CH674558A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- CH674558A5 CH674558A5 CH500/88A CH50088A CH674558A5 CH 674558 A5 CH674558 A5 CH 674558A5 CH 500/88 A CH500/88 A CH 500/88A CH 50088 A CH50088 A CH 50088A CH 674558 A5 CH674558 A5 CH 674558A5
- Authority
- CH
- Switzerland
- Prior art keywords
- seal
- sections
- sealing surface
- housing
- closure member
- Prior art date
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 53
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910001060 Gray iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000000418 atomic force spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/30—Details
- F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
- F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
Description
BESCHREIBUNG
Die Erfindung bezieht sich auf einen Ventilschieber mit einem Schiebergehäuse nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
Ein Schieber dieser Bauart ist bekannt. Sein Gehäuse ist einstückig aus Grauguss gefertigt und besitzt rauhe Dichtflächen und -konstruktiv gesehen - einen sehr einfachen Aufbau. Sein ebenfalls einstückig ausgebildetes Verschlussglied ist voluminös gestaltet und aus gummielastischem Material gefertigt, das aufgrund seines grossen elastischen Volumens die erwähnten Rauhigkeiten der unbearbeiteten Dichtflächen im einstückigen Gehäuse ausgleichen kann. Solche Schieber werden in Wasserversorgungsleitungen verwendet. Für hochqualifizierte Dichtungsaufgaben, wie sie in Vakuum- und Hochvakuumanlagen notwendig sind und dort auch gefordert werden, ist ein solcher Schieber völlig ungeeignet, da die hier geforderten Dichtigkeitsgrade mit Schieber dieser Art nicht erreicht werden können.
Bei einem Absperrschieber ähnlicher Bauart (DE-AS 1223 212) dichtet die Dichtung mit einem U-förmigen Unterteil im unteren Bereich der Schieberplatte gegen die Innenseite des Durchflusskanals und mit einem bügeiförmigen Oberteil im oberen Bereich der Schieberplatte gegen die Aussenwand des Durchflusskanals ab. Die Dichtung ist im Gehäuse in Nuten untergebracht, ferner liegen die Schenkel des U-förmigen Unterteiles der Dichtung mit ihren Enden gegen gehäusefeste Ansätze an und darüberhinaus ist der U-förmige Unterteil der Dichtung durch eine federnde Einlage verstärkt. Die Dichtung ist einstük-kig. Oberteil und Unterteil sind durch Stege verbunden, die parallel zur Achse der Durchgangsöffnung liegen. Bei der Betätigung dieses Absperrschiebers gleitet die Schieberplatte quer an diesen Stegen entlang, die an Flächen anliegen, die schräg geneigt zur Bewegungsrichtung der Schieberplatte stehen. Dadurch besteht die Gefahr, dass die Oberflächen der Dichtung im Bereich dieser Stege beschädigt werden, so dass ein Absperrschieber dieser speziellen Bauart für Vakuum- und Hochvakuumanlagen nicht geeignet ist.
Für den Einsatz in Vakuum- und Hochvakuumanlagen wurden Schieber entwickelt. Die Verschlussglieder dieser Schieber für diese hochqualifizierten Dichtungsaufgaben sind hier stets mehrteilig ausgebildet. Sie besitzen einen Dichtungsteller mit einer daran angeordneten, in einer Ebene liegenden Ringdichtung und die diese ebene Ringdichtung aufnehmende Dichtfläche am Gehäuse liegt rechtwinklig zur Achse der Schieberdurchgangsöffnung. Mit diesem den Dichtring tragenden Dichtteller ist eine Spreizvorrichtung verbunden. Für diese Spreizvorrich-tung sind kippbare Quader entwickelt worden (CH-PS 659 512, US-PS-4 560141), die durch ihre Kippbewegung den axialen Versatz der Bauteile des Verschlussgliedes bewirken, wodurch die Dichtung an die Dichtfläche angelegt und angepresst werden
2
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
f>5
674 558
kann ; ferner wurden für solche Spreizeinrichtungen auch schon Wälzkörper eingesetzt, die auf schrägen Bahnen auflaufen und dadurch den erwähnten axialen Versatz der sie tragenden und führenden Bauteile erreichen (DE-PS 3 209 217, DE-OS 2404944,DE-OS 2528043, US-PS 3185435, US-PS 4291861); weiterhin wurden nach dem Stand der Technik für solche Spreizvorrichtungen schwenkbare Hebelsysteme eingesetzt, mit welchen in der Regel Federn zusammenwirken (DE-AS 2 523152, US-PS 3 216 694, US-PS 2 850 260, US-PS 3 262 672) und auch solche Verschlussglieder wurden schon vorgeschlagen, die mit Druck beaufschlagbaren Kammern funlctionsmässig verbunden sind (DE-PS 2 947 517, DE-PS 826 098), um das in die Schieberdurchgangsöffnung eingefahrene Verschlussglied bzw. den von diesem getragenen Dichtring und dem Dichtteller an die Dichtfläche des Gehäuses anzupressen. Es bedarf für den hier angesprochenen einschlägigen Fachmann keiner weiteren Erläuterung, dass die Verschlussgliedkonstruktionen für diese Ventilschieber für hochqualifizierte Dichtungsaufgaben äusserst kompliziert und aufwendig sind. Es ist hier auch zu bedenken, dass sich diese Teile, die das Verschlussglied in seiner Gesamtheit bilden, beim betriebsmässigen Einsatz relativ zueinander bewegen, und das zum Teil unter Einwirkung hoher Kräfte, und dass hier diese gegeneinander beweglichen Teile nicht geschmiert werden können und werden dürfen, da sonst das Vakuum beeinträchtigt wird. Ein weiterer Nachteil dieser aufwendigen Konstruktionen liegt darin, dass ein derart vielteilig aufgebautes Verschlussglied nichtfür Schnell- und Notverschlüsse eingesetzt werden kann, weil unter der Einwirkung hoher Beschleunigungs-kräfte, die nun einmal bei Schnell- und Notverschlüssen nicht vermeidbar sind, aufgrund der Massenträgheit der Spreizmechanismus bereits in Tätigkeit tritt, bevor das Verschlussglied in seine Schliessstellung gefahren ist, so dass sich das Verschlussglied bereits auf seinem Wege in seine Schliess- und Verschlussstellung im Gehäuseabschnitt, von dem es aufgenommen ist, verkeilt.
