CH683371A5 - Verfahren zur Ermittlung geometrischer Abmessungen eines Prüflings mittels mechanisch berührender Antastung. - Google Patents

Description

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Beschreibung

Die Erfindung dient zur mechanisch berührenden Präzisionsantastung bei der hochauflösenden Wegmessung. Sie kann überall dort eingesetzt werden, wo Präzisionslängenmessungen die Kompensation elastischer Deformationen erfordern. Dies gilt insbesondere für Geräte der Feinmess- bzw. Koordinaten-messtechnik. Anwendungsmöglichkeiten ergeben sich beispielsweise aus den Messaufgaben der Ultrapräzisionsberatung bei der masslichen Erfassung von ebenen, sphärischen, zylindrischen und anderen Flächen. Weitere vorteilhafte Anwendungen sind u.a. in der Endmassmessung hinsichtlich der Masskalibrierung und der Überwachung der Langzeitstabilität sowie in der Durchmessermessung von Präzisionskugeln zu sehen.

Die bei der mechanisch berührenden Antastung auftretenden elastischen Deformationen behindern im zunehmenden Masse die Präzisionsansprüche der hochauflösenden Wegmassung. So führen elastische Deformationen infolge nichtlinearer Hertzscher Abplattungsvorgänge bzw. linearer Tasterdruckbeanspruchungen zwangsläufig zu störenden Massabweichungen. Deformationsursache ist die Messkraft bezüglich ihrer Grösse und Konstanz. Selbst eine Kraftreduzierung auf wenige Pond kann aufgabenabhängig mit unzulässig hohen Restdeformationen verbunden sein. Andererseits ist auch zu erwarten, dass eine gegen Null gehende Messkraft aus konstruktiv-funktionellen und anwendungstechnischen Gründen nicht immer zweckmässig ist. Seit längerer Zeit besteht deshalb die Forderung nach geeigneten Lösungen hinsichtlich der Reduzierung genannter Deformationseinflüsse.

So werden beispielsweise bei der masslichen Erfassung der durch Ultrapräzisionsbearbeitung erzeugten Werkstückflächen messtechnische Spitzenforderungen für Ausflösung und Genauigkeit im Bereich zwischen 1 um und 1 nm vorgegeben, die wiederum für den eigentlichen Antastvorgang nur wenige Hundertstel um Unsicherheit zulassen (Feingerätetechnik, 38. Jg., 1989, Heft 1, S. 2 und Feingerätetechnik, 39. Jg., 1990, Heft 7, S. 302-304). Bei Wahl einer berührenden Antastung in diesem Fall bzw. bei ähnlichen Aufgabenstellungen werden Gegenmassnahmen hinsichtlich der störenden Deformationseinflüsse notwendig, um die hohen Genauigkeitsanforderungen abzusichern. Dabei werden Massnahmen gegen die an der Antaststelle auftretenden Abplattungsdeformationen durch die bezüglich Formen, Abmessungen und Werkstoffe meist vorhandene Prüflingsvielfalt besonders erschwert.

Zur Reduzierung des Deformationseinflusses bieten sich folgende, den Stand der Technik bestimmende Verfahren an:

- Messung gegen ein Vergieichsnormal:

Um Deformationen weitgehend zu kompensieren, wäre der Bezug auf Vergleichsnormale erforderlich. Problematisch bleiben hierbei die kostenaufwendige Bereitstellung einer Vielzahl form-, mass- und werkstoffabhängiger Vergleichsnormale, Normalmessabweichungen, die Unsicherheit des immer wieder neu durchzuführenden Massanschlusses und Messfehler infolge technologisch bedingter Härteunterschiede bzw. von Werkstoffabweichungen, auch Inhomogenitäten, zwischen Normal und Prüfling. Als Beispiel sei auf die Endmasskalibrierung bzw. Überwachung der Langzeitstabilität mittels eines Endmassprüfplat-zes verwiesen (Jenaer Rundschau, 30. Jg., 1985, Heft 2, S. 84-87). Bei diesem Endmass-Vergleichs-verfahren lassen sich trotz hoher elektronischer Messwertauflösung die dargelegten Mängel und Messfehler, u.a. durch Härteunterschiede beim Normalvergleich, nicht völlig ausschliessen.

