CH677266A5 - - Google Patents

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CH677266A5
CH677266A5 CH4019/87A CH401987A CH677266A5 CH 677266 A5 CH677266 A5 CH 677266A5 CH 4019/87 A CH4019/87 A CH 4019/87A CH 401987 A CH401987 A CH 401987A CH 677266 A5 CH677266 A5 CH 677266A5
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CH
Switzerland
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sealing
depressions
arrangement according
sealing ring
stator
Prior art date
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CH4019/87A
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Inventor
Karl-Heinz Victor
Hans-Wilhelm Laarmann
Gustav Maser
Ralf Dr Dedeken
Original Assignee
Pacific Wietz Gmbh & Co Kg
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
    • F16J15/16—Sealings between relatively-moving surfaces
    • F16J15/34—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3404—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal
    • F16J15/3408—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface
    • F16J15/3412—Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member and characterised by parts or details relating to lubrication, cooling or venting of the seal at least one ring having an uneven slipping surface with cavities

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  • Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Description

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CH 677 266 A5
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Beschreibung
Die Erfindung betrifft eine gasgesperrte Dichtungsanordnung gemäss dem Oberbegriff der Patentansprüche 1 und 2. Gasgesperrte Dichtungsanordnungen dieser Art werden auch als gasgestützte Dichtungen, «Film-Riding Gas Seals» oder allgemein kontaktlose Dichtungen bzw. zur Unterscheidung von flüssigkeitsgesperrten, kontaktlosen Dichtungen als gasgesperrte kontaktlose Dichtungsanordnungen bezeichnet. Bei gasgesperrten Dichtungsanordnungen besteht stets die Aufgabe, möglichst planparaliele Dichtflächen auch im Betrieb sicherzustellen. Bei den bekannten Dichtungsanordnungen des beschriebenen Aufbaus, von denen die Erfindung ausgeht (EP 0 013 678 A1), ist die Geometrie der Dichtungsanordnungen besonders gestaltet, um die Planparallelität der Dichtflächen im Betrieb zu erreichen. Im einzelnen sind die bekannten Dichtungsanordnungen wie folgt aufgebaut: Die Vertiefungen sind von zumindest einem Umfangs-rand des entsprechenden Dichtungsringes ausgehende Spiralnuten. Der Rotor-Dichtungsring besteht aus einem Werkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit sowie grossen Elastizitätsmoduls und grosser Härte. Dabei kann mit Wblframcarbid gearbeitet werden. Der Stator-Dichtungsring besteht zwingend aus einem Werkstoff von vergleichsweise kleinem Elastizitätsmodul und geringer Härte, nämlich aus Kohlenstoff, dessen Wärmeleitfähigkeit nicht ausgezeichnet ist. Auf das Porenvolumen und die Oberflächenrauhigkeit der Dichtflächen an den Dichtungsringen wird kein besonderer Wert gelegt. Aus dem verhältnismässig kleinen Elastizitätsmodul und der Wärmeleitfähigkeit des Stator-Dichtungs-ringes dieser bekannten Dichtungsanordnung resultiert eine durch die Arbeitstemperatur der Dichtungsanordnung bedingte Verwindungsverfor-mung, eine sogenannte Stülpung. Tatsächlich beträgt das Temperaturgefälle in axialer Richtung 25°C und mehr. Eine solche Verwindungsverfor-mung des Stator-Dichtungsringes beeinflusst die Dichtungsverhältnisse und die Standzeit beider Dichtungsringe und damit der Dichtungsanordnung insgesamt nachteilig. Bei der bekannten Ausführungsform sind daher die Anordnung und die Auslegung so getroffen, dass der Verwindungsverfor-mung entgegenwirkende Momente aus der Druckverteilung Im Dichtungsspalt entstehen, die im Gleichgewicht die Planparallelität der Dichtflächen bewirken. Zwingend notwendig dazu ist, dass die Vertiefungen förderwirksame, eine Pumpwirkung erzeugende Spiralrillen sind und dass die Spiralrillen, die zumindest im Rotor-Dichtungsring angeordnet sind, lediglich von einem Umfang der Dichtungsstirnfläche ausgehend sowie an einem Damm oder Steg enden, wobei in bezug auf die Spiralrillentiefe, in bezug auf das sogenannte Stegbreitenverhältnis sowie in bezug auf das Gleichgewicht bestimmte zahlenmässige Parameter eingehalten werden müssen. Selbst wenn man diese Massnahmen verwirklicht, ist der erreichte Effekt unbefriedigend. Das Gleichgewicht und damit die Planparallelität der Dichtflächen sind nur in einem engen Einsatzbereich, nicht aber bei unterschiedlichen Betriebsverhältnissen, gewährleistet. Im übrigen muss bei der bekannten Ausführungsform eine störend hohe Leckrate in Kauf genommen werden, die mit zunehmender Drehzahl der Welle und damit des Rotor-Dichtungsringes wegen der Pumpwirkung der Spiralrillen in starkem Masse zunimmt und durch die nur unvollständige Rückstellung noch vergrössert wird.
