CN117488024A - 一种双运动机构退火炉及退火工艺方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种双运动机构退火炉及退火工艺方法，其包括一端开口的炉膛、测温单元、中控单元、炉门、集成在所述炉门上的载物台以及与所述炉门连接的第一运动机构，所述测温单元、所述第一运动机构均与所述中控单元连接，且所述中控单元内预设有工件滑出温度；所述第一运动机构用于受中控单元的指令带动所述载物台伸入所述炉膛，并在所述测温单元检测到所述炉膛内达到工件滑出温度后带动载物台从炉膛内滑出。本申请具有保障退火工艺各个过程的不间断衔接，缩短退火周期，提高工件的性能以及减轻对人力的占用的效果。

Description

一种双运动机构退火炉及退火工艺方法

技术领域

本申请涉及退火炉的技术领域，尤其是涉及一种双运动机构退火炉及退火工艺方法。

背景技术

热处理是指材料在固态下，通过加热、保温和冷却的手段，以获得预期组织和性能的一种金属热加工工艺。热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，有时只有加热和冷却两个过程。这些过程互相衔接，不可间断。

退火工艺是热处理工艺中的一种，其是将工件加热到适当温度，根据材料和工件尺寸采用不同的保温时间，然后进行缓慢冷却的工艺过程，目的是使金属内部组织达到或接近平衡状态，获得良好的工艺性能和使用性能。

目前，可以用来进行热处理的工具设备常使用热处理炉，热处理炉一般包括炉门、炉膛、保温隔热装置、加热装置、测温装置、真空和充气装置等。目前市面上的真空炉，一般采用不锈钢材质作为炉膛，需要将加热单元，保温单元、载物台、测温装置都放进去，在加热保温结束后，需要手动把工件从炉膛取出来，占用人力，如果各个步骤衔接不好，不仅将延长退火工艺的周期并且将影响工件的性能。

发明内容

为了保障退火工艺各个过程的不间断衔接，提高工件的性能以及减轻对人力的占用，本申请提供一种双运动机构退火炉及退火工艺方法。

第一方面，本申请提供的一种双运动机构退火炉采用如下的技术方案：

一种双运动机构退火炉，包括一端开口的炉膛、测温单元、中控单元、炉门、集成在所述炉门上的载物台以及与所述炉门连接的第一运动机构，所述测温单元、所述第一运动机构均与所述中控单元连接，且所述中控单元内预设有工件滑出温度；

所述第一运动机构用于受中控单元的指令带动所述载物台伸入所述炉膛，并在所述测温单元检测到所述炉膛内达到工件滑出温度后带动载物台从炉膛内滑出。

通过采用上述技术方案，将载物台和炉门集成一体，并设置带动载物台和炉门自动滑入或者自动滑出炉膛的自动控制系统，当测温单元检测到炉膛内的温度达到工件滑出温度时（说明工件退火处理完成），测温单元向中控单元发送电信号，中控单元进而控制第一运动机构启动以带动炉门、载物台以及载物台上的工件滑出炉膛，便于在工件退火完成后及时且便利地将工件取出，保障退火工艺各个过程的不间断衔接且大大减少了对人力的占用，提高了工件的性能以及工作效率。

优选的，所述炉膛的开口端安装有炉门法兰，且所述炉门法兰通过立桩支撑在炉底座上，使得所述炉膛呈悬空状，所述炉门靠近所述炉门法兰的一侧安装有第一位置传感器，所述炉门和所述炉门法兰上安装有扣合件，所述扣合件用于在所述第一位置传感器检测到所述炉门与所述炉门法兰贴合后受所述中控单元的指令将所述炉门和所述炉门法兰锁紧。

通过采用上述技术方案，设置与中控单元连接的第一位置传感器，当第一运动机构推动炉门与炉门法兰贴合后，触发第一位置传感器，第一位置传感器向中控单元发送电信号，中控单元接收到该电信号形成停止闭合指令并将停止闭合指令传递至第一运动机构，使得第一运动机构停止，扣合件启动以将炉门法兰和炉门锁紧，以保障退火炉的密封性，提高工件的性能。

优选的，所述扣合件为安装在所述炉门背侧的气动夹爪，所述气动夹爪用于将所述炉门法兰的侧壁和下缘夹紧。

通过采用上述技术方案，气动夹爪具有更加耐久可靠、控制更加精确的优点，当中控单元向气动夹爪发送指令时，气动夹爪可以快速将炉门法兰抱紧，响应迅速，实现了炉门自动锁定，减少了人力资源的占用。

