CH714227A2 - Moule pour galvanoplastie et son procédé de fabrication. - Google Patents

Abstract

L’invention se rapporte à un procédé de fabrication d’un moule (3, 3´) comportant les étapes suivantes: a) se munir d’un premier substrat (5) en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur du moule (3, 3´) b) illuminer ledit premier substrat (5) par rayons UV à travers un masque dont les fenêtres correspondent à l’empreinte du moule (3, 3´) pour créer des zones illuminées (7, 7´) c) effectuer un traitement thermique du premier substrat (5) obtenu à l’étape b) pour cristalliser les zones illuminées (7, 7´) d) se munir d’un second substrat (8) présentant au moins une couche conductrice (10) en surface e) assembler le premier substrat (5) obtenu à l’étape c) au second substrat (8) de sorte que la couche conductrice (10) se situe entre le premier (5) et le second (8) substrats f) éliminer les zones (7, 7´) illuminées et cristallisées du premier substrat (5) de manière à faire apparaître la couche conductrice (10) afin de former au moins une cavité (12, 12´) dont les parois latérales et le fond occupé par la couche conductrice (10) constituent ledit moule (3, 3´). L’invention concerne le domaine des pièces de micromécanique notamment pour des mouvements horlogers.

Description

Description

Domaine de l’invention [0001] L’invention se rapporte à un moule destiné à fabriquer une pièce de micromécanique par galvanoplastie ainsi que son procédé de fabrication.

Arrière-plan de l’invention [0002] La galvanoplastie est utilisée et connue depuis longtemps. Les procédés du type LIGA (abréviation très connue provenant de l’allemand «röntgenLithographie, Galvanoformung & Abformung») développés dans les années 80 se sont révélés intéressants pour la fabrication de microstructures métalliques de hautes précisions.

[0003] Dans son principe la technique LIGA consiste à déposer sur un substrat conducteur ou revêtu d’une couche conductrice, une couche d’une résine photosensible, à effectuer à travers un masque correspondant au contour de la microstructure désirée une irradiation X au moyen d’un Synchrotron; à développer, c’est-à-dire à éliminer par des moyens physiques ou chimiques les portions de la couche de résine photosensible non irradiées afin de définir un moule ayant le contour de la microstructure, à déposer galvaniquement un métal, typiquement du nickel, dans le moule en résine photosensible puis à éliminer le moule pour libérer la microstructure.

[0004] La qualité des microstructures obtenues ne prête pas à critique, mais la nécessité de mettre en oeuvre un équipement coûteux (Synchrotron) rend cette technique peu compatible avec une production de masse de microstructures devant avoir un faible coût unitaire.

[0005] C’est pourquoi sur la base de ce procédé LIGA ont été développées des procédé analogues mais utilisant des résines photosensibles aux UV. Un tel procédé est par exemple décrit dans la publication de A.B. Frazier et al., intitulée «Metallic Microstructures Fabricated Using Photosensitive Polyimide Electroplating Molds», Journal of Microelectrome-chanical Systems, Vol. 2, N deg. 2, June 1993 pour la fabrication de structures métalliques par électrodéposition de métal dans des moules en résine photosensible à base de polyimide. Ce procédé comprend les étapes suivantes: - se munir d’un substrat comportant une surface conductrice d’amorçage pour une étape ultérieure d’électrodéposition, - appliquer sur ladite surface conductrice d’amorçage une couche de résine photosensible (polyimide), - irradier par UV la couche de résine photosensible à travers un masque correspondant au contour de la microstructure désirée, - développer en dissolvant les parties non irradiées de la couche de résine photosensible de façon à obtenir un moule en résine photosensible, - déposer galvaniquement du nickel dans la partie ouverte du moule jusqu’à la hauteur de celui-ci, - séparer la structure métallique obtenue du substrat, et - éliminer le moule en résine photosensible.

[0006] Ce procédé est très exploité dans le domaine de l’horlogerie pour la fabrication de ses composants de précision. Or il s’avère qu’au nombre des composants horlogers réalisés, bon nombre comporte une fonction «ressort», ressort travaillant dans le plan du composant ou du mouvement. La combinaison des paramètres «épaisseur du composant -raideur de ressort recherchée» peut ainsi conduire à des géométries de lames de ressorts très étroites (de quelques dizaines de microns, voire moins) pour des épaisseurs de plusieurs centaines de microns.

