CN117242559A - 用于制造微型led显示器的系统及方法 - Google Patents

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Abstract

用于制造发光二极管(LED)显示器，用于将第一颜色转换前驱物递送到工件上的第一分配腔室。第一固化站固化工件以在工件上的LED的第一集合上方形成第一颜色转换层。第一洗涤/干燥腔室从工件去除第一颜色转换前驱物的未固化部分并且随后干燥工件。第二分配腔室将第二颜色转换前驱物递送到工件上。第二固化站固化第二颜色转换前驱物以在工件上的LED的第二集合上方形成第二颜色转换层。第二洗涤/干燥腔室从工件去除第二颜色转换层的未固化部分。腔室的每一者是独立可密封的。控制器控制工件运输系统以在腔室之间顺序地移动工件。

Description

用于制造微型LED显示器的系统及方法
技术领域
本公开内容一般涉及制造微型LED显示器。
背景
发光二极管(light emitting diode；LED)面板使用LED阵列，其中独立的LED提供独立可控制的像素元件。此种LED面板可以用于计算机、触控式面板装置、个人数字助理(personal digital assistant；PDA)、手机、电视、及类似者。
与OLED相比，使用基于III-V族半导体技术的微型LED的LED面板(也称为微型LED)将具有各种优点，例如，较高能量效率、亮度、及寿命，以及显示器堆叠中较少的材料层，此可以简化制造。然而，微型LED面板的制造存在挑战。具有不同颜色发射(例如，红色、绿色及蓝色像素)的微型LED需要经由分离的工艺在不同基板上制造。将多种颜色的微型LED装置集成到单个面板上需要拾取及放置步骤以将微型LED装置从其原始供体基板传送到目的地基板。此经常涉及修改LED结构或制造工艺，诸如引入牺牲层以简化裸片释放。此外，对放置准确性(例如，小于1um)的严格需求限制处理量、最终良率、或两者。
绕过拾取及放置步骤的替代途径系在用单色LED制造的基板上的特定像素位置处选择性沉积颜色转换剂(例如，量子点、纳米结构、荧光材料、或有机物质)。单色LED可以产生相对短波长的光，例如，紫色或蓝色光，并且颜色转换剂可以将此短波长的光转换为较长波长的光，例如，用于红色或绿色像素的红色或绿色光。颜色转换剂的选择性沉积可以使用高分辨率遮蔽掩模或可控的喷墨或气溶胶喷射印刷来执行。
概述
在一个方面中，一种LED显示器制造工具包括第一分配腔室、第一固化站、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室、第二固化站、第二洗涤/干燥腔室、工件运输系统、及控制器。第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室的每一者是独立可密封的。第一分配腔室包括用于固持工件的第一分配支撑件及用于将第一颜色转换前驱物递送到工件上的第一喷墨打印机。第一固化站固化工件上的颜色转换前驱物材料以在工件上的LED的第一集合上方形成第一颜色转换层。第一洗涤/干燥腔室包括用于固持工件的第一洗涤支撑件及用于从工件去除第一颜色转换前驱物的未固化部分的第一洗涤组件。
第二分配腔室包括用于固持工件的第二分配支撑件及用于将与第一颜色转换前驱物不同的第二颜色转换前驱物递送到工件上的第二喷墨打印机。第二固化站固化第二颜色转换前驱物以在工件上的LED的第二集合上方形成第二颜色转换层。第二洗涤/干燥腔室包括用于固持工件的第二洗涤支撑件及用于从工件去除第二颜色转换层的未固化部分的第二洗涤组件。
控制器导致工件运输系统顺序地穿过第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室移动工件。
在另一方面中，一种LED显示器制造工具包括多个处理腔室及一个或多个传递腔室。多个处理腔室包括第一分配腔室、第二分配腔室、一个或多个洗涤/干燥腔室、及用于固化第一颜色转换前驱物以形成第一颜色转换层并且固化第二颜色转换前驱物以形成第二颜色转换层的公共固化站。
在另一方面中，一种LED显示器制造工具包括多个处理腔室及一个或多个传递腔室。多个处理腔室包括公共分配腔室、一个或多个洗涤/干燥腔室、用于固化第一颜色转换前驱物以形成第一颜色转换层的第一固化站、及用于固化第二颜色转换前驱物以形成第二颜色转换层的第二固化站。
在另一方面中，描述了一种LED显示器制造方法。方法包括将工件装载在第一分配腔室中，将第一颜色转换层分配到工件上，将工件移动到第一洗涤/干燥腔室，洗涤具有第一颜色转换层的工件以去除第一颜色转换层的未固化部分，将工件移动到第二分配腔室，将第二颜色转换层分配到工件上，将工件移动到第二洗涤/干燥腔室，洗涤具有第二颜色转换层的工件以去除第二颜色转换层的未固化部分，将工件移动到第三分配腔室，将第三颜色转换层分配到工件上，将工件移动到第三洗涤/干燥腔室，及洗涤具有第三颜色转换层的工件以去除第三颜色转换层的未固化部分。
实施方式可包括以下特征的一者或多者。
第三喷墨打印机可具有用于将工件对准到第三喷墨打印机的第三基准标记。第一分配腔室及第二分配腔室可经构造为减少第一分配腔室及第二分配腔室内的污染浓度。第一及第二分配腔室的每一者可包括经构造为感测第一工件条件的传感器，例如，光学成像器或发光成像器。第一及第二分配腔室的每一者可包括用于感测第一分配腔室条件(例如，温度、相对湿度、或气体成分)的环境传感器。
返工分配腔室可用于返工第三颜色转换层，利用高效颗粒空气过滤器过滤进入第一分配腔室、第二分配腔室、及第三分配腔室的空气以减少大气的污染浓度。第一分配腔室中的大气可利用第一排气管道排气，第二分配腔室中的大气可利用第二排气管道排气，并且第三分配腔室中的大气可利用第三排气管道排气。第一分配腔室中的大气的第一污染浓度可利用第一腔室传感器测量，第二分配腔室中的大气的第二污染浓度可利用第二腔室传感器测量，并且第三分配腔室中的大气的第三污染浓度可利用第三腔室传感器测量。可将表示第一、第二及第三污染浓度的信号发送到控制器。响应于接收信号，可调整进出第一分配腔室、第二分配腔室、及第三分配腔室的气流。
第一喷墨打印机可包括用于将工件对准到第一喷墨打印机的第一基准标记，并且第二喷墨打印机可包括于将工件对准到第二喷墨打印机的第二基准标记。经构造为控制第一喷墨打印机的位置的第一支架可在第一分配腔室中设置，并且经构造为控制第二喷墨打印机的位置的第二支架可在第二分配腔室中设置。第一喷墨打印机可包括在线现场可替换单元，该在线现场可替换单元包含第一印刷头阵列、第一服务站、第一墨水贮槽、及经构造为调整第一喷墨电缆及软管组件沿着第一支架的位置的第一能量链电缆载体，并且第二喷墨打印机可包括第二在线现场可替换单元，该第二在线现场可替换单元包含第二印刷头阵列、第二服务站、第二墨水贮槽、及经构造为调整第一喷墨电缆及软管组件沿着第二支架的位置的第二能量链电缆载体。第一分配腔室可包括经构造为允许第一支架、第一能量链电缆载体、或第一传感器进入第一分配腔室中的第一进入端口，并且第二分配腔室可包括经构造为允许第二支架、第二能量链电缆载体、或第二传感器进入第二分配腔室中的第二进入端口。
第一固化站可包括用于启动第一多个LED以发射光来固化第一颜色转换前驱物的电路系统。中央量子点墨水递送系统可经构造为将量子点墨水递送到第一喷墨打印机及第二喷墨打印机。第一喷墨打印机或第二喷墨打印机可进一步经构造为分配紫外线锁定层材料或布拉格(Bragg)反射层材料的一者或多者。
每个颜色转换层可从通过支架移动的喷墨打印机分配。利用支架移动喷墨打印机可包括将工件对准到喷墨打印机上的第一基准标记。在将每个颜色转换层分配到工件上之后，颜色转换层可利用紫外光及氮气帘幕固化。此可以是成像系统，并且控制器可经构造为基于来自传感器的图像检测印刷缺陷。
修复模块可包括：返工分配腔室，包括用于固持工件的返工分配支撑件及用于将返工颜色转换前驱物递送到工件上以返工第一颜色转换层或第二颜色转换层的一者或多者的返工喷墨打印机；返工固化站，用于固化返工颜色转换前驱物以在工件上的第四多个LED上方形成返工颜色转换层；及返工洗涤/干燥腔室，包括用于固持工件的返工洗涤支撑件及用于从工件、返工分配腔室、及返工洗涤/干燥腔室去除返工颜色转换层的未固化部分的返工洗涤组件。多个中间腔室的至少一者(例如，多个中间腔室的每一者)可包括用于从传递线移除工件或将工件插入传递线的可密封端口。
工具可经构造为用于仅穿过多个传递腔室插入及移除工件。工具可经构造为用于穿过第一传递腔室将工件插入工具中并且穿过第二传递腔室从工具移除工件。工具可经构造为用于穿过多个传递腔室的每一者将工件插入工具中并且从工具移除工件。第二分配腔室可由可密封端口耦接到第二传递腔室。控制器可经构造为导致工件运输系统顺序地穿过第一分配腔室、第一传递腔室、第一洗涤/干燥腔室、第一传递腔室、第二分配腔室、第二传递腔室、及第二洗涤/干燥腔室来移动工件。处理腔室的至少一者可耦接到多个传递腔室。多个处理腔室可包括用于固化第一颜色转换前驱物以形成第一颜色转换层并且固化第二颜色转换前驱物以形成第二颜色转换层的公共固化站。多个处理腔室可包括用于固化第一颜色转换前驱物以形成第一颜色转换层的第一固化站及用于固化第二颜色转换前驱物以形成第二颜色转换层的第二固化站。每个处理腔室可由相应可密封端口耦接到中央传递腔室。
第三分配腔室可包括用于固持工件的第三分配支撑件及用于将与第一颜色转换前驱物及第二颜色转换前驱物不同的第三颜色转换前驱物递送到工件上的第三喷墨打印机。第三固化站可固化第三颜色转换前驱物以在工件上的第三多个LED上方形成第三颜色转换层。第三洗涤/干燥腔室可包括用于固持工件的第三洗涤支撑件及用于从工件去除第三颜色转换层的未固化部分的第三洗涤组件。控制器可经构造为导致工件运输系统顺序地穿过第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室、第二洗涤/干燥腔室、第三分配腔室、及第三洗涤/干燥腔室来移动工件。
实施方式可以视情况提供(并且不限于)以下优点的一者或多者。
可以实现解决微型LED显示器制造工艺的所有关键步骤的无缝工作流程。在此上下文中，“无缝”指示对应于显示器的多种颜色的多个颜色转换层可以使用多个处理步骤(例如，涂布、原位固化、及清洗)在显示器工件上制造，所述处理步骤均不从工具的受控环境(例如，真空)移除工件。
处理步骤(涂布、原位固化、及清洗)可以在全程中对准以降低工作流程的低效。可以实现基于每个处理阶段的就绪状态的处理作业的有效排程。
平台可以是可构造且可重新构造的，此可以允许适应不同平板制造工艺。
制造输出可以通过无缝工作流程增加以支持大尺寸及高处理量操作。因此，颜色转换剂可以较高良率及处理量在微型LED的阵列上方选择性形成。此可允许以商业上可行的方式制造多颜色微型LED显示器。集成的制造线和/或群集制造平台可以增加基于每个处理阶段的就绪状态的处理作业的排程的有效性，并且增加制造工作产品的目标处理量。
可以增加工作产品质量。例如，原位固化可以自动地确保对准准确性。可以改进多种光发射、光转换、及功能材料的位置准确性及可重复性。
可以改进工作产品缺陷检测。例如，微型LED基板及处理环境的原位测量可以改进处理控制以制造较高质量的基板。此外，可以在制造工艺中较早检测到缺陷。
其他方面、特征及优点将从描述及附图、以及从权利要求书中显而易见。
在下文描述各种实施方式。可以预期，一个实施方式的元件及特征可有利地并入其他实施方式中，而无需进一步叙述。
附图简要说明
图1是已经与背板集成的微型LED阵列的示意性俯视图。
图2A是微型LED阵列的一部分的示意性俯视图。
图2B是来自图2A的微型LED阵列的部分的示意性横截面图。
图2C是在沉积颜色转换剂层之前的图2A的微型LED显示器的一部分的示意性横截面图。
图3A至图3H示出了在微型LED阵列上方选择性形成颜色转换剂(colorconversion agent；CCA)层的方法。
图4是LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图5是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图6是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图7是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图8是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图9是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图10是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图11是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图12是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图13是另一LED显示器制造工具的示意性俯视图。
图14A至图14C图标了利用LED显示器制造工具制造LED显示器的方法。
图15是在LED显示器制造工具中的喷墨印刷站的示意性横截面侧视图。
图16是LED显示器制造工具的分配腔室的示意性横截面侧视图。
图17A至图17F是在图4的制造工具中制造微型LED阵列的示意图。
各个附图中的类似附图标记指示类似元件。
具体描述
如上文提及，颜色转换剂的选择性沉积可以使用高分辨率遮蔽掩模、可控的喷墨或气溶胶喷射印刷来执行。此种颜色转换剂可能需要固化，并且未固化的材料可能需要洗涤掉。目前，此种步骤在离散的独立式工具中执行，并且不存在用于制造微型LED显示器的无缝工作流程。因此，在各种工具处可以存在不平衡的处理量，以及每次从工具移除面板时污染的危险。总而言之，需要新技术来在制造微型LED期间精确且成本有效地协调制造工艺。
可以解决这些问题的技术提供了工具，其中连接多个腔室以执行用于无缝制造微型LED显示器的各种工艺。微型LED显示器制造工具可以具有多个独立可密封腔室(例如，以群集或线布置的分配腔室、洗涤/干燥腔室、及固化腔室)、及用于顺序地穿过多个腔室移动微型LED显示器的微型LED显示器运输系统。此技术可以克服制造处理量及制造可缩放性的挑战。
微型Led阵列
图1示出了包括在背板16上设置的独立微型LED 14(参见图2A及图2B)的阵列12的微型LED显示器10。微型LED 14已经与背板电路系统18集成，使得可以独立地寻址每个微型LED 14。例如，背板电路系统18可以包括具有针对每个微型LED的薄膜晶体管及储存电容器(未示出)的薄膜晶体管(thin-film transistor；TFT)主动矩阵阵列、列地址及行地址线18a，列及行驱动器18b等，用于驱动微型LED 14。由于可能需要较高电流/电压(UV剂量)来固化颜色转换层材料，使用TFT主动矩阵阵列可以避免对TFT电路系统施加电应力。或者，微型LED 14可以由背板电路系统18中的被动矩阵驱动。背板16可以使用常规的互补金属氧化物半导体制造工艺来制造。
图2A及图2B示出了具有独立微型LED 14的微型LED阵列12的一部分。所有微型LED14制造成具有相同结构以便产生相同的波长范围(此可以被称为“单色”微型LED)。例如，微型LED 14可以产生紫外(ultraviolet；UV)(例如，近紫外)范围中的光。例如，微型LED 14可以产生在365至405nm的范围中的光。作为另一实例，微型LED 14可以产生在紫色或蓝色范围中的光。微型LED可以产生具有20至60nm的光谱带宽的光。
图2B示出了可以提供单个像素的微型LED阵列的一部分。假设微型LED显示器是三色显示器，每个像素包括三个子像素，每种颜色一个子像素，例如，一个子像素各自用于蓝色、绿色及红色通道。因此，像素可以包括三个微型LED 14a、14b、及14c。例如，第一微型LED14a可以对应于蓝色子像素，第二微型LED 14b可以对应于绿色子像素，并且第三微型LED14c可以对应于红色子像素。然而，下文论述的技术可应用于使用较大数量颜色(例如，四种或多种颜色)的微型LED显示器。在此情况下，每个像素可以包括四个或多个微型LED，其中每个微型LED对应于相应颜色。此外，下文论述的技术可应用于使用单种颜色或者两种或三种颜色的微型LED显示器。
大体上，单色微型LED 14可以产生在具有一峰的波长范围中的光，其中波长不大于意欲用于显示器的最高频率颜色(例如，紫光或蓝光)的波长。颜色转换层40a、40b、40c可以将此短波长的光转换为较长波长的光，例如，用于红色或绿色子像素的红光或绿光。若微型LED产生UV光，则颜色转换剂可以用于将UV光转换为用于蓝色子像素的蓝光。若微型LED产生蓝光，则在用于蓝色像素的微型LED上方不需要颜色转换剂。
垂直隔离壁20在相邻的微型LED之间形成。隔离壁提供了光学隔离以帮助局部化聚合并且减少在下文论述的原位聚合期间的光学串扰。此外，其可以在点亮操作期间帮助防止颜色渗出或污染。隔离壁20可以是光刻胶或金属，并且可以通过常规的光刻工艺沉积。如图2A所示，壁20可以形成矩形阵列，其中独立凹陷22中的每个微型LED 14由壁20界定。其他阵列几何形状(例如，六边形或偏移矩形阵列)也是可能的。用于背板集成及隔离壁形成的可能工艺在下文更详细论述。壁的高度H足以阻挡来自一个微型LED的光到达相邻的微型LED。
制造工艺
图3A至图3H标出了在制造工艺中在显示器10的微型LED阵列上方选择性形成颜色转换剂(CCA)层的方法。最初，如图3A所示，第一光可固化流体30在已经与背板电路系统(参见图2C)集成的微型LED 14的阵列上方沉积。第一光可固化流体30可以具有大于隔离壁20的高度H的深度D。或者，第一光可固化流体30可以具有等于或小于隔离壁的高度H的深度D。小于隔离壁的高度H的深度D可以是有利的，因为某些聚合物基质可以引起波导效应，此可以降低选择性固化微型LED 14的阵列的有效性。
返回到图3A，第一光可固化流体30可以在微型LED阵列上方的显示器上通过旋涂、浸渍、喷涂、喷墨、或丝网印刷工艺沉积。喷墨工艺可以更有效地消耗第一光可固化流体30。尽管示出为覆盖整个像素，但是第一光可固化流体30可以仅放置或主要放置在对应于第一颜色的子像素中。
接下来，如图3B所示，背板16的电路系统用于选择性启动微型LED 14a的第一集合。此微型LED 14a的第一集合对应于第一颜色的子像素。特定而言，微型LED 14a的第一集合对应于将由第一光可固化流体30中的颜色转换成分产生的光颜色的子像素。例如，假设第一光可固化流体30中的颜色转换成分将来自微型LED 14的光转换为蓝光，则仅开启对应于蓝色子像素的那些微型LED 14a。因为微型LED阵列已经与背板电路系统18集成，功率可以供应给微型LED显示器10并且控制信号可以由微处理器应用以选择性开启微型LED 14a。此情况描述了微型LED 14a经由先前论述的TFT电路系统的选择性点亮。或者，选择性点亮微型LED 14a可以由分离的电路进行，该电路可以包括短路杆。此可以使得能够施加较高电流/电压(UV剂量)以固化颜色转换材料，同时避免对TFT电路系统加电应力。
参见图3B及图3C，启动微型LED 14a的第一集合产生照明A(参见图3B)，此导致原位固化第一光可固化流体30以在每个启动的微型LED 14a
上方形成第一凝固的颜色转换层40a(参见图3C)。简而言之，固化第一光可固化流体30以形成颜色转换层40a，但仅在所选的微型LED 14a上。
图3C示出了固化不延伸穿过装置上的流体的整个厚度的第一光可固化流体30的一部分。在其中精确地控制固化剂量或其中固化减少导致自限制工艺的紫外光的传输的情况中，此举可以是可能的。然而，在一些实施方式中，可以固化在微型LED 14a之上的第一光可固化流体30的整个厚度。
在一些情况下，第一光可固化流体30可以具有大于隔离壁20的高度H的深度D。或者，第一光可固化流体30可以具有等于或小于隔离壁的高度H的深度D，此可以导致完全固化在微型LED 14a之上的整个颜色转换层材料。例如，用于转换为蓝光的颜色转换层40a可以在每个微型LED 14a上形成。
在一些实施方式中，固化是自限制工艺。例如，来自微型LED 14a的照明(例如，UV照明)可以具有到光可固化流体30中的有限穿透深度。因此，尽管图3B示出了照明A到达第一光可固化流体30的表面，但此是不必要的。在一些实施方式中，来自所选微型LED 14a的照明未到达其他微型LED 14b及14c。在此情况下，隔离壁20可能不是必要的。
然而，若在微型LED 14之间的间隔足够小，则隔离壁20可以肯定地阻挡来自所选微型LED 14a的照明A到达其他微型LED上方的区域，该区域将在来自那些其他微型LED的照明的穿透深度内。隔离壁20也可以包括在内，例如，仅仅作为防止照明到达其他微型LED上方的区域的保证。
