CH695886A5 - Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion. - Google Patents

Description

  Technisches Gebiet

[0001] Diese Erfindung bezieht sich auf Verbesserungen eines Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion gemäss Anspruch 1 für die Zufuhr von elektrischer Bearbeitungsenergie an einen Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück, welches durch die Drahtfunkenerosion bearbeitet werden soll, für die Erzeugung einer elektrischen Entladung im Spalt zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück, um das Werkstück zu bearbeiten.

Technologischer Hintergrund

[0002] Die Funkenerosion hat als Bearbeitungstechnik für Formen usw. eine feste Position erworben und wird oft in den Gebieten der Herstellung von Stempeln, Formen oder Stanzwerkzeugen in der Automobilindustrie, in der Unterhaltungselektronikindustrie, in der Halbleiterindustrie usw. verwendet.

[0003] Fig.

   8 ist ein erläuterndes Diagramm eines Mechanismus einer Funkenerosion, und in der Zeichnung ist das Bezugszeichen 1 eine Elektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 3 eine Lichtbogensäule, das Bezugszeichen 4 Bearbeitungsflüssigkeit und das Bezugszeichen 5 Bearbeitungsschrott, welcher durch die Funkenerosionsbearbeitung erzeugt wurde. Die Abtragungsbearbeitung des Werkstückes 2 durch eine elektrische Entladung findet unter Wiederholung der folgenden Zyklen (a) bis (e) statt (entsprechend Fig. 8A bis 8E).

   Das heisst, (a) ist die Bildung einer Lichtbogensäule 3 unter Erzeugung einer elektrischen Entladung, (b) ist lokales Schmelzen und Verdampfen der Bearbeitungsflüssigkeit 4 durch die Wärmeenergie der elektrischen Entladung, (c) ist das Auftreten einer Verdampfungsexplosionskraft der Bearbeitungsflüssigkeit 4, (d) ist die Zerstreuung eines geschmolzenen Teils (Bearbeitungsschrott 5) und (e) ist die Abkühlung durch die Bearbeitungsflüssigkeit, die Verfestigung und die Wiedergewinnung des isolierenden Zustandes eines Spalts.

[0004] Diese Erfindung bezieht sich auf eine Drahtfunkenerosion, welche bei der Bohrbearbeitung, Schneidbearbeitung usw. verwendet wird und zur Funkenerosion gehört. Bei der Drahtfunkenerosion wächst insbesondere die Nachfrage nach hoher Genauigkeit.

   Beispielsweise wird in der Herstellung von hochpräzisen Formen oder Stempeln, welche in der Halbleiterindustrie, usw. verwendet werden, eine hohe Erosionsgenauigkeit in der Grössenordnung von 1 bis 2 Microm verlangt.

[0005] Fig. 9A bis 9C sind erklärende Diagramme, die ein Beispiel eines Bearbeitungsverfahrens für die Drahtfunkenerosion zeigen, und in der Zeichnung ist das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 4a Wasser, welches Bearbeitungsflüssigkeit ist, und Bezugszeichen 6 ist ein Startloch.

   Fig. 9A zeigt einen ersten Schnitt, welcher eine Rohbearbeitung ist, Fig. 9B zeigt einen zweiten Schnitt, welcher eine Halbfertigstellungsbearbeitung nach der Rohbearbeitung ist, und Fig. 9C zeigt eine Situation eines dritten Schnittes, welcher die finale Fertigstellungsbearbeitung ist.

[0006] Ein Bearbeitungsbeispiel des ersten Schnittes von Fig. 9A zeigt eine Bearbeitung für das Durchdringen der Drahtelektrode 1a durch das Startloch 6 und das Bohren des Werkstückes. Im Falle eines solchen ersten Schnittes ist eine genaue Oberflächenrauheit und eine Fehlerfreiheit nicht speziell erforderlich, da die Oberflächenrauheit und die Genauigkeit im nachfolgenden Bearbeitungsschritt vollendet werden, sondern es ist wichtig, die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen und so die Produktivität zu verbessern.

   Bei der Drahtfunkenerosion wird Wasser 4a in den Spalt geleitet, um die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen und um den Bearbeitungsschrott aus dem Spalt wirksam auszustossen. Zusätzlich wird, um die Variationen im Wasserstrahl 4a im Spalt zu eliminieren und einen Bruch der Drahtelektrode 1a zu vermeiden, ein Verfahren für die Aufbewahrung von Wasser 4a in einem Bearbeitungsbad (nicht gezeigt) verwendet, um das Werkstück 2a unterzutauchen.

   Auf diese Weise wird ein Bearbeitungsflüssigkeitszufuhrmittel für die Versorgung des Spalts mit Bearbeitungsflüssigkeit verwendet.

[0007] Im oben beschriebenen konventionellen Funkenerosionsbearbeitungsverfahren wird die Bearbeitung des zweiten Schnittes (Fig. 9B) und die Bearbeitung des dritten Schnittes (Fig. 9C) usw. nach dem ersten Schnitt (Fig. 9A) ebenfalls im Wasser 4a durchgeführt, welches Bearbeitungsflüssigkeit ist.

[0008] Wenn eine Spannung am Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 angelegt wird, wirkt eine gegenseitige Anziehungskraft bei einer positiven und einer negativen Polarität, derart, dass die Drahtelektrode 1a von kleiner Steifheit durch diese elektrostatische Kraft auf die Seite des Werkstückes 2 gezogen wird.

   Dies verursacht eine Vibration der Drahtelektrode 1a, was das Problem verursacht, dass die hochgenaue Bearbeitung wegen einer solchen Vibration schwierig wird.

[0009] Ausserdem wirkt in einem Zustand, in welchem die Verdampfungsexplosionskraft der Bearbeitungsflüssigkeit durch die elektrische Entladungsenergie entsteht (z.B. Fig. 8C), durch die Verdampfungsexplosionskraft der Bearbeitungsflüssigkeit eine starke Kraft in einer dem Werkstück 2 entgegengesetzten Richtung auf die Drahtelektrode 1a, so dass eine Vibration stattfindet.

   Wegen einer solchen Vibration entsteht das Problem, dass bei der Form des Werkstückes 2 Unebenheiten auftreten, was zu einer Beeinträchtigung der Genauigkeit führt.