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine gasgesperrte Dichtungsanordnung des eingangs beschriebenen Aufbaus zu schaffen, bei der auf einfache Weise sichergestellt ist, dass die Dichtflächen die im Betrieb erforderliche Planparallelität aufweisen, und zwar bei unterschiedlichen Betriebsbedingungen.
Eine erste Lösung dieser Aufgabe ist erfindungs-gemäss durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gekennzeichnet. Eine zweite Lösung ist erfindungsgemäss durch die im Patentanspruch 2 angegebenen Merkmale gekennzeichnet.
Spiralrillen sind in gasdynamischer Hinsicht Elemente, die eine definierte Förderung bewirken. Diese ist erfindungsgemäss jedoch nicht erforderlich und kann dem Lenkstrom entgegenwirken. Vertiefungen mit einer Staukante sind dem gegenüber in gasdynamischer Hinsicht Elemente, die einer definierten Förderung des Gases entgegenwirken, nämlich eine Stauung bewirken. Die Staukanten wirken dem Pumpeffekt entgegen. - Ra bezeichnet den Mitte nrauhigkeitswert nach DIN 4768.
Zwar ist der Einsatz von Wolframcarbid bei Dichtungsanordnungen des eingangs beschriebenen Aufbaus bekannt (EP 0 013 678 AI), jedoch werden die Eigenschaften dieses Werkstoffes zur Lösung der vorstehenden angegebenen Aufgabe nicht eingesetzt. Der Einfluss der Elastizität, der Wärmeleitfähigkeit und der Festigkeit auf die Wahl von Dichtungsringwerkstoffen im Rahmen der Gestaltung von Dichtungsanordnungen ist ebenfalls bekannt (Gabriel «Fundamentals of Spiral Groove Non-contacting Face Seals», Paper presented at 33rd ASLE Annual Meeting, 1978), jedoch ist nicht erkannt, dass auch die Porosität und die Rauhigkeit wesentliche Einflussparameter sind. Zwar ist es bei Dichtungsanordnungen anderer ' physikalischer Funktionszusammenhänge, nämlich bei klassischen Gleitringdichtungen, seit über zwanzig Jahren bekannt (Mayer «Axiale Gleitringdichtungen», Düsseldorf, VDI, 1965), die Rauhigkeit der Kontaktflächen bei Gleitringdichtungen zu beachten, jedoch ist die Lösung der Probleme, die bei den eingangs behandelten gasgesperrten Dichtungsanordnungen auftreten, dadurch erkennbar nicht beeinflusst worden.
Der Aufbau der Dichtungsanordnung insgesamt ist einfach, zumal komplexe und die Einsatzbreite beeinträchtigende Gleichgewichtsbedingungen, wie sie bei der eingangs beschriebenen bekannten Ausführungsform eingehalten werden müssen, nicht einzurichten und zu beachten sind. Auf Vertiefungen, die eine ausgeprägte Pumpwirkung erzeugen, kann verzichtet werden und wird bei der Ausführungsform mit Staukante praktisch vollständig verzichtet, was die Leckrate beachtlich reduziert. Vergleicht man eine zum Stand der Technik gehörende
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gasgesperrte Dichtungsanordnung bei sonst gleicher Auslegung für gleiche Betriebsverhältnisse mit einer erfindungsgemässen Gasdichtungsanordnung, so lässt sich die Leckrate um zumindest 50% reduzieren. Dazu trägt auch bei, dass die Dichtungsringe im Betrieb zwar eine Temperaturerhöhung erfahren, diese besitzt jedoch nach dem Einlaufen und daraus resultierendem Temperaturgleichgewicht einen so geringen Temperaturgradienten, dass schon aus diesem Grunde störende Ver-windungsverformungen praktisch nicht auftreten. Das Temperaturgefälle liegt in axialer Richtung unter 1°C, während es bei den eingangs behandelten bekannten Ausführungsformen fast 25°C beträgt. Das gilt für alle üblichen Grössen der Gasdichtungsanordnung, Wellendurchmesser z.B. 50 bis 250 mm, Gleitgeschwindigkeit bis 150 m/sec. Im übrigen wirkt das Flächenträgheitsmoment des Stator-Dichtungsringes den Verwindungsverformungen entgegen. Hinzu kommt, dass das geringe Porenvolumen und die geringe Oberflächenrauhigkeit in dem Bereich, in dem Vertiefungen nicht , angeordnet sind, die Leckrate weiter reduzieren. Überraschenderweise bestehen auch keine Einlaufprobleme.
