CH656011A5 - Auflichtilluminator fuer hell- und dunkelfeldbeleuchtung. - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Auflichtilluminator für Hell- 45

feld- und Dunkelfeld-Beleuchtung in Modulbauweise. In Fig. 1 ist ein Auflichtilluminator 1 auf einem Mikro-

Es sind Auflichtilluminatoren mit festen Apertur- und skop-Stativ 2 angeordnet, das an seinem herauskragenden

Leuchtfeldblenden bekannt, welche vorzugsweise für Rou- Trägerteil einen Objektivrevolver 4 mit einem dargestellten tine-Untersuchungen in der Halbleiterindustrie eingesetzt Objektiv 5 enthält. Auf dem Auflichtilluminator 1 ist ein werden. Für gehobene Ansprüche im Forschungs- und Ent- so Binokulartubus-Gehäuse 6 angeordnet. Die Achse des

Wicklungsbereich stehen darüber hinaus auch bereits Auf - mikroskopischen Abbildungsstrahlenbündels ist mit der lichtilluminatoren mit Iris-Apertur- und Leuchtfeldblende als Bezugsziffer 3 versehen. Nicht mit dargestellt wurden die

Hell-Dunkelfeld-Einrichtung bereit. optischen bzw. mechanischen Ankopplungsmittel, die ein

Bei den bekannten Auflichtilluminatoren ist es jedoch von zentrier- und justiergenaues, lösbares Verbinden der drei

Nachteil, dass beispielsweise beim Übergang von Hellfeld- ss Mikroskop-Baugruppen 2,1 und 6 gewährleisten,

auf Dunkelfeldbeleuchtung vom Benutzer mehrere Hand- Im Auflichtilluminator 1 ist eine Lichtquelle 8 vorgesehen, griffe, z.B. Öffnen der Leuchtfeldblende, Einstellen der Aper- von der aus ein Beleuchtungsstrahlenbündel - dargestellt turblende, Einschwenken des Mittenstopps, erforderlich durch dessen Achse 9 - entlang des Beleuchtungsstutzens 7

sind. Beim Umschalten von Dunkelfeld auf Hellfeld müssen über eine Optik 10 auf einen unter 45° zu den optischen diese zeitintensiven und bedienungsfehlerträchtigen Hand- 60 Achsen 3 und 9 angeordneten 50/50-Strahlenteiler 11 trifft,

griffe in umgekehrter Reihenfolge vorgenommen werden. dessen äusserer Ringbereich 12 vollverspiegelt ist.

Dies führt zu ständigen unerwünschten und damit störenden Der Beleuchtungsstutzen 7 weist eine - vorzugsweise

Nebenbeschäftigungen, die insbesondere zu Lasten einer durchgehende - Öffnung 13 auf, in welche die in den Figuren kontinuierlichen Mikroskop-Untersuchung von Routine- 2 und 3 dargestellten Einschub-Module 14 bzw. 15 wechsel-

Objekten etc. gehen. 65 weise eingeführt werden können. Die Einschub-Module 14,

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die 15 sind vorzugsweise einstückig ausgebildet und bestehen

Nachteile der bekannten Einrichtungen zu vermeiden und jeweils aus mindestens zwei Funktionsbaugruppen I, II; III,

einen Auflichtilluminator anzugeben, der bei einfacher II. Zum zentrischen Positionieren der jeweiligen Funktions-

baugruppen I bis III im Beleuchtungsstrahlengang 9 sind an den Modul-Gehäusen 14,15 Einkerbungen 16 und in dem unteren Bereich der Öffnung 13 innerhalb des Beleuchtungsstutzens 7 entsprechende Einrast-Mittel 17 vorgesehen. Die Moduln 14,15 können mittels einer Handhabe 18 mit einem Griff in die jeweils gewünschte Wirkstellung gebracht werden, wobei für den Fall, dass es sich um eine durchgehende Öffnung 13 handelt, die Handhabe 18 zweckmässigerweise lösbar am Modul-Gehäuse befestigt ist und ein Ansetzen derselben an der gegenüberliegenden Seite des Modul-Gehäuses vorgenommen werden kann.

In Fig. 2 ist ein aus einem einstückigen Gehäuse bestehendes Einschub-Modul 14 dargestellt, das zwei Funktions-baugruppen I und II enthält. Die Funktionsbaugruppe I enthält in einer zentralen Bohrung, durch die der Beleuchtungsstrahlengang 9 verläuft, je eine als Iris-Blenden ausgebildete Apertur- und Leuchtfeldblende 19 bzw. 20, die mittels eines zugehörigen Schwenkhebels 21 bzw. 22 grossen veränderlich angeordnet sind. Bringt man diese Baugruppe I in Wirkstellung, so ist ein Hellfeldbeleuchtungsstrahlengang realisiert.