- Rechnerische Korrektur elastischer Deformationen:

Die rechnerische Korrektur abplattungsbedingter Deformationen ist grundsätzlich mit den aus der Hertzschen Abplattungstheorie resultierenden Abplattungsformeln möglich (H.ZÌII, Messen und Lehren im Maschinenbau und in der Feingerätetechnik, VEB Verlag Technik Berlin, 2. Auflage, Berlin 1972, S. 68-71). Diese geben die komplizierten Zusammenhänge von Messkraft, Oberflächengeometrie, Material und Abplattung wieder. Für den Berührungsfall «Kugel mit dem Durchmesser d gegen Zylinder mit dem Durchmesser D» ergibt sich beispielsweise die Abplattung bei einer Messkraft F zu:

Von besonderer Bedeutung sind hier die elastischen Materialkonstanten E', E", m', m", von Antastelement und Prüfling. Bei genauer Untersuchung wird deutlich, dass bei Präzisionsmessungen höchster Genauigkeit eine rechnerische Korrektur der Abplattung sehr zeitaufwendig ist, durch mögliche Fehleingaben der Konstanten und übriger Kennwerte belastet wird und aufgrund von Abweichungen der Mate-

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rialkonstanten hinsichtlich ihrer Ermittlungsgenauigkeit bzw. Materialschwankungen auch nur begrenzt möglich ist. In diesem Zusammenhang ist weiterhin zu beachten, dass die Mess- bzw. Korrekturmöglichkeit bei neuen Materialien erst nach erfolgter Ermittlung der Werkstoffkonstanten gegeben ist und dadurch produktivitätsreduzierende Stillstandszeiten auftreten können. Besonders kritisch für das Korrekturverfahren ist ausserdem der Einfluss von Materialinhomogenitäten, da er rechnerisch nicht erfassbar ist.

- Messkraftextrapolation auf Null:

Dieses Verfahren erfolgt zur Korrektur von Taster- bzw. Werkstückdeformationen. Durch Aufschaltung unterschiedlicher Messkräfte Fi und F2 eines messenden Tastsystems wird eine Taster- bzw. Werkstück-Biegekennlinie ermittelt, mit der auf den Messwert m0 bei der Messkraft Null gerechnet wird. Dieser ergibt sich zu wobei mi bzw. rri2 die mit den Messkräften Fi bzw. F2 ermittelten Messwerte sind. Der in Sonderfällen angewandte Weg der Messkraftextrapolation auf Null bietet zwar grundsätzlich eine Fehlerreduzierung auftretender elastischer Deformationen an, schliesst aber infolge der linearen Rückrechnung auf den Messwert bei Messkraft Null eine vollständige Kompensation nichtlinearer Hertzscher Abplattungsdeformationen aus. Es kommt daher bei einer fehlerkritischen Berücksichtigung der Abplattung Ai und A2 zum Verbleib eines systematischen Fehleranteiles dmo der Grösse wobei Ai bzw. A2 die durch die Kräfte Fi bzw. F2 verursachten Abplattungen sind. Der Nachteil dieses Reduzierverfahrens ist darin zu sehen, dass die elastischen Deformationen nicht in ihrer Gesamtheit er-fasst werden.

Ein Anwendungsbeispiel dieses Verfahrens ist die massliche Erfassung nicht formstabiler Kunststoffteile mit Hilfe von Mehrkoordinatenmaschinen (Kunststoffe, 75. Jg., 1985, Heft 11, S. 824-828). Da hier messkraftbedingte Verbiegungen des Prüflings dominierend sind, kann der noch vorhandene Abplat-tungseinfluss nach prüfkritischer Entscheidung oft unberücksichtigt bleiben. Präzisionsmessungen höchster Genauigkeit erfordern demgegenüber die umfassende Einbeziehung wirkender Deformationsanteile und verlangen daher neue Lösungen der Deformationskompensation, wenn bei Spitzenansprüchen Alternativen zum Stand der Technik verlangt werden.

Es ist das Ziel der Erfindung, die genannten Mängel der aus dem Stand der Technik bekannten Lösungen zu umgehen und eine nichtlineare und lineare elastische Deformationen umfassende Kompensation bei der berührenden Antastung im Ultrapräzisionsbereich zu erreichen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Verfahren zur berührenden Antastung gleichzeitig mit der Kompensation linearer tasterbezogener elastischer Deformationen eine vollständige Kompensation nichtlinearer elastischer Abplattungsdeformationen mit hoher Genauigkeit zu erreichen, wobei die Durchführung des Verfahrens für Prüflinge verschiedener Geometrie und Materialzusammensetzung möglich sein soll.