Im einzelnen bestehen im Rahmen der Erfindung mehrere Möglichkeiten der weiteren Ausbildung und Gestaltung.
Nach bevorzugter Ausführungsform besitzt der Stator-Dichtungsring ein Flächenträgheitsmoment, welches temperaturbedingten Verwindungsverformungen seiner Dichtungsstirnfläche entgegenwirkt. Ein solches Flächenträgheitsmoment kann mit den modernen computergestützten Rechenmethoden der technischen Mechanik unschwer ermittelt werden. Nach bevorzugter Ausführungsform der Erfindung weisen ausserdem die Dichtungsstirnflächen bei Zimmertemperatur und einem Temperaturgradienten von Null eine Ebenheit von 0,4 um pro 100 mm Durchmesser auf.
Unter Beachtung der angegebenen Forderung an Wärmeleitfähigkeit, Elastizitätsmodul und Härte können die Dichtungsringe aus verschiedenen Werkstoffen aufgebaut werden. Bewährt hat sich, dass die Dichtungsringe aus einem der Werkstoffe der Gruppe «Wolframcarbid, Siliciumcarbid, Silici-um/Siliciumcarbid-Compound, Titancarbid» bestehen. Sie werden z.B. durch Sintern oder Pressintern hergestellt, wobei das Porenvolumen einstellbar ist. Im Rahmen der Erfindung können beide Dichtungsringe aus dem gleichen Werkstoff aufgebaut sein. Man kann aber auch die Anordnung so treffen, dass die Dichtungsringe in bezug auf den Stator-Dichtungsring einerseits und den Rotor-Dichtungsring andererseits Paarungen der vorgenannten Werkstoffe aufweisen. Im Sinne einer Optimierung lehrt die Erfindung, dass die Dichtungsringe ein Porenvolumen von unter 0,5% besitzen. Der Stator-Dichtungsring besitzt vorzugsweise einen Ringquerschnitt, dessen Ringhöhe in axialer Richtung zumindest dem Zweifachen der radialen Ring-breite entspricht.
In bezug auf die Anordnungen der Vertiefungen ist eine Ausführungsform der erfindungsgemässen Gasdichtungsanordnung dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen an einem Umfang der Dichtungsstirnfläche beginnen und an einem Damm der Dichtungsstirnfläche enden, der aus dem vertiefungsfreien Teil der Dichtungsstirnflächen besteht. Die Vertiefungen können aber auch sowohl vom Innendurchmesser als auch vom Aussendurchmes-ser der Dichtungsstirnflächen ausgehen und an einem vertiefungsfreien Damm enden. In diesem Falle kann die Ausführungsform mit Spiralrillen so eingerichtet sein, dass die Pumpwirkungen einander entgegengerichtet sind. Insbesondere bei der Ausführungsform mit Staukanten ist es vorteilhaft, die Vertiefungen an einem mäanderförmig verlaufenden Damm enden zu lassen. Im Rahmen der Erfindung liegt es, die Dichtungsstirnflächen mit einer Notlaufausrüstung zu versehen. Diese kann z.B. aus einer Auflage von einigen um aus Graphit, Po-lytetrafluoräthylen oder dergleichen bestehen. Sie kann aber auch aus in den Dichtungswerkstoff eingelagertem Kohlenstoff bestehen.
