CN105382000B - 具有集成式液位管、加液漏斗和排废液阀的酸蒸清洗器 - Google Patents

Abstract

提供了一种酸蒸清洗器，可以包括：原始酸液容器，用于容纳原始酸液；加热器，用于加热原始酸液容器部分，以得到热酸蒸汽；清洗腔，所述器皿的酸蒸汽清洗在清洗腔中进行；控制器，用于控制各个部件的运行以进行酸蒸清洗工艺；以及与原始酸液容器部分连接的集成式原始酸液位控制部件，配置为将液位管、加液漏斗和排废液阀一体化，原始酸液通过加液漏斗进入原始酸液容器内部，液位管的液位反映原始酸液容器的液位，排废液阀打开时能够排出原始酸液容器中的酸液。本实施例的集成式原始酸液位控制部件避免了传统的漏斗、液位管和排废液阀互相分离的方案加完酸液前后漏斗需安装拆卸的麻烦，从而避免了漏斗存放过程中的污染。

Description

具有集成式液位管、加液漏斗和排废液阀的酸蒸清洗器

技术领域

本发明涉及酸蒸清洗器，更具体地涉及自动对器皿进行酸蒸清洗的设备和方法。

背景技术

实验室的痕量、超痕量金属元素分析要求所用器皿必须洁净，避免将各种污染物带入样品，以免因器皿不干净而引入的本底值过高而影响最终实验结果。

目前已有将普通酸以亚沸方式蒸发，得到高纯酸蒸汽，以这样的酸蒸汽来清洗器皿的方法。在现有常见的酸蒸清洗器设计中，在流程控制、废酸处理、加热和温度控制、液位控制方面，通常存在某些问题。

1、流程控制：

(1)现有的解决方案通常仅仅只能提供第一步的酸蒸清洗步骤，仍需要用户手动对每个器皿逐个用纯水冲洗表面残留的酸液，然后仍需要用户手动将器皿放在鼓风干燥箱烘干或自然风干，非常费时费力。

(2)如果采用鼓风干燥箱烘干的方式，因鼓风干燥箱本身就是金属材料制成，而且对吸入的空气并未做严格的过滤和净化，并且日常还会干燥其他的东西，这种方式将会面临鼓风干燥箱或空气不洁净带来的二次污染问题。

(3)如果采用自然风干的方式，将耗时太长。

2、废酸处理：

(1)现有的解决方案所产生的酸蒸汽清洗器皿表面后，冷凝为液体(本文中称之为“废酸”)，废酸一般不经任何处理，直接回流到“干净酸”中，继续参与蒸发。

(2)酸蒸清洗之所以要采用亚沸方式蒸发，目的就是为了使蒸发过程变得缓慢，避免液滴携带污染物污染器皿。而这些废酸含有大量的污染物，直接回流到干净酸，会严重污染干净酸，而且随着清洗过程的继续，污染物浓度会越来越高，即使亚沸状态，也无法避免污染物重新污染器皿。从而使得清洗效果大打折扣。

3、加热和温度控制：

(1)现有的解决方案通常为避免温度传感器被高温强酸轻易地腐蚀，其温度传感器均安装在容器外面，避免与强酸接触，但是这样的安装方式测量的是容器外壁或加热器的温度，无法反映酸液的真实温度，通常溶液温度与容器外壁或加热器的温度要相差10-30℃，温度的测量误差很大。

(2)现有的解决方案依赖温度控制器来控温，加热器本身不具备自我控温功能。一旦温度控制器失效，加热器将继续加热，造成仪器烧毁甚至实验室火灾的巨大风险。

4、液位控制：

(1)对于干净酸液的液位控制，现有的解决方案因为是蒸发-冷凝-回流-蒸发的循环模式，故液位在整个过程不会有太大变化，而且内部酸气腾腾，从外部很难观察到液位情况，因此通常没有任何液位监控措施。

(2)对于废酸酸液的液位控制，现有的技术方案通常是直接使废酸酸液回流到干净酸，没有对干净酸液和废酸酸液进行区分，因此对废酸酸液的液位控制没有任何监控措施。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种用于对管式器皿进行酸蒸汽清洗的酸蒸清洗器，可以包括：原始酸液容器，用于容纳原始酸液；加热器，用于加热原始酸液容器部分，以得到热酸蒸汽；清洗腔，所述器皿的酸蒸汽清洗在清洗腔中进行；控制器，用于控制各个部件的运行以进行酸蒸清洗工艺；以及与原始酸液容器部分连接的集成式原始酸液位控制部件，配置为将液位管、加液漏斗和排废液阀一体化，原始酸液通过加液漏斗进入原始酸液容器内部，液位管的液位反映原始酸液容器的液位，排废液阀打开时能够排出原始酸液容器中的酸液。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，还包括非接触式超声波液位传感器，安装在原始酸液容器的外表面，且不与原始酸液容器表面接触，用于自动测量原始酸液容器内的原始酸的液面，并且将测量的指示液面水平的信号传送到控制器，控制器接收该指示液位的信号，当该指示液位的信号低于预定阈值时，控制停止酸蒸清洗工艺。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述加热器可以为PTC加热器。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，还可以包括：废液容纳器，用于容纳从排废口排出的废酸、废水、废气；以及废液液位监测器，用于监测废液容纳器中的废液液位，并将废酸液位传送到控制器，当液位超过预定阈值时，控制器控制停止废液清洗工艺。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，废液液位监测器可以为电阻式压力传感器，用于自动感应废液容纳器的重量，并将指示重量的信号传送给控制器；控制器接收该指示重量的信号，当该指示重量的信号超过预定阈值时，发送控制信号，以控制停止酸蒸清洗工艺。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，废液容纳器可以放置于托盘上，托盘采用翻边设计，防止废液滴到压力传感器内部；以及所述压力传感器设计有漏液排出口，从而在传感器内部有废液进入的情况下，能够排出该漏液。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述压力传感器可以进行PTFE或PFA表面喷涂。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，还可以包括：酸液温度传感器，被置于原始酸液的内部，用于测量原始酸液体的温度；其中控制器设置温度阈值，接收酸液温度传感器测量的温度，将该温度与温度阈值相比较，并相应地控制加热器。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述酸液温度传感器可以为热电偶型温度传感器，两条热电偶导线被置于聚四氟乙烯PTFE或全氟烷氧基树脂PFA毛细管中，PTFE或PFA毛细管被置于支撑管中，支撑管被置于原始酸液容器内，PTFE或PFA毛细管通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述支撑管下端可以连接有绕管器，所述支撑管内的PTFE或PFA毛细管穿过支撑管内孔出来，并在绕管器上缠绕一周后又经支撑管的孔进入支撑管，然后沿着支撑管向上延伸，最后从支撑管的孔并通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外，其中热电偶头部分处于所述PTFE或PFA毛细管被缠绕的一周内，且热电偶头部分与PTFE或PFA毛细管接触。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述两条热电偶导线可以对向接触成看似一条导线，对向接触部分成为热电偶头。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述酸液温度传感器可以为热电偶型温度传感器，热电偶导线的表面包裹PTFE或PFA包裹层，热电偶探头的位置采用热压方法使得热电偶探头与PTFE或PFA包裹层紧密结合。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，在热电偶导线上可以存在一个或多个密封点，在密封点处采用热压方法使得热电偶导线与PTFE或PFA包裹层紧密集合。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述控制器可以连续性地设置温度阈值。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，还可以包括：双层套管，安装于清洗腔中，具有内管和外管，内管和外管紧密接触，在对管式器皿进行酸蒸清洗时，器皿被套在双层套管外部；以及其中内管和外管的四周和/或顶部具有连通的酸蒸汽排出孔，酸蒸汽排出孔与内管的中心连通，内管的外表面具有轴向的凹槽，外管底部具有供水/空气进入的水/气进入孔，以及外管上分布有供水/空气排出的水/气排出孔，所述内管上的凹槽与水/气进入孔连通且与外管上的水/气排出孔连通。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，还可以包括：安装于清洗腔部分中的水/空气花洒式喷管，其顶部为花洒形式，分布有多个细孔，以供进入水/空气花洒式喷管从细孔喷出。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述清洗腔壁底部可以具有排废口，供清洗完器皿的废酸、废水、废气中的任一个从排废口排出。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，还可以包括上下两层套管架，用于将套管固定于清洗腔中。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，其中在控制器的控制下，可以进行酸蒸汽清洗步骤，加热器加热原始酸液容器部分中的酸液，得到的酸蒸汽进入所述双层套管中的内管中心，并经过酸蒸汽排出孔流出，喷到管式器皿的内表面；水喷淋步骤，在酸蒸汽清洗步骤之后，水经由压力作用经所述外管底部的水/气进入孔进入到所述内管外表面上的凹槽，并从外管上的水/气排出孔喷出，喷射到器皿的内表面；以及热空气干燥步骤，在水冲洗步骤之后，经加热的空气在压力作用下经所述外管底部的水/气进入孔进入到所述内管外表面上的凹槽，并从外管上的水/气排出孔喷出，喷射到器皿的内表面。