Ausgehend von diesem Stand der Technik und unter Berücksichtigung der hier gemachten Erfahrungen zielt die Erfindung mm darauf ab, einen Ventilschieber der eingangs erwähnten Bauart so weiter zu entwickeln, dass er auch für hochqualifizierte Dichtaufgaben im Vakuum- und Hochvakuumbereich verwendet werden kann. Das setzt voraus, dass die umlaufende Dichtung in allen ihren Abschnitten eindeutig reproduzierbare Verhältnisse bei den diversen Schliessvorgängen vorfindet und dass die Dichtung beim Schliessen und beim Auftreten des Schliess-druckes nur im wesentlichen quer zu ihrer Längserstreckung beansprucht wird, so dass Querkräfte auf die Dichtung vermieden werden; die Dichtflächen müssen ferner bearbeitet werden können, um den hohen Dichtanforderungen zu genügen und das Verschlussglied selbst soll möglichst wenig gegeneinander bewegte Teile besitzen, damit ein solches Verschlussglied auch für hochbeschleunigte Schnell- und Notverschlüsse eingesetzt werden kann. Zur Lösung all dieser Aufgaben schlägt die Erfindung jene Massnahmen vor, die Gegenstand des kennzeichnenden Teiles des Patentanspruches 1 sind.
Um die Erfindung zu veranschaulichen, wird sie anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau der im Schiebergehäuse vorgesehenen Dichtfläche in Schrägsicht;
Fig. 2 in dazugehörender Anordnung den dichtaktiven Abschnitt des Verschlussgliedes;
Fig. 3 ebenfalls den dichtaktiven Abschnitt des Verschlussgliedes, hier jedoch gesehen in Richtung des Pfeiles A in Fig. 2;
Fig. 4 ein Teil der umlaufenden Dichtung;
Fig. 5 und 6 den Quer- und den Längsschnitt eines Ventilschiebers der gegenständlichen Bauart in einer ersten Ausführungsform;
Fig. 7 und 8 einen Ventilschieber im Querschnitt und im Längsschnitt in einer zweiten Ausführungsform;
Fig. 9 und 10 einen Ventilschieber im Quer- und Längsschnitt nach einer dritten Ausführungsart, und
Fig. 11 und 12 einen Längs- und einen horizontalen Querschnitt durch eine weitere Ausführungsform eines hier schema-5 tisch dargestellten Ventilschiebers.