[0007] De façon similaire, il arrive que le design des composants nécessite de pouvoir définir des fentes étroites entre deux parties du composant, une mobile, l’autre fixe, par exemple.

[0008] Dans ces deux cas, le procédé conventionnel de LIGA-UV rencontre des limites, tant en terme de facteur d’aspect (rapport hauteur/largeur) du gap à remplir de métal lors de la croissance, que du facteur d’aspect de résine séparant deux géométries proches.

[0009] En outre, garantir que la résine photosensible conserve ses géométries (verticalité, taille,...) dans le bain galvanique reste délicat, ce qui handicape la fabrication robuste de ces composants horlogers spécifiques.

[0010] Il existe donc un besoin pour un procédé permettant de s’affranchir de tels inconvénients. Résumé de l’invention [0011] La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients liés au procédé conventionnel de LIGA-UV, en proposant un moule alternatif permettant de s’affranchir des risques de déformation de la résine formant le moule utilisé dans ledit procédé conventionnel de LIGA-UV.

[0012] Un autre but de l’invention est de proposer un moule permettant de réaliser des pièces de micromécanique comportant des géométries à haut facteur d’aspect par électroformage.

[0013] A cet effet, l’invention se rapporte à un procédé de fabrication d’un moule comportant les étapes suivantes: a) se munir d’un premier substrat en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur du moule b) illuminer ledit premier substrat par rayons UV à travers un masque dont les fenêtres correspondent à l’empreinte du moule pour créer des zones illuminées c) effectuer un traitement thermique du premier substrat obtenu à l’étape b) pour cristalliser les zones illuminées d) se munir d’un second substrat présentant au moins une couche conductrice en surface e) assembler le premier substrat obtenu à l’étape c) au second substrat de sorte que la couche conductrice se situe entre le premier et le second substrats f) éliminer les zones illuminées et cristallisées du premier substrat de manière à faire apparaître la couche conductrice afin de former au moins une cavité dont les parois latérales et le fond occupé par la couche conductrice constituent ledit moule.

[0014] Un tel procédé permet de réaliser un moule en verre, plus rigide et insensible aux effets du bain de croissance galvanique utilisé pour former une pièce de micromécanique à partir dudit moule.

[0015] L’invention se rapporte également à un procédé de fabrication par galvanoplastie d’une pièce de micromécanique, comprenant les étapes suivantes: g) fabriquer un moule de ladite pièce de micromécanique selon le procédé de fabrication d’un moule défini ci-des-sus h) remplir le moule d’un matériau métallique par croissance galvanique à partir de la couche conductrice pour former ladite pièce de micromécanique i) libérer la pièce de micromécanique obtenue à l’étape h) de son moule.

[0016] L’invention se rapporte également à une plaque de moulage destinée à fabriquer au moins une pièce de micromécanique par galvanoplastie, comportant un premier substrat en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur de la pièce de micromécanique, un second substrat solidaire du premier substrat, au moins une couche conductrice prévue entre les premier et second substrats, le premier substrat comportant au moins un moule de la pièce micromécanique constitué par une cavité formée dans ledit premier substrat et dont le fond est occupé par la couche conductrice, permettant de déposer par croissance galvanique un matériau métallique dans ladite cavité pour former ladite pièce de micromécanique.

Description sommaire des dessins [0017] D’autres particularités et avantages ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels: les fig. 1 à 5 sont des représentations des étapes successives d’un procédé de fabrication d’une pièce de micromécanique selon un premier mode de réalisation de l’invention; et les fig. 6 à 11 sont des représentations des étapes successives d’un procédé de fabrication d’une pièce de micromécanique selon un deuxième mode de réalisation de l’invention.

Description détaillée des modes de réalisation préférés [0018] En référence aux fig. 1 à 5, la présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d’une pièce de micromécanique 1,1' par galvanoplastie. Le procédé comporte, préférentiellement, un procédé de fabrication d’un moule 3, 3', suivi d’une étape de galvanoplastie et d’une étape de libération de la pièce 1,1' dudit moule 3, 3' respectivement.

