CH690569A5

CH690569A5 - Erosionsmaschine.

Info

Publication number: CH690569A5
Application number: CH03415/95A
Authority: CH
Inventors: Yoshihito Imai; Hidetaka Miyake
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1994-12-07
Filing date: 1995-12-04
Publication date: 2000-10-31
Also published as: JP3575087B2; US5973498A; KR100212366B1; US6614234B1; KR960027145A; JPH08155737A; US6147500A; CN1070750C; CN1133217A

Description

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Beschreibung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Erosionsmaschine, eine mit einer elektrischen Entladung arbeitende Maschine, insbesondere eine solche Erosionsmaschine, welche dann, wenn der Hauptkörper der Erosionsmaschine durch eine durch die Erosionsbearbeitung hervorgerufene Reaktionskraft verformt wird, die Reaktionskraft oder eine Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine innerhalb eines gewissen Wertebereiches oder auf einen konstanten Wert steuert.

Fig. 6 ist eine schematische Darstellung einer allgemeinen Art einer konventionellen Erosionsmaschine.

In Fig. 6 bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine Elektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 3 ein Bearbeitungsfluid, das Bezugszeichen 4 einen Bearbeitungsbehälter, das Bezugszeichen 5 eine Elektrodendrehvorrichtung, welche die Elektrode 1 um eine Z-Achse herum dreht, das Bezugszeichen 6 einen Y-Achsen-Tisch, das Bezugszeichen 7 eine Y-Achsen-Antriebsvorrich-tung, welche den Y-Achsen-Tisch antreibt, das Bezugszeichen 8 einen X-Achsen-Tisch, das Bezugszeichen 9 eine X-Achsen-Antriebsvorrichtung, welche den X-Achsen-Tisch antreibt, das Bezugszeichen 10 eine Z-Achsen-Antriebsvorrichtung, welche die Elektrodendrehvorrichtung 5 antreibt, an welcher die Elektrode 1 angebracht ist, in Richtung der Z-Achse, das Bezugszeichen 11 eine Stromversorgungsquelle, welche Impulse zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 liefert, das Bezugszeichen 12 eine Bearbeitungszustands-Erfassungsvor-richtung, welche bei der Bearbeitung den Bearbeitungszustand feststellt, das Bezugszeichen 13 eine Bearbeitungsfluid-Versorgungsvorrichtung, welche das Bearbeitungsfluid an den Arbeitsspalt liefert, und das Bezugszeichen 14 eine NC-Steuervorrich-tung. Fig. 7 ist ein Blockschaltbild zur Erläuterung des Betriebsablaufs der in Fig. 6 gezeigten Erosionsmaschine. In Fig. 7 sind die Teile 11, 12, 13 und 14 ebenso wie in Fig. 6 ausgebildet. Das Bezugszeichen 15 bezeichnet eine Bearbeitungsbedin-gungs-Einstellvorrichtung, welche verschiedene Be-arbeitungszustände bei der Stromversorgungsquelle einstellt, bei der Bearbeitungsfluid-Versorgungsvor-richtung 13, einer Bearbeitungsbahn-Festlegungsvorrichtung 16, einer Sprungbewegungssteuerung 17 und einem Komparator 18. Das Bezugszeichen 16 bezeichnet die Bearbeitungsbahn-Festlegungs-vorrichtung, welche eine Bahn zur Bearbeitung des Werkstück mit einer gewünschten Form festlegt, ein Elektroden-Planetenbewegungsmuster und dergleichen, das Bezugszeichen 17 bezeichnet die Sprungbewegungssteuerung, welche die Elektrode 1 während des Bearbeitungsvorgangs ansteigen und fallen lässt, das Bezugszeichen 18 den Komparator, ein Bezugszeichen 19 eine Bearbeitungssteu-erung, und das Bezugszeichen 20 einen Bearbei-tungs/Sprungbewegungs-Schalter. Der Betriebsablauf dieser Teile 15 bis 20 wird im Allgemeinen durch ein Steuerprogramm in der NC-Steuervorrich-tung 14 bewirkt. Dass Bezugszeichen 21 bezeichnet eine Elektroden-Antriebsvorrichtung, welche durch die Elektrodendrehvorrichtung 5, die Tische für die jeweilige Achse, und die Antriebsvorrichtun-gen 6 bis 10 für die jeweilige Achse gebildet wird. Das Bezugszeichen 22 bezeichnet einen Erosions-bearbeitungsvorgang, der ein Erosionsbearbeitungs-phänomen anzeigt, welches zwischen der Elektrode 1 und dem dieser gegenüberliegend in dem Bearbeitungsfluid angeordneten Werkstück 2 hervorgerufen wird.

Nachstehend erfolgt eine Beschreibung des Betriebsablaufs.

Bei einer normalen Erosionsmaschine ist ein Ar-beitsspaltabmessungs-Steuersystem dazu vorgesehen, den Spalt zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 zur Bearbeitung des Werkstücks zu einer gewünschten Form einzustellen, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten wird. Das Steuersystem vergleicht einen Bezugsbefehlswert, der von der Bearbeitungsbedingungs-Einstell-vorrichtung 15 eingestellt wird, mit einem festgestellten Wert, welcher den Erosionsbearbeitungsvor-gang 22 anzeigt, der von der Bearbeitungszu-stands-Erfassungsvorrichtung 12 festgestellt wird, durch den Komparator 18, berechnet eine Abweichung, und gibt einen Elektrodenbewegungsbefehl auf der Grundlage eines Befehls von der Bearbeitungsbahn-Festlegungsvorrichtung 16 aus, sodass die Abweichung durch die Bearbeitungssteuerung auf den Wert Null gebracht wird, um hierdurch den Arbeitsspalt zwischen der Elektrode 1 und dem Werkstück 2 zu steuern bzw. zu regeln. Die Bearbeitung ist zu jenem Zeitpunkt beendet, an welchem der Elektroden-Bewegungsbefehlswert einen endgültigen Befehlswert für die gewünschte Form annimmt. In diesem Fall wird die Bearbeitung in der Bearbeitung/Sprungbewegungsumschaltvorrichtung 20 ausgewählt.