Von besonderer Bedeutung ist im Rahmen der Erfindung bei der Ausführungsform mit Staukanten die Gestaltung der Vertiefungen. In diesem Zusammenhang ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die Staukante der Vertiefungen in radialer Richtung verläuft. Die Staukante kann aber auch als kreisbogenförmiger Abschnitt von in der Draufsicht kreisförmigen Vertiefungen ausgeführt sein. Ein anderer Vorschlag der Erfindung geht dahin, die Staukante als Seitenkante von in der Draufsicht dreieckförmi-gen Vertiefungen auszuführen, deren Dreieckspitze am Umfangsrand gleichsam abgeschnitten ist. Stets empfielt es sich, die Anordnung so zu treffen, dass die Vertiefungen in bezug auf eine in radialer Richtung verlaufende Linie symmetrisch ausgeführt sind. Ist diese Symmetrie erfüllt, so arbeitet die er-findungsgemässe Gasdichtungsanordnung drehrichtungsunabhängig. Ist dieses nicht erforderlich oder nicht erwünscht, so können die Vertiefungen mit Staukante unsymmetrisch z.B. L-förmig, gestaltet sein. Die Tiefe der Vertiefungen liegt in nm-Bereich.
Im folgenden wird die Erfindung anhand einer lediglich ein Ausführungsbeispiel darstellenden Zeichnung ausführlicher erläutert. Es zeigen in schematischer Darstellung:
Fig. 1 einen Axialschnitt durch eine erfindungsge-mässe Gasdichtungsanordnung im montierten Zustand,
Fig. 2 eine Ansicht des Rotor-Dichtungsringes aus dem Gegenstand nach Fig. 1,
Fig. 3, 4 und 5 andere Ausführungsformen des Gegenstandes der Fig. 2 und die
Fig. 6 und 7 weitere Ausführungsformen des Gegenstandes der Fig. 2.
Die in den Figuren dargestellte Gasdichtungsanordnung für eine Welle 1 besteht in ihrem grundsätzlichen Aufbau aus einem Dichtungsgehäuse 2, einem in dem Dichtungsgehäuse 2 angeordneten Stator-Dichtungsring 3 und einem auf der Welle 1 angeordneten, wellenfesten Rotor-Dichtungsring 4. Die beiden Dichtungsringe arbeiten mit ihren Dichtungsstirnflächen 3a bzw. 4a, von denen im
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Ausführungsbeispiel die des Rotor-Dichtungsringes 4 zu einem Umfangsrand hin offene Vertiefungen 5 aufweist, gegeneinander mit einem Dichtungs-spait bei 6, der aus Massstabsgründen nicht erkennbar ist. Der Stator-Dichtungsring arbeitet mit einer vorgegebenen Andrückkraft, die im Ausführungsbeispiel mit über den Umfang des Stator-Dich-tungsringes 3 verteilten Federn 7 resultiert, in Richtung auf den Rotor-Dichtungsring 4. Der Rotor-Dichtungsring 4 besteht aus einem Werkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit sowie grossen Elastizitätsmoduls bei grosser Härte. Er ist praktisch verformungsfrei. Der Stator-Dichtungsring 3, der eine Ringhöhe 8 aufweist, die grösser ist als seine Dich-tungsstirnfiächenbreite 9, ist beweglich gelagert.
Die beiden Dichtungsringe 3, 4 bestehen aus einem Werkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit sowie grossen Elastizitätsmoduls und grosser Härte. Beide Dichtungsringe 3,4 besitzen das vorstehend angegebene geringe Porenvolumen und die vorstehend angegebene geringe Oberflächenrauhigkeit. Der Stator-Dichtungsring 3 besitzt im übrigen ein Fläehenträgheitsmoment, welches temperaturbedingten Verwindungsverformungen seiner Dichtungsstirnfläche 3a entgegenwirkt. Das lässt der aus der Fig. 1 entnehmbare Ringquerschnitt nachvollziehen. Die Vertiefungen 5, zu denen auf die Fig. 2 und 3 verwiesen wird, sind, ohne Rücksicht auf die Ausbildung von den Verwindungsverformungen entgegenwirkenden Momenten aus der Druckverteilung im Dichtungsspalt bei 6 so ausgebildet und eingerichtet, dass die Leckrate minimiert wird. Das erreicht man wegen der Staukanten 5a, die einem Pumpeffekt entgegenwirken. In den Fig. 2 und 3 sind die Vertiefungen T-förmig mit radialen Staukanten 5a ausgeführt. In Fig. 4 sind die Vertiefungen 5 kreisförmig, in Fig. 5 dreieckförmig mit gleichsam abgeschnittener Spitze. Alle dargestellten Ausführungsformen sind symmetrisch in bezug auf einen Radius 5b. Im Rahmen der Erfindung können die Vertiefungen aber auch unsymmetrisch ausgeführt sein. Die Tiefe der Vertiefungen liegt vorzugsweise unter 2,5 um. Die Dichtungsstirnflächen 3a, 4a sind bei Zimmertemperaturen bei einem Temperaturgradienten von Null bis auf eine Ungenauig-keit praktisch vollkommen eben. Die Dichtungsringe 3, 4 bestehen aus einem der angegebenen Werkstoffe oder entsprechenden Paarungen.