[0019] Le procédé de fabrication d’un moule 3, 3' selon l’invention comporte des étapes successives destinées à fabriquer un moule 3, 3': [0020] Une première étape a) du procédé de fabrication du moule 3, 3' consiste à se munir d’un premier substrat 5 en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur du moule.

[0021] Un tel verre photosensible est par exemple disponible chez Schott A.G. sous la marque Foturan®, chez Hoya Corp. sous la référence PEG3® ou chez LifeBioScience Inc. sous la marque Apex™.

[0022] Avantageusement selon l’invention, l’utilisation de verre photosensible permet de générer dans le verre une plus grande variété de géométries que le gravage de matériaux à base de silicium ou de céramique.

[0023] La seconde étape b) du procédé de fabrication du moule 3, 3' consiste à illuminer le premier substrat 5 par rayons UV, à une longueur d’onde correspondant au verre photosensible, à travers un masque opaque à ladite longueur d’onde et dont les fenêtres correspondent respectivement aux empreintes des moules à réaliser pour créer des zones illuminées 7, 7'. Ainsi, suivant la quantité, l’orientation et la distribution de l’illumination, seules les zones 7, 7' du premier substrat 5 exposées aux rayons UV sont structurées pour former les empreintes des moules à réaliser. La source d’illumination peut par exemple être une lampe UV dont le pic de distribution spectral est situé entre 200 et 400 nm.

[0024] La troisième étape c) du procédé de fabrication du moule 3, 3' consiste à effectuer un traitement thermique du premier substrat 5 obtenu à l’étape b) pour cristalliser les zones illuminées 7, 7', comme représenté sur la fig. 1. Ce traitement thermique est effectué à haute température, de préférence entre 500 °C et 600 °C. Ce traitement thermique permet de rendre les zones illuminées 7,7' plus sélectives pour leur élimination selon l’étape f) comme on le verra ci-après.

[0025] La quatrième étape d) du procédé de fabrication du moule 3, 3' consiste à se munir d’un second substrat 8, ledit substrat présentant au moins une couche conductrice 10 en surface. Avantageusement, la couche conductrice est formée par un dépôt sur le second substrat 8 d’une couche 10 d’un matériau métallique choisi parmi le groupe comprenant le chrome, le titane, et l’or, l’or étant préféré. La couche conductrice 10 présente de préférence une épaisseur comprise entre 0.1 pm et 0.5 pm.

[0026] La couche métallique 10 présente le double avantage d’une part d’être conductrice pour permettre la mise en oeuvre de l’étape h) d’électrodéposition et d’autre part de permettre l’assemblage par soudure du second substrat au premier substrat selon l’étape e) comme cela sera décrit ci-après.

[0027] Le second substrat 8 est réalisé dans un matériau de préférence résistant aux attaques acides. Avantageusement, le second substrat 8 est à base de silicium.

[0028] La cinquième étape e) du procédé de fabrication du moule 3, 3' consiste à assembler le premier substrat 5 comprenant les zones 7,7' illuminées et cristallisées, tel qu’obtenu à l’étape c), au second substrat 8 de sorte que la couche conductrice 10 se situe entre le premier substrat 5 et le second substrat 8, comme représenté sur la fig. 2.

[0029] Dans cette première variante de l’invention, l’assemblage des deux substrats 5 et 8 est réalisé par soudure par l’intermédiaire de la couche conductrice métallique 10.

[0030] La sixième étape f) du procédé de fabrication du moule 3, 3' consiste éliminer les zones 7, 7' illuminées à l’étape b) et cristallisées à l’étape c) du premier substrat 5, de manière à faire apparaître la couche conductrice 10 afin de former au moins une cavité 12, 12' dont les parois latérales verticales et le fond occupé par la couche conductrice 10 constituent ledit moule 3, 3', comme représenté sur la fig. 3.