Erfindungsgemäss wird diese Aufgabe gelöst mit einem Verfahren zur Ermittlung geometrischer Abmessungen eines Prüflings mittels mechanisch berührender Antastung, wobei durch einen der Prüflingsmessung vorgeschalteten Kalibriervorgang nichtlineare abplattungsverbundene Hertzsche und lineare tasterbezogene elastische Deformationen kompensiert werden, bei dem das Kalibrierobjekt auf eine Messtischbezugsfläche gebracht wird und zur Kalibrierung mit zwei unterschiedlichen Messkräften Fi, £2 nacheinander mittels eines an einem Taster angekoppelten Wegmesssystem zwei Längenmesswerte Mi, M2 am gleichen Kalibrierort des Kalibrierobjektes erfasst werden, wobei der Längenmesswert Mi mit der Messkraft Fi und. der Längenmesswert M2 mit der Messkraft F2 ermittelt wird, bei dem aus den Längenmesswerten Mi, M2 und dem Verhältnis der Messkräfte Fi, F2 das Deformationskalibriermass K2 nach der Beziehung

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gebildet wird, bei dem das Kalibrierobjekt (3) am selben Kalibrierort (7) mit der Messkraft Fi angetastet wird und dabei das Wegmesssystem so kalibriert wird, dass es statt des Längenmesswertes Mi den Längenmesswert K = K1+K2 anzeigt, wobei Ki ein definiertes Längenkalibriermass ist, welches der geometrischen Abmessung des Kaiibrierobjektes am Kalibrierort entspricht, und K2 das Deformationskali-briermass ist, bei dem der Prüfling auf die Messtischbezugsfläche gebracht wird und zur Ermittlung geometrischer Prüflingsabmessungen am jeweiligen Prüflingsmessort i nacheinader mit zwei unterschiedlichen Messkräften F'i, F'2 mit gleichem Messkraftverhältnis wie beim Kalibriervorgang zwei Län-genmesswerte M2Ì+1, M2Ì+2 erfasst werden, und bei dem danach der jeweils eigentliche Prüflingsmesswert xi aus den ermittelten Längenmesswerten M21+1, M2Ì+2 nach der Beziehung gebildet wird, wobei die Messwerte M21+1 mit der Messkraft F'i und die Messwerte M2Ì+2 mit der Messkraft F'2 ermittelt worden sind.

Mit dem der Prüflingsmessung vorgezogenen, das Wegmesssystem prägenden Kalibriervorgang wird der Kalibrierwert so gebildet, dass er bei der Prüflingsmessung zur vollständigen Kompensation der in der Erfindungsaufgabe genannten Deformationsanteile gleichzeitig und werkstoffunabhängig führt. Dabei muss der Kalibrierungvorgang nicht vor jeder Prüflingsmessung wiederholt werden, sondern das eingesetzte Wegmesssystem ist mit der Kalibrierung einmal auf Deformationskompensation einzuprägen. Man wird diese Kalibrierung mit der Geräteeinschaltung des Wegmesssystems ausführen und im Bedarfsfall zur masslichen Sicherung bei längerem Einsatz bzw. bei Extremforderungen zeitweise wiederholen.

Eine besondere vorteilhafte Messwertverarbeitung ergibt sich für die Beziehung einer Toleranz des Messkraftverhältnisses von ± 0,1 bis ± 0,2 den Anspruch einer hochpräzisen Deformationskompensation zuverlässig erfüllt. Vorteilhaft ist es, wenn dem am Kalibrierobjekt gebildeten De-formationskalibriermass K2 innerhalb des nach der Beziehung zu ermittelnden Kalibrierwertes K für Prüflings-Vergleichsmessungen das Längenkalibriermass Ki = O zugeordnet wird. Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn das Deformationskalibriermass K2 des nach der Beziehung zu ermittelnden Kalibrierwertes K bei Verzicht auf ein definiertes Kalibrierobjekt mit dem Längenkalibriermass Ki = O an der als Kalibrierobjekt dienenden Messtischbezugsfläche gebildet wird.