Aus den Fig. 2 sowie 4 und 5 entnimmt man, dass die Vertiefungen 5 an einem Umfang der Dichtungsstirnfläche 4a beginnen und an einem Damm 10 der Dichtungsstirnfläche 4a enden, der aus dem vertiefungsfreien Teil der Dichtungsstirnfläche 4a besteht. Gemäss Fig. 3 beginnen die Vertiefungen 5 sowohl am Innendurchmesser als auch am Aussen-durchmesser der Dichtungsstirnfläche 4a. Sie enden an einem mittigen, vertiefungsfreien Damm 10. Der Damm 10 verläuft in Fig. 3 gleichsam mäander-förmig. Die Dichtungsstirnflächen 3a, 4a können eine Notlaufausrüstung geringer Dicke aus Graphit, Polytetrafluoräthylen oder dergleichen tragen, was aus Massstabsgründen nicht gezeichnet werden konnte.
Bei der Ausführungsform nach den Fig. 6 und 7 sind die Vertiefungen 5 Spiralnuten. Im übrigen besteht Übereinstimmung mit der Ausführungsfarm nach den Fig. 2 und 3.

Claims (16)

Patentansprüche
1. Gasgesperrte Dichtungsanordnung für eine Welle mit Dichtungsgehäuse, in dem Dichtungsgehäuse angeordnetem Stator-Dichtungsring und auf der Welle angeordnetem, wellenfesten Rotor-Dichtungsring, wobei die beiden Dichtungsringe mit ihren Dichtungsstirnflächen, von denen zumindest eine zu einem Umfangsrand offene Vertiefungen aufweist, gegeneinander mit einem Dichtungsspalt arbeiten, der eine Leckrate bestimmt, wobei der Stator-Dichtungsring mit einer vorgegebenen Andrückkraft in Richtung auf den Rotor-Dichtungsring gedrückt ist und sowohl der Stator-Dichtungsring als auch der Rotor-Dichtungsring aus einem Werkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit sowie grossen Elastizitätsmodul und grosser Härte besteht sowie der Stator-Dichtungsring axial beweglich gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator-Dichtungsring (3) unter den Betriebsbedingungen annähernd verwindungsverformungs-frei ausgebildet ist und die zu einem Umfangsrand offenen Vertiefungen (5) - ohne Rücksicht auf die Ausbildung von Verwindungsverformungen entgegenwirkenden Momenten aus der •Druckverteilung im Dichtungsspait (6) - so ausgebildet, angeordnet und eingerichtet sind, dass die Leckrate minimiert wird, und wobei die Kombination der folgenden Merkmale verwirklicht ist:
a) Beide Dichtungsringe (3, 4) bestehen aus einem Hartdichtungswerkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit von über 70 W/mK grossen Elastizitätsmoduls von über 250 000 N/mm2 und entsprechender Härte,
b) beide Dichtungsringe (3, 4) besitzen, bezogen auf ihr Gesamtvolumen ein Porenvolumen von unter 1% sowie eine Oberflächenrauhigkeit Ra von unter 0,3 um,
c) die Vertiefungen (5) sind förderwirksame Spiralrillen.