[0031] D’une manière avantageuse, l’étape f) d’élimination des zones illuminées et cristallisées 7, T du premier substrat 5 est réalisée par attaque chimique, de préférence par dissolution par de l’acide fluorhydrique. Par exemple, cette attaque chimique peut être effectuée dans un bain d’acide fluorhydrique à environ 10%, à température ambiante et sous ultrasons. [0032] Un moule 3, 3' dont les parois latérales sont en verre photosensible est ainsi réalisé.

[0033] Il est à noter que, contrairement à la pratique usuelle, le procédé selon l’invention ne comprend pas d’étape finale de cristallisation à plus haute température (600-700 °C) pour totalement cristalliser le verre photosensible restant.

[0034] La présente invention concerne également un procédé de fabrication par galvanoplastie d’une pièce de micromécanique métallique 1,1'. Ledit procédé comprend une étape g) qui consiste à fabriquer un moule 3, 3', de ladite pièce de micromécanique 1,1 ' selon le procédé de fabrication d’un moule 3, 3' décrit ci-dessus. L’étape h) suivante consiste à remplir le moule 3, 3' d’un matériau métallique par croissance galvanique à partir de la couche conductrice 10 pour former ladite pièce de micromécanique 1,1', comme représenté sur la fig. 4.

[0035] Le matériau métallique est avantageusement choisi parmi le groupe comprenant le nickel, le cuivre, l’or ou l’argent, et leurs alliages, comme alliage l’or-cuivre, le nickel-cobalt, le nickel-fer, et le nickel-phosphore.

[0036] De préférence, la hauteur du moule est légèrement supérieure à la hauteur de la pièce à fabriquer et est égale à l’épaisseur du premier substrat 5. La hauteur de la pièce de micromécanique est comprise entre 50 pm et 500 pm. L’utilisation d’un substrat en verre photosensible permet de réaliser, selon l’épaisseur, des pièces dont la largeur minimale de certaines géométries peut être comprise entre 10 pm et 30 pm de sorte que ces géométries particulières de pièces de micromécaniques obtenues selon le procédé de l’invention peuvent présenter un haut facteur d’aspect compris entre 1 et 20. Une telle pièce de micromécanique 1,1 ' pourrait, par exemple, être un ressort de rappel, un sautoir, un système monobloc de guidage flexible, une géométrie compilante de rattrapage de jeu, etc.

[0037] Les conditions d’électroformage, notamment la composition des bains, la géométrie du système, les tensions et densités de courant, sont choisis pour chaque métal ou alliage à électro-déposer selon les techniques bien connues dans l’art de l’électroformage (cf. par exemple Di Bari G.A. «electroforming» Electroplating Engineering Handbook 4th Edition rédigée par L.J. Durney, publié par Van Nostrand Reinhold Compagny Inc., N.Y. USA 1984).

[0038] Il est possible, dans une étape h’) subséquente, de procéder à la mise à niveau du dépôt métallique électro-formé avec le premier substrat 5. Cette étape peut se faire par abrasion et polissage afin d’obtenir directement des microstructures ayant une surface supérieure plane présentant notamment un état de surface compatible avec les exigences de l’industrie horlogère pour la réalisation de mouvement de haut de gamme.

[0039] L’étape i) suivante illustrée à la fig. 5 consiste à libérer la pièce de micromécanique 1,1 ' obtenue à l’étape h) ou h’) de son moule 3, 3'. A cet effet, on peut exploiter des procédés de gravure chimiques (par exemple HF pour le verre photosensible, KOH pour le silicium).

[0040] La pièce de micromécanique 1,1' ainsi libérée peut être utilisée directement ou le cas échéant après un usinage approprié.

[0041] Les fig. 6 à 11 représentent une seconde variante de mise en oeuvre du procédé de fabrication d’un moule selon l’invention. Ce procédé est pratiquement identique à la première variante décrite ci-dessus, à l’exception des étapes e) et f). Le premier substrat 5 comprenant les zones illuminées et cristallisées 7, 7', comme représenté sur la fig. 6, est obtenu selon les étapes a) à c) telles que décrites ci-dessus. Dans cette seconde variante, l’assemblage du premier substrat 5 avec le second substrat 8 selon l’étape e) est réalisée par soudure temporaire du premier substrat 5 avec le second substrat 8 au moyen d’une couche de résine 16 prévue entre ledit premier substrat 5 et la couche conductrice 10, comme le montre la fig. 7. Pour ce faire, on peut utiliser par exemple le même type de résine que celui utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs pour des étapes de soudage temporaire. La couche de résine 16 visée présente une épaisseur comprise entre 2 pm et 10 pm.

