem Abstand von der vorderen Promethium, Tallinn^ Strontium ist.
kreisringförmigen Stirnfläche 68 ist ein kreisförmiges Glim- Der Abstand ist etwas grösser, wenn man einen Cadmi-
merfenster 69 eingeschmolzen. Die Kathode 67 ist koaxial an- umstrahier hat. Obwohl damit das Strahlerkügelchen 99 weit geordnet. Im Ionisationsraum 71 ist koaxial eine Anode 72 « vorne liegt, kann man das ganze als Punktquelle betrachten,
vorgesehen, bestehend aus einem Draht 73, an dessen freiem Im fertig montierten Zustand befindet sich die Titanfolie
Ende direkt hinter dem Glimmerfenster 69 eine rotationssym- 101 von der Vorderseite des Lagersteins 28 in einem Abstand metrische, im Querschnitt etwa elliptische Verdickung 74 sich von ungefähr 0,1 bis 0,8 mm. Ersteres Mass gilt natürlich nur,
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5 Blätter Nr. 5
FIG. 15

Claims (13)

  1. 650 859
    PATENTANSPRÜCHE
    1. Vorrichtung zum Messen dünner Schichten mittels Betastrahlen, mit einem Blendring, der eine sehr kleine Blendenöffnung aufweist, mit einer zur Blendenöffnung koaxialen Punktquelle eines Beta-Strahlers, die hinter der Blendenöffnung liegt und zu ihr einen Abstand hat, mit einer Trägervorrichtung für die Punktquelle, mit einem hinter der Trägervorrichtung angeordneten, koaxialen Zählrohr, mit einer Halterungsvorrichtung für das Zählrohr, mit einer Kontaktvorrichtung für die Anode des Zählrohres und mit einer Kontaktvorrichtung für die Kathode des Zählrohres, dadurch gekennzeichnet, dass eine mindestens einen ersten Teiltubus (21) und einen zweiten Teiltubus (22) aufweisende Tubusvorrich-tung vorgesehen ist, bei der die Teiltuben (21,22) koaxial zueinander durch mindestens eine Feineinstellvorrichtung (39, 41) verstellbar sind, dass in den Teiltuben (21,22) koaxial die Punktquelle (27) und das Zählrohr (23) vorgesehen sind, dass die Teiltuben (21,22) mit je einem oder zweien der Baueinheiten Blendring (24) / Punktquelle (27) / Zählrohr (23) verbunden sind, dass mindestens eine, die Feineinstellvorrichtung (39,41) blockierende Blockiervorrichtung (66) vorgesehen ist und dass je einer der Teiltuben (22) galvanisch leitend mit der Anode (72) und einer der Teiltuben (21) galvanisch leitend mit der Kathode (67) verbunden ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Zählrohr (23) ein Geiger-Müller-Rohr ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Teiltuben (21,22) vorgesehen sind, von denen der eine (22) zwei, in starrer Geometrie miteinander verbundene Baueinheiten Blendring/Punktquelle oder GM-Rohr
    (23) / Punktquelle (27) und der andere die andere Baueinheit GM-Rohr oder Blendring (24) trägt.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Teiltubus (21) die Baueinheit Blendring
    (24) trägt und dass der zweite Teiltubus (22) die Baueinheiten Punktquelle (27)/GM-Rohr (23) trägt.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Feineinstellvorrichtung (39,41) ein Feingewinde mit einer Steigung von 0,5 mm bis 1 mm pro Umdrehung, vorzugsweise um 0,75 mm ist.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Teiltubus (21) eine Hülsenmutter mit Innengewinde (39) ist, dass der zweite Teiltubus (22) ein Rohr ist, in das das GM-Rohr (23) mit einer Schraubvorrichtung (82,83) hineingeschraubt ist, der in seinem vorderen Bereich ein in das Innengewinde (39) passendes Aussengewinde (41) aufweist und dass auf dem Aussengewinde (41) ein Konter-Gewindering (66) als Blockiervorrichtung sitzt.
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Teiltubus (21) aus Metall ist und durch eine Ringfeder (103,104) galvanisch mit der Kathode (67) verbunden ist, dass der Schraubsockel (79) in einen koaxialen metallenen Innenring (53) des als Isolator ausgebildeten zweiten Teiltubus (22) eingeschraubt ist und dass ein Innenring (53) galvanisch leitend mit einer Metallplatte (59) verbunden ist, die sich koaxial im Boden (47) des zweiten Teiltubus (22) befindet.
  8. 8. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Teiltubus (22) eine Ausnehmung (52) aufweist, in der der Arbeitswiderstand (61) des GM-Rohrs (23) liegt, dessen einer Draht (62) galvanisch mit der Anode (72) und dessen anderer Draht (64) mit einer Ableitung (59) galvanisch verbunden ist.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Trägervorrichtung (26) einen Mantelring (88) aufweist, dessen Speichen (92) die Punktquelle (27) tragen und dass die hintere Stirnfläche (89) des Mantelrings (88) fest,
    vorzugsweise durch Klebmasse, mit der vorderen Stirnfläche (68) des Mantels (67) des GM-Rohrs (23) verbunden ist.
  10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das GM-Rohr (23) vorn einen kreiszylindrischen Mantelring (89) aufweist, dass hierauf ein Keramik-Mittelteil (76) folgt und hierauf ein Schraubsockel (79) folgt und durch den Schraubsockel (79) hindurch ein Abpumpstutzen (87) tritt.
  11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das GM-Rohr (23) einen Durchmesser von 0,5-1,3 cm, vorzugsweise um 0,8 cm hat und mit einem Glimmerfenster (69) mit einem Gewicht von 1,5-0,7 mg/cm2, vorzugsweise um 1 mg/cm2 verschlossen ist.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Blendring (111) als gesondertes Bauteil ausgebildet ist und koaxial positioniert am zugehörigen Teiltubus (107) gehalten ist.
  13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Punktquelle (27) und dem Blendring
    (111), unter dem Blendring (111) eine Punktquellenabdek-kung (108) vorgesehen ist, die koaxial ein Loch (109) zum ungestörten Durchtritt der Betastrahlen der Punktquelle (27) hat.
CH9590/80A 1980-08-09 1980-12-24 Vorrichtung zum messen duenner schichten mittels betastrahlen. CH650859A5 (de)

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