Die NC-Steuervorrichtung 24 hat sowohl die Aufgabe der Sprungbewegungssteuerung als auch die Aufgabe der Arbeitsspaltgrössensteuerung. Bei der Sprungbewegung schaltet die Bearbeitungs/Sprung-bewegungsumschaltvorrichtung 20 zwangsweise die Arbeitsspaltentfernungssteuerung auf die Sprungbewegung um, wodurch die Elektrode 1 angehoben und abgesenkt wird. Diese Sprungbewegung ist dafür wichtig, den Bearbeitungszustand dadurch zu stabilisieren, dass Bearbeitungsrückstände aus dem Arbeitsspalt durch den Punktbetrieb der Sprungbewegung abgesaugt werden.

Allerdings wirkt bei einer derartigen Erosionsmaschine ein starker positiver Druck oder negativer Druck (nachstehend als Reaktionskraft infolge der Bearbeitung oder Bearbeitungsreaktionskraft bezeichnet) auf die Elektrode beim Ansteigen oder Absenken der Elektrode bei der Sprungbewegung ein, wenn die Elektrode besonders gross ist oder der Arbeitsspalt sehr eng ist, beispielsweise bei einem Endbearbeitungsvorgang, oder wenn die Bearbeitungstiefe gross ist, wodurch der Hauptkörper der Erosionsmaschine verformt wird, und die Bearbeitungsgenauigkeit verschlechtert wird. Infolge von Untersuchungen von Mohri et al. am Toyoda Institute of Technology «Untersuchungen der Eigenschaften der elektrischen Entladungsbearbeitung (EDM) im tatsächlichen Betrieb», Journal of the Japan So-

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ciety of Electrical-Machining Engineers, Band 20, Nr. 39, Seiten 19 bis 29, 1987, wird die voranstehend erwähnte auf die Elektrode einwirkende Kraft durch die Viskosität des Bearbeitungsfluids und die auf die Elektrode einwirkende Kraft, wenn die Elektrode absinkt, hervorgerufen, und bewirkt insbesondere eine Verschlechterung der Bearbeitungsgenauigkeit.

Die Fig. 8A, 8B und 8C zeigen eine Hauptwellenverschiebung, eine Bearbeitungsreaktion und eine Säulenverschiebung bei einer Sprungbewegung, die von Mohri et al. tatsächlich gemessen wurden. Wie aus einem Abschnitt A in diesen Figuren hervorgeht, erreicht die Bearbeitungsreaktion einen Maximalwert, wenn die Elektrode absinkt. In diesen Figuren bezeichnet die Hauptwelle die Z-Achse, und die Säule den Hauptkörper der Maschine, der die Z-Achse lagert, und die Bearbeitungsreaktion wird durch einen Kraftsensor gemessen, der in einer Elektrodenbefestigungsaufspannvorrichtung vorgesehen ist.

Zur Lösung des voranstehend geschilderten Problems haben Mohri et al. vorgeschlagen, die Steifigkeit der Maschine durch einen Hobelmaschinen-ähnlichen Aufbau zu erhöhen, und die Bearbeitungsreaktion dadurch abzumildern, dass die Elek-trodenabsenkgeschwindigkeit unmittelbar dann, bevor das Absenken der Elektrode beendet ist, verringert wird, um hierdurch die Verformung der Säule zu verringern.

Ein Abschnitt B in Fig. 8 zeigt, dass die Bearbeitungsreaktion kleiner als im Abschnitt A ist, und daher das Ausmass der Verschiebung der Säule verringert ist. Dies tritt infolge der verringerten Absenkgeschwindigkeit der Hauptwelle in dem Abschnitt B auf, und stellt daher ein Ergebnis dar, welches den Vorschlag von Mohri et al. stützt.

Die japanische Veröffentlichung Nr. 31 806/1992 eines geprüften Patents beschreibt ein Verfahren zum Steuern der Elektrodengeschwindigkeit bei dem Sprungvorgang auf der Grundlage desselben Konzepts. Wie aus Fig. 9 hervorgeht, wird bei diesem Verfahren die Geschwindigkeit beim Anheben und Absenken der Elektrode entsprechend der Entfernung zwischen der Elektrode und dem Werkstück geändert. In Fig. 9 wird beim Anstieg der Elektrode die Elektrodenanstiegsgeschwindigkeit von v2 auf vi in einer Entfernung L1 zwischen Elektrode und dem Werkstück erhöht, und wird beim Absenken der Elektrode die Elektrodenabsenkgeschwindigkeit von vi auf v2 in der Entfernung L1 zwischen der Elektrode und dem Werkstück verringert, wodurch der positive Druck und der negative Druck, die auf die Elektrode einwirken, gemildert werden.