[0042] En outre, dans cette seconde variante, l’étape f) comprend l’élimination des zones illuminées et cristallisées 7, 7' du premier substrat 5 de manière à faire apparaître la couche de résine 16 comme le montre la fig. 8. Puis l’étape f) comprend une sous-étape f) d’élimination de la couche de résine 16 apparue dans le fond de la cavité 12, 12' après l’élimination des zones 7, 7' illuminées et cristallisées du premier substrat 5, de manière à faire apparaître la couche conductrice 10, comme le montre la fig. 9.

[0043] La pièce de micromécanique 1, 1 ' est ensuite réalisée comme dans le procédé de fabrication par galvanoplastie décrit ci-dessus, comme le montrent les fig. 10 et 11. L’étape i) de libération de la pièce 1, 1 ' de son moule 3, 3' s’effectue par des procédés de gravure chimiques (par exemple HF pour le verre photosensible, KOH pour le silicium).

[0044] Les procédés selon la présente invention permettent de réaliser des pièces de micromécanique présentant des géométries étroites et rigides avec une haute précision, en mode «batch».

[0045] En effet, d’une manière particulièrement avantageuse, plusieurs moules 3, 3' sont réalisés sur le même premier substrat 5, 5'. Ces moules ne sont pas forcément identiques entre eux. On obtient alors une plaque de moulage 14 comme illustrée à la fig. 3.

[0046] Cette plaque que moulage 14 est destinée à fabriquer au moins une pièce de micromécanique 1,1 ' par galvanoplastie. Selon l’invention, elle comporte un premier substrat 1, 1 ' en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur de la pièce de micromécanique 1, 1 ', un second substrat 8 solidaire du premier substrat 5, au moins une couche conductrice 10 prévue entre les premier et second substrats 5, 8, et éventuellement une couche de résine 16 prévue entre le premier substrat 5 et la couche conductrice 10. Le premier substrat 5 comporte au moins un moule 3, 3' de la pièce micromécanique 1,1 ' constitué par une cavité 12, 12' formée dans ledit premier substrat 5 et dont le fond est occupé par la couche conductrice 10, permettant de déposer par croissance galvanique un matériau métallique dans ladite cavité 12, 12' pour former ladite pièce de micromécanique 1,1 '. Les premier et second substrats 5 et 8, la couche conductrice 10 et la couche de résine 16 sont tels que défini ci-dessus.

[0047] De plus, les moules obtenus selon l’invention sont en verre photosensible, qui est plus rigide qu’une résine utilisée traditionnellement pour former des moules, et insensible aux effets des bains de croissance galvanique. Le procédé de fabrication des pièces de micromécanique selon l’invention est donc particulièrement robuste, notamment pour la fabrication de pièces à haut facteur d’aspect.

[0048] Les procédés selon l’invention permettent également de démarrer facilement la croissance galvanique selon l’étape h) grâce à l’utilisation d’une couche conductrice 10 de bonne qualité en fond de moule 3, 3'.

[0049] En outre, le procédé de fabrication des pièces de micromécanique selon l’invention est simple à mettre en oeuvre car il ne nécessite pas de dépôt localisé et complexe de métal (par masque-chablon) pour former la couche de démarrage de la croissance galvanique.

[0050] Enfin, le procédé de fabrication des pièces de micromécanique selon l’invention permet d’éviter des géométries gravées par DRIE Bosch®. Il ne se produit donc pas de scalloping qui nécessiterait une étape supplémentaire de lissage.