[0010] In der Halbleiterindustrie usw., was Anwendungsgebiete für die Drahtfunkenerosionsbearbeitung sind, zum Beispiel bei der Bearbeitung von Formwerkzeugen von IC-Führungsrahmen, ist für sehr glatte Oberflächenrauheiten eine Bearbeitung mit einer extrem hohen Genauigkeit erforderlich, mit einer Formgenauigkeit von 1 Microm und einer Oberflächenrauheit von 1 Microm Rmax oder weniger bezüglich einem Werkstück, was insbesondere in einer solchen Verwendung die Probleme vergrössert, welche durch eine Vibration usw. der Drahtelektrode auftreten, die wie oben beschrieben, bemerkenswert sind.

[0011] Fig.

   10 ist ein Blockdiagramm, welches eine Konfiguration eines konventionellen Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion zeigt, und in der Zeichnung ist das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 7 eine Gleichstromenergiequelle für die Anlegung einer Gleichstromspannung an einem Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2, das Bezugszeichen 8 ein Schaltmittel, das Bezugszeichen 9 ein Steuermittel für die Ein-/Aus-Steuerung des Schaltmittels 8 und das Bezugszeichen 10 ein Spaltwiderstand.

   Es wird eine Konfiguration angewendet, bei welcher der Spaltwiderstand in den Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 eingefügt wird, so dass die Restenergie auf Grund des Vorliegens einer Fliesskapazität usw. im Spalt verbraucht wird.

[0012] Fig. 11 ist ein erklärendes Diagramm, welches eine Spaltenergiewellenform bei einem konventionellen Energieversorgungsapparat für die Funkenerosionsbearbeitung in einer Schaltkreiskonfiguration gemäss Fig. 10 zeigt. In der Zeichnung ist V die Spaltspannung, T1 die Zeit, während welcher ein Spannungsimpuls angelegt wird, und Tr die Pausenzeit.

   Nach dem Ausschalten des Schaltmittels 8 nimmt die Spaltspannung V exponentiell ab, wobei das Abfallen der Spaltspannung V nicht schnell vollbracht werden kann.

[0013] Das Dokument JP-A-1 257 513 beschreibt einen Energieversorgungsapparat für die Funkenerosionsbearbeitung, welcher im Stande ist, die Verbesserung der Bearbeitungsqualität eines Werkstückes und die Verhinderung der elektrolytischen Korrosion durch eine Änderung der Polarität eines Spannungsimpulses nach einer vorbestimmten Anzahl von Spannungsimpulsen zu erreichen.

   Dieses Dokument offenbart jedoch keine Details im Hinblick auf einen schnellen Abfall des Spannungsimpulses im Spalt, da ja die Restspannung, welche nach der Beendigung der Anlegung einer Spannung im Spalt bleibt, nicht schnell abfällt, so dass Probleme zum Zeitpunkt auftreten, in welchem die Spaltspannung höher oder gleich der Spannung wird, welche notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird, und es schwierig ist, das Eintreten einer elektrischen Entladung während dieser Zeit usw. zu unterdrücken.

[0014] In einem konventionellen Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion, wie oben beschrieben, besteht das Problem, dass es schwierig ist, die Pausenzeit zu verkürzen, da es Zeit braucht, um die Restenergie des Spalts zu verbrauchen.

   Ein weiteres Problem ist, dass eine Möglichkeit eines unkontrollierten Rückflusses der elektrischen Entladung besteht, bis sie tiefer oder gleich einer Spannung für das Starten einer elektrischen Entladung wird, wobei die Bearbeitungsqualität vermindert wird.

Offenbarung der Erfindung

[0015] Diese Erfindung wurde gemacht, um die oben beschriebenen Probleme zu lösen und es ist ein Ziel der Erfindung, einen Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion zu erhalten, welcher im Stande ist, die Drahtfunkenerosionsbearbeitung mit einer hohen Zuverlässigkeit durchzuführen, welche für die hochpräzise Bearbeitung erforderlich ist.

[0016] Diese Erfindung wird gelöst durch die Merkmale des unabhängigen Anspruchs 1.

   Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

[0017] Gemäss dieser Erfindung wird ein Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion bereitgestellt, welcher im Stande ist, eine Drahtfunkenerosionsbearbeitung mit hoher Qualität und hoher Zuverlässigkeit auszuführen, welche für die hochgenaue Bearbeitung erforderlich sind.

   Es wird ebenfalls gezeigt, dass ein Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion bereitgestellt werden kann, welcher die Möglichkeit bietet, die Bearbeitungszeit zu verkürzen, wobei die elektrolytische Korrosion eines Werkstückes vermieden wird.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

[0018] 
<tb>Fig. 1A bis 1C<sep>sind erklärende Diagramme, welche ein Beispiel einer Drahtfunkenerosion mittels eines Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion gemäss einer ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen.


  <tb>Fig. 2<sep>ist ein Blockdiagramm, welches eine Konfiguration des Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion gemäss einer ersten Ausführungsform der Erfindung zeigt.


  <tb>Fig. 3A und 3B<sep>sind erklärende Diagramme, welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und eine Spaltspannungswellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss einer ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen.


  <tb>Fig. 4<sep>ist ein erklärendes Diagramm, welches die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und eine Spaltspannungswellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss einer ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen.


  <tb>Fig. 5<sep>ist ein erklärendes Diagramm, welches eine Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und eine Spaltspannungswellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss einer ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen.


  <tb>Fig. 6<sep>ist ein erklärendes Diagramm, welches eine Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und eine Spaltspannungswellenform in einem Energieversorgungsapparat für die Funkenerosionsbearbeitung gemäss der zweiten und dritten Ausführungsform dieser Erfindung zeigt.


  <tb>Fig. 7A und 7B<sep>sind erklärende Diagramme zum Zeitpunkt der elektrischen Entladungsbildung, welche eine Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel, eine Spaltspannungswellenform und eine Spaltstromwellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss der zweiten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen.


  <tb>Fig. 8A bis 8E<sep>sind erklärende Diagramme eines Mechanismus der Funkenerosionsbearbeitung.


  <tb>Fig. 9A bis 9C<sep>sind erklärende Diagramme, welche ein Beispiel eines Bearbeitungsverfahrens für die Drahtfunkenerosion zeigen.