根据上述实施例的酸蒸清洗器，所述热酸蒸汽可以是以亚沸方式蒸发原始酸液得到的。

本实施例的集成式原始酸液位控制部件将液位管、加液漏斗、排废液阀合而为一，既可以观察液位变化，又可以作为漏斗来加液，还可以排废液；避免了传统的漏斗、液位管和排废液阀互相分离的方案加完酸液前后漏斗需安装拆卸的麻烦，从而避免了漏斗存放过程中的污染。

附图说明

从下面结合附图对本发明实施例的详细描述中，本发明的这些和/或其它方面和优点将变得更加清楚并更容易理解，其中：

图1示出了根据本发明实施例的用于自动对管式器皿进行酸蒸汽清洗的酸蒸清洗器1000的结构组成示意框图。

图2(a)示出了根据本发明一个实施例的内管200的立体示意图；图2(b)示出了根据本发明一个实施例的内管200的俯视图。

图3(a)示出了根据本发明一个实施例的外管300的立体示意图；图3(b)示出了根据本发明一个实施例的外管300的轴向剖面图。

图4(a)示出了内管和外管组成的套管的正视图；图4(b)示出了沿轴向切割的剖面图；图4(c)示出了相对于图4(b)旋转90度后沿轴向切割的剖面图；图4(d)示出了沿酸蒸汽排出孔所在的水平面剖开的横截面图；图4(e)示出了沿水/气排出孔所在的水平面剖开的横截面图。

图5示出了根据本发明另一实施例的酸蒸清洗器2000的结构示意图。

图6(a)示出了根据本发明一个实施例的水/空气花洒式喷管的立体图；图6(b)示出了水/空气花洒式喷管沿轴线方向的剖面图；图6(c)示出了水/空气花洒式喷管放大的局部剖面图。

图7示出了根据本发明一个实施例的酸蒸清洗器3000的更具体结构的示意图。

图8(a)-(d)示出了根据本发明一个实施例的套管支架中的上支架的结构示意图，其中图8(a)是上支架的立体图；图8(b)是上支架的立体剖面图；图8(c)是上支架的左视图；图8(d)是上支架沿着废酸出口剖开的剖面图。

图9(a)-(d)示出了根据本发明一个实施例的套管支架中的下支架的结构示意图，其中图9(a)是下支架的立体图；图9(b)是下支架的立体剖面图；图9(c)是下支架的左视图；图9(d)是下支架沿着进水/气流路剖开的剖面图。

图10示出了将套管、水/空气花洒式喷管、上下支架组合到一起的剖面图。

图11示出了根据本发明实施例的在控制器的控制下在清洗腔中自动对器皿进行清洗的酸蒸清洗方法4000的总体流程。

图12示出了干净酸液在低于沸点的温度下，缓慢蒸发，酸蒸汽通过套管内管的酸蒸汽通路上升，并从四周和/或顶部的酸蒸汽排出孔中喷出到器皿的内表面上进行酸清洗的示意图。

图13示出了清洗过的酸汽凝结为酸液经排废口排出系统的示意图。

图14示出超纯水进入酸蒸清洗器的示意图。

图15为超纯水清洗示意图，示出了超纯水一部分进入内外管之间的水/气通路，从外管上的水/气排出孔喷出到器皿表面，将残留在上面的酸液冲洗掉；另一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面残留的酸液冲洗掉，水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面残留的酸液冲洗掉，以及夹带着酸液的“脏水”从排废口排出。

图16示出热空气进入酸蒸清洗器的示意图。

图17是热空气干燥示意图，示出了热空气充满上下支架之间的整个空间，然后一部分在压力作用下，经外管上的水/气进入孔进入内外管之间的水/气通路，从外管上的水/气排出孔喷出到器皿内表面，将内壁干燥；一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面干燥，这些夹带着水分的“湿空气”，也从排废口排出。