Fig. 1 veranschaulicht den dichtaktiven Abschnitt, der im Schiebergehäuse untergebracht ist bzw. einen Teil desselben bildet, wie nachstehend noch im einzelnen gezeigt werden wird. Die Schieberdurchgangsöffnung 1, deren Achse 2 durch eine io strichpunktierte Linie dargestellt ist, ist von einer Dichtfläche 3 umschlossen, die unterschiedliche Abschnitte 4,5 und 6 mit unterschiedlichem Verlauf besitzt. Die Abschnitte 4 und 5 sind durch zylindrische Flächen gebildet, die Abschnitte 6 durch ebene Flächen und die zylinderflächigen Abschnitte 4 und 5 und 15 die ebenflächigen Abschnitte 6 gehen über stetig verlaufende Krümmungen ineinander über. Die beiden seitlichen, ebenen, nach aussen verlaufenden Abschnitte 6 der Dichtfläche 3 liegen dabei in einer gemeinsamen Ebene E, die in Fig. 1 durch eine dünne strichlierte Linie angedeutet ist. Unabhängig von der 2o unterschiedlichen Form und des jeweiligen Verlaufes dieser Abschnitte 4,5 und 6 der Dichtfläche 3 ist ihnen gemeinsam, dass ihre gedachten Erzeugenden, zwei solche sind in Fig. 1 mit G und G' angedeutet, gerade sind und parallel zur Achse 2 der Durchgangsöffnung liegen. Die strichpunktierte Linie 7, die auf der 25 Dichtfläche 3 in Fig. 1 eingezeichnet ist, zeigt die Linie an, an der die Dichtung 8 bei eingefahrenem Verschlussglied anliegt. Die Abschnitte 4 und 5 der Dichtfläche 3 liegen - auch das veranschaulicht die Fig. 1 - in Richtung der Achse 2 der Schieberdurchgangsöffnung 1 gesehen, hintereinander. 30 Das Verschlussglied 9, das in Fig. 2 in einer zum Gegenstand der Darstellung nach Fig. 1 korrespondierenden Lage gezeichnet ist und das in Fig. 3 von der entgegengesetzten Seite her gesehen dargestellt ist, besitzt in seinem dichtungsaktiven Abschnitt eine derart gestaltete Fläche 30, die jener der Dichtfläche 3 im 35 Ventilschiebergehäuse entspricht und diese Fläche 30 trägt und stützt die umfangsgeschlossene Dichtung 8, die an dieser Fläche 30 beispielsweise anvulkanisiert sein kann. Die Abschnitte 40,50 und 60 der Fläche 30, die die Dichtung 8 trägt, und die den erstbesprochenen Abschnitten 4,5 und 6 der Dichtfläche 3 bei 40 eingefahrenem Verschlussglied 9 umittelbar benachbart liegen, wurden mit denselben Hinweisziffern ausgestattet, denen jedoch zur Unterscheidung eine 0 beigefügt worden ist.
Es ist aus diesen Darstellungen erkennbar, dass die umfangsgeschlossene , einstückige Dichtung 8 Abschnitte unterschiedli-45 eher Form aufweist, die in-bezogen auf die Ebene der Durchgangsöffnung 1-verschiedenen Ebenen liegen, wobei zwei Hauptabschnitte 8', 8" der umfangsgeschlossenen Dichtung 8 in Ebenen liegen, welche zur Achse 2 der Schieberdurchgangsöffnung 1 rechtwinklig stehen und in der Richtung dieser Achse 5° gegeneinander versetzt sind und es ist ferner ersichtlich, dass die beiden Hauptabschnitte 8' und 8' ' der Dichtung 8 durch Seitenabschnitte 80 verbunden sind, welche U-förmig verlaufen und die Schenkel 10 eines jeden Seitenabschnittes 80 der Dichtung 8 in Ebenen 60 liegen. Die in Achsrichtung 2 der Schieberdurch-53 gangsöffnung 1 gesehen hintereinander liegenden Abschnitte 4 und 5 der Dichtfläche 3 für die Anlage der Hauptabschnitte 8 und 8" der Dichtung 8 gehen in jenem Bereich, in dem sie eine gemeinsame, gerade und achsparallele Erzeugende G' besitzen, in die seitlichen, nach aussen verlaufenden, ebenen Abschnitte 6 60 über, die ihrerseits in einer gemeinsamen, zur Achse 2 der Schieberdurchgangsöffnung 1 parallel liegenden Ebene E angeordnet sind. Soweit zum konstruktiven Aufbau der dichtaktiven Teile.
Die Fig. 5 und 6 veranschaulichen nun im Quer- und Längs-f>5 schnitt einen Ventilschieber der hier in Rede stehenden Bauart für den Einsatz in Hochvakuumanlagen, dieser Ventilschieber ist als Schnellschlussschieber ausgestaltet. Es ist hier zu vermerken, dass das Schiebergehäuse 20 in sich zweigeteilt ist und dass der
674 558 4
die Dichtflächen 3 aufweisende Teil 19 ein vom Gehäuse 20 geführt ist. Hier wird das Verschlussglied 9 bzw. die Trägerplatte getrennt gefertigter Baukörper darstellt, der in das Gehäuse 20 23 über schwenkbare Hebel 25 und 26 und eine Kulissenführung eingesetzt und mit diesem dicht verschweisst ist. Dieser Teil kann 27 betätigt und über das erwähnte Hebelsystem wird auch der daher getrennt vom Gehäuse gefertigt und bearbeitet werden. Es Schliessdruck aufgebracht. Die beiden Gehäuseschalen 21 und ist auch diesen Darstellungen (Fig. 5 und Fig. 6) auch erkennbar, 5 22 sind hier miteinander durch Schrauben verbunden, zwischen dass das Verschlussglied 9 an seinem -bezogen auf das Schie- den Gehäuseschalen kann auch eine Dichtung 29 angeordnet bergehäuse 20 - unteren Rand 18 zu beiden Seiten des dort sein. Solche Hebel 25 und 26 und Kulissenführungen 27 als verlaufenden Abschnittes der Dichtung 8 je einen Schutzrand 17 Betätigungsmechanismen bei Ventilschiebern sind an sich aufweist, der von der Dichtung seitlich -in Achsrichtung gesehen bekannt. Bislang haben diese Schliessmechanismen allerdings
- etwas distanziert ist und der in Verschieberichtung (Pfeil 16) 10 einen erheblich aufwendigeren Aufbau, da bislang diese Mecha-
des Verschlussgliedes 9 gegenüber der Dichtung 8 vorspringt. Im nismen das Verschlussglied nicht nur in seine Schliessstellung
Abschnitt 5 der Dichtfläche 3 sind nutenartige Vertiefungen 14 fahren, sondern auch in die Dichtstellung pressen mussten.