Bei der Veröffentlichung von Mohri et al. wurde nur eine Fläche der Elektrode von bis zu 20 cm2 beschrieben. Die Fig. 10 zeigt die Hauptwellenverschiebung und die Säulenverschiebung bei einem Endbearbeitungsvorgang, während ein Sprungvorgang durchgeführt wurde, bei welchem eine Elektrode mit einer Elektrodenfläche von annähernd 1000 cm2 verwendet wurde. Bei dem Sprungvorgang wird die Elektrodenabsenkgeschwindigkeit so gesteuert, dass sie unmittelbar vor Beendigung des Elektrodenabsenkvorgangs verringert wird. Obwohl eine Säulenverschiebung beim Anstieg der Elektrode hervorgerufen wird, tritt daher praktisch keine Säulenverschiebung beim Absenken der Elektrode auf. Wichtig ist bei einem Vergleich von Fig. 10 mit Fig. 8, dass eine hohe Säulenverschiebung in Abschnitten C während Zeiträumen hervorgerufen wird, in welchen eine elektrische Entladung zwischen der Elektrode und einem Werkstück erzeugt wird (nachstehend als Entladung bezeichnet). Es gibt bislang keine Beschreibung des Phänomens, dass die Säulenverschiebung durch die Entladung hervorgerufen wird.

Die hier gezeigte Säulenverschiebung wird nicht nur durch eine Kraft infolge der Viskosität eines Bearbeitungsfluids hervorgerufen, was im Stand der Technik bereits erkannt wurde, sondern durch den Druck einer grossen Anzahl von Blasen, die bei dieser Gelegenheit durch Verdampfung des Bearbeitungsfluids erzeugt werden, welches in dem Arbeitsspalt eingeschlossen ist, durch eine kontinuierliche elektrische Entladung. Daher ist die Säulenverformung nicht auf jene beim Sprungvorgang beschränkt. Voraussichtlich ist der Einfluss auf die tatsächliche Bearbeitungsgenauigkeit bei der hier erwähnten Säulenverschiebung bei der Entladung grösser als bei der voranstehend geschilderten Säulenverschiebung beim Anstieg und Absenken der Elektrode.

Wie voranstehend geschildert, kann die konventionelle Erosionsmaschine nicht mit der Kraft fertig werden, die auf die Elektrode dadurch ausgeübt wird, dass sich die Blasen des Bearbeitungsfluids, die bei der Entladung erzeugt werden, in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück ansammeln. Daher wird der Hauptkörper der Erosionsmaschine durch den Druck der Blasen verformt, wodurch ein Werkstückformfehler infolge der Deformierung der X-, Y- und Z-Achse hervorgerufen wird, die zueinander orthogonal angeordnet sein sollten, sowie ein Bearbeitungsabmessungsfehler infolge der Änderung der Bezugsposition an sich, und daher lässt sich keine ausreichende Bearbeitungsgenauigkeit erzielen. Darüber hinaus ist die Bearbeitung zu einem Zeitpunkt fertig, wenn der Elektro-denbewegungs-Befehlswert der endgültige Befehlswert für die gewünschte Form wird, ohne dass die Verformung des Hauptkörpers der Maschine berücksichtigt wird, und daher wird der Bearbeitungsformfehler hervorgerufen. Weiterhin wirkt die auf die Elektrode einwirkende Kraft als Störung für das Arbeitsspalt-Entfernungssteuersystem, und kann ein stabiler Bearbeitungszustand nicht aufrechterhalten werden, wenn sich der Druck in einem Fall schnell ändert, in welchem sich die Blasen aus dem Arbeitsspalt lösen, oder sich die Blasen erneut verflüssigen, wodurch die Bearbeitungsgeschwindigkeit verringert wird.

Die der vorliegenden Erfindung zugrunde liegende Aufgabe besteht in der Lösung des voranstehend geschilderten Problems, und in der Bereitstellung einer Erosionsmaschine, welche die verringerte Bearbeitungsgenauigkeit und verringerte Bearbeitungsgeschwindigkeit verbessern kann, die durch eine Reaktionskraft bei der Bearbeitung hervorgerufen werden, die insbesondere bei der Entladung erzeugt wird.

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Gemäss einer ersten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung durch Liefern eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück und mittels Liefern von Pulsen an das Werkstück, während die Elektrode eine Sprungbewegung ausführt, und diese Sprungbewegung eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist, zur Verfügung gestellt;

wobei die Erosionsmaschine eine Zustandsgrös-se erfasst, die in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch eine Reaktionskraft hervorgerufen wird, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, und die Bearbeitungsbedingungen des Werkstücks entsprechend einem er-fassten Wert der Zustandsgrösse ändern.

Gemäss einer zweiten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Erosionsmaschine gemäss der ersten Zielrichtung zur Verfügung gestellt, wobei die Zustandsgrösse eine Kraftmenge ist, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine entsprechend der Reaktionskraft hervorgerufen wird.

Gemäss einer dritten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Erosionsmaschine gemäss der ersten Zielrichtung zur Verfügung gestellt, wobei die Zustandsgrösse ein Verformungsbetrag ist, der in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine entsprechend der Reaktionskraft hervorgerufen wird.