Es ist auch vorteilhaft, dass das Deformationskalibriermass K2 des nach der Beziehung zu ermittelnden Kalibrierwertes K bei speziell prüflingsbezogenen Koordinatenmessungen mit dem Längenkalibriermass Ki = 0 an einer als Kalibrierobjekt dienenden Prüflingsbezugsfläche gebildet wird. Günstige Verhältnisse ergeben sich bei dem Kaiibriervorgang ausserdem dadurch, dass das für die Prüflingsmesswertbildung erforderliche Nullen des Wegmesssystems mit der Deformationsberücksichtigung derart vereint wird, dass gleichzeitig eine störende Messwertverschiebung, die vor Beginn aller Messungen willkürlich im Wegmesssystem enthalten sein kann, herausfällt.

Weitere wesentliche Vorteile sind:

- höchste Grundgenauigkeit der Antastung durch maximale Ausschaltung elastischer Deformationswirkungen auch bei werkstoffkritischen Prüflingen aus Kunststoff,

- Verfahrensunabhängigkeit von der Kenntnis elastischer Materialkonstanten,

- vernachlässigbarer Verfahrenseinfluss von Materialinhomogenitäten,

- besondere Eignung des Verfahrens für Präzisionsprüfteile aus Verbundwerkstoffen, da verfahrensbedingt bei Werkstoffunterschieden keine Massabhängigkeit besteht,

= 2,8 ... bei

K = Ki + K2

K = Ki + K2

K = Ki + K2

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- bei Verwendung eines Kugel-Antastelementes Unabhängigkeit der Deformationskompensation von der Neigung der Prüflingsantastfläche, d.h. vom Unterschied zwischen Tast- und Kraftrichtung,

- die Bereitstellung einer Vielzahl von Vergleichsnormalen ist nicht erforderlich, damit entfällt auch eine umfangreiche Normalüberwachung, so dass das Verfahren hinsichtlich Kosten und Zeit rationell durchführbar ist,

- hohe Präzisionsabsicherung bei Verzicht auf eine Vielzahl von Vergleichsnormalen durch Nichteingeben von Normalabweichungen und von kritischer Anschlussreproduzierbarkeit und

- durch verfahrenszulässige erhöhte Messkräfte ist eine bessere Anpassung an störende Randbedingungen der Antastung, wie z.B. Schwingungen, Erschütterungen, Sauberkeit und Luftpolster, bzw. an den Prüflingsoberflächeneinfluss, wie Restrauhigkeit, hinsichtlich möglicher Kontaktstörungen gegeben.

Das Wesen der Erfindung soll anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels mit vertikaler Antastung und Fi = F'i sowie F2 = F'2näher erläutert werden. Die Anwendungsmöglichkeiten bleiben nicht auf dieses Beispiel beschränkt und erfassen auch die horizontale Antastung. Es zeigen:

Fig. 1 schematisch den einer Prüflingshöhenmessung vorgelagerten Kalibriervorgang mit vertikaler Antastung und

Fig. 2 schematisch eine Prüflingshöhenmessung mit vertikaler Antastung.

Für den einer Prüflingshöhenmessung mit vertikaler Antastung vorgelagerten Kaiibriervorgang ist in Fig. 1 der prinzipielle Messaufbau dargestellt. Dieser umfasst einen Messtisch 1 mit einer Messtischbezugsfläche 2, ein auf der Messtischbezugsfläche 2 stehendes Kalibrierobjekt 3, das am Kalibrierort 7 ein definiertes Längenkalibriermass Ki aufweist, und einen mit dem Messtisch 1 gestellfest verbundenen Messtaster 4 mit dem zugehörigen Tastbolzen 5 und dessen Tastkugel 6. Der Kalibriervorgang vollzieht sich derart, dass in einem ersten Schritt der am Kalibrierort 7 des Kalibrierobjektes 3 aufgesetzte Tastbolzen 5 mit einer Messkraft Fi belastet wird. Mit diesem Belastungsvorgang sind elastische Deformationen an der eigentlichen Berührungsstelle von Kalibrierobjekt 3 und Tastkugel 6, dem Kalibrierort 7, und beispielsweise am Tastbolzen 5 verbunden. Dabei handelt es sich am Kalibrierort 7 um nichtlineare Hertzsche Abplattungsdeformationen und am Tastboizen 5 um lineare Tastbolzendeformationen. Einem in der Fig. 1 nicht dargestellten Wegmesssystem wird demzufolge vom Messtaster 4 ein Messwert Mi zugeleitet, der sich aus dem

- definierten Längenkalibriermass Ki,

- einer willkürlichen Messwertverschiebung Ah,

- der Abplattungsdeformation - Ai

- und der Tastbolzendeformation - L gemäss

Mi = Ki + Ah - Ai - L zusammensetzt.