图18(a)和(b)分别示出了根据本发明实施例的集成式原始酸液位控制部件800的立体视图和剖面图。

图19(a)和(b)分别示出了根据本发明一个实施例的热电偶型温度传感器装置400的立体图和剖面图。

图20示出了根据本发明另一实施例的热电偶型温度传感器500的立体示意图。

图21(a)和(b)示出了根据本发明实施例的配置有超声波液位传感器13的酸蒸清洗器的立体图与剖面图。

图22(a)示出了根据本发明实施例的用于感测废酸瓶的液位的压力传感器及相关部分之间相对位置关系的立体示意图，图22(b)示出了根据本发明实施例压力传感器及相关部分的剖面图。

图23(a)和(b)示出了根据本发明一个实施例的加热器700的结构的立体图和正视图。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本发明，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

一、实施例1：酸蒸清洗器

图1示出了根据本发明实施例的用于自动对管式器皿进行酸蒸汽清洗的酸蒸清洗器1000的结构组成示意框图。

如图1所示，酸蒸清洗器1000包括原始酸液容器1、加热器2、清洗腔3、多个酸蒸汽、水、气喷出部件4、底座5。

原始酸液容器1中容纳原始酸液。加热器2加热原始酸液容器部分，以得到热酸蒸汽。清洗腔3中安装有多个酸蒸汽、水、气喷出部件4，当对器皿进行清洗时，可以将器皿套在酸蒸汽、水、气喷出部件4上。每个酸蒸汽、水、气喷出部件4具有供酸蒸汽进入和喷出的酸蒸汽通路、供水/气进入和喷出的水/气通路，后续将对酸蒸汽、水、气喷出部件4的结构和酸蒸汽通路和水/气通路进行示例性描述。

酸蒸清洗器100还包括控制器(图中未示出)，用于控制各个部件的运行以进行酸蒸清洗工艺。在一个示例中，控制器包括上位机和下位机两部分，上位机可以是通用电脑如台式机、笔记本电脑、移动式终端等等，其中安装有适于执行控制的软件；下位机例如为单片机或专用可编程控制器等，其中酸蒸清洗器中的各个传感器能够将信号发送到下位机，下位机处理后以有线或者无线方式将相关信号传送到上位机，上位机进行相应计算、处理、判断将指令信号发送到下位机，下位机再向各个部件下达命令，例如停机、启动、报警、时间设定、阈值设定等。不过这种方式仅为示例，可以根据需要进行调整或改变。

为便于描述，下文中有时称上位机为“电脑”，称下位机为“单片机”。

控制器中的下位机、电源插座等可以放置在底座5中。

酸蒸清洗的整体过程简述如下：器皿被套在酸蒸汽、水、气喷出部件上之后，启动酸蒸洗过程，加热器加热原始酸液容器部分，原始酸液蒸发德奥酸蒸汽；酸蒸汽进入酸蒸汽、水、气喷出部件4，经过酸蒸汽通路喷出到器皿上，对器皿进行酸蒸汽清洗；在酸蒸汽清洗之后，水进入酸蒸汽、水、气喷出部件4的水/气通路，喷出到器皿上，对器皿进行水冲洗；在水冲洗之后，加热后的空气进入酸蒸汽、水、气喷出部件4的水/气通路，喷出到器皿上，进行热空气干燥。后续将结合附图对酸蒸清洗的各个步骤进行示例性描述。

利用根据本发明实施例的酸蒸汽清洗系统和方法，只要将器皿套在套管上，通过运行控制程序，就可以全自动地进行酸蒸汽清洗、水喷淋、空气干燥的全套流程。

下面结合图2、3、4描述根据本发明一个实施例的酸蒸汽、水、气喷出部件200的结构。

在一个示例中，酸蒸汽、水、气喷出部件为双层套管，具有内管和外管，内管和外管紧密接触。

图2(a)示出了根据本发明一个实施例的内管200的立体示意图；图2(b)示出了根据本发明一个实施例的内管200的俯视图。

图3(a)示出了根据本发明一个实施例的外管300的立体示意图；图3(b)示出了根据本发明一个实施例的外管300的轴向剖面图。

内管的中心220与酸蒸汽进入通道连接。这里的酸蒸汽进入通道为广泛的含义，可以为任何形式，只要酸蒸汽能藉之进入内管的中心220即可。例如，在一个示例中，酸蒸汽进入通道即指原始酸液容器，内管的一部分被置于原始酸液容器中。在另一个示例中，酸蒸汽进入通道可以指连接原始酸液容器和内管的管道。

内管壁上(四周和/或顶部的内管壁)具有酸蒸汽排出孔230，酸蒸汽排出孔230与内管的中心220连通。外管300的壁上也具有酸蒸汽排出孔330，外管壁上的酸蒸汽排出孔330与内管壁上的对应酸蒸汽排出孔230相连通，从而进入内管中心220的酸蒸汽能够从套管排出，喷出到套在套管上的器皿上，从而清洗器皿的内表面，酸蒸汽接触内表面后，一部分会冷凝，成为废酸，其他未冷凝的酸蒸汽，会沿器皿下方流出，并弥漫在整个清洗腔内，进而清洗器皿的外表面。

内管200的外表面具有沿轴向延伸的凹槽210，外管300的底部具有供水/空气进入的水/气进入孔310，以及外管300上分布有供水/空气排出的水/气排出孔320，所述内管200上的凹槽210与外管300的水/气进入孔310连通且与外管300上的水/气排出孔320连通，水/气进入孔与水/气进入管道连接，由此形成水/气通路。

图4(a)示出了内管和外管组成的套管的正视图；图4(b)示出了沿轴向切割的剖面图；图4(c)示出了相对于图4(b)旋转90度后沿轴向切割的剖面图；图4(d)示出了沿酸蒸汽排出孔所在的水平面剖开的横截面图；图4(e)示出了沿水/气排出孔所在的水平面剖开的横截面图。其中，酸蒸汽从内管200的中心孔220流入，然后从连通的内管200的酸蒸汽排出孔230和外管300的酸蒸汽排出孔330喷出到器皿的内表面；水/气从外管300的水/气进入孔310进入到内管200的凹槽210，然后从与凹槽210连通的外管上的水/气排出孔320喷出到器皿的内表面，由此进行水冲淋或者热空气干燥。