Gemäss einer vierten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Erosionsmaschine gemäss der ersten Zielrichtung zur Verfügung gestellt, wobei die zu ändernden Bearbeitungsbedingungen zumindest eine Bearbeitungsbedingung umfassen, die aus der Gruppe ausgewählt ist, welche aus dem Ein-satzzeitpunkt der Sprungbewegung besteht, einem kontinuierlichen Zeitraum der Impulse, und Einschalt- und/oder Ausschaltperioden jedes der Impulse, einem Stromwert und/oder einer Arbeitsspaltspannung der Impulse, einer Umschaltung des Absaugens und Ausstossens des Bearbeitungsfluids, eines Ausmasses des Absaugens und/oder Ausstossens des Arbeitsfluids, und eines Drucks des Absaugens und/oder Ausstossens des Arbeitsfluids.

Gemäss einer fünften Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung mittels Liefern eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück und Liefern von Impulsen an das Werkstück, während die Elektrode zu einer Sprungbewegung veranlasst wird, zur Verfügung gestellt, wobei die Sprungbewegung eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist,

und wobei die Erosionsmaschine eine Reaktionskraft erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder ein Aus-mass einer Verformung, die in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und eine zweite Sprungbewegung durchführt, welche die Reaktionskraft entsprechend der Reaktionskraft oder dem Ausmass der Verformung begrenzt.

Gemäss einer sechsten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstück durch eine elektrische Entladung unter Zufuhr eines Bearbeitungsfluids zu einem Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück und Zufuhr von Impulsen an das Werkstück zur Verfügung gestellt, während die Elektrode zu einer Sprungbewegung veranlasst wird, und die Sprungbewegung eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist,

wobei die Erosionsmaschine eine Reaktionskraft erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder das Ausmass der Verformung, die in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und feststellt, dass der Bearbeitungsvorgang für das Werkstück beendet ist, wenn der er-fasste Wert kleiner oder gleich einem vorbestimmten Wert ist.

Gemäss einer siebten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung unter Zufuhr eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück und unter Zufuhr von Impulsen an das Werkstück zur Verfügung gestellt, während die Elektrode zu einer Sprungbewegung veranlasst wird, und die Sprungbewegung eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist,

wobei die Erosionsmaschine eine Reaktionskraft erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder das Ausmass der Verformung, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und die Bahn für den Bearbeitungsvorgang korrigiert, welche die Position der Elektrode auf das Werkstück festlegt.

Gemäss der ersten Zielrichtung der Erosionsmaschine wird die Zustandsgrösse erfasst, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, die durch den Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück erzeugt wird, und werden die Bearbeitungsbedingungen für das Werkstück entsprechend dem erfassten Wert geändert, wodurch eine stabile Bearbeitung zur Verfügung gestellt wird, und die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit erhöht werden.

Gemäss der zweiten Zielrichtung der Erosionsmaschine wird das Ausmass der Kraft erfasst, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine entsprechend der Reaktionskraft erzeugt wird, als die Zustandsgrösse der ersten Zielrichtung, wodurch ein stabiler Bearbeitungszustand erzielt wird, und die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden.

Gemäss der dritten Zielrichtung der Erosionsmaschine wird das Ausmass der Verformung erfasst, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine hervorgerufen wird, als die Zustandsgrösse bei der ersten Zielrichtung, wodurch ein stabiler Bearbei5

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tungszustand erzielt wird, und die Bearbei'tungsge-schwindigkeit und die Beaibeitungsgenauigkeit verbessert werden.

Gemäss der vierten Zielrichtung der Erosionsmaschine wird zumindest eine Grösse aus der nachstehend aufgeführten Gruppe ausgewählt, welche den Einsatzzeitpunkt der Sprungbewegung umfasst, einen durchgehenden Zeitraum der Impulse, Ein-und/oder Ausschaltzeitdauern jedes der Impulse, einen Stromwert oder eine Arbeitsspaltspannung der Impulse, eine Umschaltung des Absaugens und Ausstossens des Bearbeitungsfluids, das Ausmass des Absaugens und/oder Ausstossens des Bearbeitungsfluids, und den Druck des Absaugens und/ oder Ausstossens des Bearbeitungsfluids, wodurch ein stabiler Bearbeitungszustand erzielt wird, und die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden.

Gemäss der fünften Zielrichtung der Erosionsmaschine wird die Reaktionskraft erfasst, die bei dem Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück erzeugt wird, oder das Ausmass der Verformung, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und wird die zweite Sprungbewegung durchgeführt, welche die Reaktionskraft entsprechend der Reaktionskraft oder entsprechend dem Ausmass der Verformung begrenzt, wodurch die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden.

Gemäss der sechsten Zielrichtung der Erosionsmaschine wird die Reaktionskraft erfasst, die durch den Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder das Ausmass der Verformung, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und wird dann festgestellt, dass der Bearbeitungsvorgang für das Werkstück fertig ist, wenn der erfasste Wert kleiner oder gleich dem vorbestimmten Wert ist, wodurch ein stabiler Bearbeitungszustand erzielt wird, und die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden.