可以针对第一光可固化流体30的适当光子剂量来选择用于微型LED 14a的第一集合的驱动电流及驱动时间。用于固化第一光可固化流体30的每个子像素的功率不一定与微型LED显示器10的显示器模式下的每个子像素的功率相同。例如，用于固化模式的每个子像素的功率可以高于用于显示器模式的每个子像素的功率。
参见图3D，当固化完成并且形成第一凝固的颜色转换层40a时，残留的未固化的第一光可固化流体30从显示器10去除。此使其他微型LED 14b及14c暴露出用于接下来的沉积步骤。在一些实施方式中，未固化的第一光可固化流体30仅仅利用溶剂(例如，水、乙醇、甲苯、甲乙酮、异丙醇、或其组合)从显示器清洗。若第一光可固化流体30包括负光刻胶，则清洗流体可以包括用于光刻胶的光刻胶显影剂。
参见图3E，重复上文关于图3A至图3D描述的处理但利用未图示的第二光可固化流体，类似于先前描述的第一光可固化流体及启动微型LED
14b的第二集合。在清洗之后，在微型LED 14b的第二集合的每一者上方形成第二颜色转换层40b。
第二光可固化流体类似于第一光可固化流体30，但包括颜色转换剂以将来自微型LED 14的较短波长的光转换为不同的第二颜色的较长波长的光。例如，第二颜色可以是绿色。
微型LED 14b的第二集合对应于第二颜色的子像素。特定而言，微型LED 14b的第二集合对应于将由第二光可固化流体中的颜色转换成分产生的光颜色的子像素。例如，假设第一光可固化流体30中的颜色转换成分将来自微型LED 14的光转换为绿光，则仅开启对应于绿色子像素的那些微型LED 14b。
参见图3F，视情况再次重复上文关于图3A至图3D描述的处理，但利用未图示的第三光可固化流体，类似于第一光可固化流体及第二光可固化流体及启动微型LED 14c的第三集合。在清洗之后，第三颜色转换层40c在微型LED 14c的第三集合的每一者上方形成。
第三光可固化流体类似于第一光可固化流体30，但包括颜色转换剂以将来自微型LED 14的较短波长的光转换为不同的第三颜色的较长波长的光。例如，第三颜色可以是红色。
微型LED 14b的第三集合对应于第三颜色的子像素。特定而言，微型LED 14b的第三集合对应于将由第三光可固化流体中的颜色转换成分产生的光颜色的子像素。例如，假设第三光可固化流体中的颜色转换成分将来自微型LED 14的光转换为红光，则仅开启对应于红色子像素的那些微型LED 14b。
在图3A至图3F中示出的此具体实例中，针对每种颜色子像素沉积颜色转换层40a、40b、40c。例如，当微型LED产生紫外光时，需要此操作。
然而，微型LED 14可以产生蓝光而非UV光。在此情况下，可以跳过由含有蓝色颜色转换剂的光可固化流体涂布显示器10，并且可以使用绿色及红色子像素的光可固化流体执行工艺。留下不具有颜色转换层的微型LED的一个集合，例如，如图3E所示。未执行图3F所示的工艺。例如，第一光可固化流体30可以包括绿色CCA且微型LED的第一集合14a可以对应于绿色子像素，并且第二光可固化流体可以包括红色CCA且微型LED的第二集合14b可以对应于红色子像素。在一些实施方式中，微型LED 14a及微型LED 14b是紫外微型LED，并且微型LED 14c是蓝色微型LED。
在又一实施方式中，即使微型LED的第三集合14c不使用颜色转换，例如，微型LED14c是蓝色微型LED，结构可以在微型LED 14c上方形成，该结构类似于在微型LED的第一集合14a及第二集合14a上方的结构。特定而言，可以分配第三光可固化流体，并且开启仅对应于第三颜色(例如，红色子像素)的那些微型LED 14b以固化第三光可固化流体。然而，第三光可固化流体不包括颜色转换剂，使得所得层用作“虚设”层而非颜色转换层。
假设光可固化流体30(例如，第一光可固化流体、第二光可固化流体、及第三光可固化)包括溶剂，一些溶剂可在颜色转换层40a、40b、40c中俘获。参见图3G，此溶剂可以蒸发，例如，通过将微型LED阵列暴露于热，诸如由IR灯。从颜色转换层40a、40b、及40c蒸发溶剂可以导致层收缩，使得最终层较薄。
去除溶剂并且收缩颜色转换层40a、40b、及40c可以减少在量子点之间的间隔，使得所得颜色转换层40a可以在吸收率及反射率中表现不同。另一方面，包括溶剂允许光可固化流体的其他成分的化学调配物的更大灵活性，例如，在颜色转换剂或可交联成分中。此外，包括溶剂可以提供用于重复沉积工艺使得多个层可以在微型LED 14a、微型LED 14b、及微型LED 14c上形成同时增加总量子点负载的技术。因此，吸收率可以增加，并且光学密度及光致发光可以增加。
视情况，如图3H所示，UV阻挡层50可以在所有微型LED 14的顶部上沉积。UV阻挡层50可以阻挡未由颜色转换层40a、40b、及40c吸收的UV光。UV阻挡层50可以是布拉格反射器，或者可以仅仅是选择性吸收UV光的材料。布拉格反射器可以朝向微型LED 14向后反射UV光，因此增加能量效率，但允许可见波长通过。
制造工具
用于制造微型LED显示器的在图3A至图3H中较早描述且图示的方法可以在无缝工作流程制造工艺中顺序地执行。制造工艺在工具中顺序且无缝地执行，该工具的各种布置在图4至图13中图示。
参见图4，LED显示器制造工具400顺序地处理微型LED显示器10以沉积颜色转换层。LED显示器制造工具400以串行方式顺序地穿过处理腔室传递微型LED显示器10。LED显示器制造工具400可以包括用于控制各个部件、和/或模块(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器426。
LED显示器制造工具400包括第一分配腔室402。例如，如图2C所示，工件可以是具有背板16的部分制造的显示器10，在该背板上设置微型LED 14及隔离壁20。第一分配腔室402与稍后描述的其他腔室独立可密封。
参见图4及图15，第一分配腔室402包括用于在显示器10上分配第一光可固化流体30的第一分配站433a。第一分配站433a可以包括用于将第一颜色转换前驱物递送到显示器10上的第一分配器430a，该第一颜色转换前驱物是具有较早描述的颜色转换成分的第一光可固化流体30，尤其如图3A所示。第一分配站433a还包括用于在递送第一颜色转换前驱物期间固持显示器10的第一分配支撑件428a。图17A直观地描绘了在第一分配腔室402中发生以递送并且固化显示器10上的第一颜色转换前驱物的图3A至图3C所示的工艺。
在一些实施方式中，第一分配器430a是将喷射光可固化流体的液滴222的第一喷墨打印机。或者，第一分配器430a可以是丝网打印机、旋转涂布器、或狭槽涂布器。第一分配器430a可以耦接到支架432a以随着打印机在第一分配腔室402内移动而控制第一喷墨打印机的位置。或者，分配器可以是固定的并且显示器10可以安装在可移动支撑件上，同时分配光可固化流体。
第一喷墨打印机可以具有第一印刷头阵列、第一服务站、及第一墨水贮槽(未图示)。第一印刷头阵列包括一个或多个印刷头，每个印刷头具有一行或多行喷嘴以将第一光可固化流体30导引至显示器10上。第一服务站允许在第一喷墨打印机上执行预防或校正维护动作。第一墨水贮槽耦接到印刷头阵列以将墨水提供到印刷头阵列。功率、控制信号及墨水可以穿过软管及电缆提供到印刷头阵列，当印刷头阵列沿着第一分配腔室内的第一支架432a移动时，所述软管及电缆是可移动的。
第一分配支撑件428a可以是例如来自板的基座、边缘支撑件、或升举销。在一些实施方式中，第一分配支撑件428a由机器人提供，该机器人是工件运输系统的一部分。
第一分配支撑件428a可以是可移动平台。显示器10可以经由第一喷墨打印机(未图标)上的基准标记与印刷头阵列的喷嘴(未图示)对准以允许高精确印刷(喷墨)颜色转换剂。此外，后印刷质量控制检查(诸如由高分辨率成像系统进行的检查)可以检测印刷缺陷，使得在移动到其他模块上用于进一步处理之前可以在第一分配腔室402中发生返工。
在一些实施方式中，LED显示器制造工具400包括喷墨修复模块(未图标)。喷墨修复模块可以包括红绿蓝印刷头、紫外固化模块、及洗涤/干燥模块。喷墨修复模块可以耦接到第三分配腔室416(即，在制造工艺终止时)以允许当在显示器10上存在备用的微型LED子像素(未图示)时修复显示器10。
图15图标了在LED显示器制造工具400的第一分配腔室402内含有的示例喷墨打印机1500系统的详细示意性横截面。系统1500可以包括掩模210及印刷头220、或附接到致动器230的印刷头阵列，使得印刷头220可以沿着轴在方向232上移动。在一些实施方式中，第一分配支撑件428a(具有显示器10)可以移动，同时印刷头220保持固定分配液滴222。掩模210在微型LED显示器10之上支撑并且以0.1-2mm的距离203与显示器10上的壁20垂直地分离。或者，掩模210可以移动为与微型LED显示器接触。掩模210可以具有与将用颜色转换材料填充的子像素壁50相同大小的孔径213，并且视情况具有相同形状。例如，孔径213可以是8-10微米宽。在一些实施方式中，在掩模210中的孔径213(即，特征孔洞)的大小可以远大于每个子像素壁50的凹陷226的大小(宽度)，即，特征孔洞的大小可以是10-200微米。孔径的大小小于在子像素之间的间距。
印刷头220位于掩模210之上，例如，隔开0.25-2mm的距离205。将印刷头220控制为将调配物的液滴222选择性沉积到对应子像素阱50中。在一些实施方式中，喷射液滴222，并且来自喷射力的剪切动量将液滴222朝向显示器10推动。液滴可以在五米每秒至十五米每秒之间的喷注速率来推动。
随着装置分辨率增加，子像素阱50的大小收缩，并且也需要减小液滴体积或重量以避免阱50的溢流和/或简单容纳在阱50内。因此，液滴222受空气阻力或空气流的影响更大。理想地，将从印刷头220分配的液滴222递送到对应子像素阱50中。然而，偏离期望路径并且将撞击对应于其他颜色的阱的液滴224可以由掩模210阻挡。理想地，液滴将不会溢出对应的子像素阱50，如图2A所示。
LED显示器制造工具400具有实质上类似于第一分配腔室402的第二分配腔室404。第二分配腔室404包括第二分配站，该第二分配站具有用于固持显示器10的第二支撑件428b及用于将与第一颜色转换前驱物(第一光可固化流体30)不同的第二颜色转换前驱物(第二光可固化流体)递送到显示器10上的第二分配器430b。第二分配器430b可以耦接到第二支架432b以随着第二分配器430b在第二分配腔室404内移动而控制第二分配器430b(第二喷墨打印机)的位置。图17C直观地描绘了在第二分配腔室404中发生以递送及固化显示器10上的第二颜色转换前驱物的图3E所示的工艺。
LED显示器制造工具400可以具有实质上类似于第一分配腔室402及第二分配腔室404的第三分配腔室406。第三分配腔室406包括第三分配站，该第三分配站具有用于固持显示器10的第三分配支撑件428c及用于将与第一颜色转换前驱物(第一光可固化流体30)及第二颜色转换前驱物(第二光可固化流体)不同的第三颜色转换前驱物(第三光可固化流体)递送到显示器10上的第三分配器430b。第三分配器430c可以耦接到第三支架432c以随着第三分配器430c在第三分配腔室406内移动而控制第三分配器430c(第三喷墨打印机)的位置。图17E直观地描绘了在第三分配腔室406中发生以递送及固化显示器10上的第三颜色转换前驱物的图3F所示的工艺。
第一分配腔室402还包括用于固化显示器10上的第一光可固化流体30以在显示器10上的LED的第一集合上方形成第一颜色转换层的第一固化站434a，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。
第一固化站434a可以包括与第一分配支撑件428a分离的在第一分配腔室402中定位的第一固化支撑件456。第一固化支撑件456在固化工艺期间固持显示器10。
第一固化站434a可以包括操作地耦接到控制器426的电路系统478(图16所示)。第一固化站电路系统478可以启动LED的第一集合以发射光来固化第一光可固化流体30。尽管示出为支撑件456的部分，电路系统478可以在从顶表面降低到显示器10的接触边缘的分离主体上。
替代地或此外，第一固化站可以在固化工艺期间供应惰性气体以屏蔽显示器10。例如，惰性气体可以是氮(N2)气体帘幕。氮气可以提供惰性环境以允许更完全或完全紫外固化第一光可固化流体30。在一些情况下，在使用自限制固化并且固化层的高度小于D的情况下，可能不需要氮气帘幕。
LED显示器制造工具400具有实质上类似于第一固化站的第二分配腔室404中的第二固化站434b，用于固化第二颜色转换前驱物来在显示器10上的LED的第二集合上方形成第二颜色转换层。同样，第三分配腔室406具有实质上类似于第一固化站434a及第二固化站434b的第三固化站434c，用于固化第三颜色转换前驱物以在显示器10上的LED的第三集合上方形成第三颜色转换层。
第一分配腔室402可以包括用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。参见图16，在一些实施方式中，第一检查传感器438a在具有分离支撑件457a的分离监控站435a处，用于在检查传感器438a扫描工件时固持工件。在一些实施方式中，第一检查传感器438a与其他监控站的一者或多者集成。
第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发射到控制器426。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。同样，第二分配腔室404可以包括第二检查传感器438b并且第三分配腔室406可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第三检查传感器438c。
第一分配腔室402可以包括用于监控第一分配腔室402内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示第一分配腔室402的条件的信号发送到控制器426。例如，一个或多个环境传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
同样，第二分配腔室404可以包括第二环境传感器436b并且第三分配腔室406可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器436a的第三环境传感器436c。
LED显示器制造工具400可以包括外部耦接到第一分配腔室402的第一装载锁定腔室408。第一装载锁定腔室408处置将工件装载到制造工具400中。第一装载锁定腔室408可以包括用于固持工件的支撑件。阀484a可以将第一装载锁定腔室408与外部环境(例如，清洁室)分离。另一阀484b(例如，狭缝阀)可以将第一装载锁定腔室408与第一分配腔室402分离。使用者或机器人将工件放置到装载锁定腔室408中，随后关闭外部阀484a。随后空气从第一装载锁定腔室408抽空(或由纯气体替换，例如，惰性气体、或清洁空气)。当内部阀484b打开时，机器人449a到达第一装载锁定腔室408中并且取出工件。
如图4所示，第二装载锁定腔室410耦接到第三洗涤/干燥腔室416以处置从制造工具400卸除完成的微型LED显示器10。阀488a可以将第三洗涤/干燥腔室416与外部环境(例如，清洁室)分离。另一阀488b(例如，狭缝阀)可以将第一装载锁定腔室410与第三洗涤/干燥腔室416分离。
第一分配腔室402可以经构造为监控及控制第一分配腔室402内的污染浓度。出于多种原因，污染可以发生或进入第一分配腔室内。例如，污染可以来自正常空气污染物、外来物体、或来自颜色转换前驱物的溅射或蒸汽。
减少第一分配腔室402中的污染浓度的一种构件可以是粒子污染控制模块。粒子污染控制模块可以包括高效颗粒空气过滤器470(图16所示)及颗粒计数器。高效颗粒空气过滤器470流体耦接到第一分配腔室402。高效颗粒空气过滤器470减少来自穿过空气入口(未图示)进入第一分配腔室402的空气的污染浓度，其中空气来自周围大气。
粒子污染控制模块可以装备有耦接到第一分配腔室的颗粒计数器以取样第一分配腔室中的空气的污染浓度。颗粒计数器监控空气中的污染物并且将表示空气中的污染水平的信号发送到粒子污染控制模块。粒子污染模块可以操作地耦接到控制器426。
参见图16，第一分配腔室402可以包括流体耦接到第一分配腔室402的第一排气管道472。第一排气管道472控制从第一分配腔室402到大气的气流。第一排气管道472可以包括第一排气流动传感器474，该第一排气流动传感器经定位为监控第一排气流动条件并且将表示第一排气流动条件的信号发送到层流排气模块。替代地或此外，第一排气流动传感器可以将表示第一排气流动的信号发送到粒子污染控制模块或控制器426。排气管道472可以具有用于将空气穿过排气管道从第一分配腔室402移动到大气的泵476。
第二分配腔室404可以装备有实质上类似于第一粒子污染控制模块的第二粒子污染控制模块。第三分配腔室406可以装备有实质上类似于第一粒子污染控制模块及第二粒子污染控制模块的第三粒子污染控制模块。
层流排气模块可以接收表示第一排气流动条件的信号，接收表示第二排气流动条件的信号，并且控制基于第一排气流动条件从第一分配腔室402到大气的气流、基于第二排气流动条件从第二分配腔室402的气流、及基于第三排气流动条件从第三分配腔室406的气流。层流排气模块可以在喷墨印刷头附近定位以允许稳定喷墨流动动力学。
参见图16，第一分配腔室402可以包括用于允许第一分配器430a(其也可以是较早描述的印刷头220)或第一检查传感器438a进入第一分配腔室402的第一进入端口478。与第一分配腔室402一样，第二分配腔室404可以包括实质上类似于第一进入端口的第二进入端口。此外，第三分配腔室406可以包括实质上类似于第一进入端口及第二进入端口的第三进入端口。
LED显示器制造工具400具有第一洗涤/干燥腔室412，该第一洗涤/干燥腔室包括用于固持显示器10的第一洗涤支撑件(未图标)及第一洗涤组件(未图标)。第一洗涤组件将洗涤流体喷射到工件上以从显示器10去除第一光可固化流体30的未固化部分，如图3D所示并且在上文描述。第一洗涤/干燥腔室412也干燥工件。第一洗涤/干燥腔室412与本文描述的其他腔室独立可密封。在一些情况下，在第一颜色转换层从显示器10去除之后，第一洗涤/干燥腔室412可以干燥显示器10。此外，第一洗涤/干燥腔室412可以包括实质上类似于较早描述的第一环境传感器436a的第四环境传感器436d，用于监控第一洗涤/干燥腔室412的条件。图17B直观地描绘了在第一洗涤/干燥腔室412中发生以去除残留的未固化第一光可固化流体的图3D所示的工艺。
LED显示器制造工具400还具有第二洗涤/干燥腔室414，该第二洗涤/干燥腔室包括用于固持显示器10的第二洗涤支撑件(未图标)及第二洗涤组件(未图标)。第二洗涤组件将洗涤流体喷射到工件上以从显示器10去除第二光可固化流体的未固化部分，如图3D所示并且在上文描述。第二洗涤/干燥腔室414也干燥工件。第二洗涤/干燥腔室414与本文描述的其他腔室独立可密封。此外，第二洗涤/干燥腔室414可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的第八环境传感器436e，用于监控第二洗涤/干燥腔室414的条件。图17D直观地描绘了在第二洗涤/干燥腔室414中发生以去除残留的未固化第二光可固化流体的图3D所示的工艺。
第一隔离部件418a将第一分配腔室402连结到第一洗涤/干燥腔室412。第一隔离部件418a分离各个腔室以防止交叉污染。第一隔离部件418a可以是端口，例如，狭缝阀。或者，第一隔离部件418a可以是在任一侧面上具有支撑件及狭缝阀的固持腔室，该狭缝阀将固持腔室连接到相邻处理腔室。显示器10在箭头422的方向上移动到下一顺序腔室。在一些实施方式中，第一隔离部件418a可以包括用于监控显示器10的状态和/或阀的状态(即，打开或关闭)的传感器。
在一些实施方式中，用于固持被拒绝的显示器10的丢弃箱(未图示)包括在LED显示器制造工具400中。丢弃箱可以耦接到腔室的任一者。例如，丢弃箱可以由第一隔离部件418a耦接到第一洗涤/干燥腔室。或者，被拒绝的显示器10可以穿过各个腔室传到耦接到第二装载锁定腔室410的丢弃箱。
第二隔离部件418b将洗涤/干燥腔室412连结到第二分配腔室404。第二机器人440b将显示器10从第一洗涤/干燥腔室412移动到第二分配腔室404。显示器10由第二机器人440b在第二分配腔室404内移动。显示器10可以由第二机器人440b在第二分配支撑件428b上定位。显示器10可以随后在第二分配腔室404周围移动。