在一个示例中，内管200的凹槽为四个，沿内管的外表面圆周间隔90度均匀分布。不过这仅为示例，内管200的凹槽可以更少或更多。

在一个示例中，酸蒸汽排出孔230或330的直径大于水/气排出孔320的直径，以加速酸蒸汽排出，避免还未出孔就冷凝。

在一个示例中，酸蒸汽排出孔330与水/气排出孔320在外管周向呈45度间隔交错排列，且在轴向不处于一个水平面上，尽量避免喷出的水流进酸蒸汽排出孔。

内管和外管应选用耐酸腐蚀的适于打孔的材料，例如PTFE、PFA等氟塑料或高纯度玻璃。

在前面的示例中，套管被示例为包括内管和外管的双层结构，不过此为优选示例，作为替代，也可以采用单层管，管内设有酸蒸汽通路、水通路和空气通路。

在前面的示例中，水通路和空气通路是共用的，不过根据需要，水通路和空气通路也可以分开设置。

在前面的示例中，在套管中，酸蒸汽通路设置在中心，水/气通路设置在外围，不过此为优选示例，根据需要，也可以设置为水/气通路在中心，酸蒸汽通路在外围。

在前面的示例为，酸蒸汽通路设置为一个，水/气通路设置为多个，不过此为优选示例，根据需要，酸蒸汽通路可以设置为多个，而水/气通路设置为一个，或者酸蒸汽通路和水/气通路均设置为一个，或者酸蒸汽通路酸蒸汽通路和水/气通路两者均设置为多个。

二、实施例2：酸蒸清洗器

图5示出了根据本发明另一实施例的酸蒸清洗器2000的结构示意图，图5所示的酸蒸清洗器2000与图1所示的酸蒸清洗器1000的不同在于多了水/空气花洒式喷管6，顾名思义，该水/空气花洒式喷管6顶部为花洒形式，分布有多个细孔，以供进入水/空气花洒式喷管从细孔喷出。

图6(a)示出了根据本发明一个实施例的水/空气花洒式喷管的立体图；图6(b)示出了水/空气花洒式喷管沿轴线方向的剖面图；图6(c)示出了水/空气花洒式喷管放大的局部剖面图，其中示出了水从细孔喷出的示意图，具体地，花洒以一定的角度分布了多列细孔，保证较广的喷洒面积。水或空气从底部进入管子中心孔到达顶部花洒喷射出去，冲洗或烘干器皿外表面。

三、实施例3：酸蒸清洗器

图7示出了根据本发明一个实施例的酸蒸清洗器3000的更具体结构的示意图。

如图7所示，酸蒸清洗器3000包括原始酸液容器1、加热器2、清洗腔3、多个酸蒸汽、水、气喷出部件4、底座5、水/空气花洒式喷管6，还包括温度传感器7、集成式原始酸液位控制部件8、上套管架9、下套管架11、进入口12。

酸液温度传感器7被置于原始酸液的内部，用于测量原始酸液体的温度。控制器(图中未示出)设置温度阈值，接收酸液温度传感器7测量的温度，将该温度与温度阈值相比较，并相应地控制加热器，例如，当温度已经到达温度阈值时，控制加热器2停止工作。后续将详细介绍酸液温度传感器7的具体实现实施例。

集成式原始酸液位控制部件8配置为将液位管820、加液漏斗810(具有漏斗盖子840)和排废液阀830一体化，原始酸液通过加液漏斗810进入原始酸液容器1内部，液位管820的液位反映原始酸液容器1的液位，排废液阀830打开时能够排出原始酸液容器1中的酸液。后续将参考附图详细介绍。

加热器2可以是PTC加热器，后续将对加热器的形式进行详细介绍。

酸蒸清洗器3000还包括液位传感器13，液位传感器13例如为非接触式超声波液位传感器，安装在原始酸液容器的外表面，且不与原始酸液容器表面接触，用于自动测量原始酸液容器内的原始酸的液面，并且将测量的指示液面水平的信号传送到控制器。控制器接收该指示液位的信号，当该指示液位的信号低于预定阈值时，控制停止酸蒸清洗工艺。

酸蒸清洗器3000还包括套管支架，包括上支架9和下支架10，用于将套管固定于清洗腔中。固定螺丝11用于穿过支架上的螺丝孔，将支架固定在原始酸液容器1上。

图8(a)-(d)示出了根据本发明一个实施例的套管支架中的上支架的结构示意图，其中图8(a)是上支架的立体图；图8(b)是上支架的立体剖面图；图8(c)是上支架的左视图；图8(d)是上支架沿着废酸出口剖开的剖面图，其中其中的圆孔901为供清洗完器皿后的废酸、废水、废气流出的排废口，标号902指示供插入水/空气花洒式喷管的插孔，标号903指示供套管插入的插孔，标号904指示用于拧入螺丝(例如图7所示的螺丝11)的螺丝孔，在一个示例中，螺丝孔的一部分用于连接上支架和下支架的螺丝，另一部分用于将上支架连接到原始酸液容器的螺丝。

图9(a)-(d)示出了根据本发明一个实施例的套管支架中的下支架的结构示意图，其中图9(a)是下支架的立体图；图9(b)是下支架的立体剖面图；图9(c)是下支架的左视图；图9(d)是下支架沿着进水/气流路剖开的剖面图，其中其中的标号1001指示螺丝孔，螺丝孔的一部分用于连接上支架和下支架的螺丝，另一部分用于将上支架连接到原始酸液容器的螺丝；标号1002指示套管插入孔；标号1003指示供水/气进入的进水/气口，标号1004指示供水/气流入的进水/气流路，标号1003指示供水/气从下支架流入上下之间的密闭空间的竖直方向的孔，外管上的底部小孔310(如图3所示)处于上下支架之间的密闭空间，水/空气花洒式喷管的底部也处于上下支架之间的密闭空间，由此水/气从进水/气口1003经进水/气流路1004、竖孔1005进入上下之间的密闭空间，经外管上的水/气进入孔310进入内外管之间的水/气通路210(如图2、图4所示)，从外管上的水/气排出孔320喷出到器皿表面；另外水/气还进入水/空气花洒式喷管，从细孔喷出，以花洒形式对各个器皿的外表面进行纯水冲淋和热空气干燥。

图10示出了将套管、水/空气花洒式喷管、上下支架组合到一起的剖面图，其中9指示上支架、10指示下支架、4指示套管、6指示水/空气花洒式喷管，11-1指示将上下支架一起固定到原始酸液容器的螺丝，11-2指示将下支架固定到原始酸液容器的螺丝，901指示供清洗完器皿后的废酸、废水、废气流出的排废口，1003指示指示供水/气进入的进水/气口。