  <tb>Fig. 10<sep>ist ein Blockdiagramm, welches eine Konfiguration eines konventionellen Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion zeigt.


  <tb>Fig. 11<sep>ist ein erklärendes Diagramm, welches eine Spaltspannungswellenform in einem konventionellen Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion zeigt.

Beste Art der Ausführung der Erfindung

Erste Ausführungsform

[0019] Fig. 1A bis 1C sind erklärende Diagramme, welche ein Beispiel einer Drahtfunkenerosion mittels eines Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion gemäss einer ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen. In der Zeichnung ist das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 4a Wasser, welches die Bearbeitungsflüssigkeit ist, das Bezugszeichen 6 ein Startloch, das Bezugszeichen 11 Wasserdampf usw., und das Bezugszeichen 12 Gas wie Luft.

   Fig. 1A zeigt einen ersten Schnitt, welcher eine Rohbearbeitung darstellt, Fig. 1B zeigt einen zweiten Schnitt, welcher die Halbfertigstellungsbearbeitung nach der Rohbearbeitung darstellt, und Fig. 1C zeigt einen dritten Schnitt, welcher eine Fertigstellungsbearbeitung darstellt. Der erste Schnitt, der zweite Schnitt und der dritte Schnitt werden bequemlichkeitshalber verwendet, wobei die Bearbeitung durch Drahtfunkenerosion nicht notwendigerweise nach drei Verfahrensschritten abgeschlossen wird.

   Die Bearbeitung mit einer geringen Genauigkeitsanforderung im Bezug auf das Werkstück kann nur durch einen ersten Schnitt fertig gestellt werden oder aber auch durch einen ersten und einen zweiten Schnitt, während bei einer Bearbeitung mit hohen Genauigkeitsanforderungen im Bezug auf das Werkstück bis sieben oder acht Bearbeitungsschritte durchgeführt werden können.

[0020] Der erste Schnitt von Fig. 1A ist die Bearbeitung für den Durchgang einer Drahtelektrode 1a durch das Startloch 6 und das Bohren des Werkstückes 2. Da die Oberflächenrauheit und die Genauigkeit durch die nachfolgende Bearbeitung vollendet werden, sind eine strikte Oberflächenrauheit und Genauigkeit beim ersten Schnitt nicht zwingend erforderlich.

   Deshalb ist es wichtig, die Bearbeitungsgeschwindigkeit zu erhöhen, insbesondere um die Produktivität zu verbessern, so dass die Bearbeitung unter Einbezug von Wasser 4a, welches die Bearbeitungsflüssigkeit ist, im Spalt durchgeführt wird, indem ein Flüssigkeitsversorgungsmittel betrieben wird, um die Versorgung mit Bearbeitungsflüssigkeit im Spalt in ähnlicher Weise wie in Fig. 9A bis 9C des Standes der Technik sicher zu stellen.

   Als Bearbeitungsflüssigkeitszufuhrmittel wird mindestens ein Mittel für die Aufbewahrung von Wasser 4a in einem Bearbeitungsbad zum Untertauchen des Werkstücks 2 und ein Mittel für den Ausstoss des Wassers 4a in den Bearbeitungsspalt verwendet.

[0021] Im zweiten Schnitt, welcher die Halbfertigstellungsbearbeitung von Fig. 1B darstellt, wird die Bearbeitung im Innern von Dampf 11 und nicht im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit 4a durchgeführt, um eine Vibration der Drahtelektrode 1a zu vermeiden, so dass die Genauigkeit der Bearbeitungsform verbessert werden kann. Eine Bearbeitungsgeschwindigkeit im Innern von Dampf 11 kann mit der Bearbeitung im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit 4a verglichen werden, jedoch wird die Bearbeitungsgenauigkeit verbessert, da die Vibration der Drahtelektrode 1a wegen der elektrostatischen Kraft unterdrückt wird.

   Die Bearbeitung im Innern von Dampf 11 kann durchgeführt werden, indem Dampf in den Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 eingeblasen wird, beispielsweise durch das Dampfversorgungsmittel (nicht dargestellt).

[0022] Beim dritten Schnitt, welcher die finale Fertigstellungsbearbeitung von Fig. 1C darstellt, kann die Vibration der Drahtelektrode weiter unterdrückt werden, indem eine elektrische Entladung im Innern von Gas 12 verwendet wird. Die Bearbeitung im Innern von Gas 12 kann durchgeführt werden indem Gas mit einer vorbestimmten Komponente zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 12 in die Atmosphäre oder durch ein Gaszufuhrmittel (nicht dargestellt) eingeblasen wird.

   Die Gründe, warum eine hohe Genauigkeit durch die Drahtfunkenerosion im Innern von Dampf 11 und im Innern von Gas 12, wie oben beschrieben, erreicht werden kann, sind folgende: Da die elektrostatische Kraft, welche auf die Drahtelektrode 1a und das Werkstück 2 zum Zeitpunkt der Anlegung der elektrischen Spannung am Spalt wirkt, proportional zur dielektrischen Konstante des Spaltes ist, wenn der gleichen Spaltdistanz Rechnung getragen wird, wird die elektrostatische Kraft, falls Dampf 11 oder Gas 12 verwendet werden, um ein Vielfaches grösser im Vergleich mit der Kraft falls Wasser 4a verwendet wird (z.B. ist die dielektrische Konstante im Vakuum am kleinsten und die dielektrische Konstante im Wasser ist etwa das 80-fache der dielektrischen Konstante im Vakuum).

   Da ausserdem eine Verdampfungsexplosionskraft wegen einer elektrischen Entladung durch die im Spalt vorliegende Flüssigkeit auftritt, wird die Drahtelektrode 1a nicht stark durch die Verdampfungsexplosionskraft beeinträchtigt, wenn lediglich Dampf 11 oder Gas 12 im Spalt vorliegen.

[0023] Demzufolge kann eine hochgenaue Drahtfunkenerosion durch eine elektrische Entladung im Innern von Dampf 11 oder im Innern von Gas 12 durchgeführt werden, so dass die Anforderungsspezifikationen korrekt gehandhabt werden können, indem die Bearbeitung gemäss den Produktivitäts- und Genauigkeitsanforderungen an das Werkstück usw.

   als eine Kombination der Bearbeitung im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit, der Bearbeitung im Innern von Dampf und der Bearbeitung im Innern von Gas durchgeführt wird.