第三隔离部件418c将第二分配腔室404连结到第二洗涤/干燥腔室414。第三机器人440c将显示器10从第二分配腔室404移动到第二洗涤/干燥腔室414。显示器10可以在第二分配支撑件428b中定位并且由第三机器人440c在第二分配腔室404中移动。
第四隔离部件418d将第二洗涤/干燥腔室414连结到第三分配腔室406。第四机器人440d将显示器10从第二洗涤/干燥腔室414移动到第三分配腔室406。显示器10可以在第三分配支撑件428c中定位并且由第五机器人440e在第三分配腔室406中移动。
第五隔离部件418e将第三分配腔室406连结到第三洗涤/干燥腔室416。第五机器人440e将显示器10从第三分配腔室406移动到第三洗涤/干燥腔室416。第六机器人440f在第三洗涤/干燥腔室416中移动显示器10。第六机器人440f将工件移动到第二装载锁定腔室410，在箭头424的方向上离开第二装载台(bay)。
控制器426操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统串行地穿过第一分配腔室402、第一洗涤/干燥腔室412、第二分配腔室404、第二洗涤/干燥腔室414、第三分配腔室406、及第三洗涤/干燥腔室416顺序地移动显示器10。
在一些实施方式中，支撑件可以在腔室内的不同站之间可移动。在此情况下，机器人仍可在每个腔室中存在，例如，用于在腔室之间移动工件。然而，不需要机器人在特定腔室内的不同站的支撑件之间移动工件。
在一些实施方式中，将多个站的功能(例如，分配及固化)集成到单个站中。在此情况下，相同支撑件可以用于不同处理步骤，并且用于不同步骤的多个支撑件并非必需。
在一些实施方式中，支撑件的一者或多者(例如，第一分配支撑件428a)可以在腔室之间可移动以便在腔室之间运输工件。在此情况下，机器人仍可在每个腔室中存在，例如，用于在腔室内的不同站的支撑件之间移动工件。
在一些实施方式中，支撑件可以在不同腔室之间并且在腔室内的不同站之间可移动。在此情况下，可能不需要机器人。额外腔室和/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图5所示，LED显示器制造工具500可以顺序地处理微型LED显示器10以沉积颜色转换层，但经构造为允许在每个分配腔室及洗涤/干燥腔室处装载/卸除显示器。此类型的布置可以促进移除有缺陷的显示器10。有缺陷的显示器10可以从制造工艺永久移除或者可以返回到先前腔室或站用于返工。LED显示器制造工具500顺序地穿过处理腔室传递微型LED显示器10，并且具有返回或移除的选择。LED显示器制造工具500可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器526。LED显示器制造工具500的各个腔室及站大体类似于较早描述的腔室及站。在一些实施方式中，第一隔离部件518a可以包括用于监控显示器10的状态和/或阀的状态(即，打开或关闭)的传感器。
在一些实施方式中，用于固持被拒绝的显示器10的丢弃箱(未图示)包括在LED显示器制造工具500中。丢弃箱可以耦接到腔室的任一者。例如，丢弃箱可以由第一隔离部件518a耦接到第一洗涤/干燥腔室512。或者，被拒绝的显示器10可以穿过各个腔室传到耦接到第二装载锁定腔室510的丢弃箱。
LED显示器制造工具500包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的第一分配腔室502。第一分配腔室502耦接到第一装载/卸除锁定腔室508a，该第一装载/卸除锁定腔室外部耦接到第一分配腔室502。第一机器人540a处置将显示器10装载到第一分配腔室502中并且从第一分配腔室502卸除显示器10。
第一分配腔室502还包括用于固化显示器10上的第一光可固化流体30以在显示器10上的LED的第一集合上方形成第一颜色转换层的第一固化站434a，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。第一分配腔室502可以包括实质上类似于较早描述的传感器的第一检查传感器438a及第一环境传感器436a。
LED显示器制造工具500具有实质上类似于第一分配腔室502的第二分配腔室504。第二分配腔室504可以包括实质上类似于较早描述的传感器的第二检查传感器438b及第二环境传感器436b。
第二分配腔室504耦接到第二装载/卸除锁定腔室508b，该第二装载/卸除锁定腔室外部耦接到第二分配腔室502。第二装载/卸除锁定腔室508b允许将显示器10装载到第二分配腔室504中并且从第二分配腔室504卸除显示器10。
第二固化站434b位于第二分配腔室504中以固化第二颜色转换前驱物，用于在显示器10上的LED的第二集合上方形成第二颜色转换层，该第二固化站实质上类似于第一固化站。同样，第三分配腔室506具有实质上类似于第一固化站434a及第二固化站434b的第三固化站434c，用于固化第三颜色转换前驱物以在显示器10上的LED的第三集合上方形成第三颜色转换层。
LED显示器制造工具500具有实质上类似于第一分配腔室502及第二分配腔室504的第三分配腔室506。第三分配腔室506可以包括实质上类似于较早描述的传感器的第三检查传感器438c及第三环境传感器436c。第三分配腔室506耦接到第二装载/卸除锁定腔室508c，该第二装载/卸除锁定腔室外部耦接到第三分配腔室506。第五机器人540e搬运显示器10进出第三分配腔室506。
LED显示器制造工具500具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室412的第一洗涤/干燥腔室512。第一洗涤/干燥腔室512可以包括实质上类似于较早描述的传感器的第四环境传感器436d。第一洗涤/干燥腔室512耦接到第四装载/卸除锁定腔室508d，该第四装载/卸除锁定腔室外部耦接到第一洗涤/干燥腔室512。第二机器人540b装载、卸除、及搬运显示器10进出第一洗涤/干燥腔室512及第四装载/卸除锁定腔室508d。
LED显示器制造工具500还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室412的第二洗涤/干燥腔室514。第二洗涤/干燥腔室514可以包括实质上类似于较早描述的传感器的第五环境传感器436e。
第二洗涤/干燥腔室514耦接到第五装载/卸除锁定腔室508e，该第五装载/卸除锁定腔室外部耦接到第二洗涤/干燥腔室514。第三机器人540c装载、卸除、及搬运显示器10进出第二洗涤/干燥腔室514。
类似地，LED显示器制造工具500具有实质上类似于较早描述的第一洗涤/干燥腔室412的第三洗涤/干燥腔室516。第三洗涤/干燥腔室516可以包括实质上类似于较早描述的传感器的第六环境传感器436f。
第三洗涤/干燥腔室516耦接到第六装载/卸除锁定腔室508f，该第六装载/卸除锁定腔室外部耦接到第三洗涤/干燥腔室516。第六机器人540f装载、卸除、及搬运显示器10进出第三洗涤/干燥腔室516。
LED显示器制造工具500具有经构造为顺序地穿过各个腔室传递工件的工件(显示器10)运输系统。工件运输系统可以由例如位于第一分配腔室402中的第一机器人540a提供。类似机器人可以在每个腔室中。例如，第一洗涤/干燥腔室412可以具有第二机器人540b，第二分配腔室404可以具有第三机器人540c，第二洗涤/干燥腔室514可以具有第四机器人540d，第三分配腔室506可以具有第五机器人540e，并且第三洗涤/干燥腔室516可以具有第六机器人540f。
例如，由操作人员或机器人540a将显示器10放置在第一装载/卸除锁定腔室508a中，如由箭头520a所示。第一装载/卸除锁定腔室508a可以由阀(例如，狭缝阀)耦接到第一分配腔室502，可以穿过该阀传递工件。
由第一机器人540a将工件从第一装载/卸除锁定腔室508a移动到第一分配腔室502中。例如，机器人540a可以穿过开口狭缝阀到达以从第一装载/卸除锁定腔室508a取回工件。第一分配腔室执行工件内含有的工作工艺。工件在由箭头522所示的方向上穿过第一隔离部件518a从第一分配腔室502移动到第一洗涤/干燥腔室512。或者，工件可以由第一机器人540a穿过第一装载/卸除锁定腔室508a卸除，如由箭头520b所示。
第一隔离部件518a将第一分配腔室502连结到第一洗涤/干燥腔室512。第一机器人540a将显示器10从第一分配腔室502移动到第一洗涤/干燥腔室512。第一隔离部件518a实质上类似于较早描述的隔离部件。先前从第一分配腔室502移除的工件可以由第二机器人540b放置到第一洗涤/干燥腔室512中。第二机器人540b可以将工件传递到第一洗涤/干燥腔室512中，如由箭头544a所示。工件可以在箭头544b的方向上由第二机器人540b穿过第四装载/卸除锁定腔室从第一洗涤/干燥腔室512卸除。
第二机器人540b在第一洗涤/干燥腔室512内移动工件。第一洗涤/干燥腔室512清洗工件。第四机器人540b随后在箭头522的方向上将工件从第一洗涤/干燥腔室512移动到第二隔离部件518b中。
第二隔离部件518b将第一洗涤/干燥腔室512连结到第二分配腔室504。如由箭头546a所示，由第三机器人540c将显示器10移动到第二分配腔室504中。第二分配腔室504执行显示器10内含有的工作工艺。若需要，工件在箭头546b的方向上由第三机器人540c从第二分配腔室504移动到第二装载/卸除锁定腔室508b。工件可以在箭头546a的方向上穿过第二装载/卸除锁定腔室508b放置到第二分配腔室504中。第三机器人540c将工件移动到第三隔离部件518c，如由522所示。
第三隔离部件518c将第二分配腔室504连结到第二洗涤/干燥腔室514。第四机器人540d将显示器10从第二分配腔室504移动到第二洗涤/干燥腔室514中，如由箭头522所示。第三机器人540c还可以将显示器10从第二分配腔室504移动到第二洗涤/干燥腔室514中，如由箭头522所示。更通常，在特定腔室中的机器人可以用于将显示器10移动到相邻腔室或从相邻腔室移动。第二洗涤/干燥腔室514对工件执行清洗工作工艺。若需要，工件在箭头548b的方向上由第四机器人540d从第二洗涤/干燥腔室514移动到第五装载/卸除锁定腔室508e。工件可以在箭头548a的方向上穿过第五装载/卸除锁定腔室508e放置到洗涤/干燥腔室514中。第四机器人540d在箭头522的方向上将工件从第二洗涤/干燥腔室514移动到第四隔离部件518d中。
第四隔离部件518d将第二洗涤/干燥腔室514连结到第三分配腔室506。由第五机器人540e将显示器10移动到第三分配腔室506中。随后工件由第五机器人540e在第三分配腔室506内移动。第三分配腔室506执行显示器10内含有的工作工艺。若需要，工件在箭头550b的方向上由第五机器人540e从第三分配腔室506移动到第三装载/卸除锁定腔室508c。工件可以在箭头550a的方向上穿过第三装载/卸除锁定腔室508c放置到第三分配腔室506中。由第五机器人540e将工件从第三分配腔室506移动到第五隔离部件518e，如由箭头522所示。
第五隔离部件518e将第三分配腔室506连结到第三洗涤/干燥腔室516。第六机器人540f将显示器10从第三分配腔室506移动到第三洗涤/干燥腔室516中。第三洗涤/干燥腔室516对工件执行清洗工作工艺。第六机器人在箭头552b的方向上利用机器人540f或由操作人员将工件从第三洗涤/干燥腔室516移动到第六装载/卸除锁定腔室508f。若需要，工件可以在箭头552a的方向上穿过第六装载/卸除锁定腔室508f放置到洗涤/干燥腔室516中。
控制器526操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过第一分配腔室502、第一洗涤/干燥腔室512、第二分配腔室504、第二洗涤/干燥腔室514、第三分配腔室506、及第三洗涤/干燥腔室516顺序地移动显示器10。额外腔室及/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图6所示，类似于LED显示器制造工具400，LED显示器制造工具600顺序地处理微型LED显示器10以沉积颜色转换层，其中分离、独立密封的固化站在每个分配腔室/洗涤/干燥腔室对之间定位。
LED显示器制造工具600以串行方式顺序地穿过处理腔室传递微型LED显示器10。LED显示器制造工具600可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器626。此布置可以允许分离控制用于工艺的不同步骤的处理环境，例如，在固化期间的惰性环境(N2气体，例如)及用于印刷、洗涤、及干燥的清洁空气环境。
LED显示器制造工具600包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的第一分配腔室602。然而，第一分配腔室602不需要包括固化站。
LED显示器制造工具600具有实质上类似于第一分配腔室602的第二分配腔室604。然而，第二分配腔室604不需要包括固化站。
LED显示器制造工具600可以具有实质上类似于第一分配腔室602及第二分配腔室604的第三分配腔室606。然而，第三分配腔室606不需要包括固化站。
LED显示器制造工具600还包括用于固化显示器10上的第一光可固化流体30以在显示器10上的LED的第一集合上方形成第一颜色转换层的第一固化腔室654a，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。第一固化腔室654a与其他腔室及站独立可密封。第一固化腔室654a可以包括类似于第一分配支撑件428a的在第一固化腔室654a中定位的第一固化支撑件656a。第一固化支撑件656a在固化工艺期间固持显示器10。第一固化腔室654a具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第一环境传感器636a。第一固化腔室654a还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第一检查传感器638a。第一固化腔室654a可以包括实质上类似于较早论述的机器人的机器人640g。第一固化腔室654a可以包括操作地耦接到控制器626的电路系统。第一固化腔室电路系统可以启动LED的第一集合以发射光来固化第一光可固化流体30。另外，第一固化腔室654a类似于较早描述的第一固化站。
LED显示器制造工具60还包括用于固化显示器10上的第二光可固化流体以在显示器10上的LED的第二集合上方形成第二颜色转换层的第二固化腔室654b，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。第二固化腔室654b与其他腔室及站独立可密封。第二固化腔室654b具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第二环境传感器636b。第二固化腔室654b还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第二检查传感器638b。第二固化腔室654b可以包括实质上类似于较早描述的第一固化支撑件的第二固化支撑件656b。第二固化腔室654b具有实质上类似于较早论述的腔室传感器的第十一传感器638b。第二固化腔室654b可以包括实质上类似于较早论述的机器人的机器人640h。另外，第二固化腔室654b类似于较早描述的第一固化站。
LED显示器制造工具600还包括用于固化显示器10上的第三光可固化流体以在显示器10上的LED的第三集合上方形成第三颜色转换层的第三固化腔室654c，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。第三固化腔室654c与其他腔室及站独立可密封。第三固化腔室654c具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第三环境传感器636c。第三固化腔室654c还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第三检查传感器638c。第三固化腔室654c可以包括实质上类似于较早描述的固化支撑件的第三固化支撑件656c。第三固化腔室654c具有实质上类似于较早论述的腔室传感器的第十二传感器638c。第三固化腔室654c可以包括实质上类似于较早论述的机器人的机器人640i。另外，第三固化腔室654c类似于较早描述的第一固化站。
第一分配腔室602可以包括外部耦接到第一分配腔室602的第一装载锁定腔室608。第一装载锁定腔室608将显示器10装载并且处置到第一分配腔室602中。如图6所示，第二装载锁定腔室610外部耦接到第三洗涤/干燥腔室616，第九机器人640f穿过该第三洗涤/干燥腔室从LED显示器制造工具600卸除并且处置完成的微型LED显示器10。
LED显示器制造工具600具有第一洗涤/干燥腔室612，该第一洗涤/干燥腔室包括用于固持显示器10的第一洗涤支撑件(未图标)及第一洗涤组件(未图标)。第一洗涤/干燥腔室612可以具有控制显示器10的位置的第二机器人640b及第一洗涤支撑件。第一洗涤组件从显示器10去除第一光可固化流体30的未固化部分，如图3D所示并且在上文描述。
LED显示器制造工具60还具有第二洗涤/干燥腔室614，该第二洗涤/干燥腔室包括用于固持显示器10的第二洗涤支撑件(未图标)及第二洗涤组件(未图标)。第二洗涤/干燥腔室614可以具有控制器显示器10的位置的第四机器人640d及第二洗涤支撑件。第二洗涤组件从显示器10去除第二光可固化流体的未固化部分，如图3D所示并且在上文描述。第二洗涤/干燥腔室614与本文描述的其他腔室独立可密封。
类似地，LED显示器制造工具600具有第三洗涤/干燥腔室616，该第三洗涤/干燥腔室包括用于固持显示器10的第三洗涤支撑件(未图标)及第三洗涤组件(未图标)。第三洗涤/干燥腔室616可以具有控制显示器10的位置的第四机器人640f及第三洗涤支撑件。第三洗涤组件从显示器10去除第三光可固化流体的未固化部分，如图3D所示并且在上文描述。第三洗涤/干燥腔室616与本文描述的其他腔室独立可密封。
LED显示器制造工具600具有经构造为顺序地穿过各个腔室传递工件的工件(显示器10)运输系统。工件运输系统可以例如由位于第一分配腔室602中的第一机器人640a提供。类似机器人可以在每个腔室中。例如，第一洗涤/干燥腔室612可以具有第二机器人640b，第二分配腔室604可以具有第三机器人640c，第二洗涤/干燥腔室可以具有第四机器人640d，第三分配腔室606可以具有第五机器人640e，并且第三洗涤/干燥腔室606可以具有第六机器人640f。
例如，由操作人员或机器人640a将显示器10放置在第一装载锁定腔室608中，如由箭头620所示。第一装载锁定腔室608可以由阀(例如，狭缝阀)耦接到第一分配腔室602，可以穿过该阀传递工件。
由第一机器人640a将工件从第一装载锁定腔室608移动到第一分配腔室602中。第一分配腔室602处理工件。第一机器人640a将工件移动到实质上类似于先前论述的隔离部件的第一隔离部件618a。第一隔离部件618a将第一分配腔室602连结到第一固化腔室654a。第一机器人640a穿过第一隔离部件618a将显示器10从第一分配腔室602移动到第一固化腔室654a。显示器10在箭头622的方向上移动到下一顺序腔室。
实质上类似于先前论述的隔离部件的第六隔离部件618f将第一固化腔室654a连结到第一洗涤/干燥腔室612。第七机器人640g将工件穿过第六隔离部件618f从第一固化腔室654a移动到第一洗涤/干燥腔室612。
第二隔离部件618b将第一洗涤/干燥腔室612连结到第二分配腔室604。第七机器人640g或第二机器人640b将显示器10穿过第二隔离部件618b从第一洗涤/干燥腔室612移动到第二分配腔室604。对第二分配腔室604中的工件执行工作工艺。
第三隔离部件618c将第二分配腔室604连结到第二固化腔室654b。第三机器人640c将显示器10从第二分配腔室604穿过第三隔离部件618c移动到第二固化腔室654b。
第七隔离部件618g将第二固化腔室654b连结到第二洗涤/干燥腔室614。第八机器人640h或第四机器人640d将显示器10从第二固化腔室654a穿过第六隔离部件618g移动到第二洗涤/干燥腔室614。
第四隔离部件618d将第二洗涤/干燥腔室614连结到第三分配腔室606。第四机器人640d或第五机器人640e将显示器10从第二洗涤/干燥腔室614穿过第四隔离部件618d移动到第三分配腔室606。显示器10可以由第五机器人640e在第三分配支撑件628c上的第三分配腔室606内移动。