上述实施例的酸蒸清洗器，自动完成一套完整的清洗、冲洗、干燥的流程。整个流程全自动，无需人工干预。

上述实施例的酸蒸清洗器所产生的废酸直接排出清洗腔，进入到废液瓶中，不回流到“干净酸”中继续参与蒸发，不污染干净酸，能够提高清洗效果。

上述实施例的酸蒸清洗器将温度传感器直接内置于原始酸液中，温度传感器测量的直接就是酸液实际温度，保证了温度测量值的准确性。

在一个示例中，酸蒸清洗器还可以包括废酸容器、废水容器和废气管，废酸液位监测器，废水液位监测器，纯水液位监测器(图中未示出)。其中废酸经排废口进入排废管，再由控制器控制的电磁三通阀自动导入到废酸容器；废水经排废口进入排废管，再由控制器控制的电磁三通阀自动导入到废水容器；废气经排废口进入排废管，再由控制器控制的电磁三通阀自动导入到废水容器，使其带出的水蒸气得到初步冷凝后，废气经废水容器顶部的排气口进入废气管，再从废气管的放置在通风柜内的另外一端安全排放。废酸液位监测器用于监测废液容器中的废液液位，并将废酸液位传送到控制器，当液位超过预定阈值时，控制器控制停止酸蒸清洗工艺，废水液位监测器用于监测废水容器中的废水液位，并将废水液位传送到控制器，当液位超过预定阈值时，控制器控制停止酸蒸清洗工艺，以及纯水液位监测器用于监测纯水容器中的纯水液位，并将纯水液位传送到控制器，当液位低于预定阈值时，控制器控制停止酸蒸清洗工艺。

利用废酸液位监测器，废水液位监测器，纯水液位监测器自动感应废酸液位、废水液位和纯水液位，并且传送给控制器，从而一旦不符合设定阈值，控制器即采取措施，例如进行报警、控制自动关机等，从而能够避免人员疏忽与重大化学腐蚀隐患。

四、实施例4：酸蒸清洗方法

下面结合附图说明根据本发明实施例的在酸蒸清洗器中对器皿进行酸蒸清洗的酸蒸清洗方法。酸蒸清洗器具有清洗腔和控制器，控制器用于控制酸蒸清洗工艺。

图11示出了根据本发明实施例的在控制器的控制下在清洗腔中自动对器皿进行清洗的酸蒸清洗方法4000的总体流程。

在步骤S4100中，进行酸蒸清洗，以酸蒸汽清洗器皿内外表面。

在一个示例中，具体子步骤如下：

a)将待清洗的器皿罩在酸汽/水/空气套管上。

b)从加液漏斗加入原始的酸液，并观察液位变化，至合适的液位即可。

c)开启电脑软件，设定加热温度(不高于沸点)与时间，点击“开始”键后，加热器(例如PTC加热器)开始加热。

d)温度传感器(例如内置于原始酸液中的温度传感器)不断采集酸液的温度信号，并传送给电脑，软件根据设定值与实际值，自动判断是否继续加热或停止，从而保持酸液温度稳定在设定值。

e)干净酸液在低于沸点的温度下，缓慢蒸发，酸蒸汽通过套管内管的酸蒸汽通路(例如，如图2和图4的标号220所指示的酸蒸汽通路)上升，并从四周和/或顶部的酸蒸汽排出孔(例如，如图4的标号230和330所指示的酸蒸汽排出孔)中喷出到器皿的内表面上，进行酸清洗，如图12的示意图所示。

f)清洗过的酸汽凝结为酸液，经排废口(例如，图8的标号901指示的排废口)排出系统，如图13的示意图所示。

g)在程序运行过程中，原始酸液位传感器(例如如图7所示的非接触式液位传感器13)不断采集干净酸液即原始酸液的液位变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最低值时，自动终止程序，而无论加热时间是否到达。

h)在程序运行过程中，废酸液位控制器不断收集废酸容器，并传送给电脑，当达到预先设定的最高值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。

i)当加热时间达到预设值时，系统停止加热，即停止酸清洗，步骤S4100的酸清洗步骤完成，即系统自动转入纯水冲洗阶段，即前进到步骤S4200。

在步骤S4200中，进行纯水喷淋，以纯水喷淋经酸蒸气清洗后的器皿内外表面。

具体地，例如，超纯水被水泵从超纯水瓶中抽出，进入酸蒸清洗系统，然后例如充满上下支架之间的密闭空间，然后在压力作用下，一部分经外管上的水/气进入孔(如图3的标号310所示)进入内外管之间的水/气通路(如图2、图4的210所示)，从外管上的水/气排出孔(如图2、图4所示的320所示)喷出到器皿表面，将残留在上面的酸液冲洗掉；一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面残留的酸液冲洗掉，这些夹带着酸液的“脏水”，也从排废口排出到废水瓶，如图14和15所示。

在程序运行过程中，纯水液位控制器不断采集干净水的液位变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最低值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。

在程序运行过程中，废水液位控制器不断采集废水瓶重量的变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最高值时，会自动终止程序，无论加热时间是否到达。

当纯水冲洗时间达到预设值时，系统停止冲洗，步骤S4200完成。系统自动转入热空气干燥阶段，前进到步骤S4300。

在步骤S4300中，进行热空气干燥，以热空气干燥经纯水喷淋的器皿内外表面。

具体地，例如空气被空压机抽进管路，并经过加热后进入过滤器，过滤掉大于例如0.1um的颗粒及病菌等污染物，然后进入酸蒸清洗器，类似于纯水冲洗的流程，先充满上下支架之间的整个密闭空间，然后在压力作用下，经外管上的水/气进入孔(如图3的标号310所示)进入内外管之间的水/气通路(如图2、图4的210所示)，从外管上的水/气排出孔(如图2、图4所示的320所示)喷出到器皿内表面，将内壁干燥；一部分进入水/空气花洒式喷管，并从喷管顶部的花洒喷出，将器皿外表面干燥，这些夹带着水分的“湿空气”，也从排废口排出，如图16和图17所示。

当干燥时间达到预设值时，系统停止空压机和空气加热器。整个流程全部结束。

五、实施例5：集成式原始酸液位控制部件

根据本发明的一个实施例，酸蒸清洗器配置有集成式原始酸液位控制部件。

图18(a)和(b)分别示出了根据本发明实施例的集成式原始酸液位控制部件800(例如，可用作图7中所示的部件8)的立体视图和剖面图。集成式原始酸液位控制部件800配置为将加液漏斗810、液位管820和排废液阀830一体化，原始酸通过加液漏斗810进入原始酸液容器内部，液位管820的液位反映原始酸液容器的液位，排废液阀830打开时能够排出废液。

盖子840盖在加液漏斗810上，固定螺丝孔850和860供通过螺丝将集成式原始酸液位控制部件800固定在如图1所示的原始酸液容器1上。

870和880分别指示上接口部分和下接口部分，与原始酸液容器内部联通。890指示排废液口，当打开头排废液阀830时，原始酸液容器1中的溶液经由下接口部分880从排废液口890排出。