Gemäss der siebten Zielrichtung der Erosionsmaschine wird die Reaktionskraft erfasst, die durch den Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder das Ausmass der Verformung, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und wird die Bahn des Bearbeitungsvorgangs korrigiert, welche die Position der Elektrode in Bezug auf das Werkstück festlegt, wodurch ein stabiler Bearbeitungszustand erzielt wird, und die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen sich weitere Vorteile und Merkmale ergeben. Es zeigt:

Fig. 1 ein Blockschaltbild des Betriebsablaufs einer Erosionsmaschine gemäss einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ein Blockschaltbild des Betriebsablaufs einer Erosionsmaschine gemäss einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3A und 3B Diagramme zur Erläuterung einer Sprungbewegung bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 4 ein Blockschaltbild des Betriebsablaufs einer Erosionsmaschine gemäss einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 5 ein Blockschaltbild des Betriebsablaufs einer Erosionsmaschine gemäss einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 6 ein Schema des Aufbaus einer konventionellen Erosionsmaschine;

Fig. 7 ein Blockschaltbild des Betriebsablaufs einer konventionellen Erosionsmaschine;

Fig. 8A, 8B und 8C Diagramme der Messung einer Reaktionskraft bei einem Bearbeitungsvorgang, die durch die Viskosität eines Arbeitsfluids bei einer Sprungbewegung hervorgerufen wird;

Fig. 9 ein Diagramm einer Sprungbewegung bei einer konventionellen Erosionsmaschine; und

Fig. 10 schematisch Messergebnisse für die Reaktionskraft bei einem Bearbeitungsvorgang, die durch Blasen hervorgerufen wird, die durch Verdampfung eines Arbeitsfluids bei der Entladung erzeugt werden.

Ausführungsform 1

Nachstehend erfolgt eine Erläuterung einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 1 ist ein Blockschaltbild, welches den Betriebsablauf der ersten Ausführungsform einer Erosionsmaschine erläutert. In Figur sind die Teile 11 bis 13 und 16 bis 22 ebenso aufgebaut wie die entsprechenden Teile bei dem in Fig. 7 gezeigten, konventionellen Beispiel. Das Bezugszeichen 23 bezeichnet eine Bearbeitungsreaktions-Erfassungsvorrich-tung, welche eine Bearbeitungsreaktion oder eine Reaktionskraft erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang bei der Entladung hervorgerufen wird, das Bezugszeichen 24 bezeichnet eine Bearbei-tungszustandsänderungsvorrichtung, und das Bezugszeichen bezeichnet eine variable Bearbeitungs-zustandseinstellvorrichtung, die sich von der konventionellen Bearbeitungszustandseinstellvorrichtung unterscheidet und dazu ausgebildet ist, Bearbei-tungszustandseinstellwerte durch einen Befehl von der Bearbeitungszustandsänderungsvorrichtung 24 zu ändern.

Bei dieser Ausführungsform wird eine Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bearbei-tungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst, und die Bearbeitungszustandsänderungsvorrichtung 24 teilt die Änderung der Bearbeitungsbedingungen der variablen Bearbeitungszustandseinstellvorrich-tung 25 in der Hinsicht mit, dass der erfasste Wert nicht grösser oder gleich einem vorbestimmten Wert ist, oder konstant bleibt. Als Bearbeitungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 kann beispielsweise ein Motorstrom der Elektrodenantriebsvorrichtung verwendet werden, ein Drehmomentsensor, der an der Elektrodenantriebsvorrichtung befestigt ist, ein Kraftsensor, der an einer Aufspannvorrichtung für die Elektrode oder an dem Hauptkörper der Erosions-

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maschine befestigt ist, oder dergleichen. Als zu ändernde Bearbeitungsbedingungen können eine oder mehrere aus der Gruppe ausgewählt werden, die den Einsatzzeitpunkt der Sprungbewegung umfasst, einen durchgehenden Zeitraum der Impulse, Einschalt- und/oder Ausschaltzeitdauern jedes der Impulse, einen Stromwert und/oder eine Arbeitsspaltspannung der Impulse, eine Umschaltung des Absaugens und Ausstossens des Bearbeitungsfluids, ein Ausmass des Absaugens und/oder Ausstossens des Arbeitsfluids, und einen Druck für das Absaugen und/oder Ausstossen des Arbeitsfluids. Wie voranstehend geschildert, liegt der Hauptgrund für die Bearbeitungsreaktion daran, dass durch Verdampfung des Arbeitsfluids durch die elektrische Entladung erzeugte Blasen in einem engen Arbeitsspalt eingefangen sind. Wenn daher die voranstehend geschilderten Bearbeitungsbedingungen geändert werden, wird eine Erzeugung von Blasen in dem Arbeitsspalt eingeschränkt, oder der Vorgang, die erzeugten Blasen aus dem Arbeitsraum entweichen zu lassen, beschleunigt. Daher ist es möglich, die Bearbeitungsgenauigkeit durch Begrenzung der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine zu erhöhen, welche durch die Bearbeitungsreaktion hervorgerufen wird.

Zwar wird bei dieser Ausführungsform die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bear-beitungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst, jedoch kann auch ein Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine bei der Entladung erfasst werden. In diesem Fall kann als Einrichtung zur Erfassung des Ausmasses der Verformung beispielsweise ein optisches Längen-messgerät verwendet werden, ein Wirbelstrom-Län-genmessgerät, ein Längenmessgerät mit Differen-zialtransformator, ein Ultraschall-Längenmessgerät, ein Dehnungsmessstreifen und dergleichen.

Zwar erfolgte voranstehend die Beschreibung der ersten Ausführungsform der Erosionsmaschine, jedoch kann die Bearbeitungsreaktions-Erfassungs-vorrichtung 23, die Bearbeitungszustandsände-rungsvorrichtung 24 und die variable Bearbeitungs-zustandseinstellvorrichtung 25 gemäss Fig. 1 jeweils als spezielle Vorrichtung ausgebildet sein, oder in der NC-Steuervorrichtung 14 durch Programme verwirklicht werden.