第五隔离部件618e将第三分配腔室606连结到第三固化腔室654c。第九机器人640i或第五机器人640e将显示器10从第三分配腔室606穿过第五隔离部件618e移动到第三固化腔室654c。
第七隔离部件618h将第三固化腔室654b连结到第三洗涤/干燥腔室616。第六机器人640f或第九机器人640i将显示器10从第三固化腔室654c穿过第七隔离部件618h移动到第三洗涤/干燥腔室616。
机器人640f将显示器10移动到第二装载锁定腔室610。显示器10在第三洗涤/干燥腔室616内移动到第二装载610，随后在箭头624的方向上离开第二装载610。
控制器626操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统串行地穿过第一分配腔室602、第一固化腔室654a、第一洗涤/干燥腔室612、第二分配腔室604、第二固化腔室654b、第二洗涤/干燥腔室614、第三分配腔室606、第三固化站654c、及第三洗涤/干燥腔室616顺序地移动显示器10。
如图7所示，LED显示器制造工具700顺序地处理微型LED显示器10。类似于LED显示器制造工具500，显示器制造工具700经构造为允许在每个分配腔室及洗涤/干燥腔室处装载/卸除显示器。然而，显示器制造工具700具有分离、独立密封的分配腔室、固化腔室、及洗涤/干燥腔室。具有与分配腔室分离且隔离的固化腔室可以减少缺陷风险。
LED显示器制造工具700可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器726。LED显示器制造工具700的各个腔室及站实质上类似于较早描述的腔室及站。
LED显示器制造工具700包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的第一分配腔室702，但具有用于控制显示器10的位置的第一机器人740a。第一分配腔室702耦接到第一装载/卸除锁定腔室708a。第一机器人740a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室702。
LED显示器制造工具700具有实质上类似于第一分配腔室702的第二分配腔室704，具有用于控制显示器10的位置的第三机器人740c。第二分配腔室704耦接到第二装载/卸除锁定腔室708b，若需要，第三机器人740c可以穿过该第二装载/卸除锁定腔室插入或移除工件。
LED显示器制造工具700可以具有实质上类似于第一分配腔室702及第二分配腔室704的第三分配腔室706，具有用于控制显示器10的位置的第五机器人740e。第三分配腔室706耦接到第三装载/卸除锁定腔室708c。第五机器人740e穿过第三装载/卸除锁定腔室708c装载、卸除、及搬运显示器10进出第三分配腔室706。
LED显示器制造工具700还包括实质上类似于较早描述的固化腔室的第一固化腔室754a，但具有第七机器人740g。第一固化腔室754a耦接到第七装载/卸除锁定腔室708g。第七机器人740g穿过第七装载/卸除锁定腔室708g装载、卸除、及搬运显示器10进出第一固化腔室754a。
LED显示器制造工具700还包括具有实质上类似于较早论述的机器人的第八机器人740h的第二固化腔室754b。另外，第二固化腔室754b类似于较早描述的第一固化站。第二固化腔室754b耦接到第八装载/卸除锁定腔室708h。第八机器人740h穿过第八装载/卸除锁定腔室708h装载、卸除、及搬运显示器10进出第二固化腔室754b。
LED显示器制造工具700还包括具有实质上类似于较早论述的机器人的第九机器人740i的第三固化腔室754c。第三固化腔室754c耦接到第九装载/卸除锁定腔室708i。第九机器人740i穿过第九装载/卸除锁定腔室708i装载、卸除、及搬运显示器10进出第三固化腔室754c。
LED显示器制造工具700具有实质上类似于较早描述的第一洗涤/干燥腔室412的第一洗涤/干燥腔室712，但具有第二机器人740b。第一洗涤/干燥腔室712耦接到第四装载/卸除锁定腔室708d。第二机器人740b穿过第四装载/卸除锁定腔室708d装载、卸除、及搬运显示器10进出第一洗涤/干燥腔室712。
LED显示器制造工具700还具有实质上类似于较早描述的第一洗涤/干燥腔室412的第二洗涤/干燥腔室714，但具有第四机器人740d。第二洗涤/干燥腔室714耦接到第五装载/卸除锁定腔室708e。第四机器人740d穿过第五装载/卸除锁定腔室708e装载、卸除、及搬运显示器10进出第二洗涤/干燥腔室714。
类似地，LED显示器制造工具700具有实质上类似于较早描述的第一洗涤/干燥腔室412的第三洗涤/干燥腔室716，但具有第六机器人740f。第三洗涤/干燥腔室614耦接到第六装载/卸除锁定腔室708f。第六机器人740f穿过第六装载/卸除锁定腔室708f装载、卸除、及搬运显示器10进出第三洗涤/干燥腔室716。
第一分配腔室702可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器726。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。同样，第二分配腔室704可以包括第二检查传感器438b并且第三分配腔室706可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第三检查传感器438c。
第一分配腔室702可以包括实质上类似于较早论述的第一环境传感器的用于监控第一分配腔室702内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器438a。第一环境传感器438a将表示第一分配腔室702的条件的信号发送到控制器726。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
同样，第二分配腔室704可以包括第二环境传感器438b。第三分配腔室706可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器438a的第三环境传感器438c。此外，第一洗涤/干燥腔室712可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第一洗涤/干燥腔室712的条件的第四环境传感器436d。此外，第二洗涤/干燥腔室714可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第二洗涤/干燥腔室714的条件的第五环境传感器436e。第三洗涤/干燥腔室416可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第三洗涤/干燥腔室416的条件的第六环境传感器43f。
LED显示器制造工具700具有经构造为顺序地穿过各个腔室传递工件的工件(显示器10)运输系统。工件运输系统可以例如由位于第一分配腔室402中的第一机器人740a提供。类似机器人可以在每个腔室中。例如，第一洗涤/干燥腔室412可以具有第二机器人740b，第二分配腔室404可以具有第三机器人740c，第二洗涤/干燥腔室可以具有第四机器人740d，第三分配腔室406可以具有第五机器人740e，并且第三洗涤/干燥腔室406可以具有第六机器人740f。
例如，由操作人员或机器人740a将显示器10放置在第一装载/卸除锁定腔室708a中，如由箭头720a所示。第一装载/卸除锁定腔室708a由先前描述的阀耦接到第一分配腔室702。
在箭头720a的方向上由第一分配支撑件428a上的第一机器人740a将工件从第一装载/卸除锁定腔室708a移动到第一分配腔室702中。例如，机器人740a可以穿过开口狭缝阀到达以从第一装载/卸除锁定腔室708a取回工件。第一分配腔室执行工件内含有的工作工艺。工件从第一分配腔室702移动到第一隔离部件718a。若需要，工件在箭头720b的方向上由第一机器人740a从第一分配腔室702移动到第一装载/卸除锁定腔室708a。
第一隔离部件718a将第一分配腔室702连结到第一固化腔室754a。第一机器人740a或第七机器人740g将显示器10从第一分配腔室702穿过第一隔离部件718a移动到第一固化腔室754a。第一隔离部件718a实质上类似于较早描述的隔离部件。第七机器人740g将工件从第一隔离部件718a移动到第七装载/卸除锁定腔室708g中。
第七机器人740g将工件从第七装载/卸除锁定腔室708g移动到第一固化腔室754a中。第一固化腔室754a固化工件。若需要，工件在箭头558b的方向上由第七机器人740g从第一固化腔室754a移动到第七装载/卸除锁定腔室708g。工件可以在箭头758a的方向上穿过第七装载/卸除锁定腔室708g放置到第一固化腔室754a中。第七机器人740g在箭头722的方向上将工件从第一固化腔室754a移动到第六隔离部件718f中。
第六隔离部件718f将第一固化腔室754a连结到第一洗涤/干燥腔室712。第七机器人740g或第二机器人740b将显示器10从第一固化腔室754a穿过第一隔离部件718f移动到第一洗涤/干燥腔室712。第六隔离部件718f实质上类似于较早描述的隔离部件。显示器10在箭头722的方向上移动到下一顺序腔室。
第二机器人740b将工件从第六隔离部件718f移动到第一洗涤/干燥腔室712中。第一洗涤/干燥腔室712清洗并且干燥工件。若需要，工件在箭头744b的方向上由第二机器人740b从第一洗涤/干燥腔室712移动到第四装载/卸除锁定腔室708d。工件可以在箭头744a的方向上穿过第四装载/卸除锁定腔室708d放置到第一洗涤/干燥腔室712中。第二机器人740b将工件从第一洗涤/干燥腔室712移动到第二隔离部件718b。
第二隔离部件718b将第一洗涤/干燥腔室712连结到第二分配腔室704。显示器10可以由第二机器人740b或第三机器人740c从第二隔离部件718b移动到第二分配腔室704中。如由箭头746a所示，由第三机器人740c将显示器10移动到第二分配腔室704中。随后，工件由第三机器人740c在第二分配腔室704内移动。第二分配腔室704执行显示器10内含有的工作工艺。若需要，工件在箭头546b的方向上由第三机器人740c从第二分配腔室704移动到第二装载/卸除锁定腔室708b。工件可以在箭头546a的方向上穿过第二装载/卸除锁定腔室708b放置到第二分配腔室704中。工件从第二分配腔室704移动到第三隔离部件718c
第三机器人740c。第三机器人740c穿过第三隔离部件718c移动工件。
第三隔离部件718c将第二分配腔室704连结到第二固化腔室754b。第三机器人740c或第八机器人740h将显示器10从第二分配腔室704穿过第三隔离部件718c移动到第二固化腔室754b并且到第二固化腔室754b中。第二固化腔室754b固化工件。若需要，工件在箭头760b的方向上由第八机器人740h从第二固化腔室754b移动到第八装载/卸除锁定腔室708h。工件可以在箭头760a的方向上穿过第八装载/卸除锁定腔室708h放置到第二固化室754b中。第八机器人740h穿过第七隔离部件718g从第二固化腔室754b移动工件。
第七隔离部件718g将第二固化腔室754h连结到第二洗涤/干燥腔室714。由第四机器人740d将显示器10移动到第二洗涤/干燥腔室714中。第二洗涤/干燥腔室714洗涤显示器10。若需要，工件在箭头550b的方向上由第四机器人740d从第二洗涤/干燥腔室714移动到第五装载/卸除锁定腔室708e。工件可以在箭头550a的方向上穿过第五装载/卸除锁定腔室708e放置到第二洗涤/干燥腔室714中。工件由第四机器人740d从第二洗涤/干燥腔室714移动到第四隔离部件718d。
第四隔离部件718d将第二洗涤/干燥腔室714连结到第三分配腔室706。显示器10可以由第四机器人740d或第五机器人740e从第四隔离部件718d移动到第三分配腔室706中。如由箭头750a所示，由第五机器人740e将显示器10移动到第三分配腔室706中。随后工件由第五机器人740e在第三分配腔室706内移动。第三分配腔室706执行显示器10上的工作工艺。若需要，工件在箭头750b的方向上由第五机器人540e从第三分配腔室706移动到第三装载/卸除锁定腔室708c。工件可以在箭头750a的方向上穿过第三装载/卸除锁定腔室708c放置到第三分配腔室706中。由第五机器人740e将工件从第三分配腔室706移动到第五隔离部件718e。
第五隔离部件718e将第三分配腔室706连结到第三固化腔室754c。第九机器人740i将显示器10从第三分配腔室706穿过第五隔离部件718e移动到第三固化腔室754c并且到第三固化腔室754c中。第三固化腔室754c固化工件。若需要，工件在箭头762b的方向上由第九机器人740i从第三固化腔室754c移动到第九装载/卸除锁定腔室708i。工件可以在箭头765a的方向上穿过第九装载/卸除锁定腔室708i放置到第三固化室754c中。第九机器人740i将工件从第三固化腔室754c移动到第八隔离部件718h。
第八隔离部件718h将第三固化腔室754c连结到第三洗涤/干燥腔室716。由第六机器人740f将显示器10移动到第三洗涤/干燥腔室716中。第三洗涤/干燥腔室716洗涤显示器10。若需要，工件可以在箭头754a的方向上穿过第六装载/卸除锁定腔室708f放置到第三洗涤/干燥腔室716中。工件由第六机器人740f从第三洗涤/干燥腔室716移动到第六装载/卸除锁定腔室708f。第六机器人740f在箭头752a的方向上利用机器人740f或由操作人员穿过第六装载/卸除锁定腔室708f从第三洗涤/干燥腔室716移动工件。
控制器726操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过第一分配腔室702、第一洗涤/干燥腔室712、第二分配腔室704、第二洗涤/干燥腔室714、第三分配腔室706、及第三洗涤/干燥腔室716顺序地移动显示器10。额外腔室和/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图8所示，LED显示器制造工具800处理微型LED显示器10，其中处理腔室以群集的序列布置。每个分配腔室由装载/卸除腔室与其相应洗涤/干燥腔室及后续分配腔室群集。LED显示器制造工具800可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器826。
LED显示器制造工具800包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第一分配腔室802。第一分配腔室402与稍后描述的其他腔室独立可密封。第一分配腔室802还包括用于固化显示器10以在显示器10上的LED的第一集合上方形成第一颜色转换层的第一固化站834a，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。第一固化站834a实质上类似于较早描述的固化站。第一分配腔室802包括用于在第一分配腔室802内移动工件的第一机器人840a。
LED显示器制造工具800包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第二分配腔室804。第二分配腔室804与稍后描述的其他腔室独立可密封。第二分配腔室804还包括用于固化显示器10以在显示器10上的LED的第一集合上方形成第二颜色转换层的第二固化站834b，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。在一些实例中，第二分配支撑件828b可以进入并且离开第二固化站834b以移动显示器10。第二固化站834b实质上类似于较早描述的固化站。第二分配腔室804包括用于在第二分配腔室804内移动工件的第二机器人840c。
LED显示器制造工具800包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第三分配腔室806。第三分配腔室806与稍后描述的其他腔室独立可密封。第三分配腔室806还包括用于固化显示器10以在显示器10上的LED的第一集合上方形成第三颜色转换层的第三固化站834c，如较早描述并且在图3B至图3C中图示。第三固化站834c实质上类似于较早描述的固化站。第三分配腔室806包括用于在第三分配腔室804内移动工件的第五机器人840e。
LED显示器制造工具800包括第一洗涤/干燥腔室812。第一洗涤/干燥腔室包括用于移动工件进出并且在第一洗涤/干燥腔室812内移动工件的第二机器人840b。第一洗涤/干燥腔室实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室。第一洗涤/干燥腔室812与本文描述的其他腔室独立可密封。LED显示器制造工具800还具有第二洗涤/干燥腔室814，该第二洗涤/干燥腔室包括用于移动工件进出并且在第二洗涤/干燥腔室814内移动工件的第四机器人840d。第二洗涤/干燥腔室实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室。第二洗涤/干燥腔室814与本文描述的其他腔室独立可密封。
类似地，LED显示器制造工具800具有第三洗涤/干燥腔室816，该第三洗涤/干燥腔室包括用于移动工件进出并且在第三洗涤/干燥腔室816内移动工件的第六机器人840f。第三洗涤/干燥腔室实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室。第三洗涤/干燥腔室816与本文描述的其他腔室独立可密封。
第一分配腔室802可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器826。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。同样，第二分配腔室804可以包括第二检查传感器438b并且第三分配腔室806可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第三检查传感器438c。
第一分配腔室802可以包括用于监控第一分配腔室802内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示第一分配腔室802的条件的信号发送到控制器826。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
同样，第二分配腔室804可以包括第二环境传感器436b。第三分配腔室806可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器436a的第三环境传感器436c。此外，第一洗涤/干燥腔室812可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第一洗涤/干燥腔室812的条件的第四环境传感器436d。第二洗涤/干燥腔室814可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第二洗涤/干燥腔室814的条件的第五环境传感器436e。第三洗涤/干燥腔室816可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第三洗涤/干燥腔室816的条件的第六环境传感器436f。
第一装载/卸除锁定腔室808a外部耦接并且位于第一分配腔室802、第一洗涤/干燥腔室812、及第二分配腔室804之间。第七机器人840g将显示器10装载及处置到第一装载锁定腔室808a中，并且随后在第一分配腔室802、第一洗涤/干燥腔室812、及第二分配腔室804之间。若需要，工件在箭头820b的方向上由第七机器人840g从第一装载/卸除锁定腔室808a移动。工件可以在箭头820a的方向上放置到第一装载/卸除锁定腔室808a中。
第二装载/卸除锁定腔室808b外部耦接并且位于第二分配腔室804、第二洗涤/干燥腔室814、及第三分配腔室806之间。第八机器人840h将显示器10装载及处置到第二装载锁定腔室808b中，并且随后在第二分配腔室804、第二洗涤/干燥腔室814、及第三分配腔室806之间。若需要，工件在箭头846b的方向上由第八机器人840h从第二装载/卸除锁定腔室808b移动。工件可以在箭头846a的方向上放置到第二装载/卸除锁定腔室808b中。