本实施例的集成式原始酸液位控制部件800能够集中实现加液、排液和液位监测功能，具体地：

加液：打开盖子840，向加液漏斗810倒入原始酸液，液体会通过上接口部分870和下接口部分880联通的上下两个通路进入原始酸液容器主体内部。

排液：旋转排废液阀90°，废液将从排废液口890排出。

液位：通过观察液位管820，可以目测当前液位情况。

本实施例的集成式原始酸液位控制部件800将液位管、加液漏斗、排废液阀合而为一，既可以观察液位变化，又可以作为漏斗来加液，还可以排废液；避免了传统的漏斗、液位管和排废液阀互相分离的方案加完酸液前后漏斗需安装拆卸的麻烦，从而避免了漏斗存放过程中的污染。

六、实施例6：内置式温度传感器装置

如前所述，在传统的酸蒸清洗器中，对于用于测量原始酸温度的温度传感器，为避免温度传感器被高温强酸轻易地腐蚀，温度传感器均安装在容器外面，避免与强酸接触，但是这样的安装方式测量的是容器外壁的温度，无法反映酸液的真实温度，通常溶液温度与容器外壁的温度要相差10-30℃，温度的测量误差很大；而且现有技术中，通常温度控制器是多档位型的，而不是连续可调型，只能大概设定一个温度值，无法进行准确的温度设定。

根据本发明的实施例，提供了一种内置式温度传感器装置，温度传感器直接放置在酸液中。控制器设置温度阈值，接收酸液温度传感器测量的温度，将该温度与温度阈值相比较，并相应地控制加热器。

在一个示例中，采用热电偶型温度传感器和配套部件。该实施例的温度传感器装置需要解决两个问题：1、热电偶导线和热电偶头不能和酸液直接接触；2、热电偶头所接触的介质温度要等于或基本等于酸液的温度。

在一个示例中，采用毛细热电偶传导线(例如，外径约0.8mm)，将该热电偶穿入内径例如约1mm的PTFE(聚四氟乙烯)毛细管中，然后PTFE毛细管穿过支撑管内孔，并在绕管器上缠绕一周后又进入支撑管，然后两根PTFE毛细管再通过原始酸液容器壁上的连接孔延伸出桶外。

在一个示例中，两条热电偶导线可以被置于聚四氟乙烯PTFE毛细管中，PTFE毛细管被置于支撑管中，支撑管被置于原始酸液容器内，PTFE毛细管通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外。

在一个示例中，所述支撑管下端连接有绕管器，所述支撑管内的PTFE毛细管穿过支撑管内孔出来，并在绕管器上缠绕一周后又经支撑管的孔进入支撑管，然后沿着支撑管向上延伸，最后从支撑管的孔并通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外，其中热电偶头部分处于所述PTFE毛细管被缠绕的一周内，且热电偶头部分与PTFE毛细管接触。

在一个示例中，所述两条热电偶导线可以对向接触成看似一条导线，对向接触部分成为热电偶头。

图19(a)和(b)分别示出了根据本发明一个实施例的热电偶型温度传感器装置400的立体图和剖面图。

标号441指示例如进入支撑管410的热电偶传导线部分，其外部套有PTFE(聚四氟乙烯)毛细管。PTFE材料可耐受250度高温和强酸强碱腐蚀，相当于给热电偶穿上了一层保护膜，起到了防腐蚀的作用。本文中PTFE材料可以被其他耐高温和强酸强碱腐蚀的材料代替，例如PFA(Perfluoroalkoxy alkane，全氟烷氧基树脂)材料。

然后热电偶传导线沿着支撑管410向下延伸，从支撑管410上的接近绕管壁420处的出口(未示出)伸出，然后在绕管器420上缠绕一周后又经支撑管410上的入口(未示出)进入支撑管410，然后沿支撑管410向上延伸，最后从支撑管420上部出口(未示出)伸出，然后从支撑管420伸出的部分442通过原始酸液容器壁上的连接孔伸出原始酸液容器外。热电偶感应头450位于所述PTFE毛细管缠绕在绕管壁420的一周内，例如如图所示处于绕管壁420的正下方处，以与酸液接触。通过绕管器圆形的回转方式，能够避免直接对折引起的PTFE毛细管容易破裂的问题。

为了使得热电偶感应头感测的温度为酸液的温度，进行热电偶导线和PTFE毛细管的直径设计，使得热电偶导线与PTFE毛细管紧密接触，例如，PTFE毛细管与热电偶导线之间的直径差小于2mm，优选小于1mm，更优选地小于0.5mm。

图20示出了根据本发明另一实施例的热电偶型温度传感器500的立体示意图。

如图20所示，在热电偶导线(两条)510外包裹着PTFE包裹层520。热电偶感应头即热电偶探头530所直接接触的介质温度应该等于或者基本等于酸液的温度，为此，应使得热电偶感应头紧密接触PTFE包裹层，PTFE包裹层直接接触酸液，可以认为PTFE包裹层的温度等于酸液的温度。为保证此热电偶感应头和PTFE包裹层的紧密接触，在图5所示的示例中，在热电偶感应头即探头的位置采用热压方法使探头与PTFE壁完美结合。进一步地，为杜绝外界冷空气进入而造成干扰，在导线上设计了多个密封点540，也采用热压方法密封。作为热压方法的替代，也可以采用焊接方法来达到紧密接触的目的。

热电偶传导线为例如毛细热电偶传导线，例如外径约0.8mm，热电偶表面包裹壁厚约例如0.5mm的PTFE包裹层。PTFE材料可耐受250度高温和强酸强碱腐蚀，相当于给热电偶穿上了一层保护膜，起到了防腐蚀的作用。并且探头位置通过热压方法或焊接方法与薄壁充分结合，测温更准确、更快速。

七、实施例7：原始酸非接触式液位传感器、废酸液位监测器和废水液位监测器

如前所述，现有技术的原始酸液容器中，没有液位传感器，考虑到原始酸液容器长期在高温(高于100℃情况下)工作，如果液位传感器紧贴容器外壁安装的话，会很容易造成紧贴容器外壁的液位传感器过热而失效或损坏。根据本发明的一个实施例，原始酸液容器的原始酸液位传感器采用非接触式超声波液位传感器，自动感应液位变化，一旦液位低于设置值，即发送电压信号给软件，软件即自动关机，避免了人员疏忽与重大火灾隐患；而且根据本发明实施例的特殊的液位传感器，其测量表面与容器外壁不直接接触，保持一定的、例如2mm的空间，避免了热量的快速积累而容易失效或损坏的问题，又避免了测量表面与溶液距离太远而丧失应有的灵敏度问题。