In einem zweiten Schritt wird bei beibehaltener Zuordnung vom Tastbolzen 5 zum Kalibrierort 7 des Kalibrierobjektes 3 die Messkraft Fi auf eine Messkraft F2 umgeschaltet. Beide Messkräfte stehen im Verhältnis F2: Fi = b mit F2 > Fi zueinander. Dem Wegmesssystem wird jetzt vom Messtaster 4 ein Messwert M2 zugeleitet, der sich aus

- dem definierten Längenkalibriermass Ki,

- der unveränderten Messwertverschiebung Ah,

'S j ^ 1

- der Abplattungsdeformation —~j \^~j • Aj, >

£

- und der Tastbolzendeformation — 3^ » L gemäss

M2 = Ki + Ah - ~y » A^ - 3k. % l zusammensetzt.

Beide Messwerte Mi und M2 sind ausser der störenden Messwertverschiebung Ah durch elastische Deformationen unterschiedlicher Ordnung verfälscht.

In einem dritten Schritt wird ein Deformationskalibriermass K2 gemäss

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M, - M.

*- {Nwr-i)

berechnet und mit dem definierten Längenkalibriermass Ki zu einem Kaiibrierwert K gemäss K = Ki + K2 zusammengesetzt.

In einem vierten Schritt wird dieser Kalibrierwert K mit nach Rücknahme der Messkraft F2 und erneuter Einschaltung der Messkraft Fi, bei unveränderter Zuordnung vom Tastbolzen 5 zum Kalibrierort 7 des Kalibrierobjektes 3, gegen den erneut anfallenden Messwert Mi im Wegmesssystem ausgetauscht. Dabei fällt ein den tatsächlichen Antastverhältnissen widersprechender Deformationsbetrag der Grösse an, der den folgenden Prüflingsmessungen zwangsläufig anhaftet. Gleichzeitig fällt die in den Messwerten Mi und M2 noch enthaltene Messwertverschiebung Ah durch den Kalibriervorgang aus der weiteren Messwertbildung heraus und beeinflusst die Prüflingsmessungen nicht mehr.

Die in Fig. 2 dargestellte, eigentliche Prüflingsmessung vollzieht sich in gleicher Weise, wie in dem voran beschriebenen ersten und zweiten Kalibrierschritt, aber unter den Voraussetzungen, dass das Wegmesssystem für Prüflingsmessungen mit Deformationskompensation eingeprägt ist und der Antastvorgang an der die Prüflingshöhe x festlegenden Prüflingsdeckfläche 10 des Prüflings 9 erfolgt. Bei gleichem Messkraftverhältnis b treten abhängig vom Prüflingswerkstoff an der eigentlichen Berührungsstelle 8 von Prüfling 9 und Tastkugel 6 die Abplattungsdeformationen

Im Wegmesssystem fällt demzufolge bei der Messkraft Fi ein Messwert M3 an, der sich aus der

- Prüflingshöhe x,

- der Abplattungsdeformation -A2,

- der Tastboizendeformation -L

- und dem durch die Kalibrierung überlagerten Deformationsbetrag

A-2 auf.

zu zusammensetzt.

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Demgegenüber fällt bei der Messkraft F2 im Wegmesssystem ein Messwert M4 an, der sich aus der - Prüflingshöhe x,

2/75/"

- der Abplattungsdeformation - — VI«,/ • A2

*3.

- der Tastbolzendeformation — -~r- * L

*1

- und dem überlagerten Deformationsbetrag ikzll

L

zu sf/SF1 fé"/) t

M4 = x- 11 ^ / * ^2 " ^ "\J1 j zusammensetzt.

Der eigentliche Prüflingsmesswert x wird durch rechnerische Auswertung der beiden Messwerte M3 und M4 aus der Beziehung

[im-i)

ermittelt, aus der die in den Einzelmesswerten M3 und M4 enthaltenen Deformationswerte herausfallen. Weitere Prüflingsmessungen sind ohne nochmalige Kalibrierung möglich und führen werkstoffunabhängig sowie unabhängig von technologisch bedingten Härtewerten bzw. von Materialinhomogenitäten zu entsprechend deformationsfreien Messergebnissen.