und115 vorgesehen, die.bei eingefahrenem VerschlussgHed 9 die Zeigen die bislang besprochenen Ventilschieber Schieber-'
beiden Schutzränder 17 am Verschlussglied aufnehmen Das durchgangsöffnungen 1 von Kreisform, so veranschaulichen die
Verschlussglied 9 ist hier ferner mit einer Kolbenstange 13 einer 15 Fig. 9 und 10 einen Schleusenschieber im Querschnitt und
Kolben-Zylmder-Emheit 12 direkt verbunden Das Verschluss- Längsschnitt mit einer Durchgangsöffnung 1 von rechteckigem glied 9 kann seithchmnen am Gehäuse 20 geführtsein. Die Querschnitt. Die Abschnitte 4,5 und 6 der Dichtfläche im
Kolben-Zylmder-Emheit 12 ist schnellwirkend ausgestaltet, so Schiebergehäuse 20 sind in der Fig. 10 entsprechend bezeichnet,
dass äusserst hohe Verschlussgeschwindigkeiten erzielbar sind ... .
und der Ventilschieber nach den Fig. 5 und 6 als Schnellschluss- . Auch hier ist das Ventilgehäuse 20 zweigeteilt, so dass die oder Notschlussschieber verwendet werden kann. Das Ver- Dichtfläche 3 im Gehäuse 20 bearbeitet werden kann. Es ist aus schlussglied 9 ist, wie aus Vorstehendem ersichtlich, praktisch dieser Darstellung auch ersichtlich dass die beiden Hauptab-
einteilig ausgebildet, das heisst, es besitzt keine gegeneinander schnitte 8 und 8 der umfangsgeschlossenen Dichtung 8 über bewegbaren Teüe, wie dies bei bisherigen Schieberkonstruktio- ihre LänSe e'nen unterschiedlichen Verlauf besitzen, wobei der nen für Vakuum-und Hochvakuumanlagen bekannt ist, und es 25 e'ne Hauptabschnitt 8 gerade, der andere Hauptabschnitt 8
kann daher aus diesem Grund sehr hohen Beschleunigungskräf- gebogenverlauft.
ten ausgesetzt werden, ohne dass die Gefahr besteht, dass sich Alle Darstellungen zeigen Ausführungen, bei welchen das Verschlussglied innerhalb des Gehäuses verklemmt, bevor es sow Dichtfläche 3 im Gehäuse wie auch die Dichtung 8
in seine Schliess- undDichtstellung gelangt ist. Die Schutzränder gezogen auf die die Durchgangsöffnung 1 des Ventilschiebers
17 schirmen die Dichtung 8 gegenüber einem die Schieberdurch- 30 beinhaltende, quer zur Achse 2 stehendeEbene symmetrisch gangsöffnung 1 durchsetzenden Strom ab. Das Verschlussglied 9 8e^tetsmd- Es liegt im Rahmen der Erfindung, dass, bezogen kann daher beispielsweise in einen energiereichen Elektronen- ^ ?ie er^a e . i?.6' lov^ ! ? Dichtung 8 die die strahl einfahren, ohne dass die Dichtung 8 selbst von diesem DichtungStragende Häche 30 des Verschlussgliedes 9 wie auch energiereichen Strahl getroffen und eventuell beschädigt oder die Dichtflache 3 des Gehäuses 20 symmetrisch ausgebildet sind zumindest in ihrer Lebensdauer beeinträchtigt wird. 35 Eme solche Ausführungsform zeigen schematisch die Fig 11 und
Ist das Schiebergehäuse beim Ausführungsbeispiel nach den 12, die einen Länp-und einen horizontalen Querschnitt durch
Fig. 5 und 6 als Schweisskonstruktion ausgebildet und mit emen schematisch dargestellten Schieberveranschaulichen und eingesetztem Bauteil 19 für die Dichtfläche 3, so zeigen nun die welche aus dem oben gesagten ohne weitere Erklärung fur den
Fig. 7 und 8 im Quer- und Längsschnitt einen Ventilschieber mit einschlägigen Fachmann verstandlich smd.