图21(a)和(b)示出了根据本发明实施例的配置有超声波液位传感器13的酸蒸清洗器的立体图与剖面图。

如图21(b)所示，超声波液位传感器13安装在原始酸液容器1的外表面，且与原始酸液容器1的壁面之间存在距离d，d大于零。

根据本发明实施例的原始酸液容器采用非接触式特别设计的超声波液位传感器，安装在容器的外表面，且不与容器表面接触，既避免了传感器与酸液直接接触被腐蚀的问题，又避免了传感器与高温的容器直接接触而造成的电路损坏的问题。

下面结合附图描述根据本发明实施例的废酸液位监测装置和废水液位监测装置。

在一个示例中，废酸液位监测装置和废水液位监测装置采用压力传感器，将废酸容器或废水容器放置于压力传感器上，通过感测废酸容器或废水容器的重量变化来感测废酸或废水的液位情况。所述废酸容器或废水容器例如瓶状形式，下文称之为废酸瓶或废水瓶。

图22(a)示出了根据本发明实施例的用于感测废酸瓶的液位的压力传感器及相关部分之间相对位置关系的立体示意图，图22(b)示出了根据本发明实施例压力传感器及相关部分的剖面图。

根据本发明一个实施例，压力传感器采用重量电阻应变式压力传感器，重量压力传感器不断采集废酸瓶重量引起的压力的变化，并传送给电脑，当达到预先设定的最高值时，会自动终止酸蒸清洗程序，避免了人员疏忽与重大化学腐蚀隐患。

在一个示例中，在废酸瓶下放置托盘1020，优选地收集瓶托盘1020采用翻边设计，可容纳20mL左右的滴漏的酸液，避免这些酸液乱流，防止酸液滴到传感器内部。在一个示例中，传感器1010在例如其支架处设计了漏液排出口1030，从而万一传感器内部有酸液进入，可及时排出。

所述压力传感器1010和/或其他部分，例如托盘、传感器固定螺丝孔1040、数据线孔1050可以进行PTFE表面喷涂或者本身即采用PTFE材质制作，能够防酸液腐蚀。

需要说明的是，废酸液位监测器或废水液位监测器也可以采用非接触式超声液位传感器或者红外线液位传感器。

根据本发明的一个实施例，所有传感器采集的数据以及电脑软件发出的指令均可通过蓝牙或wifi方式传输，控制器(上位机以及下位机)可放在通风橱外，避免了酸气腐蚀，还节约了通风橱空间，使用人员亦可远程控制。

八、实施例8：PTC加热器

下面描述根据本发明实施例的用于加热原始酸液的加热器。

如前所述，现有技术的原始酸液容器采用红外灯或电阻丝来作为热源，是明火，易引燃周围的易燃气体；而且一旦温度控制器失效，红外灯或电阻丝将继续加热，造成仪器烧毁甚至实验室火灾的巨大风险。

根据本发明一个实施例的原始酸液容器采用PTC加热器，由于

PTC(Positive Temperature Coefficient)，即正温度系数效应，电流通过元件后引起温度升高，即发热体的温度上升，一旦超过一定的温度(居里温度)时，它的电阻值随着温度的升高几乎是呈阶跃式的增高，从而限制电流增加，于是电流的下降导致元件温度降低。而温度的降低又会使电阻值的减小，从而电路电流增加，元件温度升高。周而复始，使温度保持在特定范围。PTC加热器发热时不发红，无明火，不易燃烧。即使温度控制器失效，PTC加热器也不会继续加热超过居里温度，不会产生燃烧危险。

根据本发明优选实施例，针对原始酸液容器长期在高腐蚀性环境下工作，PTC加热器很容易被酸气腐蚀的问题，对加热器进行了特殊的设计，包括下列中任一项，但不限于这些，可以进行其他的设计：

(1)PTC加热器自身做了PTFE表面喷涂，可有效抵抗酸液酸气腐蚀；

(2)原始酸液容器的主体和底座采用嵌套式连接设计，在两者之间形成一个封闭的空间，整个PTC加热器安装在这个封闭的空间，使得整个PTC加热器被主体和底座包裹，杜绝了与外界酸气的接触；

(3)另外，考虑到加热的均匀性，专门设计了面积远大于PTC加热器加热面的、厚度较薄例如厚为3mm的导热盘，此导热盘与原始酸液容器的底部紧密贴合，进行热量传导，可以有效改善因PTC加热器不能完全贴合原始酸液容器主体的整个底部而导致的传热不均的问题。导热盘可以为导热性能非常好的纯铝材质，而且也可以进行PTFE表面喷涂。

图23(a)和(b)示出了根据本发明一个实施例的加热器700的结构的立体图和正视图。

如图23(a)和(b)所示，加热器700包括PTC加热器主体710和导热盘720。导热盘720的面积远大于PTC加热器主体710的面积，优选地，前者等于或者大于后者的1.5倍，导热盘720的面积可以根据原始酸液容器主体的底部面积来设计，例如二者面积相当；另外导热盘720底面和PTC加热器主体710的顶面紧密贴合，进行热量传导，可以有效改善因PTC加热器不能完全贴合原始酸液容器主体的整个底部而导致的传热不均的问题。

以上参考附图结合本发明优选实施例描述了本发明的优选实施方式，不过这些仅是示例性的，并不是穷尽式的，本领域技术人员可以根据需要对实施例中的部件进行改变、更改、替换、添加、组合等等。

例如，在一个示例中，酸蒸清洗系统还可以包括显示器，例如可以是触摸式液晶显示屏，用于显示目前所处于的清洗阶段、干净酸液的液位、废酸酸液的液位、废水的液位、干净酸液的温度等等。

在一个示例中，酸蒸清洗系统还可以包括报警器，在例如干净酸液的液位、废酸酸液的液位、废水的液位、干净酸液的温度超于预定阈值时，以各种方式，例如蜂鸣、弹出式消息、振动、警示灯等方式向操作员工提供警示。所述报警消息还可以发送到操作员工、管理者的手机上。

本发明实施例的酸蒸清洗器可以应用来清洗管式器皿，对于器皿的形状没有特殊要求，只要器皿能套在双层套管上即可。本发明实施例的酸蒸清洗器尤其适合于清洗对于清洗、消毒、干燥要求较高的管式器皿，尤其适合于对清洗要求特别高的痕迹或超痕迹分析实验用的管式器皿。