[0024] In der Drahtfunkenerosion durch eine Gleichstromquelle des Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion wird die Gleichspannung an einen Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 angelegt, um eine elektrische Entladung im Spalt zu erzeugen. Die Bearbeitung wird durchgeführt, indem die Drahtelektrode 1a und das Werkstück 2 relativ zueinander bewegt werden und die Gleichspannung, welche am Spalt angelegt wird, mittels eines Schaltmittels gesteuert wird.

   Dabei ändert die Energiemenge, die durch eine Fliesskapazität usw. im Spalt gespeichert wird, nicht nur in Abhängigkeit von der Grösse des Werkstückes, des Bearbeitungszustandes usw., sondern ebenfalls in grossem Umfang in Abhängigkeit von Spaltinklusionsbedingungen, wie der Bearbeitungsflüssigkeit im Spalt, nämlich die Bearbeitung im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit durch Eintauchen oder Sprühen, die Bearbeitung im Innern von Dampf oder die Bearbeitung im Innern von Gas.

   Wenn demzufolge die Drahtfunkenerosion als eine Kombination im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit, im Innern von Dampf und im Innern von Gas, wie in Fig. 1 dargestellt, durchgeführt wird, ist bei Verwendung eines konventionellen Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion, wie in Fig. 10 gezeigt, die erforderliche Zeit für den Energiekonsum gross, und die Entladungsenergie für den Fall, dass die Entladung während des Energiekonsums stattfindet, variiert. Daher ist es schwierig, eine stabile Bearbeitung durchzuführen, womit die Bearbeitungsqualität reduziert wird.

[0025] Fig. 2 ist ein Blockdiagramm, welches eine Konfiguration des Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion gemäss der ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigt.

   In der Zeichnung ist das Bezugszeichen 1a eine Drahtelektrode, das Bezugszeichen 2 ein Werkstück, das Bezugszeichen 7 eine Gleichstromversorgung für die Anlegung einer Gleichspannung am Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2, das Bezugszeichen 10 ein Spaltwiderstand, die Bezugszeichen 13a, 13b, 13c und 13d Schaltmittel eines Feldeffekttransistors usw., für die Durchführung der Schaltung der Gleichspannung, das Bezugszeichen 14 ein Steuermittel für die Durchführung der Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13a, 13b, 13c und 13d, das Bezugszeichen 15 ein Spannungsnachweismittel für den Nachweis einer Spaltspannung, das Bezugszeichen 16 ein Nachweismittel für den Nachweis der mittleren Spannung im Spalt,

   das Bezugszeichen 17 ein Spannungsvergleichsmittel für den Vergleich eines Nachweiswertes der Spannung des Spannungsnachweismittels 15 mit einem vorbestimmten Wert, und Bezugszeichen 18 ein Vergleichsmittel für die mittlere Spannung, für den Vergleich eines Nachweiswertes einer mittleren Spannung des Nachweismittels für die mittlere Spannung 16 mit einem vorbestimmten Wert.

   Der Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss der ersten Ausführungsform dieser Erfindung wendet demzufolge einen Schaltkreis mit einer Brückenkonfiguration an, welcher im Stande ist, Spannungen sowohl von positiver als auch von entgegengesetzter Polarität am Spalt zwischen der Drahtelektrode 1a und dem Werkstück 2 anzulegen.

[0026] Fig. 3A und 3B sind beispielhafte Diagramme, welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und eine Spaltspannungswellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss der ersten Ausführungsform dieser Erfindung zeigen. Fig. 3A zeigt den Fall, wo eine elektrische Entladung am Ende der vorbestimmten Zeit T1 nicht auftritt, während Fig. 3B den Fall zeigt, wo eine elektrische Entladung am Ende der vorbestimmten Zeit T1 auftritt.

   In den Fig. 3A und 3B bezeichnet V eine Spaltspannung, T1 die auf einen Spannungsimpuls angewandte Zeit (vorbestimmte Zeit, für welche die Schaltmittel 13a und 13b eingeschaltet werden), t die vorbestimmte Zeit, eingestellt zur Verhinderung einer Zerstörung der Schaltmittel, T2a und T2b die vorbestimmte Zeit, für welche die Schaltmittel 13c und 13d nach Ablauf der vorbestimmten Zeit t eingeschaltet werden, T5 die Pausenzeit, und Va einen Bereich der Spaltspannung, welcher kleiner oder gleich der Spannung ist, welche notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird.

[0027] Nachdem die Schaltmittel 13a und 13b eingeschaltet sind, wie gezeigt in Fig. 3, werden sie nach dem Ablauf einer vorbestimmten Zeit T1 mittels eines Steuersignals vom Steuermittel 14 aus Fig. 2 ausgeschaltet.

   Danach werden die Schaltmittel 13c und 13d nach dem Ablauf der vorbestimmten Zeit t eingeschaltet und nach dem Ablauf der vorbestimmten Zeit T2a, wie gezeigt in Fig. 3A, bzw. nach dem Ablauf der vorbestimmten Zeit T2b, wie gezeigt in Fig. 3B, ausgeschaltet. Die vorbestimmte Zeit T2a, bzw. T2b, kann entsprechend den Bearbeitungsbedingungen eingestellt werden, beispielsweise nach der Grösse eines Werkstückes oder den elektrischen Bedingungen für die Bearbeitung im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit, im Innern von Dampf oder im Innern von Gas, so dass diese Zeit diejenige Zeit ist, welche erforderlich ist, damit die Spaltspannung V eine willkürliche Spannung innerhalb des Spannungsbereiches Va erreicht (vorbestimmte Zeit, welche notwendig ist, damit die Spaltspannung V Null wird, wie gezeigt in den Fig. 3A und 3B).

[0028] Anstatt dass die vorbestimmte Zeit T2a, bzw.

   T2b, voreingestellt wird, können die Schaltmittel 13c und 13d auch ausgeschaltet werden, wenn ein Spannungsnachweiswert, der durch das Spannungsnachweismittel 15 nachgewiesen wird, mit einem vorbestimmten Einstellwert innerhalb des Spannungsbereiches Va mittels der Spannungsvergleichsmittel 17 verglichen wird und die Spaltspannung V auf den vorbestimmten Einstellwert eingestellt wird.