gegossenem Gehäuse 20. Die beiden, das Gehäuse 20 bildenden 40 Bei allen beschriebenen Ausführungsformen ist die Dichtung Gehäuseschalen 21 und 22 werden getrennt gefertigt. Die Dicht- 8 am Verschlussglied 9 angeordnet. Grundsätzlich wäre es mögflächen 3 sind an der Gehäuseschale 22 vorgesehen. Nachdem lieh, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen, diese Anord-Guss der Gehäuseschale 22 können diese Dichtflächen 3 in der nung umzudrehen, das heisst, die Dichtung 8 am Gehäuse für hohe Dichtanforderungen notwendigen Weise bearbeitet ortsfest unterzubringen und die damit zusammenarbeitenden werden. Bei dieser Konstruktion ist das Verschlussglied 9 auf 45 Dichtflächen am Verschlussglied 9 vorzusehen. Dadurch ist aber einer Trägerplatte 23 befestigt und liegt parallel zu dieser Träger- die Dichtung 8 dem den Ventilschieber durchströmenden platte, die ihrerseits randseitig in Nuten 24 des Gehäuses20 Medienstrom ausgesetzt.
M
4 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
1. Ventilschieber mit einem Schiebergehäuse (20) und einer Schieberdurchgangsöffnung (1), die mit einem in seiner Ebene verschiebbaren Verschlussglied (9) verschliessbaristundim Bereich der Schieberdurchgangsöffnung (1) eine Dichtfläche (3) vorgesehen ist, an der in der Schliessstellung des Verschlussgliedes (9) eine an diesem angeordnete, umfangsgeschlossene Dichtung (8) anliegt, wobei die gedachten, geraden Erzeugenden (G) der Dichtfläche (3) parallel zur Achse (2) der Schieberdurchgangsöffnung (1) liegen und die umfangsgeschlossene, einstük-kige Dichtung (8) Abschnitte (8', 8", 10,80) unterschiedlicher Längen und/oder Formen aufweist, die in verschiedenen Ebenen liegen, wobei zwei Hauptabschnitte (8 ', 8 ") der umfangsge-schlossenen Dichtung (8) in Ebenen liegen, welche zur Achse (2) der Schieberdurchgangsöffnung (1) rechtwinklig stehen und voneinander distanziert sind und die beiden Hauptabschnitte (8' 8") der Dichtung (8) durch Seitenabschnitte (80) verbunden sind und das Verschlussglied (9) zum Verlauf der Dichtfläche (3) des Gehäuses (20) eine korrespondierend verlaufende, die umfangsgeschlossene Dichtung (8) tragende Fläche (30) besitzt, dadurch gekennzeichnet, dass die Seitenabschnitte (80) der umfangsge-schlossenen Dichtung (8) U-förmig verlaufen und jeweils die Schenkel (10) dieser U-förmig verlaufenden Seitenabschnitte (80) in einer Ebene (60) liegen und die - in Achsrichtung der Schieberdurchgangsöffnung (1) gesehen-hintereinanderliegen-den Abschnitte (4,5) der Dichtfläche (3) für die Anlage der Hauptabschnitte (8', 8' ') der Dichtung (8) in jenem Bereich, in dem sie eine gemeinsame, gerade, achsparallele Erzeugende (G') besitzen, in seitlich nach aussen verlaufende ebene Dichtflächenabschnitte (6) übergehen und diese ebenen Dichtflächenabschnitte (6) in zueinander und zur Achse (2) der Schieberdurchgangsöffnung (1) parallel hegenden Ebenen (E) liegen.
2. Ventilschieber nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden, seitlich nach aussen verlaufenden ebenen Dichtflächenabschnitte (6) in einer gemeinsamen Ebene (E) liegen.
3. Ventilschieber nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die im wesentlichen zylindrischen Abschnitte (4,5) der Dichtfläche (3) für die Anlage der Hauptabschnitte (8 ', 8 ") der Dichtung (8) in stetig verlaufenden Krümmungen in die ebenen Abschnitte (6) der Dichtfläche (3) übergehen.
4. Ventilschieber nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Hauptabschnitte (8', 8") der umfangsgeschlossenen Dichtung (8) über ihre Länge einen unterschiedlichen Verlauf besitzen und beispielsweise der eine Hauptabschnitt (8') gerade, der andere Hauptabschnitt (8") gebogen verläuft (Fig. 9 und 10).
5. Ventilschieber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtfläche (3) bzw. die Dichtflächenabschnitte (4,5,6) des Gehäuses (20) Teil eines vom Gehäuse (20) getrennt gefertigten und in das Gehäuse (20) eingesetzten und mit diesem dicht verschweissten Baukörpers sind.
6. Ventil Schieber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventilgehäuse (20) quer zur Achse (2) der Schieberdurchgangsöffnung (1) geteilt ist und die Dichtflächen (3) bzw. deren Abschnitte (4,5,6) ausschliesslich an einem dieser Teile vorgesehen sind.
7. Ventilschieber nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussglied (9) als ebene Platte ausgebildet ist und die umfangsgeschlossene Dichtung (8) an den Stirnseiten (40,50,60) von stufenförmigen Absätzen angebracht ist (Fig. 3).