第三装载/卸除锁定腔室808c外部耦接并且位于第三分配腔室806与第三洗涤/干燥腔室816之间。第九机器人840i将显示器10装载及处置到第三装载锁定腔室808c中，并且随后到第三分配腔室806及第三洗涤/干燥腔室816中。若需要，工件在箭头850b的方向上由第九机器人840i从第三装载/卸除锁定腔室808c移动。工件可以在箭头850a的方向上放置到第三装载/卸除锁定腔室808b中。
第一装载/卸除锁定腔室808a可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第七检查传感器838g。第七检查传感器838g将表示第一工件的条件的信号发送到控制器826。第七检查传感器838g可以包括多个传感器。例如，第七检查传感器838g可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。同样，第二装载/卸除锁定腔室808b可以包括第八检查传感器838h并且第三装载/卸除锁定腔室808c可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第九检查传感器838i。
第一装载/卸除锁定腔室808a可以包括用于监控第一装载/卸除锁定腔室808a内部的一个或多个环境条件的第七环境传感器836g。第七环境传感器838g将表示第一装载/卸除锁定腔室808a的条件的信号发送到控制器826。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
LED显示器制造工具800具有经构造为穿过各个腔室顺序地传递工件的工件(显示器10)运输系统。工件运输系统可以例如由位于第一分配腔室802中的第一机器人840a、及在后续腔室中的类似机器人提供。例如，由操作人员或机器人840g将显示器10放置在第一装载/卸除锁定腔室808a中，如由箭头820a所示。第一装载/卸除锁定腔室808a可以由阀818a(例如，狭缝阀)耦接到第一分配腔室802、第一洗涤/干燥腔室812、及第二分配腔室804，可以穿过该阀传递工件。
由第一机器人840a或第七机器人840g将工件从第一装载/卸除锁定腔室808a移动到第一分配腔室802中。例如，第一机器人840a可以穿过开口狭缝阀818b到达以从第一装载/卸除锁定腔室808a取回工件。或者，第七机器人840g可以穿过开口狭缝阀818b到达以将工件放置在第一分配腔室802中。第一分配腔室执行工件上的各个工作工艺。随后，第一机器人840a或第七机器人840g将工件传送回到第一装载/卸除锁定腔室808a中。第七机器人840g将工件传送到第一洗涤/干燥腔室812，该第一洗涤/干燥腔室耦接到第一装载/卸除锁定腔室808a。第一洗涤/干燥腔室812洗涤并且干燥工件。在任何腔室处，相应机器人可以将工件定位在相应传感器的检测范围内以感测工件的条件。第一洗涤/干燥腔室812第二机器人840b将工件传送回到第一装载/卸除锁定腔室808a。第七机器人840g可以随后将工件传送到第二分配腔室804或传送出第一装载/卸除锁定腔室808a。所描述的此操作可以被称为群集操作。在此情况下，这是在均由第一装载/卸除锁定腔室808a耦接的第一分配腔室802、第一洗涤/干燥腔室812、及第二分配腔室804中的一系列群集操作。此也可以被称为第一群集。
第七机器人840g或第三机器人840c将显示器10从第一装载/卸除锁定腔室808a移动到第二分配腔室804。显示器10在箭头822的方向上移动到下一顺序腔室。第三机器人840c或第八机器人840h在箭头822的方向上将工件从第二分配腔室804a移动到第二装载/卸除锁定腔室808b中。
由第三机器人840c或第八机器人840h将工件从第二装载/卸除锁定腔室808b移动到第二分配腔室804中。例如，第三机器人840c可以穿过开口狭缝阀到达以从第二装载/卸除锁定腔室808b取回工件。或者，第八机器人840h可以穿过开口狭缝阀到达以将工件放置在第二分配腔室804中。第二分配腔室执行工件上的各个工作工艺。随后，第三机器人840c或第八机器人840h将工件传送回到第二装载/卸除锁定腔室808b中。第八机器人840h将工件传送到第二洗涤/干燥腔室814，该第二洗涤/干燥腔室耦接到第二装载/卸除锁定腔室808b。第二洗涤/干燥腔室814洗涤工件。在任何腔室处，相应机器人可以将工件定位在相应传感器的侦测范围内以感测工件的条件。第二洗涤/干燥腔室814第四机器人840d将工件传送回到第二装载/卸除锁定腔室808b。第八机器人840h可以随后在箭头846b的方向上将工件传送到第三分配腔室806或传送出第二装载/卸除锁定腔室808b。所描述的此操作可以被称为如先前描述的第二群集。在此情况下，这是在均由第二装载/卸除锁定腔室808b耦接的第二分配腔室804、第二洗涤/干燥腔室814、及第三分配腔室806中的一系列群集操作。
第三分配腔室806连结到第三装载/卸除锁定腔室808c。第九机器人840i将显示器10从第三分配腔室806移动到第三装载/卸除锁定腔室808c。显示器10在方向箭头822上由第九机器人840i移动到第三装载/卸除锁定腔室808c中。显示器10由第九机器人840i在第二装载/卸除腔室808b内移动。
工件从第三装载/卸除锁定腔室808c移动到第三分配腔室806中，例如，第五机器人840e可以穿过开口狭缝阀到达以从第三装载/卸除锁定腔室808c取回工件。或者，第五机器人840i可以穿过开口狭缝阀到达以将工件放置在第三分配腔室806中。第三分配腔室806执行工件上的各个工作工艺。随后，第五机器人840e或第九机器人840i将工件传送回到第三装载/卸除锁定腔室808c中。第九机器人840i将工件传送到第三洗涤/干燥腔室816，该第三洗涤/干燥腔室耦接到第三装载/卸除锁定腔室808c。第三洗涤/干燥腔室816洗涤工件。在任何腔室处，相应机器人可以将工件定位在相应传感器的检测范围内以感测工件的条件。第三洗涤/干燥腔室816第六机器人840f将工件传送回到第三装载/卸除锁定腔室808c。第九机器人840i可以随后在箭头850b的方向上将工件传送出第三装载/卸除锁定腔室808c。所描述的此操作可以被称为如先前描述的第三群集。在此情况下，这是在均由第三装载/卸除锁定腔室808c耦接的第三分配腔室806及第三洗涤/干燥腔室816中的一系列群集操作。
控制器826操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统以群集方式顺序地穿过第一分配腔室802、第一洗涤/干燥腔室812、第二分配腔室804、第二洗涤/干燥腔室814、第三分配腔室806、及第三洗涤/干燥腔室816顺序地移动显示器10，当在两个处理腔室之间投送时若必要，则穿过装载锁定腔室传递。
如图9所示，类似于LED显示器制造工具800，LED显示器制造工具900处理微型LED显示器10来以群集方式顺序地沉积颜色转换层，但具有多个子群集，其中每个子群集经构造为装载及卸除、分配、固化、及洗涤/干燥不同颜色的微型LED。每个子群集随后在单个中央装载/卸除锁定腔室周围群集。针对每个子群集，每个处理腔室(例如，分配腔室、第一洗涤/干燥站、及固化腔室)由隔离部件918a(例如，阀，诸如狭缝阀，可以穿过该阀传递工件)耦接到子群集的装载锁定腔室。子群集的每个装载锁定腔室由隔离部件918b(例如，阀，诸如狭缝阀，可以穿过该阀传递工件)耦接到工具的中央装载锁定腔室908d。工件可以由隔离部件918c(例如，阀，诸如狭缝阀)从外部环境(例如，清洁室)装载到中央装载锁定腔室908d中及从中央装载锁定腔室908d卸除到外部环境。LED显示器制造工具900可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器926。
第一子群集964包括第一分配腔室902、第一洗涤站912、第一固化站954a、及第一装载/卸除锁定腔室908a。LED显示器制造工具900的第一子群集964包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的具有第一机器人940a的第一分配腔室904。第一分配腔室902耦接到第一装载/卸除锁定腔室908a。第一装载/卸除锁定腔室908a具有用于装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室902的第十机器人940j。
第一分配腔室902可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器926。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
第一分配腔室902可以包括用于监控第一分配腔室902内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示第一分配腔室902的条件的信号发送到控制器926。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
LED显示器制造工具900的第一子群集964还包括实质上类似于较早描述的第一固化站的第一固化腔室954a及机器人940g。第一固化腔室954a耦接到第一装载/卸除锁定腔室908a。第一固化腔室954a具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第一环境传感器636a。第一固化腔室654a还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第一检查传感器638a。
第一子群集964还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的第一洗涤/干燥腔室912。第一洗涤/干燥腔室912耦接到第一装载/卸除锁定腔室908a。第十机器人940j从第一装载/卸除锁定腔室908a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一洗涤/干燥腔室912。第十机器人940j从第一装载/卸除锁定腔室908a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室902、第一固化腔室912、及第一洗涤/干燥腔室912。此外，第一洗涤/干燥腔室912可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第一洗涤/干燥腔室912的条件的第四环境传感器436d。第一洗涤/干燥腔室912可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第四检查传感器438d。
第一装载/卸除锁定腔室908a可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第七检查传感器838g。第七检查传感器838g将表示第一工件的条件的信号发送到控制器926。第七检查传感器838g可以包括多个传感器。例如，第七检查传感器838g可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
第一装载/卸除锁定腔室808a可以包括用于监控第一装载/卸除锁定腔室808a内部的一个或多个环境条件的第七环境传感器836g。第七环境传感器838g将表示第一装载/卸除锁定腔室808a的条件的信号发送到控制器826。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
第二子群集966包括第二分配腔室904、第二洗涤站914、第二固化站954b、及第二装载/卸除锁定腔室908b。
LED显示器制造工具900的第二子群集966包括实质上类似于较早论述的分配腔室的具有第三机器人940c的第二分配腔室904。第二分配腔室902耦接到第二装载/卸除锁定腔室908b。第三机器人940c从第二装载/卸除锁定腔室908b装载、卸除、及搬运显示器10进出第二分配腔室904。
第二分配腔室904可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第二检查传感器438b。同样，第二分配腔室904可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器436a的第二环境传感器436b。
LED显示器制造工具900第二子群集966还包括实质上类似于较早描述的固化站的第二固化腔室954b及机器人940h。第二固化腔室954b耦接到第二装载/卸除锁定腔室908b。第二固化腔室954b具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第二环境传感器636b。第二固化腔室654b还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第二检查传感器638b。
LED显示器制造工具900第二子群集966还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第四机器人940d的第二洗涤/干燥腔室914。第四机器人940d从第二装载/卸除锁定腔室908b装载、卸除、及搬运显示器10进出第二洗涤/干燥腔室914。第二洗涤/干燥腔室914耦接到第二装载/卸除锁定腔室908b。第二洗涤/干燥腔室914可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第二洗涤/干燥腔室914的条件的第五环境传感器436e。第二洗涤/干燥腔室914可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第五检查传感器438e。
第十一机器人940k从第二装载/卸除锁定腔室908b装载、卸除、及搬运显示器10进出第二分配腔室904、第二固化腔室954b、及第二洗涤/干燥腔室914。第二装载/卸除锁定腔室908b可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第八检查传感器838h。第二装载/卸除锁定腔室908b可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第二装载/卸除锁定腔室908b的条件的第八环境传感器436h。
第三子群集968包括第三分配腔室906、第三洗涤站916、第三固化站954c、及第三装载/卸除锁定腔室908c。第三分配腔室906实质上类似于较早论述的分配腔室。第三分配腔室906包括用于控制显示器10的位置的第五机器人940e。第三分配腔室906可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第三检查传感器438c。第三分配腔室906可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器436a的第三环境传感器436c。第三分配腔室906耦接到第三装载/卸除锁定腔室908c。第五机器人940e从第三装载/卸除锁定腔室908c装载、卸除、及搬运显示器10进出第三分配腔室906。
第三固化腔室954c包括实质上类似于较早描述的固化站的机器人940i。第三固化腔室954c耦接到第三装载/卸除锁定腔室908c。第三固化腔室954c还可以具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第三环境传感器636c。第三固化腔室654c还可以具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第三检查传感器638c。
第三洗涤/干燥腔室916实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室。第三洗涤/干燥腔室916可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第三洗涤/干燥腔室916的条件的第六环境传感器436f。第三洗涤/干燥腔室916还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第六检查传感器638f。
第三洗涤/干燥腔室916耦接到第三装载/卸除锁定腔室908c。第六机器人940f从第三装载/卸除锁定腔室908c装载、卸除、及搬运显示器10进出第三洗涤/干燥腔室916。机器人940m装载、卸除、及处置第三子群集968内的工件。第三装载/卸除锁定腔室908c可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第九检查传感器838i。第三装载/卸除锁定腔室908c可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第三装载/卸除锁定腔室908c的条件的第九环境传感器436i。
LED显示器制造工具900包括第四装载/卸除锁定腔室908d。第四装载/卸除锁定腔室908d具有第十四机器人940n，该第十四机器人装载、卸除、及搬运显示器10进出第一装载/卸除锁定腔室908a、第二装载/卸除锁定腔室908b、及第三装载/卸除锁定腔室908c。例如，由操作人员或机器人940n将显示器10放置到第四装载/卸除锁定腔室908d中，如由箭头920a所示。例如，由操作人员或机器人940n将显示器10从第四装载锁定腔室908d移除，如由箭头9420b所示。
第四装载/卸除锁定腔室908d可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第一检查传感器938a。第四装载/卸除锁定腔室908d可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第四装载/卸除锁定腔室908d的条件的第一环境传感器936a。
控制器926操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过第一分配腔室902、第一洗涤/干燥腔室912、第二分配腔室904、第二洗涤/干燥腔室914、第三分配腔室906、及第三洗涤/干燥腔室916顺序地移动显示器10，若必要则穿过一个或多个装载锁定腔室传递。
在群集构造的一些实施方式中，显示器10可以基于工艺调度于不同腔室处理(非连续处理)。例如，显示器10可以在首先在第二子群集966中处理，其次在第三子群集968中处理并且再然后在第一子群集964中处理。额外腔室和/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图10所示，LED显示器制造工具1000布置有呈群集构造的腔室，并且经构造为处理微型LED显示器10以顺序或非顺序地沉积颜色转换层。LED显示器制造工具1000类似于LED显示器制造工具900，但具有单个中央装载/卸除锁定腔室1008而非多个子群集，并且具有通用固化站1054。通用固化腔室可以在分配之后用于固化，而与颜色转换材料无关。若在固化工艺期间在颜色之间存在极少或不存在交叉污染，则可以使用通用固化腔室，或若其他部件不能跟上生产速率，则通用固化腔室可以用作缓冲器。如与每种颜色具有分离的固化腔室相比，此构造的优点是减少的占据面积及减少的成本。
每个处理腔室(例如，三个分配腔室、三个洗涤/干燥腔室、及通用固化腔室)由隔离部件1018a(例如，阀，诸如狭缝阀，可以穿过该阀传递工件)耦接到中央装载锁定腔室1008。可以穿过其传递工件的隔离部件1018b(例如，阀，诸如狭缝阀)将中央装载锁定腔室1018与外部环境(例如，清洁室)分离。LED显示器制造工具1000可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器1026。
LED显示器制造工具1000包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的具有第一机器人1040a的第一分配腔室1004。第一分配腔室1002耦接到中央装载/卸除锁定腔室1008。第一机器人1040a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室1002通用装载/卸除锁定腔室1008。
第一分配腔室1002可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器1026。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