[0029] In den Fig. 3A und 3B wird die vorbestimmte Zeit t angegeben, weil, wenn die Schaltmittel 13a oder 13b, bzw. 13c oder 13d, in einer Zeitspanne simultan eingeschaltet werden, ein Kurzschlussstrom entsteht und die Schaltmittel zerstört werden, so dass die vorbestimmte Zeit t beispielsweise in der Grössenordnung von 500 ns eingestellt werden kann.

   Der Wert dieser vorbestimmten Zeit t kann vermindert werden, wenn die angelegte Spannung tief ist, da Schaltmittel mit einer hohen Betriebsgeschwindigkeit eingesetzt werden können. Der Wert nimmt aber zu, wenn die angelegte Spannung für eine gewisse Werkstückart oder eine Hochgeschwindigkeitsbearbeitung erhöht wird, da es erforderlich ist, Schaltmittel mit einer hohen elektrischen Festigkeit und einer tiefen Betriebsgeschwindigkeit zu verwenden.

[0030] Wenn die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel so durchgeführt werden kann, dass es keine Zeitzone gibt, in welcher die Schaltmittel 13a oder 13b und 13c oder 13d simultan eingeschaltet werden, so besteht kein Bedarf, eine vorbestimmte Zeit t vorzulegen.

[0031] Wie oben beschrieben, kann das Abfallen der im Spalt verbleibenden Spannung schnell ausgeführt werden,

   indem nach der Beendigung der Anlegung eines Spannungsimpulses während der vorbestimmten Zeit T1 mittels der Schaltmittel 13c und 13d eine Spannung mit der der ersten Spannung entgegengesetzten Polarität angelegt wird. Beispielsweise kann dies mittels eines Schaltkreises mit einer Brückenkonfiguration erreicht werden, welcher im Stande ist, Spannungen sowohl von positiven als auch von entgegengesetzten Polaritäten, wie in Fig. 2 gezeigt, anzulegen.

[0032] Bei einem schnellen Abfallen der Spaltrestspannung zur Beseitigung der Restspannung kann die elektrostatische Kraft, welche zwischen der Drahtelektrode und dem Werkstück auf Grund der Restspannung auftritt, unterdrückt werden.

   Da die Vibration der Drahtelektrode somit jeweils bei der Bearbeitung im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit, im Innern von Dampf und im Innern von Gas erzielt werden kann, kann eine Reduktion der Bearbeitungsgenauigkeit des Werkstückes im Fall der Durchführung der Bearbeitung im Innern der Bearbeitungsflüssigkeit, im Innern von Dampf und im Innern von Gas in Kombination vermieden werden.

[0033] Eine elektrische Entladung, die durch eine Restspannung im Spalt verursacht wird, kann ebenfalls verhütet werden, und es kann erreicht werden, dass die elektrische Entladung nur innerhalb der regelbaren Spannungsanwendungszeit einsetzt, so dass die Bearbeitungsqualität weiter verbessert werden kann.

[0034] Des Weiteren kann die Pausenzeit T5, und somit auch die Bearbeitungszeit insgesamt, verkürzt werden, wie dargestellt in den Fig.

   3A und 3B.

[0035] Ein ähnlicher Effekt wird erkennbar, wenn die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel aus den Fig. 3A und 3B der obigen Beschreibung wie in Fig. 4 gezeigt durchgeführt wird.

[0036] Zudem zeigt Fig. 5 einen Fall, in welchem eine Spannung in einer vorbestimmten Zeit T3 auf eine Polarität eingestellt wurde, welche entgegengesetzt der Spannung in der vorbestimmten Zeit T1 ist, so dass ein Effekt erreicht wird, welcher demjenigen bei der Durchführung der Ein-/Aus-Schaltung der Schaltmittel gemäss Fig. 3 ähnlich ist.

   Fig. 5 zeigt zudem einen Effekt, der die elektrolytische Korrosion des Werkstückes verhütet, im Fall, wenn der Wert der mittleren Spannung, welche durch das Nachweismittel für die mittlere Spannung 16 gemäss Fig. 2 nachgewiesen wird, mit einem Spannungseinstellwert von 0 Volt durch das Vergleichsmittel 18 für die mittlere Spannung verglichen wird, und eine Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13a, 13b, 13c und 13d durch das Steuermittel 14 durchgeführt wird, wodurch dieser mittlere Spannungsnachweiswert auf Null gesetzt wird (sog. Null-Volt-Steuerung).

Zweite Ausführungsform

[0037] Fig. 6 ist ein erklärendes Diagramm, welches die Ein-/Aus-Steuerung von Schaltmittel und eine Spaltspannungswellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss einer zweiten Ausführungsform dieser Erfindung zeigt.

   In der Zeichnung bezeichnet V eine Spaltspannung, Va einen Bereich der Spaltspannung, welche kleiner oder gleich der Spannung ist, welche notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird, V1 und V2 vorbestimmte Spannungen innerhalb des Spaltungsbereichs Va, und T1 die auf einen Spannungsimpuls angewandte Zeit (vorbestimmte Zeit, für welche die Schaltmittel 13a und 13b eingeschaltet sind).

   Die Bezeichnung t zeigt die vorbestimmte Zeit, welche für die Verhinderung der Zerstörung der Schaltmittel verwendet wird, T2a ¾ die vorbestimmte Zeit, für welche die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13c und 13d durchgeführt werden, nach dem Ablauf der vorbestimmten Zeit T1 und t, T3 ¾ die angewandte Zeit auf einen Spannungsimpuls (vorbestimmte Zeit, für welche die Schaltmittel 13c und 13d ausgeschaltet sind), T4a ¾ die vorbestimmte Zeit, für welche die Ein-/Aus-Steuerung für die Schaltmittel 13a und 13b nach dem Ablauf einer vorbestimmten Zeit T3 ¾ und t durchgeführt wird und T5 ¾ eine Pausenzeit.

   Ebenfalls ist das Blockdiagramm, welches eine Konfiguration eines Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion zeigt, ähnlich demjenigen von Fig. 2, welches in der ersten Ausführungsform gezeigt ist.