8. Ventilschieber nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein zur Verschieberichtung (16) des Verschlussgliedes (9) paralleler Rand desselben an oder in einer Nut (24) des Gehäuses (20) geführt ist (Fig. 7 und 8).
9. Ventilschieber nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussglied (9) an seinem-bezogen auf das Ventilgehäuse-unteren Rand auf mindestens einer
Seite des dort verlaufenden Abschnittes (8') der Dichtung (8) einen gegenüber der Dichtung (8) in Verschieberichtung (16) des Verschlussgliedes (9) vorspringenden Schutzrand (17) aufweist, und im Gehäuse (20) der unteren Dichtfläche (3) benachbart eine nutenartige Vertiefung (14,15) zur Aufnahme des Schutzrandes (17) bei eingefahrenem Verschlussglied (9) vorgesehen ist (Fig. 5,6).
10. Ventilschieber nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass, bezogen auf die Ebene der Schieberdurchgangsöffnung (1) bzw. auf eine dazu parallele Ebene-sowohl die Dichtung (8) und die die Dichtung tragenden Flächen (40,40,60) des Verschlussgliedes (9) wie auch die Dichtfläche (3) des Gehäuses (20) symmetrisch ausgebildet sind (Fig.
11 und 12).'
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873717724 DE3717724A1 (de) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CH674558A5 true CH674558A5 (de) | 1990-06-15 |
Family
ID=6328451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CH500/88A CH674558A5 (de) | 1987-05-26 | 1988-02-12 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4809950A (de) |
| JP (1) | JPH0650148B2 (de) |
| CH (1) | CH674558A5 (de) |
| DE (1) | DE3717724A1 (de) |
| FR (1) | FR2615921B1 (de) |
| GB (1) | GB2205926B (de) |
Families Citing this family (51)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3801998C1 (de) * | 1988-01-23 | 1989-05-18 | Schertler, Siegfried, Haag, Ch | |
| DE3831249A1 (de) * | 1988-09-14 | 1990-03-22 | Schertler Siegfried | Ventilschieber |
| US5271602A (en) * | 1992-04-13 | 1993-12-21 | The Japan Steel Works Ltd. | Vacuum gate valve |
| US5909867A (en) * | 1998-05-27 | 1999-06-08 | Vat Holding Ag | Closing assembly for a chamber having a through-opening |
| RU2147349C1 (ru) * | 1998-08-25 | 2000-04-10 | Александрова Ариадна Тимофеевна | Затвор |
| US6347919B1 (en) * | 1999-12-17 | 2002-02-19 | Eaton Corporation | Wafer processing chamber having separable upper and lower halves |
| RU2193128C1 (ru) * | 2001-12-18 | 2002-11-20 | Омаров Махач Гасан-Гусейнович | Задвижка |
| CN1643179B (zh) * | 2002-01-17 | 2010-05-26 | 松德沃技术公司 | Ald装置和方法 |
| NO322877B1 (no) * | 2003-06-06 | 2006-12-18 | Danfoss Esco As | Sluseventil |
| US7090192B2 (en) | 2003-10-21 | 2006-08-15 | Vay Holding Ag | Vacuum valve |
| US7422653B2 (en) * | 2004-07-13 | 2008-09-09 | Applied Materials, Inc. | Single-sided inflatable vertical slit valve |
| US7036794B2 (en) * | 2004-08-13 | 2006-05-02 | Vat Holding Ag | Method for control of a vacuum valve arranged between two vacuum chambers |
| KR101474786B1 (ko) * | 2006-05-05 | 2014-12-22 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 구동장치 |
| US7806383B2 (en) * | 2007-06-01 | 2010-10-05 | Applied Materials, Inc. | Slit valve |
| DE102007034927A1 (de) | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Vat Holding Ag | Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils |
| DE102007034926A1 (de) | 2007-07-24 | 2009-02-05 | Vat Holding Ag | Verfahren zur Steuerung oder Regelung eines Vakuumventils |
| US9383036B2 (en) * | 2007-08-14 | 2016-07-05 | Parker-Hannifin Corporation | Bonded slit valve door seal with thin non-metallic film gap control bumper |
| DE202008005238U1 (de) | 2008-04-16 | 2008-07-31 | Vat Holding Ag | Vakuumventil-System mit Lageerkennung |
| EP2146122A1 (de) * | 2008-07-18 | 2010-01-20 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussteller für ein Vakuumventil |
| KR101761245B1 (ko) * | 2008-09-05 | 2017-08-04 | 배트 홀딩 아게 | 기밀 샤프트 이동관통부를 구비하는 진공밸브 |
| EP2224153A1 (de) | 2009-02-25 | 2010-09-01 | VAT Holding AG | Vakuumdoppelschieberventil |