Ausführungsform 2

Nachstehend erfolgt die Beschreibung einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 2 ist ein Blockschaltbild, welches den Betriebsablauf der zweiten Ausführungsform einer Erosionsmaschine erläutert. In Fig. 2 sind die Teile 11 bis 13, 16 und 18 bis 25 ebenso aufgebaut wie bei der Ausführungsform 1. Das Bezugszeichen 26 bezeichnet eine Verbundsprungbewegungssteuerung.

Bei dieser Ausführungsform wird die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bearbei-tungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst, und steuert die Verbundsprungbewegungssteuerung 26 eine zweite Sprungbewegung auf solche Weise, dass der erfasste Wert kleiner oder gleich einem vorbestimmten Wert wird. Die Fig. 3A und 3B zeigen die Sprungbewegung infolge der konventionellen Sprungbewegungssteuerung sowie die Sprungbewegung infolge der Verbundsprungbewegungs-steuerung bei dieser Ausführungsform. In den Fig. 3A und 3B sind mit den Bezugszeichen D erste Sprungbewegungen entsprechend den konventionellen Sprungbewegungen bezeichnet. Weiterhin bezeichnet das Bezugszeichen E zweite Sprungbewegungen, die auf passende Weise in den Zwischenräumen zwischen den ersten Sprungbewegungen durchgeführt werden. Bei der Sprungbewegung gemäss der vorliegenden Ausführungsform wird zusätzlich zur ersten Sprungbewegung zum Absaugen von Bearbeitungsrückständen aus dem Arbeitsspalt wie bei dem konventionellen Beispiel die Bearbeitungsreaktion gesteuert auf der Grundlage des erfassten Wertes, der von der Bearbeitungs-reaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst wurde, und das Einsetzen der Sprungbewegung und eine Sprunganstiegsentfernung werden bei der zweiten Sprungbewegung adaptiv gesteuert. Daher kann das Absaugen von Bearbeitungsrückständen aus dem Arbeitsspalt und gleichzeitig die Steuerung der Bearbeitungsreaktion wirksam realisiert werden, und kann die Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion eingeschränkt werden, während der Bearbeitungszustand stabil aufrechterhalten wird, wodurch die Bearbeitungsgeschwindigkeit und die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden können.

Weiterhin kann der Aufbau der Bearbeitungsreak-tions-Erfassungsvorrichtung 23 bei dieser Ausführungsform und die Struktur der zu ändernden Bearbeitungsbedingungen ebenso sein wie bei der Ausführungsform 1.

Weiterhin ist die Bearbeitungszustandsände-rungsvorrichtung 24 dann nicht erforderlich, wenn nur die zweite Sprungbewegung gesteuert wird, und es ist offensichtlich, dass in diesem Fall die variable Bearbeitungsbedingungseinstellvorrichtung 25 ebenso ausgebildet ist wie die konventionelle Bearbei-tungszustandseinstellvorrichtung.

Zwar wird bei dieser Ausführungsform die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bear-beitungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst, wie bei der Ausführungsform 1 erläutert wurde, jedoch kann auch das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine bei der Entladung erfasst werden. Die Einrichtungen zur Erfassung des Ausmasses der Verformung können die gleichen sein wie bei der Ausführungsform 1. Selbstverständlich ist es möglich, die vorliegende Ausführungsform mit den bei der Ausführungsform 1 geschilderten Funktionen zu kombinieren.

Zwar erfolgte voranstehend die Beschreibung der zweiten Ausführungsform der Erosionsmaschine, jedoch kann die Verbundsprungbewegungssteuerung 26 bei dieser Ausführungsform als gesondertes Gerät ausgebildet sein, oder als Programm in der NC-Steuervorrichtung 14 verwirklicht werden.

Ausführungsform 3

Nachstehend erfolgt eine Beschreibung einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

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Fig. 4 ist ein Blockschaltbild, welches den Betriebsablauf bei der dritten Ausführungsform einer Erosionsmaschine erläutert. In Fig. 4 bezeichnet das Bezugszeichen 15 das konventionelle, in Fig. 7 dargestellte Teil, und die Teile 11 bis 13, 16 bis 18 und 20 bis 23 sind ebenso aufgebaut wie bei der Ausführungsform 1. Das Bezugszeichen 27 bezeichnet eine Bearbeitungstiefenbewerlungssteuerung, und das Bezugszeichen 28 bezeichnet eine Bearbeitungssteuerung, die eine Endbearbeitungsbewer-tungsfunktion aufweist, die sich von jener bei der konventionellen Bearbeitungssteuerung unterscheidet, und die Beendigung des Bearbeitungsvorgangs auf der Grundlage eines Befehls von der Bearbei-tungstiefenbewertungssteuerung 27 bewertet.

Bei dieser Ausführungsform wird die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bearbei-tungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst, und gibt die Bearbeitungstiefenbewertungssteuerung 27 einen Befehl aus, welcher die Bearbeitungstiefe bewertet, an die Bearbeitungssteuerung 28 mit Be-arbeitungsbeendigungsbewertungsfunktion, und bewertet die Bearbeitungstiefe, wenn der erfasste Wert kleiner oder gleich einem bestimmten Wert ist. Die Beendigung des Bearbeitungsvorgangs wird daher dann festgestellt, wenn das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine infolge der Bearbeitungsreaktion kleiner oder gleich einem zulässigen Wert ist, und daher kann die gewünschte Bearbeitungstiefe exakt bearbeitet werden.