[0038] Da die Spaltrestspannung in Abhängigkeit des Bearbeitungszustandes, der angewandten Spannung etc. ändert, wird die Steuerung im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss der zweiten Ausführungsform so durchgeführt, dass eine Spannung nach dem Abfallen eines Spannungsimpulses im Spalt innerhalb einer vorbestimmten Spannung im Spannungsbereich Va unter Verwendung des Spannungsnachweismittels 15 für den Nachweis der Spannung im Spalt von Fig. 2 und des Spannungsvergleichsmittels 17 für den Vergleich einer vorbestimmten Spannung mit einer Spannung im Spalt in der positiven, bzw.

   entgegengesetzten Polarität, aufrecht erhalten wird.

[0039] Zuerst wird beispielsweise eine Spannung mit einer positiven Polarität während einer vorbestimmten Zeit T1 angelegt und dann, nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit t, eine Spannung der entgegengesetzten Polarität, so dass die Schaltmittel nicht zerstört werden. Eine Spannung im Spalt wird mittels der Spannungsnachweismittel 15 nachgewiesen, wobei die vorbestimmte Spannung V2 mittels der Spannungsvergleichmittel 17 mit der Spaltspannung verglichen wird, so dass die Schaltmittel 13c und 13d unmittelbar ausgeschaltet werden, falls die vorbestimmte Spannung V2 erreicht wird.

   Dann werden die Ein-/Aus-Operationen der Schaltmittel 13c und 13d während einer vorbestimmten Zeit T2a ¾ wiederholt, so dass die Spaltspannung nicht die vorbestimmte Spannung V2 oder weniger erreicht.

[0040] Hinzu kommt, dass eine Spannung entgegengesetzter Polarität während einer vorbestimmten Zeit T3 ¾ und dann, nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit t, eine Spannung positiver Polarität angelegt wird, damit die Schaltmittel nicht zerstört werden. Die Spaltspannung wird im Spalt unter Verwendung des Spannungsnachweisgerätes 15 nachgewiesen, und die vorbestimmte Spannung V1 wird innerhalb des Bereichs Va der Spaltspannung auf eine Spannung festgelegt, welche kleiner oder gleich der Spannung ist, welche notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird.

   Diese Spannung wird mittels des Spannungsvergleichsmittels 17 mit der Spaltspannung verglichen und wenn die vorbestimmte Spannung V1 erreicht wird, werden die Schaltmittel 13a und 13b unmittelbar ausgeschaltet. Danach werden die Ein-/Aus-Operationen der Schaltmittel 13a und 13b während einer vorbestimmten Zeit T4a ¾ wiederholt, damit die Spaltspannung nicht die vorbestimmte Spannung V1 oder mehr erreicht.

[0041] Indem die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel wie oben beschrieben durchgeführt wird, kann das Abfallen der Spaltrestspannung nach dem Ablauf der Zeit des vorbestimmten Spannungsimpulses (T1 und T3 ¾) schnell erzielt werden.

   Ebenfalls kann das Niveau der Spaltrestspannung auf mindestens die Spannung eingestellt werden, welche notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird, so dass die elektrische Entladung während der Zeit T2a ¾ und T4a ¾ unterdrückt werden kann, womit ein Effekt erzielt wird, welcher im Stande ist, die Bearbeitungsqualität usw. in ähnlicher Weise wie in der ersten Ausführungsform zu verbessern.

[0042] Fig. 7A und 7B sind beispielhafte Diagramme der Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel zum Zeitpunkt der Bildung einer elektrischen Entladung, der Spaltspannungswellenform und der Spaltstromwellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss der zweiten Ausführungsform dieser Erfindung.

   V stellt die Spaltspannung dar, I den Spaltstrom und T1 die Anwendungszeit eines Spannungsimpulses (vorbestimmte Zeit, während welcher die Schaltmittel 13a und 13b eingeschaltet sind). Die Bezeichnung t ist die vorbestimmte Zeit, welche für die Verhinderung der Zerstörung der Schaltmittel verwendet wird, während T2a ¾, bzw. T2d vorbestimmte Zeiten sind, in welchen die Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel 13c und 13d nach dem Ablauf der vorbestimmten Zeit T1 und t durchgeführt wird. Wie in Fig. 7A gezeigt, wenn eine elektrische Entladung am Ende der vorbestimmten Zeit auftritt, erreicht die Spannung den vorbestimmten Spannungswert V2 in kurzer Zeit, da die Spannung in der Bearbeitungsspalte eine Spannung im Spannungsbereich Va erreicht, so dass die Anwendungszeit des ersten Spannungsimpulses innerhalb der Zeit T2b ¾ kurz wird.

   Jedoch kann die Anlegung einer Spannung innerhalb dieser vorbestimmten Zeit T2b ¾ in ähnlicher Weise wie in Fig. 6 durchgeführt werden. Wie in Fig. 7B gezeigt, kann eine Anlegung einer Spannung innerhalb der Zeit T2a ¾ in ähnlicher Weise wie in Fig. 6 durchgeführt werden, wenn eine elektrische Entladung innerhalb der vorbestimmten Zeit T1 auftritt und eine elektrische Entladung am Ende der vorbestimmten Zeit T1 nicht auftritt. Beispielsweise wird, wenn eine Spannung mit einer Gruppenimpulsform für die Fertigstellungsbearbeitung im dritten Schnitt verwendet wird, ein vierter usw.

   Schnitt angewendet, je nachdem, ob eine elektrische Entladung am Ende der vorbestimmten Spannungsimpulsanwendungszeit auftritt oder nicht, so dass die Anlegung einer Spannung innerhalb der Zeit T2b ¾ oder T2a ¾, wie in Fig. 7A oder 7B gezeigt, durchgeführt werden kann.

Dritte Ausführungsform

[0043] Fig. 6 ist ebenfalls ein erklärendes Diagramm, welches eine Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und die Spaltspannungswellenform im Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss einer dritten Ausführungsform dieser Erfindung sowie ein Blockdiagramm, welches eine Konfiguration des Stromversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion zeigt, und welches demjenigen von Fig. 2 gemäss der ersten Ausführungsform ähnlich ist.