第一分配腔室1002可以包括用于监控第一分配腔室1002内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示第一分配腔室1002的条件的信号发送到控制器1026。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
LED显示器制造工具1000还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的第一洗涤/干燥腔室1012。第一洗涤/干燥腔室1012具有用于在第一洗涤/干燥腔室1012内定位工件的第二机器人1040b。第一洗涤/干燥腔室1012耦接到第一装载/卸除锁定腔室1008。第二机器人1040b从通用装载/卸除锁定腔室1008装载、卸除、及搬运显示器10进出第一洗涤/干燥腔室1012。此外，第一洗涤/干燥腔室1012可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第一洗涤/干燥腔室1012的条件的第四环境传感器436d。第一洗涤/干燥腔室1012可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第四检查传感器438d。
LED显示器制造工具1000包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第二分配腔室1004。第二分配腔室1004包括用于控制显示器10的位置的机器人1040c。第二分配腔室1002耦接到通用装载/卸除锁定腔室1008。机器人1040c从通用装载/卸除锁定腔室1008装载、卸除、及搬运显示器10进出第二分配腔室1004。第二分配腔室1004可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第二检查传感器438b。同样，第二分配腔室1004可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器436a的第二环境传感器436b。
LED显示器制造工具1000还具有带有第四机器人1040d的第二洗涤/干燥腔室1014并且实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室。第二洗涤/干燥腔室1014耦接到装载/卸除锁定腔室1008。第四机器人1040d从通用装载/卸除锁定腔室1008装载、卸除、及搬运显示器10进出第二洗涤/干燥腔室1014。第二洗涤/干燥腔室1014可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第二洗涤/干燥腔室1014的条件的第五环境传感器436e。第二洗涤/干燥腔室1014可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第五检查传感器438e。
LED显示器制造工具1000包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第三分配腔室1006。第三分配腔室1006包括用于控制显示器10的位置的第五机器人1040e。第三分配腔室1006耦接到装载/卸除锁定腔室1008。第五机器人1040e从通用装载/卸除锁定腔室1008装载、卸除、及搬运显示器10进出第三分配腔室1006。第三分配腔室1006可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第三检查传感器438c。第三分配腔室1006可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器436a的第三环境传感器436c。
LED显示器制造工具1000还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第六机器人1040f的第三洗涤/干燥腔室1016。第三洗涤/干燥腔室1016耦接到装载/卸除锁定腔室1008。第六机器人1040f从通用装载/卸除锁定腔室1008装载、卸除、及搬运显示器10进出第三洗涤/干燥腔室1016。第三洗涤/干燥腔室1016可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第三洗涤/干燥腔室1016的条件的第六环境传感器436f。第三洗涤/干燥腔室1016还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第六检查传感器638f。
LED显示器制造工具1000还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第七机器人1040g的通用固化腔室1054。通用固化腔室1054耦接到装载/卸除锁定腔室1008。通用固化腔室1054可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控通用固化腔室1054的条件的第一环境传感器1036a。通用固化腔室1054还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第一检查传感器1038a。
第八机器人1040h从通用装载/卸除锁定腔室1008装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室1002、第一洗涤/干燥腔室1012、第二分配腔室1004、第二洗涤站1014、第三分配腔室1006、第三洗涤/干燥腔室1016、及通用固化腔室1054。例如，由操作人员或第八机器人1040h将显示器10放置到通用装载/卸除锁定腔室1008中，如由箭头1020a所示。例如，由操作人员或机器人1040a将显示器10从通用装载/卸除锁定腔室1008移除，如由箭头1020b所示。通用装载/卸除锁定腔室1008可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控通用装载/卸除锁定腔室1008的条件的第二环境传感器1036b。通用装载/卸除锁定腔室1008还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第二检查传感器1038b。
控制器1026操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过第一分配腔室1002、通用固化腔室1054、第一洗涤/干燥腔室1012、第二分配腔室1004、通用固化腔室1054、第二洗涤/干燥腔室1014、第三分配腔室1006、通用固化腔室1054、及第三洗涤/干燥腔室1016顺序地或非顺序地移动显示器10，当在两个处理腔室之间投送时穿过中央装载锁定腔室传递。额外腔室和/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图11所示，类似于LED显示器制造工具1000，LED显示器制造工具1100布置有呈群集构造的腔室，并且经构造为处理微型LED显示器10以顺序或非顺序地沉积颜色转换层。然而，LED显示器制造工具1100具有通用固化腔室及通用洗涤/干燥腔室。通用洗涤/干燥腔室可以在固化之后用于洗涤及干燥，而与颜色转换材料无关。若分别在固化及洗涤步骤期间在颜色之间存在极少或不存在交叉污染，则可以使用通用固化腔室及通用洗涤/干燥腔室。此外，若其他部件不能跟上生产速率，则通用固化腔室或洗涤/干燥腔室可以用作缓冲器以固持显示器。如与每种颜色具有分离的洗涤/干燥腔室相比，此构造的优点是减少的占据面积及减少的成本。
每个处理腔室(例如，三个分配腔室、通用洗涤/干燥腔室、及通用固化腔室)由隔离部件1118a(例如，阀，诸如狭缝阀，可以穿过该阀传递工件)耦接到中央装载锁定腔室1108。可以穿过其传递工件的隔离部件1118b(例如，阀，诸如狭缝阀)将中央装载锁定腔室1118与外部环境(例如，清洁室)分离。LED显示器制造工具1100可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器1126。
LED显示器制造工具1100包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的具有第一机器人1140a的第一分配腔室1102，该第一机器人用于控制显示器10的位置。第一分配腔室1102耦接到通用装载/卸除锁定腔室1108。第一机器人1140a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室1102。
第一分配腔室1102可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器1126。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
第一分配腔室1102可以包括用于监控第一分配腔室1102内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示第一分配腔室1102的条件的信号发送到控制器1126。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
LED显示器制造工具1100还包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第二分配腔室1104。第二分配腔室1104包括用于控制显示器10的位置的机器人1140c。第二分配腔室1102耦接到装载/卸除锁定腔室1108。第三机器人1140c装载、卸除、及搬运显示器10进出第二分配腔室1104。
第二分配腔室1104可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第二检查传感器438b。同样，第二分配腔室1104可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器436a的第二环境传感器436b。
LED显示器制造工具1100还包括实质上类似于较早论述的分配腔室的第三分配腔室1106。第三分配腔室1106包括用于控制显示器10的位置的机器人1140e。第三分配腔室1106耦接到装载/卸除锁定腔室1108。第五机器人1140e装载、卸除、及搬运显示器10进出第三分配腔室1106。第三分配腔室1106可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第三检查传感器438c。第三分配腔室1106可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器436a的第三环境传感器436c。
LED显示器制造工具1100还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第七机器人1140g的通用固化腔室1154。固化腔室1154耦接到装载/卸除锁定腔室1108。第七机器人1140g装载、卸除、及搬运显示器10进出通用固化腔室1154。通用固化腔室1154可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控通用固化腔室1154的条件的第一环境传感器1136a。通用固化腔室1154还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第一检查传感器1138a。
LED显示器制造工具1100还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的通用洗涤/干燥腔室1112。通用洗涤/干燥腔室1112耦接到装载/卸除锁定腔室1108。第二机器人1140b装载、卸除、及搬运显示器10进出通用洗涤/干燥腔室1112。此外，通用洗涤/干燥腔室1112可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控通用洗涤/干燥腔室1112的条件的第二环境传感器1138b。通用洗涤/干燥腔室1112可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第二检查传感器1138b。
例如，由操作人员或第八机器人1140h将显示器10放置到通用装载/卸除锁定腔室1108中，如由箭头1120a所示。例如，由操作人员或机器人1140a将显示器10从通用装载/卸除锁定腔室1108移除，如由箭头1120b所示。第八机器人1140h装载、卸除、及搬运显示器10进出通用洗涤/干燥腔室1112装载/卸除锁定腔室1108，进出第一分配腔室1102、第二分配腔室1104、第三分配腔室1106、通用洗涤/干燥腔室1112、及通用固化腔室1154。此外，通用装载/卸除锁定腔室1108可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控通用装载/卸除锁定腔室1108的条件的第三环境传感器1138c。通用装载/卸除锁定腔室1108可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第三检查传感器1138c。
控制器1126操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过第一分配腔室1102、通用固化腔室1154、通用洗涤/干燥腔室1112、第二分配腔室1104、通用固化腔室1154、通用洗涤/干燥腔室1112、第三分配腔室1106、通用固化腔室1154、及通用洗涤/干燥腔室1112顺序地或非顺序地移动显示器10，当在两个处理腔室之间投送时穿过中央装载锁定腔室传递。额外腔室和/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图12所示，LED显示器制造工具1200具有呈群集构造布置的腔室以顺序或非顺序地处理微型LED显示器10来沉积颜色转换层。LED显示器制造工具1200类似于LED显示器制造工具900，其中中央进入腔室1244耦接到每个子群集的装载/卸除锁定腔室。然而，每个子群集包括内部装载/卸除锁定腔室，例如，腔室1208a、1208b、1208c，及外部装载/卸除锁定腔室，例如，腔室1208d、1208e、1208f。此外，装载/卸除锁定腔室中的两者(例如，装载/卸除锁定腔室1208d及1208f)经构造为用于分别穿过第一隔离部件1248a及第二隔离部件1248b装载及卸除基板。此外，中央进入腔室1244可以包括线性运输件1246以在不同群集的不同装载/卸除锁定腔室之间移动显示器。
每个子群集在不同装载/卸除锁定腔室周围群集。每个外部装载/卸除锁定腔室1208d、1208e、1208f由相应隔离部件1218连接到中央进入腔室1244。针对每个子群集，每个内部装载/卸除锁定腔室1208a、1208b、1208c由相应隔离部件1218c连接到子群集的外部装载/卸除锁定腔室1208d、1208e、1208f。每个处理腔室(例如，每个分配腔室、固化腔室及洗涤/干燥腔室)由相应隔离部件1218a连接到子群集的内部装载锁定腔室，由相应隔离部件1218b。LED显示器制造工具1200可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器1226。
第一子群集1264包括第一分配腔室1202、第一洗涤/干燥站1212、第一固化站1254a、及第一装载/卸除锁定腔室1208a。LED显示器制造工具1200第一子群集1264包括具有第一机器人1240a的第一分配腔室1202并且实质上类似于较早论述的第一分配腔室，该第一机器人用于控制显示器10的位置。第一分配腔室1202耦接到第一装载/卸除锁定腔室1208a。第一机器人1240a从第一装载/卸除锁定腔室1208a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一分配腔室1202。
第一分配腔室1202可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器1226。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
第一分配腔室1202可以包括用于监控第一分配腔室1202内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示第一分配腔室1202的条件的信号发送到控制器1226。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
LED显示器制造工具1200第一子群集1264还包括实质上类似于较早描述的第一固化站的具有第七机器人1240g的第一固化腔室1254a。第一固化腔室1254a耦接到第一装载/卸除锁定腔室1208a。第七机器人1240g从第一装载/卸除锁定腔室1208a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一固化腔室1254a。第一固化腔室1254a具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第一环境传感器636a。第一固化腔室1254a还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第一检查传感器638a。
LED显示器制造工具1200第一子群集1264还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第二机器人1240b的第一洗涤/干燥腔室1212。第一洗涤/干燥腔室1212耦接到第一装载/卸除锁定腔室1208a。第二机器人1240b从第一装载/卸除锁定腔室1208a装载、卸除、及搬运显示器10进出第一洗涤/干燥腔室1212。此外，第一洗涤/干燥腔室1212可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第一洗涤/干燥腔室1212的条件的第四环境传感器436d。第一洗涤/干燥腔室1212可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第四检查传感器438d。
第一装载/卸除锁定腔室1208a耦接到第一分配腔室1202、第一固化腔室1212、及第一洗涤/干燥腔室1212。第一装载/卸除锁定腔室1208a包括用于装载、卸除、及处置第一子群集1264内的工件的第十机器人1240j。
第一装载/卸除锁定腔室1208a可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第七检查传感器838g。第七检查传感器838g将表示第一工件的条件的信号发送到控制器1226。第七检查传感器838g可以包括多个传感器。例如，第七检查传感器838g可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
第一装载/卸除锁定腔室1208a可以包括用于监控第一装载/卸除锁定腔室1208a内部的一个或多个环境条件的第七环境传感器836g。第七环境传感器838g将表示第一装载/卸除锁定腔室1208a的条件的信号发送到控制器1226。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
第二子群集1266包括第二分配腔室1204、第二洗涤站1214、第二固化站1254b、及第二装载/卸除锁定腔室1208b。
LED显示器制造工具1200第二子群集1266包括实质上类似于较早论述的分配腔室的具有第三机器人1240c的第二分配腔室1204，该第三机器人用于控制显示器10的位置。第二分配腔室1202耦接到第二装载/卸除锁定腔室1208b。第十一机器人1240k从第二装载/卸除锁定腔室1208b装载、卸除、及搬运显示器10进出第二分配腔室1204。第二分配腔室1204可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第二检查传感器438b。同样，第二分配腔室1204可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器436a的第二环境传感器436b。