2. Gasgesperrte Dichtungsanordnung für eine Welle mit Dichtungsgehäuse, in dem Dichtungsgehäuse angeordnetem Stator-Dichtungsring und auf der Welle angeordnetem, wellenfesten Rotor-Dichtungsring, wobei die beiden Dichtungsringe mit ihren Dichtungsstirnflächen, von denen zumindest eine zu einem Umfangsrad offene Vertiefungen aufweist, gegeneinander mit einem Dichtungsspalt arbeiten, der eine Leckrate bestimmt, wobei der Stator-Dichtungsring mit einer vorgegebener Andrückkraft in Richtung auf den Rotor-Dichtungsring gedrückt ist und sowohl der Stator-Dichtungsring als auch der Rotor-Dichtungsring aus einem Werkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit sowie grossen Elastizitätsmoduls und grosser Härte besteht sowie der Stator-Dichtungsring axialbeweglich gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator-Dichtungsring (3) unter den Betriebsbedingungen annähernd verwindungsverformungsfrei ausgebildet ist und die zu einem Umfangsrand offenen Vertiefungen (5) - ohne Rücksicht auf die Ausbildung von Verwindungsverformungen entgegenwirkenden
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Momenten aus der Druckverteilung im Dichtungsspalt (6) - so ausgebildet, angeordnet und eingerichtet sind, dass die Leckrate minimiert wird, und wobei die Kombination der folgenden Merkmale verwirklicht ist:
a) Beide Dichtungsringe (3, 4) bestehen aus einem Hartdichtungswerkstoff hoher Wärmeleitfähigkeit von über 70 W/mK grossen Elastizitätsmoduls von über 250 000 N/mm2 und entsprechender Härte,
b) beide Dichtungsringe (3, 4) besitzen, bezogen auf ihr Gesamtvolumen ein Porenvolumen von unter 1% sowie eine Oberflächenrauhigkeit Ra von unter 0,3 um,
c) die Vertiefungen (5) sind druckwirksam und besitzen zumindest eine Staukante (5a).
3. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtungsringe (3, 4) aus einem der Werkstoffe der Gruppe «Wolframcarbid, Siliciumcarbid, Silici-um/Siliciumcarbid-Compound, Titancarbid» oder Paarungen davon bestehen.
4. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator-Dichtungsring (3) ein Flächenträgheitsmoment besitzt, welches temperaturbedingten Verwindungsverformungen seiner Dichtungsstirnfläche (3a) entgegenwirkt.
5. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtungsstirnflächen (3a, 4a) bei Zimmertemperatur und bei einem Temperaturgradienten von Null eine Ebenheit von 0,4 um pro 100 mm Durchmesser aufweisen.
6. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtungsringe (3, 4) ein Porenvolumen unter 0,5%, bezogen auf ihr Gesamtvolumen, aufweisen.
7. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Stator-Dichtungsring (3) einen Ringquerschnitt aufweist, dessen Ringhöhe in axialer Richtung zumindest dem Zweifachen der Ringbreite entspricht.
8. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen (5) an einem Umfang der Dichtungsstirnflächen (3a; 4a) beginnen und an einem Damm (10) der Dichtungsstirnflächen (3a; 4a) enden, der aus dem spiralrillenfreien Teil der Dichtungsstirnflächen (3a; 4a) besteht.
9. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen (5) sowohl vom Innendurchmesser als auch vom Aussendurchmesser der Dichtungsstirnflächen (3a; 4a) ausgehen und an einem mittigen vertiefungsfreien Damm (10) enden.
10. Dichtungsanordnung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen (5) als Spiralrillen ausgebildet sind, wobei sie einander entgegengerichtete Pumpwirkungen erzeugen.
11. Dichtungsanordnung nach einem der Anprü-che 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Staukante (5a) der Vertiefungen (5) in radialer Richtung verläuft.
12. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Staukante (5a) der Vertiefungen (5) als kreisbogenförmiger Abschnitt von in der Draufsicht kreisförmigen Vertiefungen (5) ausgeführt ist.
13. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Staukante (5a) der Vertiefungen (5) als Seitenkante von in der Draufsicht dreieckförmigen Vertiefungen (5) ausgeführt ist, deren Dreiecksspitze am Umfangsrand abgeschnitten ist.
14. Dichtungsanordnung nach einem der Ansprüche 2 bis 7 sowie 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen (5) in bezug auf eine in radialer Richtung verlaufende Linie (5b) symmetrisch ausgeführt sind.
15. Dichtungsanordnug nach einem der Ansprüche 3 bis 7 sowie 11 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Vertiefungen (5) an einem mäanderförmig verlaufenden Damm (10) enden.
16. Dichtungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Dichtungsringe (3, 4) eine Oberflächenrauhigkeit Ra von unter 0,03 um besitzen.
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