   In einer dritten Ausführungsform jedoch wird die angewandte Zeit T3 ¾ des Spannungsimpulses nicht vorbestimmt, sondern gesteuert.

[0044] In der dritten Ausführungsform, zusätzlich zur zweiten Ausführungsform, wird eine Steuerung (eine sog. Null-Volt-Steuerung) für die Erzeugung einer mittleren Spannung im Spalt bei vorbestimmten Zeitintervallen auf Null eingesetzt, wobei Nachweismittel für die mittlere Spannung 16 und Vergleichsmittel 18 für die mittlere Spannung aus Fig. 2 verwendet werden, um die elektrolytische Korrosion eines Werkzeuges zu vermeiden.

   D.h., eine mittlere Spannung innerhalb einer konstanten Zeit wird im Spalt durch die Nachweismittel für die mittlere Spannung 16 nachgewiesen und dieser mittlere Spannungsnachweiswert wird mit einem Spannungsvorgabewert, welcher auf Null Volt gesetzt wird, durch die Vergleichsmittel 18 für die mittlere Spannung verglichen.

   Die Anwendungszeit Z3 eines Spannungsimpulses mit der Anwendungszeit Z3 eines Spannungsimpulses mit der entgegengesetzten Polarität zur Spannung der vorbestimmten Zeit T1 wird so gesteuert, dass dieser mittlere Spannungsnachweiswert zu Null gemacht wird (die Steuerung wird in ähnlicher Weise durchgeführt, wie diejenige gemäss der Beschreibung von Fig. 5 der ersten Ausführungsform), und es wird ein Effekt erzielt, welcher fähig ist, die elektrolytische Korrosion des Werkstückes zu verhüten.

[0045] In Fig. 6 wird, wenn eine vorbestimmte Spannung V2 so nahe wie möglich an das Ende eines Spannungsbereichs V2 gebracht wird, z.B.

   wie durch einen Pfeil A gezeigt, d.h., wenn er innerhalb des Spannungsbereichs Va und in der Nähe einer Spannung festgelegt wird, welche eine elektrische Entladung starten kann, eine mittlere Spannung einer entgegengesetzten Polarität zu einer Spannung innerhalb der vorbestimmten Zeit T1 innerhalb der Zeitspanne T2a ¾ erhöht, so dass die Spannungsimpulsanwendungszeit T3 ¾ von Fig. 6 kürzer gemacht werden kann als die Spannungsimpulsanwendungszeit T3 von Fig. 5, wenn die Null-Volt-Steuerung durchgeführt wird (also T3 ¾ < T3). Die Spannungsimpulsanwendungszeit T3 ¾ kann weiter verkürzt werden, indem die Zeit T2a ¾ zusätzlich verlängert wird.

   In diesem Fall ist beispielsweise die Bearbeitung bei einer Spannungspolarität der vorbestimmten Zeit T1 leicht durchzuführen, während die Bearbeitung bei einer Spannungspolarität der vorbestimmten Zeit T3 ¾ schwierig durchzuführen ist, so dass die Bearbeitungsproduktivität nicht reduziert wird, sogar wenn die Zeit T3 ¾ des angelegten Spannungsimpulses kurz wird.

[0046] Die Möglichkeit, die Zeit T3 ¾ des angelegten Spannungsimpulses zu kürzen, bedeutet, dass die Zeit von der Zeit T1 der angelegten Spannung in Fig. 6 auf die Zeit T1 der nächsten angelegten Spannung verkürzt werden kann.

   Das heisst, bei der Durchführung der Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel und der Null-Volt-Steuerung gemäss Fig. 6 können die elektrolytische Korrosion eines Werkstückes verhütet sowie die Bearbeitungszeit gekürzt werden.

[0047] Obwohl der Fall der Durchführung der Steuerung der Zeit des angelegten Spannungsimpulses für die Null-Volt-Steuerung anhand der Zeit T3 ¾ oben als Beispiel beschrieben wurde, kann die Steuerung mittels der Zeit T1 oder T4 ¾ durchgeführt werden.

[0048] Obschon die Konfiguration des Energieversorgungsapparates für die Drahtfunkenerosion, wie gezeigt in Fig.

   2, eine Brückenkonfiguration mit einer Gleichstromquelle verwendet, hat sich gezeigt, dass bei den oben beschriebenen Ausführungsformen dieser Erfindung eine Konfiguration möglich ist, welche das Anlegen von Spannungen sowohl von positiven wie auch entgegengesetzten Polaritäten am Spalt zwischen einer Drahtelektrode und einem Werkstück mittels zwei Gleichstromquellen ermöglicht, beispielsweise eine Konfiguration wie offenbart in JP-A-1-2 57 513.

Industrielle Anwendbarkeit

[0049] Wie oben beschrieben, ist ein Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss dieser Erfindung insbesondere für die Durchführung einer hochgenauen Funkenerosionsbearbeitung geeignet.

Claims (10)

1. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion, im Stande, Spannungen sowohl von positiver als auch von entgegengesetzter Polarität an einem Spalt zwischen einer Drahtelektrode (1a) und einem Werkstück (2) anzulegen, welcher Energieversorgungsapparat eine Gleichstromquelle (7) für die Anlegung einer Gleichspannung am Spalt zwischen der Drahtelektrode (1a) und dem Werkstück (2), Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) zur Umschaltung der Gleichspannung und ein Steuermittel (14) zur Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass das Steuermittel (14) zur Anlegung eines ersten Spannungsimpulses am Spalt während einer ersten vorbestimmten Zeit (T1) und dann zur Anlegung eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität während einer zweiten vorbestimmten Zeit (T2a, T2b) vorgesehen ist,

wobei die zweite Zeit (T2a, T2b) erforderlich ist, damit die Spaltspannung einen vorbestimmten Spannungswert erreicht, wobei der Spannungswert kleiner oder gleich ist als die Spannung (Va), die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung gemäss den jeweiligen Bearbeitungsbedingungen im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren von Dampf oder im Inneren von Gas ausgelöst wird und wobei die Bearbeitung eine Kombination von mindestens zwei der nachstehenden Bearbeitungsstufen umfasst: Bearbeitung im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, Bearbeitung im Inneren von Dampf und Bearbeitung im Inneren von Gas.

2. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Spannungsnachweismittel (15) für den Nachweis einer Spannung im Spalt, ein Spannungsvergleichsmittel (17) für den Vergleich der Spaltspannung, welche durch das Spannungsnachweismittel (15) nachweisbar ist, mit einem vorbestimmten Spannungswert, welcher höchstens auf die Spannung eingestellt ist, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung gemäss den jeweiligen Bearbeitungsbedingungen im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren von Dampf oder im Inneren von Gas ausgelöst wird, und das Steuermittel (14) zur Anlegung eines ersten Spannungsimpulses am Spalt während einer ersten vorbestimmten Zeit (T1) und dann zur Anlegung eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität vorgesehen sind,

wobei die Anlegung des zweiten Spannungsimpulses beendet wird, wenn mittels des Spannungsvergleichsmittels (17) nachgewiesen wird, dass die Spaltspannung die vorbestimmte Spannung erreicht hat.

3. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannungsnachweismittel (15) für den Nachweis einer Spannung im Spalt, das Spannungsvergleichsmittel (17) für den Vergleich der Spaltspannung, welche durch das Spannungsnachweismittel (15) nachweisbar ist, mit einem vorbestimmten Spannungswert, welcher höchstens auf die Spannung eingestellt ist, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung, gemäss den jeweiligen Bearbeitungsbedingungen im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren von Dampf oder im Inneren von Gas ausgelöst wird, und das Steuermittel (14) zur Anlegung eines ersten Spannungsimpulses am Spalt während einer ersten vorbestimmten Zeit (T1)

und dann zur Anlegung eines zweiten Spannungsimpulses mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität während einer zweiten vorbestimmten Zeit (T2a, T2b) vorgesehen sind, so dass die Spaltspannung einen mittels des Spannungsvergleichsmittels (17) bestimmten Spannungswert erreicht, wobei der Spannungswert kleiner oder gleich ist als die Spannung (Va), die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird.

4. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung einer Zerstörung der Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) der zweite Spannungsimpuls nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit nach Beendigung der Anlegung des ersten Spannungsimpulses angelegt wird.

5. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Steuermittel (14) zur Anlegung eines dritten Spannungsimpulses am Spalt nach einer Ruhezeit nach dem ersten Spannungsimpuls, mit einer dem ersten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität, während einer dritten vorbestimmten Zeit (T3) und dann zur Anlegung eines vierten Spannungsimpulses mit einer dem dritten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität während einer vierten vorbestimmten Zeit (T4a) vorgesehen ist, mit einer Spannung, die kleiner oder gleich ist als die Spannung, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung gemäss den jeweiligen Bearbeitungsbedingungen im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren von Dampf oder im Inneren von Gas, ausgelöst wird,

wobei die Bearbeitung durch den ersten und durch den dritten Spannungsimpuls durchgeführt wird.

6. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannungsnachweismittel (15) für den Nachweis einer Spannung im Spalt, das Spannungsvergleichsmittel (17) für den Vergleich der Spaltspannung, welche durch das Spannungsnachweismittel (15) nachweisbar ist, mit einem vorbestimmten Spannungswert, welcher höchstens auf die Spannung eingestellt ist, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung gemäss den jeweiligen Bearbeitungsbedingungen im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren von Dampf oder im Inneren von Gas ausgelöst wird, und das Steuermittel (14) zur Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) zur Anlegung eines dritten Spannungsimpulses am Spalt während einer dritten vorbestimmten Zeit (T3)

und dann zur Anlegung eines vierten Spannungsimpulses mit einer dem dritten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität während einer vierten vorbestimmten Zeit (T4a) vorgesehen sind, wobei die Anlegung des vierten Spannungsimpulses beendet wird, wenn mittels des Spannungsvergleichsmittels (17) nachgewiesen wird, dass die Spaltspannung die vorbestimmte Spannung erreicht hat.

7. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannungsnachweismittel (15) für den Nachweis einer Spannung im Spalt, das Spannungsvergleichsmittel (17) für den Vergleich der Spaltspannung, welche durch das Spannungsnachweismittel (15) nachweisbar ist, mit einem vorbestimmten Spannungswert, welcher höchstens auf die Spannung eingestellt ist, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung gemäss den jeweiligen Bearbeitungsbedingungen im Inneren der Bearbeitungsflüssigkeit, im Inneren von Dampf oder im Inneren von Gas ausgelöst wird, und das Steuermittel (14) zur Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) zur Anlegung eines dritten Spannungsimpulses am Spalt während einer dritten vorbestimmten Zeit (T3)

und dann zur Anlegung eines vierten Spannungsimpulses mit einer dem dritten Spannungsimpuls entgegengesetzten Polarität vorgesehen sind, so dass die Spaltspannung einen mittels des Spannungsvergleichsmittels (17) bestimmten Spannungswert erreicht, wobei der Spannungswert kleiner oder gleich ist als die Spannung, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird.

8. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Spannungsnachweismittel (15) für den Nachweis einer Spannung im Spalt, ein Mittelspannungsvergleichsmittel (17) für den Vergleich der mittleren Spaltspannung, welche durch das Spannungsnachweismittel (15) nachweisbar ist, mit Null Volt, und das Steuermittel (14) zur Ein-/Aus-Steuerung der Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) vorgesehen sind, so dass die mittlere Spaltspannung in vorbestimmten Zeitintervallen Null ist.

9. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die vorbestimmte Spannung, die kleiner oder gleich ist als die Spannung, die notwendig ist, damit eine elektrische Entladung bei der Anlegung des zweiten Spannungsimpulses oder bei der Anlegung des vierten Spannungsimpulses ausgelöst wird, nah an der Spannung ist, welche notwendig ist, damit eine elektrische Entladung ausgelöst wird.

10. Energieversorgungsapparat für die Drahtfunkenerosion gemäss Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung einer Zerstörung der Schaltmittel (13a, 13b, 13c, 13d) der zweite Spannungsimpuls nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit nach Beendigung der Anlegung des ersten Spannungsimpulses und der vierte Spannungsimpuls nach Ablauf einer vorbestimmten Zeit nach Beendigung der Anlegung des dritten Spannungsimpulses angelegt wird.