LED显示器制造工具1200第二子群集1266还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第八机器人1240h的第二固化腔室1254b。第二固化腔室1254b耦接到第二装载/卸除锁定腔室1208b。第八机器人1240h从第二装载/卸除锁定腔室1208b装载、卸除、及搬运显示器10进出第二固化腔室1254b。第二固化腔室1254b具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第二环境传感器636b。第二固化腔室1254b还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第二检查传感器638b。
LED显示器制造工具1200第二子群集1266还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第四机器人1240d的第二洗涤/干燥腔室1214。第二洗涤/干燥腔室1214耦接到第二装载/卸除锁定腔室1208b。第四机器人1240d从第二装载/卸除锁定腔室1208b装载、卸除、及搬运显示器10进出第二洗涤/干燥腔室1214。第二洗涤/干燥腔室1214可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第二洗涤/干燥腔室1214的条件的第五环境传感器436e。第二洗涤/干燥腔室1214可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第五检查传感器438e。
第十一机器人1240k在第二装载/卸除锁定腔室1208b中定位。第十一机器人1240k装载、卸除、及搬运显示器10进出第二子群集1266内的第二分配腔室1204、第二固化腔室1254b、及第二洗涤/干燥腔室1214。
第二装载/卸除锁定腔室1208b可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第八检查传感器838h。第二装载/卸除锁定腔室1208b可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第二装载/卸除锁定腔室1208b的条件的第八环境传感器436h。
第三子群集1268包括第三分配腔室1206、第三洗涤站1216、第三固化站1254c、及第三装载/卸除锁定腔室1208c。第三分配腔室1206包括用于控制显示器10的位置的机器人1240e。第三分配腔室1206耦接到第三装载/卸除锁定腔室1208c。第五机器人1240e装载、卸除、及搬运显示器10进出第三分配腔室1206。第三分配腔室1206可以包括实质上类似于先前描述的第一传感器438a的第三检查传感器438c。第三分配腔室1206可以包括实质上类似于先前描述的第一环境传感器436a的第三环境传感器436c。
LED显示器制造工具1200第三子群集1268还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第九机器人1240i的第三固化腔室1254c。第三固化腔室1254c耦接到第三装载/卸除锁定腔室1208c。第九机器人1240i装载、卸除、及搬运显示器10进出第三固化腔室1254c。第三固化腔室1254c还可以具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第三环境传感器636c。第三固化腔室1254c还可以具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第三检查传感器638c。
LED显示器制造工具1200第三子群集1268还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第六机器人1240f的第三洗涤/干燥腔室1216。第三洗涤/干燥腔室1216耦接到第三装载/卸除锁定腔室1208c。第六机器人1240f装载、卸除、及搬运显示器10进出第三洗涤/干燥腔室1216。第三洗涤/干燥腔室1216可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第三洗涤/干燥腔室1216的条件的第六环境传感器436f。第三洗涤/干燥腔室1216还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第六检查传感器638f。
第三装载/卸除锁定腔室1208c含有用于装载、卸除、及搬运显示器10进出第三分配腔室1206、第三固化腔室1254c、及第三洗涤/干燥腔室1216的第十三机器人1240m。第三装载/卸除锁定腔室1208c可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第九检查传感器838i。第三装载/卸除锁定腔室1208c可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第三装载/卸除锁定腔室1208c的条件的第九环境传感器436i。
LED显示器制造工具1200包括具有第十四机器人1240n的第四装载/卸除锁定腔室1208d，该第十四机器人用于装载、卸除、及处置第四装载/卸除锁定腔室1208d内的工件并且进出第一装载/卸除锁定腔室1208a并且进入及离开隔离部件1218。隔离部件1218实质上类似于先前论述的隔离部件。例如，由操作人员或第十四机器人1240n将显示器10放置到第四装载锁定腔室1208d中，如由箭头1220a所示。例如，由操作人员或机器人第十四1240n将显示器10从第四装载锁定腔室1208d移除，如由箭头1220b所示。显示器10在第四装载锁定腔室1208d与第五装载/卸除锁定腔室1208e之间在隔离部件1218上移动，如由箭头1220a及箭头1242b所示。
第四装载/卸除锁定腔室1208d可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第一检查传感器1238a。第四装载/卸除锁定腔室1208d可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第四装载/卸除锁定腔室1208d的条件的第一环境传感器1236a。
第五装载/卸除锁定腔室1208e包括用于装载、卸除、及处置第五装载/卸除锁定腔室1208e内的工件并且进出第二装载/卸除锁定腔室1208b并且进入及离开隔离部件1218的机器人1240o。第五装载/卸除锁定腔室1208e可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第二检查传感器1238b。第五装载/卸除锁定腔室1208e可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第五装载/卸除锁定腔室1208e的条件的第二环境传感器1236b。
第六装载/卸除锁定腔室1208e包括用于装载、卸除、及处置第六装载/卸除锁定腔室1208d内的工件并且进出第三装载/卸除锁定腔室1208c并且进入及离开隔离部件1218的第十六机器人1240p。第六装载/卸除锁定腔室1208f可以包括实质上类似于先前描述的第一检查传感器438a的第三检查传感器1238c。第六装载/卸除锁定腔室1208f可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第六装载/卸除锁定腔室1208f的条件的第三环境传感器1236c。
此外，例如，可以由操作人员或第十六机器人1240p将显示器10从第六装载/卸除锁定腔室1208e移除，如由箭头1240b所示。同样，例如，可以由操作人员或第十六机器人1240p将显示器10放置到第六装载/卸除锁定腔室1208e中，如由箭头1240a所示。
控制器(未图示)操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过第一分配腔室1202、第一固化腔室1554a、第一洗涤/干燥腔室1212、第二分配腔室1204、第二固化腔室1254b、第二洗涤/干燥腔室1214、第三分配腔室1206、第三固化站1254c、及第三洗涤/干燥腔室1216顺序地或非顺序地移动显示器10，若必要则穿过一个或多个装载锁定腔室传递。控制器实质上类似于先前描述的控制器。
在替代实施方式中，在子群集的一者或多者处，内部装载/卸除锁定腔室及外部装载锁定腔室由单个腔室替换。额外腔室和/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
如图13所示，LED显示器制造工具1300布置有呈群集构造的腔室，并且经构造为处理微型LED显示器10以顺序地沉积颜色转换层。LED显示器制造工具1300类似于LED显示器制造工具1100，但针对每种颜色具有通用分配腔室及独立固化腔室及独立洗涤/干燥腔室。
每个处理腔室(例如，通用分配腔室、三个固化腔室、及三个洗涤/干燥腔室)由隔离部件1318a(例如，阀，诸如狭缝阀，可以穿过该阀传递工件)耦接到中央装载锁定腔室1308。可以穿过其传递工件的隔离部件1318b(例如，阀，诸如狭缝阀)将中央装载锁定腔室1118与外部环境(例如，清洁室)分离。LED显示器制造工具1300可以包括用于控制各个部件(例如，处理腔室及工件运输系统)的操作的控制器1326。
LED显示器制造工具1300包括实质上类似于较早论述的第一分配腔室的通用分配腔室1302。通用分配腔室1302包括用于固持工件的通用分配支撑件1328及用于控制显示器10的位置的第一机器人1340a。通用分配腔室1302耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第一机器人1340a从通用装载/卸除锁定腔室1308装载、卸除、及搬运显示器10进出通用分配腔室1302。
通用分配腔室1302包括用于递送多种颜色转换材料的一个或多个分配器。作为一个实例，通用分配腔室1302可以包括适用于将不同颜色转换材料分配到显示器上的单个分配站。作为另一实例，通用分配腔室1302可以包括多个分配站，各自适用于将单种颜色转换材料分配到显示器上。
通用分配腔室1302可以包括实质上类似于先前论述的第一检查传感器438a的用于监控工件的一个或多个条件的第一检查传感器438a。第一检查传感器438a将表示第一工件的条件的信号发送到控制器1326。第一检查传感器438a可以包括多个传感器。例如，第一检查传感器438a可以包括高速高分辨率光学成像器(用于基板对准、材料沉积缺陷检测及校正)或发光成像器(用于控制UV固化、材料处理、缺陷检测、装置性能映射、及查找表映射)。
通用分配腔室1302可以包括用于监控通用分配腔室1302内部的一个或多个环境条件的第一环境传感器436a。第一环境传感器436a将表示通用分配腔室1302的条件的信号发送到控制器1326。例如，一个或多个传感器可以监控温度、相对湿度、气体成分等，并且将此数据提供到可以控制处理腔室中的部件的控制算法。此举可以提供改进的工艺稳定性控制。
LED显示器制造工具1300还包括实质上类似于较早描述的第一固化站的具有第七机器人1340g的第一固化腔室1354a。第一固化腔室1354a耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第七机器人1340g从通用装载/卸除锁定腔室1308装载、卸除、及搬运显示器10进出第一固化腔室1354a。第一固化腔室1354a具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第一环境传感器636a。第一固化腔室1354a还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第一检查传感器638a。
LED显示器制造工具1300还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第二机器人1340b的第一洗涤/干燥腔室1312。第一洗涤/干燥腔室1312耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第二机器人1340b从通用装载/卸除锁定腔室1308装载、卸除、及搬运显示器10进出第一洗涤/干燥腔室1312。此外，第一洗涤/干燥腔室1312可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第一洗涤/干燥腔室1312的条件的第四环境传感器436d。第一洗涤/干燥腔室1312可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第四检查传感器438d。
LED显示器制造工具1300还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第八机器人1340h的第二固化腔室1354b。第二固化腔室1354b耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第八机器人1340h从通用装载/卸除锁定腔室1308装载、卸除、及搬运显示器10进出第二固化腔室1354b。第二固化腔室1354b具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第二环境传感器636b。第二固化腔室1354b还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第二检查传感器638b。
LED显示器制造工具1300还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第八机器人1340h的第二固化腔室1354b。第二固化腔室1354b耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第八机器人1340h从通用装载/卸除锁定腔室1308移动工件进出第二固化腔室1354b并且在第二固化腔室1354b周围。第二固化腔室1354b具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第二环境传感器636b。第二固化腔室1354b还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第二检查传感器638b。
LED显示器制造工具1300还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第四机器人1340d的第二洗涤/干燥腔室1314。第四机器人1340d从通用装载/卸除锁定腔室1308移动工件进出第二洗涤/干燥腔室1314并且在第二洗涤/干燥腔室1314周围。第二洗涤/干燥腔室1314可以包括实质上类似于较早描述的传感器的用于监控第二洗涤/干燥腔室1314的条件的第五环境传感器436e。第二洗涤/干燥腔室1314可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第五检查传感器438e。
LED显示器制造工具1300还包括实质上类似于较早描述的固化站的具有第九机器人1340i的第三固化腔室1354c。第三固化腔室1354c耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第九机器人1340i从通用装载/卸除锁定腔室1308移动工件进出第三固化腔室1354c并且在第三固化腔室1354c周围。第三固化腔室1354c还可以具有实质上类似于较早论述的环境传感器436a的第三环境传感器636c。第三固化腔室1354c还可以具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第三检查传感器638c。
LED显示器制造工具1300还具有实质上类似于较早描述的洗涤/干燥腔室的具有第六机器人1340f的第三洗涤/干燥腔室1316。第三洗涤/干燥腔室1316耦接到装载/卸除锁定腔室1308。第六机器人1340f从通用装载/卸除锁定腔室1308移动工件进出第三洗涤/干燥腔室1316并且在第三洗涤/干燥腔室1316周围。第三洗涤/干燥腔室1316可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控第三洗涤/干燥腔室1316的条件的第六环境传感器436f。第三洗涤/干燥腔室1316还具有实质上类似于较早论述的检查传感器438a的第六检查传感器638f。
通用装载/卸除锁定腔室1308包括机器人1340h，该机器人用于装载、卸除、及搬运显示器10进出通用分配腔室1302、第一洗涤/干燥腔室1312、第二洗涤/干燥腔室1314、第三洗涤/干燥腔室1316、第一固化腔室1354a、第二固化腔室1354b、及第三固化腔室1354c。例如，由操作人员或机器人1340h将显示器10放置到装载/卸除锁定腔室1308中，如由箭头1320a所示。例如，由操作人员或机器人1340h将显示器10从装载/卸除锁定腔室1308移除，如由箭头1320b所示。
此外，通用装载/卸除锁定腔室1308可以包括实质上类似于较早描述的环境传感器的用于监控通用装载/卸除锁定腔室1308的条件的第二环境传感器1338b。通用装载/卸除锁定腔室1308可以包括实质上类似于较早描述的第一检查传感器436a的用于监控工件的一个或多个条件的第二检查传感器1336b。
控制器1326操作地耦接到先前描述的腔室及部件的每一者以导致工件运输系统穿过通用分配腔室1302、第一固化腔室1354a、第一洗涤/干燥腔室1312、通用分配腔室1302、第一洗涤/干燥腔室1312、第二固化腔室1354b、通用分配腔室1302、第二洗涤/干燥腔室1314、及第三固化腔室1354c、及第三洗涤/干燥腔室1316顺序地移动显示器10，若必要则穿过中央装载锁定腔室1308传递。额外腔室及/或子群集可以包括在内以处置额外材料处理、及修复需求。
图14A至图14C标出了制造LED显示器的方法1400。方法可以通过如由控制器操作的上文论述的显示器制造工具之一执行。于1402，工件在第一分配腔室中装载。
于1404，在第一分配腔室中将工件对准到第一基准标记。
于1406，例如，在第一分配腔室中利用第一分配器将第一颜色转换层分配到工件上。第一分配器可以是喷墨打印机，并且喷墨打印机可以由第一支架移动以在工件上方扫描。或者，工件可以横穿在第一分配器之下。检查步骤可以在固化步骤之前执行。若检测到缺陷(在子像素阱或部分填充阱中缺失材料)，则可以进行修复。在后分配的检查之后，利用第一分配器将第一颜色转换层分配到工件上，例如，利用第一紫外光及第一氮气帘幕固化工件上的第一颜色转换层。此举可以在第一分配腔室内、或在分离的固化腔室中发生。此外，呈工件检查的形式的计量可以同时或在固化步骤之后进行。例如，可以映射光致发光强度及杂散的UV光强度以产生查找表。在洗涤具有第一颜色转换层的工件以去除第一颜色转换层的未固化部分之后，或在洗涤及干燥步骤之后，第一工件条件可以利用第一传感器感测并且表示第一工件条件的信号可以发送到控制器。
在第一分配腔室中将第一颜色转换层印刷到工件上可以进一步包括利用高效颗粒空气过滤器过滤进入第一分配腔室的空气以减少空气的污染浓度，利用第一排气管道排放第一分配腔室中的空气，利用经构造为取样第一分配腔室中的空气的第一腔室传感器测量第一分配腔室中的空气的第一污染浓度，及将表示第一污染浓度的信号发送到控制器。响应于接收表示第一污染浓度的信号及表示第二污染浓度的信号，控制器可以调整进出第一分配腔室的气流。
于1408，将工件移动到第一洗涤/干燥腔室。于1410，洗涤具有第一颜色转换层的工件以去除第一颜色转换层的未固化部分。于1412，第一颜色转换层在工件上干燥。
于1414，感测工件的第一条件。于1416，基于感测的第一条件，确定是否需要返工工件上的第一颜色转换层。当需要返工第一颜色转换层时，步骤1402-1414可以在工件上重复。当不需要返工时，工件可以继续进行到步骤1416。
于1418，将工件移动到第二分配腔室。于1420，将工件对准到第二基准标记。
于1422，在第二分配腔室中利用第二分配器(例如，第二喷墨打印机)将第二颜色转换层分配到工件上。第二分配器可以与第二支架一起移动。在利用第二喷墨打印机将第二颜色转换层印刷到工件上之后，后印刷检查及返工可以在洗涤及干燥第二颜色转换层之前完成。例如，工件可以利用第二紫外光及第二氮气帘幕固化。此举可以在第二分配腔室内、或在分离的固化腔室中发生。
于1424，将工件移动到第二洗涤/干燥腔室。于1426，洗涤具有第二颜色转换层的工件以移除第二颜色转换层的未固化部分。
于1428，第二颜色转换层在工件上干燥。