Claims (13)

Revendications

1. Procédé de fabrication d’un moule (3, 3') comportant les étapes suivantes: a) se munir d’un premier substrat (5) en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur du moule (3, 3') b) illuminer ledit premier substrat (5) par rayons UV à travers un masque dont les fenêtres correspondent à l’empreinte du moule (3, 3') pour créer des zones illuminées (7, 7') c) effectuer un traitement thermique du premier substrat (5) obtenu à l’étape b) pour cristalliser les zones illuminées (7, 7 ) d) se munir d’un second substrat (8) présentant au moins une couche conductrice (10) en surface e) assembler le premier substrat (5) obtenu à l’étape c) au second substrat (8) de sorte que la couche conductrice (10) se situe entre le premier (5) et le second (8) substrats f) éliminer les zones (7, 7') illuminées et cristallisées du premier substrat (5) de manière à faire apparaître la couche conductrice (10) afin de former au moins une cavité (12, 12') dont les parois latérales et le fond occupé par la couche conductrice (10) constituent ledit moule (3, 3').

2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le second substrat (8) est à base de silicium.

3. Procédé selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche conductrice (10) est formée par un dépôt sur le second substrat (8) d’une couche d’un matériau métallique choisi parmi le groupe comprenant le chrome, le titane et l’or.

4. Procédé selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l’étape e) d’assemblage des premier (5) et second (8) substrats est réalisé par soudure de la couche conductrice (10) du second substrat (8) au premier substrat (5).

5. Procédé selon l’une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l’étape e) d’assemblage des premier (5) et second (8) substrats est réalisée par soudure du premier substrat (5) avec le second substrat (8) au moyen d’une couche de résine (16) prévue entre le premier substrat (5) et la couche conductrice (10).

6. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce l’étape f) comprend une sous-étape f) d’élimination de la couche de résine (16) apparue dans la cavité (12, 12') après l’élimination des zones illuminées et cristallisées (7, 7') du premier substrat (5), de manière à faire apparaître la couche conductrice (10).

7. Procédé selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l’étape f) d’élimination des zones illuminées et cristallisées (7, 7') du premier substrat (5) est réalisée par attaque chimique, de préférence par dissolution par de l’acide fluorhydrique.

8. Procédé selon l’une des revendications précédentes, caractérisé en ce que plusieurs moules (3, 3') sont réalisés sur le même premier substrat (5).

9. Procédé de fabrication par galvanoplastie d’une pièce de micromécanique métallique (1, 1 '), caractérisé en ce qu’il comprend les étapes suivantes: g) fabriquer un moule (3, 3') de ladite pièce de micromécanique (1, 1') selon le procédé de fabrication d’un moule (3, 3') conforme à l’une des revendications 1 à 8 h) remplir le moule (3, 3') d’un matériau métallique par croissance galvanique à partir de la couche conductrice (10) pour former ladite pièce de micromécanique (1, 1 ') i) libérer la pièce de micromécanique (1, 1 ') obtenue à l’étape h) de son moule (3, 3').

10. Plaque de moulage (14) destinée à fabriquer au moins une pièce de micromécanique (1, 1') par galvanoplastie, caractérisée en ce qu’elle comporte un premier substrat (5) en verre photosensible d’épaisseur au moins égale à la hauteur de la pièce de micromécanique (1, 1'), un second substrat (8) solidaire du premier substrat (5), au moins une couche conductrice (10) prévue entre les premier (5) et second (8) substrats, le premier substrat (5) comportant au moins un moule (3, 3') de la pièce micromécanique (1, 1') constitué par une cavité (12, 12') formée dans ledit premier substrat (5) et dont le fond est occupé par la couche conductrice (10), permettant de déposer par croissance galvanique un matériau métallique dans ladite cavité (12, 12') pour former ladite pièce de micromécanique (3, 3').

11. Plaque de moulage (14) selon la revendication 10, caractérisée en ce que le second substrat (8) est à base de silicium.

12. Plaque de moulage (14) selon l’une des revendications 10 et 11, caractérisée en ce que la couche conductrice (10) est une couche d’un matériau métallique choisi parmi le groupe comprenant le chrome, le titane et l’or.

13. Plaque de moulage (14) selon l’une des revendications 10 à 12, caractérisée en ce qu’elle comprend une couche de résine (16) prévue entre le premier substrat (5) et la couche conductrice (10).