Obwohl die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bearbeitungsreaktions-Erfassungs-vorrichtung 23 bei dieser Ausführungsform erfasst wird, kann - wie bei der Ausführungsform 1 erläutert - das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine erfasst werden, und die Bearbeitungstiefe auf der Grundlage des Ausmasses der Verformung bewertet werden. Weiterhin kann eine Verformungsausmassberechnungsvorrich-tung zur Berechnung des Ausmasses der Verformung aus der Bearbeitungsreaktion vorgesehen sein. Selbstverständlich ist es möglich, diese Ausführungsformen mit den bei der Ausführungsform 1 und/oder der Ausführungsform 2 geschilderten Funktionen zu kombinieren.

Obwohl voranstehend die Erläuterung der dritten Ausführungsform der Erosionsmaschine erfolgte, kann die Bearbeitungstiefenbewertungssteuerung 27 bzw. die Bearbeitungssteuerung 28 mit Bearbei-tungsbeendigungsbewertungsfunktion jeweils als gesondertes Gerät ausgebildet sein, oder in der NC-Steuervorrichtung 14 als Programm verwirklicht werden.

Ausführungsform 4

Nachstehend erfolgt eine Erläuterung einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 5 ist ein Blockschaltbild, welches den Betriebsablauf einer Erosionsmaschine bei der vierten Ausführungsform erläutert. In Fig. 5 ist das Teil 15 ebenso wie das in Fig. 7 gezeigte, konventionelle Teil ausgebildet, und sind die Teile 11 bis 13 und 17 bis 23 ebenso wie die entsprechenden Teile bei der Ausführungsform 1 ausgebildet. Darüber hinaus bezeichnet das Bezugszeichen 29 eine Verfor-mungsberechnungsvorrichtung, welche eine Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine infolge der von der Bearbeitungsreaktions-Erfas-sungsvorrichtung 23 erfassten Bearbeitungsreaktion berechnet, und das Bezugszeichen 30 bezeichnet eine Bearbeitungsbahnkompensationsvorrichtung mit Bahnkorrekturfunktion, welche einen Bearbeitungsbahnbefehl auf der Grundlage eines Ausmasses der Verformung korrigiert, die von der Verfor-mungsberechnungsvorrichtung 29 berechnet wird.

Bei dieser Ausführungsform erfasst die Bearbei-tungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung, die Verfor-mungsberechnungsvorrichtung 29 berechnet das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine aus dem erfassten Wert, und die Bearbeitungsbahnkompensationsvorrichtung 30 mit Bahnkorrekturfunktion gibt den Bearbeitungsbahnbefehl aus, nachdem eine Korrektur auf der Grundlage des Ausmasses der Verformung durchgeführt wurde. Daher lässt sich eine äusserst exakte Bearbeitung erzielen, bei welcher das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine korrigiert wird.

Bei dieser Ausführungsform wird die Bearbeitungsreaktion bei der Entladung durch die Bearbei-tungsreaktions-Erfassungsvorrichtung 23 erfasst, und wird das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine aus dem erfassten Wert durch die Verformungsberechnungsvorrichtung 29 berechnet. Wie jedoch bereits bei der ersten Ausführungsform erläutert wurde, kann das Ausmass der Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine bei der Entladung direkt erfasst werden, und kann die Bearbeitungsbahn auf der Grundlage des Ausmasses der Verformung korrigiert werden. Selbstverständlich ist es möglich, die vorliegende Ausführungsform mit einer oder mehrerer der Funktionen der Ausführungsform 1 bis Ausführungsform 3 zu kombinieren.

Zwar erfolgte voranstehend eine Erläuterung der Erosionsmaschine bei der vierten Ausführungsform, jedoch kann die Bearbeitungsbahnkompensations-vorrichtung 30 mit Bahnkorrekturfunktion gemäss Fig. 5 als gesondertes Gerät ausgebildet sein, oder in der NC-Steuervorrichtung 14 als Programm verwirklicht werden.

Gemäss der ersten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Zustandsgrösse erfasst, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, die durch den Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, also die Bearbeitungsreaktion erfasst, und werden die Bearbeitungsbedingungen für das Werkstück durch den erfassten Wert geändert, wodurch die Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine infolge der Bearbeitungsreaktion begrenzt werden kann. Daher werden sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Gemäss der zweiten Zielrichtung der vorliegen5