| EP2287501A1 (de) | 2009-08-19 | 2011-02-23 | VAT Holding AG | Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs |
| EP2315236B1 (de) | 2009-10-22 | 2014-05-14 | VAT Holding AG | Klappen-Transferventil |
| WO2011072315A1 (de) | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| DE102010053411B4 (de) * | 2009-12-15 | 2023-07-06 | Vat Holding Ag | Vakuumventil |
| EP2355132B1 (de) | 2010-02-04 | 2014-05-21 | VAT Holding AG | Klappen-Transferventil mit schwenkbarem Ventilverschlussbalken |
| EP2420709A1 (de) | 2010-08-16 | 2012-02-22 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung |
| CH704728A2 (de) | 2011-03-18 | 2012-09-28 | Vat Holding Ag | Vakuumventil zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung eines Verschlussglieds. |
| EP2551565A1 (de) | 2011-07-28 | 2013-01-30 | VAT Holding AG | Vakuumventil und Verschlussglied zum gasdichten Schliessen eines Fliesswegs mittels einer Linearbewegung |
| CN102494150A (zh) * | 2011-12-07 | 2012-06-13 | 深圳大学 | 新型密封结构的闸阀 |
| US20130214191A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | Kunshan Kinglai Hygienic Materials Co., Ltd. | Kind of gate valve |
| EP2740979A1 (de) | 2012-12-05 | 2014-06-11 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
| CN104421437B (zh) * | 2013-08-20 | 2017-10-17 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统 |
| EP2913573A1 (de) | 2014-02-26 | 2015-09-02 | VAT Holding AG | Vakuumventil |
| KR102270597B1 (ko) | 2014-04-02 | 2021-06-29 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
| KR102259116B1 (ko) | 2014-04-02 | 2021-06-01 | 배트 홀딩 아게 | 진공밸브 |
| EP2985497B1 (de) | 2014-08-11 | 2017-10-11 | VAT Holding AG | Verschlusselement für ein Vakuumventil mit abgepresster, aufvulkanisierter Dichtung |
| EP3106728A1 (de) | 2015-06-16 | 2016-12-21 | VAT Holding AG | Vakuumventil mit linearer führungseinheit und ventilsystem mit ebensolchem ventil und antrieb |
| WO2016206966A1 (de) | 2015-06-22 | 2016-12-29 | Vat Holding Ag | Steuerungsvorrichtung für eine pneumatische kolben-zylinder-einheit zum verstellen eines verschlussgliedes eines vakuumventils |
| CN107923553A (zh) * | 2015-08-11 | 2018-04-17 | Vat控股公司 | 阀、特别是真空阀 |
| KR20170029676A (ko) | 2015-09-07 | 2017-03-16 | 주식회사 엠앤이 | 차폐 디스크 유동 억제 장치 및 이를 포함하는 진공 게이트 밸브 |
| EP3150322A1 (de) | 2015-10-02 | 2017-04-05 | VAT Holding AG | Verschlusselement für eine vakuumdichtung mit einer reibrührschweissverbindung |
| CN106382379A (zh) * | 2016-12-07 | 2017-02-08 | 上海核阀门制造有限公司 | 强制密封平板闸阀 |
| EP3348885B1 (de) | 2017-01-16 | 2019-12-11 | VAT Holding AG | Dichtung eines vakuumventils und diesbezügliches herstellungsverfahren |
| TWI751273B (zh) | 2017-02-15 | 2022-01-01 | 瑞士商Vat控股股份有限公司 | 真空閥 |
| CN108374903B (zh) * | 2018-02-10 | 2020-08-14 | 苏州新材料研究所有限公司 | 一种适于穿过带材的闸板阀 |
| CN108343756A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-07-31 | 浙江锐步流体控制设备有限公司 | 双重密封刀闸阀 |
| DE102020006404A1 (de) * | 2020-10-19 | 2022-04-21 | Vat Holding Ag | Vakuumventil für ein Vakuumtransportsystem |
| DE102020006403A1 (de) | 2020-10-19 | 2022-04-21 | Vat Holding Ag | Modulares Vakuumventilsystem für ein Vakuum-Transportsystem |
| CN114352171A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-04-15 | 苏州子山半导体科技有限公司 | 一种新型的真空密封门板结构 |
| DE102023000251A1 (de) | 2023-01-27 | 2024-08-01 | Vat Holding Ag | Klappenventil und Dichtung mit verbesserter Dichtgeometrie für ein solches Ventil |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE826098C (de) * | 1949-08-03 | 1951-12-27 | Salem Brosius Inc | Schieber |
| US2850260A (en) * | 1954-08-23 | 1958-09-02 | Vacuum Res Company | Gate valve |
| US3185435A (en) * | 1962-02-15 | 1965-05-25 | Ultek Corp | Valve construction |
| US3216694A (en) * | 1962-03-14 | 1965-11-09 | Cenco Instr Corp | Large high vacuum valve |
| DE1223212B (de) * | 1962-09-29 | 1966-08-18 | Johannes Erhard | Dichtung fuer Absperrschieber |
| US3262672A (en) * | 1963-11-13 | 1966-07-26 | Vacuum Res Company | Large port gate valve |