Anstelle der Irisblenden 19 bzw. 20 kann die für Hellfeldbeleuchtung zu verwendende Funktionsbaugruppe auch aus grösseninvarianten Blenden bestehen. Dies ist in Fig. 3 - vgl. die Baugruppe III - dargestellt. Bei dieser Fest-Blenden-Anordnung ist zweckmässigerweise zwischen der Aperturblende 23 und der Leuchtfeldblende 24 zusätzlich ein aus dem Strahlengang 9 mittels eines Schwenkhebels 26 ausklappbar angeordneter Graufilter 25 vorgesehen, wobei anstelle eines herkömmlichen, einen konstanten Lichtschwächungskoeffizienten aufweisenden Filters auch ein solcher mit einem variablen, gezielt einstellbaren Lichtschwächungskoeffizienten gesetzt werden kann.

Zur Verwirklichung eines Dunkelfeldbeleuchtungsstrah-lengangs wird das Modul 14 bzw. 15 so weit in die Öffnung 13 eingeführt, dass die Funktionsbaugruppe II, die in beiden Figuren 2 und 3 identisch ist, in Wirkstellung gebracht wird. Die Funktionsbaugruppe besteht in ihrem zentralen Teil aus einer Bohrung, durch die das Beleuchtungsstrahlenbündel -vgl. dessen Achse 9 - hindurchtritt, und einer festen Aperturblende 27. Darüber hinaus ist an der oberen Längsseite des Einschub-Moduls 14 bzw. 15 über die gesamte Länge der Funktionsbaugruppe II eine Führungsnut 28 eingelassen, in die ein Führungsstift 29 eingreift derart, dass ein mit ihm gelenkig verbundenes Führungsgestänge einen Mittenstopp 30 zentriergenau in den Zentralbereich des Beleuchtungsstrahlenbündels schwenkt. Der Mittenstopp 30 und die

Blende 27 wirken funktional zusammen.

In den Fig. 4a und 4b ist der Wechsel zwischen den beiden Beleuchtungsarten dargestellt. In Fig. 4a ist der Dunkelfeld-beleuchtungsstrahlengang realisiert, d.h. dass sich die Funk-s tionsbaugruppe II und der Mittenstopp 30 in Wirkstellung befinden.

Wird nun das Einschub-Modul 14 bzw. 15 so weit verschoben, dass eine der Funktionsbaugruppen I oder III in Wirkstellung steht, so verlässt der Führungsstift 29 während io des Durchschiebens des Moduls 14 bzw. 15 die nur bis zum Ende der Baugruppe II vorhandene und dort auskeilende Führungsnut 29 mit der Folge, dass der Mittenstop 30 selbsttätig aus dem Bereich des Beleuchtungsstrahlengangs ausschwenkt. Diese Endstellung ist in Fig. 4b dargestellt, wobei ls die gelenkige Hebelverbindung zwischen dem Führungsstift 29 und dem Mittenstopp 30 nicht näher beschrieben wird.

Wenngleich in den Figuren lediglich Module dargestellt wurden, die aus zwei Funktionsbaugruppen bestehen, so liegt es gleichwohl im Rahmen der vorliegenden Erfindung, drei 20 und mehr Baugruppen linear als Schieber anzuordnen. Die Variationsmöglichkeiten hinsichtlich der Bestückung der verschiedenen Funktionsbaugruppen mit optischen Bauelementen sind dadurch gegeben, dass feste und/oder variable Apertur- und/oder Leuchtfeldblenden in Kombination mit 25 Graufiltern vorgesehen sein können. Prinzipiell kommt es lediglich darauf an, mittels eines Einschub-Moduls beide Beleuchtungsarten (Hellfeld und Dunkelfeld) durch raschen Wechsel nacheinander realisieren zu können.

Es ist weiterhin möglich, in dem Beleuchtungsstutzen 7 30 zwischen der Lichtquelle 8 und der Öffnung 13 eine weitere Einschuböffnung vorzusehen, in welche ein in Modulbauweise konzipierter Schieber einführbar ist, der ein Polarisationsfilter und ein - in Strahlrichtung gesehen - dahinterlie-gendes X/4-Plättchen enthält. Mittels dieser Zusatzeinrich-35 tung lässt sich im Hellfeldbeleuchtungsstrahlengang eine Interferenzkontrasteinrichtung realisieren. Zusätzlich kann zwischen dieser - in den Figuren nicht dargestellten - Einschuböffnung noch eine ein- und ausschiebbar angeordnete ^-Platte vorgesehen sein, die ebenfalls nicht mit dargestellt 40 wurde.

Ein auf diese Weise mit polarisations-optischen Bauelementen zusätzlich ausgestatteter Auflichtilluminator weist dann zwischen dem Umlenkspiegel 11 und dem Binokular-Tubus 6 ausserdem noch einen verschieblich gelagerten Ana-45 lysator auf, der aus Vereinfachungsgründen ebenfalls nicht zeichnerisch dargestellt wurde.