Im dargestellten Kalibriervorgang ist das für die Prüflingsmesswertbildung erforderliche Nullen des Wegmesssystems derart einbezogen, dass der Messtischbezugsfläche 2 der eigentliche Längenmesswert Null für unmittelbare Prüflingsmessungen zugeordnet wird. Durch Kalibriervariation mit Ki = 0 bei der Berechnung des Kalibrierwertes K lässt sich im Ausführungsbeispiel eine durch den Kalibrierort 7 parallel zur Messtischbezugsfläche 2 verlaufende virtuelle Bezugsfläche mit dem eigentlichen Längenmesswert Null bilden, die besonders für Unterschiedsmessungen mit extremen Genauigkeitsanforderungen geeignet ist.

Claims (1)

1. Patentansprüche

   1. Verfahren zur Ermittlung geometrischer Abmessungen eines Prüflings mittels mechanisch berührender Antastung, wobei durch einen der Prüflingsmessung vorgeschalteten Kalibriervorgang nichtlineare abplattungsverbundene Hertzsche und lineare tasterbezogene elastische Deformationen kompensiert werden,

   bei dem das Kalibrierobjekt auf eine Messtischbezugsfläche gebracht wird bzw. die Messtischbezugsfläche selbst das Kalibrierobjekt ist und zur Kalibrierung mit zwei unterschiedlichen Messkräften Fi, F2 nacheinander mittels eines am einem Taster angekoppelten Wegmesssystems zwei Längenmesswerte Mi, M2 am gleichen Kalibrierort des Kalibrierobjektes erfasst werden, wobei der Längenmesswert Mi mit der Messkraft Fi und der Längenmesswert M2 mit der Messkraft F2 ermittelt wird, bei dem aus den Längenmesswerten Mi, M2 und dem Verhältnis der Messkräfte Fi, F2 das Deformationskalibriermass K2 nach der Beziehung

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   und F2 > Fi gebildet wird,

   bei dem das Kalibrierobjekt (3) am selben Kalibrierort (7) mit der Messkraft Fi angetastet wird und dabei das Wegmesssystem so kalibriert wird, dass es statt des Längenmesswertes Mi den Kalibrierwert K = Ki + K2 angezeigt, wobei Ki ein definiertes Längenkalibriermass ist, welches der geometrischen Abmessung des Kalibrierobjektes am Kalibrierort entspricht, und bei Nutzung der Messtischbezugsfläche als Kalibrierobjekt Ki = 0 ist und K2 das Deformationskalibriermass ist, bei dem der Prüfling auf die Messtischbezugsfläche gebracht wird und zur Ermittlung geometrischer Prüflingsabmessungen am jeweiligen Prüflingsmessort i nacheinander mit zwei unterschiedlichen Messkräften F'i, F'2 mit gleichem Messkraftverhältnis wie beim Kalibriervorgang zwei Längenmesswerte M2Ì+1, M2Ì+2 erfasst werden, und bei dem danach der jeweils eigentliche Prüflingsmesswert x, aus den ermittelten Längenmesswer-ten M21+1, M2Ì+2 nach der Beziehung gebildet wird, wobei die Messwerte M2M mit der Messkraft F'i und die Messwerte M2Ì+2 mit der Messkraft F'2 ermittelt worden sind.

   2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Messkräfte Fi, F2, F'i und F'2 nach der Beziehung dimensioniert werden.

   3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass dem am Kalibrierobjekt (3) gebildeten Deformationskalibriermass K2 innerhalb des nach der Beziehung

   K = Ki + K2

   zu ermittelnden Kalibrierwertes K das Längenkalibriermass Ki = 0 zugeordnet wird.

   4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Deformationskalibriermass K2 des nach der Beziehung zu ermittelnden Kalibrierwertes (K) mit dem Längenkalibriermass Ki = 0 an der als Kalibrierobjekt dienenden Messtischbezugsfläche (2) gebildet wird.

   5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Deformationskalibriermass K2 des nach der Beziehung zu ermittelnden Kalibrierwertes (K) mit dem Längenkalibriermass Ki = 0 an einer als Kalibrierobjekt dienenden Prüflingsbezugsfläche gebildet wird.

   K = Ki + K2

   K = KI +K2

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