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den Erfindung wird die Zustandsgrösse, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine infolge der Bearbeitungsreaktion zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, als Ausmass der Kraft erfasst, durch einen Motorstrom der Elektrodenantriebsvorrichtung, einen an der Elektrodenantriebsvorrichtung befestigten Drehmomentsensor, einen Kraftsensor, der an einem Hauptkörper der Elektrode, einer Aufspannvorrichtung für die Elektrode oder dem Hauptkörper der Erosionsmaschine befestigt ist, oder dergleichen, und kann die Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine infolge der Bearbeitungsreaktion dadurch eingeschränkt werden, dass die Bearbeitungsbedingungen für das Werkstück durch den erfassten Wert geändert werden. Daher werden sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit gefördert, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Gemäss der dritten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Zustandsgrösse, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, als das Ausmass an Verformung erfasst, durch ein optisches Län-genmessgerät, ein Wirbelstromlängenmessgerät, ein Differenzialtransformator-Längenmessgerät, ein Ul-traschall-Längenmessgerät, einen Dehnungsmessstreifen, usw., und wird die Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion durch Änderung der Bearbeitungsbedingungen für das Werkstück durch den erfassten Wert begrenzt. Daher können sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert werden, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Gemäss der vierten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Zustandsgrösse, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, durch das Ausmass der Kraft oder das Ausmass der Verformung erfasst, und wird die Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion begrenzt durch Änderung der Bearbeitungsbedingungen, beispielsweise des Einsetzzeitpunkts für die Sprungbewegung, eines durchgehenden Entladungszeitraums der Impulse, einer Einschaltzeit oder einer Ausschaltzeit jedes der Impulse, eines Stromwertes oder einer Arbeitsspaltspannung der Impulse, einer Umschaltung des Absaugens und Ausstossens eines Bearbeitungsfluids, eines Ausmasses des Absaugens oder Ausstossens des Bearbeitungsfluids, eines Drucks des Absaugens oder Ausstossens des Bearbeitungsfluids, oder dergleichen. Daher werden sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Bei der fünften Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine erzeugte Zustandsgrösse durch die Bearbeitungsreaktion in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück erfasst, und kann die Verformung des Hauptkörpers der Erosionsmaschine infolge der Bearbeitungsreaktion dadurch begrenzt werden, dass die zweite Sprungbewegung durchgeführt wird, welche die Bearbeitungsreaktion entsprechend der Zustandsgrösse begrenzt. Daher werden sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit erhöht, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Gemäss der sechsten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Zustandsgrösse erfasst, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, und wird bestimmt, dass der Bearbeitungsvorgang für das Werkstück beendet ist, wenn der erfasste Wert kleiner oder gleich einem vorbestimmten Wert ist. Daher werden sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit erhöht, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Gemäss der siebten Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird die Zustandsgrösse erfasst, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Bearbeitungsreaktion zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, und wird die Bearbeitungsbahn korrigiert, welche die Position der Elektrode in Bezug auf das Werkstück festlegt. Daher werden sowohl die Bearbeitungsgeschwindigkeit als auch die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert, während ein stabiler Bearbeitungszustand aufrechterhalten werden kann.

Claims

Patentansprüche

1. Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung durch Zufuhr eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück, und Liefern von Impulsen an das Werkstück, während mit der Elektrode eine Sprungbewegung durchgeführt wird, welche eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist,

wobei die Erosionsmaschine eine Änderung einer Zustandsgrösse eines Hauptkörpers der Erosionsmaschine erfasst, die durch eine Reaktionskraft hervorgerufen wird, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück erzeugt wird, und Bearbeitungsbedingungen für das Werkstück entsprechend einem erfassten Wert für die Zustandsgrösse ändert, um die Grösse der Änderung zu vermindern.

2. Erosionsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zustandsgrösse das Ausmass einer Kraft ist, die in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine entsprechend der Reaktionskraft hervorgerufen wird.

3. Erosionsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Zustandsgrösse das Ausmass der in dem Hauptkörper der Erosionsmaschine entsprechend der Reaktionskraft hervorgerufenen Verformung ist.

4. Erosionsmaschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zu ändernden Bearbeitungsbedingungen zumindest eine umfassen, die aus der Gruppe ausgesucht ist, die den Einsatzzeit-

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punkt der Sprungbewegung umfasst, einen durchgehenden Zeitraum der Impulse, Einschalt- und/ oder Ausschaltzeitdauem jedes der Impulse, einen Stromwert und/oder eine Arbeitsspaltspannung der Impulse, eine Umschaltung des Absaugens und Ausstossens des Bearbeitungsfluids, ein Ausmass des Absaugens und/oder Ausstossens des Bearbeitungsfluids, und einen Druck des Absaugens und/ oder Ausstossens des Bearbeitungsfluids.

5. Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung durch Liefern eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück, und Liefern von Impulsen an das Werkstück, während mit der Elektrode eine Sprungbewegung durchgeführt wird, welche eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist,

wobei die Erosionsmaschine eine Reaktionskraft in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder das Ausmass einer in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine infolge der Reaktionskraft erzeugte Verformung, und eine zweite Sprungbewegung durchführt, welche die Reaktionskraft entsprechend der Reaktionskraft oder dem Ausmass der Verformung begrenzt.

6. Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung durch Liefern eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück und Liefern von Impulsen an das Werkstück, während mit der Elektrode eine Sprungbewegung durchgeführt wird, welche eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück darstellt,

wobei die Erosionsmaschine eine Reaktionskraft in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück erzeugt wird, oder das Ausmass einer Verformung, die in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft erzeugt wird, und feststellt, dass der Bearbeitungsvorgang für das Werkstück beendet ist, wenn der erfasste Wert kleiner oder gleich einem vorbestimmten Wert ist.

7. Erosionsmaschine zur Bearbeitung eines Werkstücks durch eine elektrische Entladung durch Liefern eines Bearbeitungsfluids an einen Arbeitsspalt zwischen einer Elektrode und dem Werkstück, und Liefern von Impulsen an das Werkstück, während mit der Elektrode eine Sprungbewegung durchgeführt wird, welche eine periodische Bewegung der Elektrode in Bezug auf das Werkstück ist,

wobei die Erosionsmaschine eine Reaktionskraft erfasst, die durch einen Bearbeitungsvorgang in dem Arbeitsspalt zwischen der Elektrode und dem Werkstück hervorgerufen wird, oder das Ausmass einer Verformung, die in einem Hauptkörper der Erosionsmaschine durch die Reaktionskraft hervorgerufen wird, und eine Bahn für den Bearbeitungsvorgang korrigiert, welche die Position der Elektrode in Bezug auf das Werkstück festlegt.

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