B

1 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

1. 656011 2

   PATENTANSPRÜCHE Handhabung ein schnelles, fehlbedienungsfreies Wechseln

   1. Auflichtilluminator für Hell- und Dunkelfeldbeleuch- von einer Beleuchtungsart zur anderen gestattet.

   tung, enthaltend je eine Ankoppelvorrichtung zum Aufsetzen Gemäss der Erfindung ist diese Aufgabe bei einem Aufauf einem Stativarm eines Mikroskops sowie zum Aufsetzen lichtilluminator der eingangs genannten Art dadurch gelöst, eines Mikroskoptubus, dadurch gekennzeichnet, dass in dem s dass in dem zwischen einer Lichtquelle und einem optischen zwischen einer Lichtquelle (8) und einem optischen Umlenk- Umlenkelement befindlichen Teil eines Beleuchtungsstutzens element (11) befindlichen Teil eines Beleuchtungsstutzens eine Öffnung zum auswechselbaren Einfügen eines Ein-(7) eine Öffnung (13) zum auswechselbaren Einfügen eines schub-Moduls, welcher mindestens zwei nacheinander in den Einschub-Moduls (14; 15), welcher mindestens zwei nachein- Strahlengang bringbare, aus strahlenschwächenden und/ ander in den Strahlengang (9) bringbare, aus strahlenschwä- io oder strahlenbegrenzenden optischen Bauelementen bestechenden (25) und/oder strahlenbegrenzenden (19,20,23,24, hende Funktionsbaugruppen enthält, und zusätzlich Mittel 27) optischen Bauelementen bestehende Funktionsbau- zum Einschwenken eines Mittenstopps in den Strahlengang gruppen (I, II; III, II) enthält, und zusätzlich Mittel (28,29) vorgesehen sind. Dabei können die strahlenbegrenzenden zum Einschwenken eines Mittenstopps (30) in den Strahlen- optischen Bauelemente feste oder grössenvariable Blenden gang (9) vorgesehen sind. is und die strahlenschwächenden optischen Bauelemente Grau-
2. 2. Auflichtilluminator nach Anspruch 1, dadurch gekenn- filter mit konstanten oder variablen Lichtschwächungskoeffi-zeichnet, dass die strahlenbegrenzenden optischen Bauele- zienten umfassen. Es ist zweckmässig, dass das Einschub-mente feste (23,24,27) oder grössenvariable (19,20) Blenden Modul zur Verwirklichung eines Hellfeld-Beleuchtungsstrah-umfassen. lenganges eine Funktionsbaugruppe aufweist, die zwei Hell-
3. 3. Auflichtilluminator nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 20 feld-Blenden, vorzugsweise unter Zwischenfügung eines auszeichnet, dass die strahlenschwächenden optischen Bauele- schwenkbaren Graufilters, enthält. Mit Vorteil enthält das mente Graufilter (25) mit konstanten oder variablen Licht- Einschub-Modul zur Verwirklichung eines Dunkelfeld-schwächungskoeffizienten umfassen. Beleuchtungsstrahlengangs eine Funktionsbaugruppe die
4. 4. Auflichtilluminator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, eine feste Dunkelfeld-Blende sowie eine Führungsnut auf-dadurch gekennzeichnet, dass das Einschub-Modul (14 bzw. 25 weist, in welche ein in dem Beleuchtungsstutzen angeord-

   15) zur Verwirklichung eines Hellfeld-Beleuchtungsstrahlen- neter und über ein Führungsgestänge mit einem Mittenstopp gangs eine Funktionsbaugruppe (Ibzw. III) aufweist, die gelenkig verbundener Führungsstift in der Weise eingreifen zwei Hellfeld-Blenden (19,20 bzw. 23,24), vorzugsweise kann, dass der Mittenstopp im Zentralbereich des Beleuch-

   unter Zwischenfügung eines ausschwenkbaren Graufilters tungsstrahlenbündels positioniert wird.

   (25), enthält. 30 In den Figuren ist die Erfindung in zwei Ausführungsbei-
5. 5. Auflichtilluminator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, spielen in schematischer Form dargestellt. Es zeigen:

   dadurch gekennzeichnet, dass das Einschub-Modul (14 bzw.

   15) zur Verwirklichung eines Dunkelfeld-Beleuchtungsstrah- Fig. 1 einen auf einem Mikroskop-Stativträger angeord-

   lengangs eine Funktionsbaugruppe (II) enthält, die eine feste neten Auflichtilluminator mit aufgesetztem Binokulartubus-

   Dunkelfeld-Blende (27) sowie eine Führungsnut (28) auf- 35 Gehäuse;

   weist, in welche ein in dem Beleuchtungsstutzen (7) angeord- Fig. 2 ein Einschub-Modul gemäss einer ersten Ausfüh-

   neter und über ein Führungsgestänge mit einem Mittenstopp rungsform;

   (30) gelenkig verbundener Führungsstift (29) in der Weise Fig. 3 ein Einschub-Modul gemäss einer zweiten Ausfüh-

   eingreifen kann, dass der Mittenstopp (30) im Zentralbereich rungsform;

   des Beleuchtungsstrahlenbündels positioniert wird. 40 Fig. 4a einen Schnitt längs der durch A-A in Fig. 1

   gekennzeichneten Fläche mit eingefügtem Einschub-Modul

   _ und in Wirkstellung geschwenktem Mittenstopp; und

   Fig. 4b die Position des Mittenstopps nach dessen Herausschwenken aus der optischen Achse des Auflichtilluminators.