前文的描述中，酸液以亚沸方式蒸发，以得到高纯酸蒸汽，利用这样的高纯酸蒸汽来清洗器皿。不过这仅为示例，本发明也适于利用其他方式蒸发——例如沸腾方式蒸发——得到的酸蒸汽进行器皿清洗的方法。

以上已经描述了本发明的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (19)

1.一种用于对管式器皿进行酸蒸汽清洗的酸蒸清洗器，包括：

原始酸液容器，用于容纳原始酸液；

加热器，用于加热原始酸液容器部分，以得到热酸蒸汽；

清洗腔，所述器皿的酸蒸汽清洗在清洗腔中进行；

控制器，用于控制各个部件的运行以进行酸蒸清洗工艺；以及

与原始酸液容器部分连接的集成式原始酸液位控制部件，配置为将液位管、加液漏斗和排废液阀一体化，原始酸液通过加液漏斗进入原始酸液容器内部，液位管的液位反映原始酸液容器的液位，排废液阀打开时能够排出原始酸液容器中的酸液，液位管包括上接口部分和下接口部分，与原始酸液容器内部联通；

加液时，向加液漏斗倒入原始酸液，液体会经液位管通过上接口部分和下接口部分联通的上下两个通路进入原始酸液容器主体内部，

酸蒸清洗器还包括：

双层套管，安装于清洗腔中，具有内管和外管，内管和外管紧密接触，在对管式器皿进行酸蒸清洗时，器皿被套在双层套管外部；以及

其中内管和外管的四周和/或顶部具有连通的酸蒸汽排出孔，酸蒸汽排出孔与内管的中心连通，

内管的外表面具有轴向的凹槽，外管底部具有供水/空气进入的水/气进入孔，以及外管上分布有供水/空气排出的水/气排出孔，所述内管上的凹槽与水/气进入孔连通且与外管上的水/气排出孔连通。

2.根据权利要求1的酸蒸清洗器，还包括非接触式超声波液位传感器，安装在原始酸液容器的外表面，且不与原始酸液容器表面接触，用于自动测量原始酸液容器内的原始酸的液面，并且将测量的指示液面水平的信号传送到控制器，

控制器接收该指示液位的信号，当该指示液位的信号低于预定阈值时，控制停止酸蒸清洗工艺。

3.根据权利要求1或2的酸蒸清洗器，所述加热器为PTC加热器。

4.根据权利要求3的酸蒸清洗器，还包括废液容纳器，用于容纳从排废口排出的废酸、废水、废气；以及

废液液位监测器，用于监测废液容纳器中的废液液位，并将废酸液位传送到控制器，当液位超过预定阈值时，控制器控制停止废液清洗工艺。

5.根据权利要求4的酸蒸清洗器，

废液液位监测器为电阻式压力传感器，用于自动感应废液容纳器的重量，并将指示重量的信号传送给控制器；

控制器接收该指示重量的信号，当该指示重量的信号超过预定阈值时，发送控制信号，以控制停止酸蒸清洗工艺。

6.根据权利要求5的酸蒸清洗器，

废液容纳器放置于托盘上，托盘采用翻边设计，防止废液滴到压力传感器内部；以及

所述压力传感器设计有漏液排出口，从而在传感器内部有废液进入的情况下，能够排出该漏液。

7.根据权利要求6的酸蒸清洗器，所述压力传感器进行了PTFE或PFA表面喷涂。

8.根据权利要求1的酸蒸清洗器，还包括

酸液温度传感器，被置于原始酸液的内部，用于测量原始酸液体的温度；

其中控制器设置温度阈值，接收酸液温度传感器测量的温度，将该温度与温度阈值相比较，并相应地控制加热器。

9.根据权利要求8的酸蒸清洗器，

所述酸液温度传感器为热电偶型温度传感器，两条热电偶导线被置于聚四氟乙烯PTFE或全氟烷氧基树脂PFA毛细管中，PTFE或PFA毛细管被置于支撑管中，支撑管被置于原始酸液容器内，PTFE或PFA毛细管通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外。

10.根据权利要求9的酸蒸清洗器，

所述支撑管下端连接有绕管器，所述支撑管内的PTFE或PFA毛细管穿过支撑管内孔出来，并在绕管器上缠绕一周后又经支撑管的孔进入支撑管，然后沿着支撑管向上延伸，最后从支撑管的孔并通过原始酸液容器的器壁上的连接孔延伸到原始酸液容器外，

其中热电偶头部分处于所述PTFE或PFA毛细管被缠绕的一周内，且热电偶头部分与PTFE或PFA毛细管接触。

11.根据权利要求10的酸蒸清洗器，

所述两条热电偶导线对向接触成看似一条导线，对向接触部分成为热电偶头。

12.根据权利要求8的酸蒸清洗器，

所述酸液温度传感器为热电偶型温度传感器，热电偶导线的表面包裹PTFE或PFA包裹层，热电偶探头的位置采用热压方法使得热电偶探头与PTFE或PFA包裹层紧密结合。

13.根据权利要求12的酸蒸清洗器，

在热电偶导线上存在一个或多个密封点，在密封点处采用热压方法使得热电偶导线与PTFE或PFA包裹层紧密集合。

14.根据权利要求8的酸蒸清洗器，

所述控制器能够连续性地设置温度阈值。

15.根据权利要求1的酸蒸清洗器，还包括：

安装于清洗腔部分中的水/空气花洒式喷管，其顶部为花洒形式，分布有多个细孔，以供进入水/空气花洒式喷管从细孔喷出。

16.根据权利要求1的酸蒸清洗器，所述清洗腔壁底部具有排废口，供清洗完器皿的废酸、废水、废气中的任一个从排废口排出。

17.根据权利要求1或2的酸蒸清洗器，还包括上下两层套管架，用于将套管固定于清洗腔中。

18.根据权利要求1的酸蒸清洗器，其中，在控制器的控制下，进行

酸蒸汽清洗步骤，加热器加热原始酸液容器部分中的酸液，得到的酸蒸汽进入所述双层套管中的内管中心，并经过酸蒸汽排出孔流出，喷到管式器皿的内表面；

水喷淋步骤，在酸蒸汽清洗步骤之后，水经由压力作用经所述外管底部的水/气进入孔进入到所述内管外表面上的凹槽，并从外管上的水/气排出孔喷出，喷射到器皿的内表面；以及

热空气干燥步骤，在水冲洗步骤之后，经加热的空气在压力作用下经所述外管底部的水/气进入孔进入到所述内管外表面上的凹槽，并从外管上的水/气排出孔喷出，喷射到器皿的内表面。

19.根据权利要求1或2的酸蒸清洗器，所述热酸蒸汽是以亚沸方式蒸发原始酸液得到的。