| US3463193A (en) * | 1966-12-01 | 1969-08-26 | Oscar A Yost | Slide valve construction |
| FR2139616B1 (de) * | 1971-05-04 | 1973-05-11 | Pont A Mousson Fond | |
| GB1379675A (en) * | 1972-06-09 | 1975-01-08 | Montgomerie J B | Gate valve |
| FR2216492A1 (de) * | 1973-02-02 | 1974-08-30 | Bouchon Gaston | |
| DE2523152C3 (de) * | 1975-05-24 | 1982-01-07 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Hochvakuumventil, insbesondere für Ultrahochvakuumzwecke |
| US4223868A (en) * | 1979-04-10 | 1980-09-23 | Mueller Co. | Resilient seated gate valve |
| DE2947517C2 (de) * | 1979-11-24 | 1982-07-15 | VAT Aktiengesellschaft für Vakuum-Apparate-Technik, Haag | Glanzmetall-Ventilschieber für Hochvakuumanlagen |
| FR2478252A1 (fr) * | 1980-03-13 | 1981-09-18 | Coccinelle Entr | Dispositif de vanne de fermeture pour conduits d'un liquide |
| JPS6021595Y2 (ja) * | 1980-04-30 | 1985-06-27 | 株式会社デンソー | 配管保持具 |
| US4291861A (en) * | 1980-08-04 | 1981-09-29 | Thermionics Laboratory, Inc. | Gate valve with slideable closure expandable upon oscillation |
| US4531539A (en) * | 1981-11-23 | 1985-07-30 | General Signal Corporation | Control valve for flow of solids |
| DE3209217C2 (de) * | 1982-03-13 | 1985-10-03 | Siegfried Haag Schertler | Schiebeventil |
| US4483514A (en) * | 1982-04-08 | 1984-11-20 | International Telephone And Telegraph Corporation | Gate member for resilient-seated gate valve |
| GB2182757B (en) * | 1985-11-09 | 1989-10-11 | James Blane Montgomerie | Improvements relating to single face sluices, penstocks or gate valves |
-
1987
- 1987-05-26 DE DE19873717724 patent/DE3717724A1/de active Granted
-
1988
- 1988-02-12 CH CH500/88A patent/CH674558A5/de not_active IP Right Cessation
- 1988-02-29 FR FR888802478A patent/FR2615921B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-20 US US07/197,116 patent/US4809950A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-23 GB GB8812114A patent/GB2205926B/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-05-25 JP JP63128131A patent/JPH0650148B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3717724C2 (de) | 1990-03-01 |
| GB2205926B (en) | 1991-11-20 |
| GB8812114D0 (en) | 1988-06-29 |
| GB2205926A (en) | 1988-12-21 |
| FR2615921A1 (fr) | 1988-12-02 |
| US4809950A (en) | 1989-03-07 |
| FR2615921B1 (fr) | 1991-09-13 |
| JPS6446070A (en) | 1989-02-20 |
| DE3717724A1 (de) | 1988-12-08 |
| JPH0650148B2 (ja) | 1994-06-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CH674558A5 (de) | ||
| DE3801998C1 (de) | ||
| CH663261A5 (de) | Schiebeventil. | |
| CH686457A5 (de) | Platten-Schieber. | |
| DE1500056B1 (de) | Spreizkoerper fuer einen Absperrschieber mit anpressbaren Schieberplatten | |
| DE3022376A1 (de) | Kniehebelspannvorrichtung | |
| CH659441A5 (de) | Gleisbremse zur herabsetzung der geschwindigkeit mindestens eines waggons. | |
| DD157817A5 (de) | Steuerschieber fuer dickstoffpumpen | |
| DE3525685A1 (de) | Absperrorgan | |
| DE2706163C2 (de) | Zylinder mit einem darin beweglichen Kolben | |
| DE1626144A1 (de) | Druckbetaetigte Fluidumsabdichtung | |
| DE69217884T2 (de) | Kugelhahn mit zurücknehmbarer Dichtung | |
| EP0066734B1 (de) | Ausblas-Einrichtung für Ausstoss- und Ablaufrohre von U-Booten | |
| DE705845C (de) | Fluessigkeitsstossdaempfer, insbesondere fuer Kraftfahrzeuge | |
| DE2627607A1 (de) | Absperrventil | |
| EP0662575B1 (de) | Ventilmechanik mit Zwangsführung | |
| DE69004093T2 (de) | Klappenventilanordnung und verfahren. | |
| DE68917899T2 (de) | Schieberverschluss. | |
| DE2047888A1 (de) | Ventildichtung | |
| DE1403585B2 (de) | Abblasventil für einen Strahltriebwerksverdichter | |
| DE2035569B2 (de) | Absperrschieber mit mit glattem gehaeusedurchgang und beweglichen, anpressbaren absperrplatten | |
| DE2403750A1 (de) | Absperrschieber | |
| DE2624934C2 (de) | Automatisches Antriebs- und Führungssystem zum Betätigen einer Schiebetür | |
| DE69633509T2 (de) | Absperrventil | |
| DE3229682A1 (de) | Mehrwegeventil |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PL | Patent ceased |