于1430，感测工件的第二条件。于1432，基于感测的第二条件，确定是否需要返工工件上的第二颜色转换层。当需要返工第二颜色转换层时，步骤1418-1430可以在工件上重复。当不需要返工时，工件可以继续进行到步骤1434。
于1434，将工件移动到第三分配腔室。于1436，将工件对准到第三基准标记。
于1438，在第三分配腔室中利用第三分配器(例如，第三喷墨打印机)将第三颜色转换层分配到工件上。第三分配器可以与第三支架一起移动。在利用第三喷墨打印机将第三颜色转换层印刷到工件上之后，后印刷检查及返工可以在洗涤及干燥第三颜色转换层之前完成。例如，工件可以利用第三紫外光及第三氮气帘幕固化。此举可以在第三分配腔室内、或在分离的固化腔室中发生。
于1440，将工件移动到第三洗涤/干燥腔室。于1442，洗涤具有第三颜色转换层的工件以去除第三颜色转换层的未固化部分。于1444，第三颜色转换层在工件上干燥。
于1446，感测工件的第三条件。于1448，基于第三感测的条件，确定是否需要返工工件上的第三颜色转换层。当需要返工第三颜色转换层时，步骤1434-1448可以在工件上重复。当不需要返工时，工件完成。
本领域技术人员将了解。前述实例是示例性并且不作限制。例如：
尽管上文描述集中于微型LED，技术可以应用于具有其他类型的发光二极管的其他显示器，特别地具有其他微型发光二极管的显示器，例如，小于约10微米的LED。
尽管上文描述假设形成颜色转换层的次序是蓝色，随后绿色，随后红色，其他次序也是可能的，例如，蓝色，随后红色，随后绿色。此外，其他颜色也是可能的，例如，橘色及黄色。
可以使用其他功能材料，诸如用作间隔件的聚合物、紫外光阻挡层、或布拉格反射器层。
LED显示器制造工具可包括专用于返工的另一分配腔室。此腔室可以包括用于固持工件的分配支撑件及用于将颜色转换前驱物流体递送到工件上以返工工件上的第一颜色转换层、第二颜色转换层、及第三颜色转换层的一者或多者的喷墨打印机。在返工腔室处的颜色转换前驱物流体可以是与第一颜色转换前驱物、第二颜色转换前驱物、及第三颜色转换层相同或不同的成分。
LED显示器制造工具可包括用于固化来自返工腔室的颜色转换前驱物流体的另一固化站。LED显示器制造工具可包括另一洗涤/干燥腔室，该洗涤/干燥腔室包括用于固持工件的洗涤支撑件及用于从返工移除颜色转换层的未固化部分的洗涤组件。控制器可以导致工件运输系统穿过第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室、第二洗涤/干燥腔室、第三分配腔室、第三洗涤/干燥腔室、返工分配腔室、及返工洗涤/干燥腔室顺序地移动工件。
第一喷墨打印机、第二喷墨打印机、第三喷墨打印机、及第四喷墨打印机可分配紫外锁定层材料或布拉格反射层材料的一者或多者。
将理解，可进行各种修改而不脱离本公开内容的精神及范围。

Claims (31)

1.一种LED显示器制造工具，包含：
第一分配腔室，包括用于固持工件的第一分配支撑件及用于将第一颜色转换前驱物递送到所述工件上的第一喷墨打印机；
第一固化站，用于固化所述工件上的所述第一颜色转换前驱物以在所述工件上的第一多个LED上方形成第一颜色转换层；
第一洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第一洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第一颜色转换前驱物的未固化部分的第一洗涤组件；
第二分配腔室，包括用于固持所述工件的第二分配支撑件及用于将与所述第一颜色转换前驱物不同的第二颜色转换前驱物递送到所述工件上的第二喷墨打印机；
第二固化站，用于固化所述第二颜色转换前驱物以在所述工件上的第二多个LED上方形成一第二颜色转换层；
第二洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第二洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第二颜色转换层的未固化部分的第二洗涤组件，其中所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室的每一者是独立可密封的；
工件运输系统；和
控制器，经构造为导致所述工件运输系统顺序地穿过所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室移动所述工件。
2.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，进一步包含：
第三分配腔室，包括用于固持所述工件的第三分配支撑件及用于将与所述第一颜色转换前驱物及所述第二颜色转换前驱物不同的第三颜色转换前驱物递送到所述工件上以从所述工件形成第三颜色转换层的第三喷墨打印机；
第三固化站，用于固化所述第三颜色转换前驱物以在所述工件上的第三多个LED上方形成所述第三颜色转换层；和
第三洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第三洗涤支撑件及用于从所述工件去除所述第三颜色转换层的未固化部分的第三洗涤组件，
其中所述控制器经构造为导致所述工件运输系统穿过所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、所述第二洗涤/干燥腔室、所述第三分配腔室、及所述第三洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件。
3.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，其中所述第一固化站在所述第一分配腔室中定位并且所述第二固化站在所述第二分配腔室中定位。
4.如权利要求3所述的LED显示器制造工具，其中所述第一固化站包括与所述第一分配支撑件分离的第一固化支撑件并且所述第二固化站包括与所述第二分配支撑件分离的第二固化支撑件。
5.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，其中所述第一固化站在与所述第一分配腔室及第二分配腔室分离的第一固化腔室中定位，并且其中所述第二固化站在与所述第一分配腔室、第二分配腔室、及第一固化站分离的第二固化腔室中定位。
6.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，其中所述第一固化站包含氮气帘幕。
7.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，进一步包含粒子污染控制模块，包含：
高效颗粒空气过滤器，流体耦接到所述第一分配腔室及所述第二分配腔室以减少从大气进入所述第一分配腔室及所述第二分配腔室的所述污染浓度；和
颗粒计数器，耦接到所述第一分配腔室及所述第二分配腔室，经构造为取样所述第一分配腔室及所述第二分配腔室中的所述大气的所述污染浓度。
8.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，进一步包含：
第一排气管道，流体耦接到所述第一分配腔室以控制从所述第一分配腔室到大气的气流；
第一排气流动传感器，在所述第一排气管道中定位以感测第一排气流动条件并且发送表示所述第一排气流动条件的信号；
第二排气管道，流体耦接到所述第二分配腔室以控制从所述第二分配腔室到所述大气的所述气流；
第二排气流动传感器，在所述第二排气管道中定位以感测第二排气流动条件并且发送表示所述第二排气流动条件的信号；和
层流排气模块，经构造为
接收表示所述第一排气流动条件的所述信号，
接收表示所述第二排气流动条件的所述信号，和
控制基于所述第一排气流动条件从所述第一分配腔室到大气的气流、及基于所述第二排气流动条件从所述第二分配腔室的气流。
9.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，其中所述第一分配腔室进一步包含经构造为装载及搬运所述工件的外部耦接到所述第一分配腔室的第一装载台，并且其中所述第二分配腔室进一步包含经构造为装载及搬运所述工件的外部耦接到所述第二分配腔室的第二装载台。
10.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，其中所述第一洗涤/干燥腔室进一步经构造为在从所述工件去除所述第一颜色转换层之后干燥所述工件，并且其中所述第二洗涤/干燥腔室进一步经构造为在从所述工件去除所述第二颜色转换层之后干燥所述工件。
11.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，包含用于感测工件条件的传感器，并且其中所述控制器经构造为基于来自所述传感器的数据来确定是否返工所述工件。
12.如权利要求11所述的LED显示器制造工具，其中所述传感器在所述第一分配腔室中定位。
13.如权利要求12所述的LED显示器制造工具，其中所述控制器经构造为导致在将所述工件移动到其他模块上用于进一步处理之前在所述第一分配腔室中发生所述返工。
14.如权利要求11所述的LED显示器制造工具，其中所述第一洗涤/干燥腔室进一步包含经构造为感测第一工件条件的第一传感器，并且其中所述第二洗涤/干燥腔室进一步包含经构造为感测第二工件条件的第二传感器。
15.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，其中所述传感器在后印刷腔室中定位并且所述控制器经构造为导致所述工件运输系统在穿过所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件之后将所述工件移动到所述后印刷腔室。
16.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，包含多个腔室，包括初始腔室、最终腔室、及多个中间腔室，并且所述多个腔室经布置以形成从所述初始腔室到所述最终腔室的传递线，其中每个中间腔室由第一可密封端口耦接到所述传递线中的先前腔室，并且由第二可密封端口耦接到所述传递线中的后续腔室，并且所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室、及第二洗涤/干燥腔室是来自所述多个腔室的腔室。
17.如权利要求16所述的LED显示器制造工具，其中所述LED显示器制造工具进一步经构造为仅穿过所述初始腔室及最终腔室插入及移除所述工件。
18.如权利要求17所述的LED显示器制造工具，其中所述第一分配腔室是所述初始腔室。
19.如权利要求18所述的LED显示器制造工具，其中所述第二洗涤/干燥腔室是所述最终腔室。
20.如权利要求1所述的LED显示器制造工具，进一步包含多个处理腔室及多个传递腔室，其中所述多个处理腔室包括所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室，其中所述多个传递腔室由两个相应可密封端口耦接到两个处理腔室。
21.一种LED显示器制造工具，包含：
第一分配腔室，包括用于固持工件的第一分配支撑件及用于将第一颜色转换前驱物递送到所述工件上的第一喷墨打印机；
第一洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第一洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第一颜色转换前驱物的未固化部分的第一洗涤组件；
第二分配腔室，包括用于固持所述工件的第二分配支撑件及用于将与所述第一颜色转换前驱物不同的第二颜色转换前驱物递送到所述工件上的第二喷墨打印机；
第二洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第二洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第二颜色转换层的未固化部分的第二洗涤组件，其中所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室的每一者是独立可密封的；
一个或多个固化站，用于固化所述工件上的所述第一颜色转换前驱物以在所述工件上的第一多个LED上方形成第一颜色转换层并且固化所述第二颜色转换前驱物以在所述工件上的第二多个LED上方形成第二颜色转换层；
工件运输系统；和
控制器，经构造为导致所述工件运输系统穿过所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件，
其中所述LED显示器制造工具包含多个处理腔室及多个传递腔室，其中所述多个处理腔室包括所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室，其中所述多个传递腔室由两个相应可密封端口耦接到两个处理腔室。
22.如权利要求21所述的LED显示器制造工具，其中所述多个传递腔室包括第一传递腔室及第二传递腔室，并且其中所述第一分配腔室及所述第一洗涤/干燥腔室由相应可密封端口耦接到所述第一传递腔室并且所述第二分配腔室及所述第二洗涤/干燥腔室由相应可密封端口耦接到所述第二传递腔室。
23.如权利要求22所述的LED显示器制造工具，进一步包含中央传递腔室，其中所述第一传递腔室及所述第二传递腔室由相应可密封端口耦接到所述多个传递腔室。
24.如权利要求3所述的LED显示器制造工具，其中所述控制器经构造为导致所述工件运输系统穿过所述第一分配腔室、所述第一传递腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第一传递腔室、所述中央传递腔室、所述第二传递腔室、所述第二分配腔室、所述第二传递腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件。
25.一种LED显示器制造工具，包含：
第一分配腔室，包括用于固持工件的第一分配支撑件及用于将第一颜色转换前驱物递送到所述工件上的第一喷墨打印机；
第一洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第一洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第一颜色转换前驱物的未固化部分的第一洗涤组件；
第二分配腔室，包括用于固持所述工件的第二分配支撑件及用于将与所述第一颜色转换前驱物不同的第二颜色转换前驱物递送到所述工件上的第二喷墨打印机；
第二洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第二洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第二颜色转换层的未固化部分的第二洗涤组件，其中所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室的每一者是独立可密封的；
一个或多个固化站，用于固化所述工件上的所述第一颜色转换前驱物以在所述工件上的第一多个LED上方形成第一颜色转换层并且固化所述第二颜色转换前驱物以在所述工件上的第二多个LED上方形成第二颜色转换层；
工件运输系统；和
控制器，经构造为导致所述工件运输系统穿过所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件，
其中所述LED显示器制造工具包含多个处理腔室及中央传递腔室，其中所述多个处理腔室包括所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室、及第二洗涤/干燥腔室，其中每个处理腔室由相应可密封端口耦接到所述中央传递腔室。
26.如权利要求25所述的LED显示器制造工具，其中所述多个处理腔室包括用于固化所述第一颜色转换前驱物以形成所述第一颜色转换层并且用于固化所述第二颜色转换前驱物以形成所述第二颜色转换层的公共固化站。
27.如权利要求25所述的LED显示器制造工具，其中所述多个处理腔室包括用于固化所述第一颜色转换前驱物以形成第一颜色转换层的第一固化站及用于固化所述第二颜色转换前驱物以形成所述第二颜色转换层的第二固化站。
28.如权利要求25所述的LED显示器制造工具，其中所述工具经构造为用于仅穿过所述中央传递腔室插入及移除所述工件。
29.一种LED显示器制造工具，包含：
第一分配腔室，包括用于固持工件的第一分配支撑件及用于将第一颜色转换前驱物递送到所述工件上的第一喷墨打印机；
第一洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第一洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第一颜色转换前驱物的未固化部分的第一洗涤组件；
第二分配腔室，包括用于固持所述工件的第二分配支撑件及用于将与所述第一颜色转换前驱物不同的第二颜色转换前驱物递送到所述工件上的第二喷墨打印机；
第二洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第二洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第二颜色转换层的未固化部分的第二洗涤组件，其中所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室的每一者是独立可密封的；
一个或多个固化站，用于固化所述工件上的所述第一颜色转换前驱物以在所述工件上的第一多个LED上方形成第一颜色转换层并且固化所述第二颜色转换前驱物以在所述工件上的第二多个LED上方形成第二颜色转换层；
工件运输系统；和
控制器，经构造为导致所述工件运输系统穿过所述第一分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述第二分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件，
其中所述LED显示器制造工具包括多个处理腔室、中央传递腔室、及多个装载锁定腔室，其中所述多个处理腔室包括所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室、及第二洗涤/干燥腔室，其中每个装载锁定腔室由相应可密封端口耦接到所述中央传递腔室，其中所述第一分配腔室及第一洗涤/干燥腔室各自由相应可密封端口耦接到所述多个装载锁定腔室的第一装载锁定腔室，并且其中所述第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室各自由相应可密封端口耦接到所述多个装载锁定腔室的第二第一装载锁定腔室。
30.一种LED显示器制造工具，包含：
公共分配腔室，包括用于固持工件的第一分配支撑件及用于将第一颜色转换前驱物递送到所述工件上的第一喷墨打印机及用于将与所述第一颜色转换前驱物不同的第二颜色转换前驱物递送到所述工件上的第二喷墨打印机；
第一固化站，用于固化所述工件上的所述第一颜色转换前驱物以在所述工件上的第一多个LED上方形成第一颜色转换层；
第一洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第一洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第一颜色转换前驱物的未固化部分的第一洗涤组件；
第二固化站，用于固化所述第二颜色转换前驱物以在所述工件上的第二多个LED上方形成第二颜色转换层；
第二洗涤/干燥腔室，包括用于固持所述工件的第二洗涤支撑件及经构造为从所述工件去除所述第二颜色转换层的未固化部分的第二洗涤组件，其中所述第一分配腔室、第一洗涤/干燥腔室、第二分配腔室及第二洗涤/干燥腔室的每一者是独立可密封的；
工件运输系统；和
控制器，经构造为导致所述工件运输系统穿过所述公共分配腔室、所述第一洗涤/干燥腔室、所述公共分配腔室、及所述第二洗涤/干燥腔室顺序地移动所述工件。
31.一种LED显示器制造方法，包含：
将工件装载在第一分配腔室中；
将第一颜色转换层分配到所述工件上；
将所述工件移动到第一洗涤/干燥腔室；
洗涤具有所述第一颜色转换层的所述工件以去除所述第一颜色转换层的未固化部分；
将所述工件移动到第二分配腔室；
将第二颜色转换层分配到所述工件上；
将所述工件移动到第二洗涤/干燥腔室；
洗涤具有所述第二颜色转换层的所述工件以去除所述第二颜色转换层的未固化部分；
将所述工件移动到第三分配腔室；
将第三颜色转换层分配到所述工件上；
将所述工件移动到第三洗涤/干燥腔室；和
洗涤具有所述第三颜色转换层的所述工件以去除所述第三颜色转换层的未固化部分。
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