优选的，所述第一运动机构为固定于炉底座上的电动导轨，所述电动导轨的滑动部与所述炉门通过支柱连接。

通过采用上述技术方案，电动导轨具有运动更平稳、更可靠、更精准的优点，且具有行程控制系统和传感器反馈系统，传感器可以对滑轨的位置、速度等参数进行实时监测，并反馈给控制器，电动导轨可以及时调整运动状态，以维持良好的运行状况。

优选的，还包括用于对所述炉膛加热及保温的加热保温模块和第二运动机构，所述炉膛使用石英管，所述加热保温模块活动套设在所述炉膛外部，所述第二运动机构与所述中控单元连接以带动所述加热保温模块自动将所述炉膛的包裹或自动与所述炉膛脱离。

通过采用上述技术方案，由于石英材质的炉膛透明且耐受高温，因此可以可将加热保温模块置于炉膛外，通过热辐射的方式进行加热，可以实现炉膛的小型化，并且在加热保温过程完成后，中控单元向第二运动机构发送指令，以带动加热保温模块向相背炉膛的方向滑动，直至加热保温模块与炉膛脱离，实现加热、保温、冷却三个过程的不间断衔接，冷却效率更高且减轻了对人力资源的占用。

优选的，所述加热保温模块内开设有用于与所述炉膛嵌合的保温空间，所述加热保温模块开口端的端壁上安装有第二位置传感器，所述第二运动机构在第二位置传感器检测到所述加热保温模块与炉门法兰贴合时受所述中控单元的指令停止，所述中控单元内预设有所述加热保温模块滑开温度，所述第二运动机构在所述测温单元在检测到所述炉膛内温度达到加热保温模块滑开温度时带动所述保温加热单元滑出。

通过采用上述技术方案，通过设置第二位置传感器，便于在第二运动机构带动加热保温模块滑入并将炉膛包裹时精确确定加热保温模块的位置，保障加热保温模块的端壁与炉门法兰紧密贴合，保障加热和保温的效果；通过设置在中控单元内的加热保温模块滑开温度，当炉膛内的温度达到该加热保温模块滑开温度时，便于加热保温模块的自动滑出，以加速炉膛的冷却，便于辅助工件冷却至工件滑出温度，缩短了工件退火的周期，有利于提高工作效率。

优选的，所述炉门上安装有抽真空接口和抽真空阀门，所述炉膛内安装有气压传感器，所述抽真空阀门用于在所述气压传感器检测到所述炉膛内真空度达到所述中控单元内预设的真空度阈值时自动关闭。

通过采用上述技术方案，在处理工件前对炉膛内抽真空，工件在真空环境内进行退火处理，可以有效改善工件退火氧化的问题，通过在炉膛内设置气压传感器，在气压传感器检测到炉膛内的真空度达到预设的真空度阈值时，中控单元自动控制抽真空阀门关闭，通过自动控制的形式大大减轻了对人力资源的占用。

优选的，还包括与所述中控单元连接的加速冷却模块，所述加速冷却模块包括风口朝向所述炉膛的冷风单元；

和/或

与所述炉门连接的用于向所述炉膛内部填充保护气体的充气单元；

和/或

设置在所述炉门法兰上的循环冷却单元。

通过采用上述技术方案，在加热保温模块脱离炉膛后，可以通过启动冷风单元与炉膛附近的空气产生对流，吸收炉膛的热量加快炉膛的散热；和/或启动充气单元向炉膛内冲入氩气等保护气体，以提高炉膛内的导热率，加快热量的散失；和/或启动循环冷却单元，通过循环冷却单元吸收炉膛内的热量，辅助炉膛内的温度降低直至达到工件的滑出温度。

第二方面，本申请提供一种双运动机构退火炉的退火工艺方法，采用如下的技术方案：

一种双运动机构退火炉的退火工艺方法，包括如下步骤：

在载物台上放置工件；

设置程序：在中控单元内设置退火工艺参数，包括炉膛的真空度、升温时间、目标温度、目标温度保温时间、加热保温模块的滑开温度、工件滑出温度、炉膛内真空度阈值；

启动程序：启动第一运动机构以带动载物台和工件滑入炉膛，启动第二运动机构以带动加热保温模块滑入并包裹炉膛，开启抽真空阀门，抽除炉膛内空气；

加热与保温；

等待炉膛自然冷却；

加热保温模块滑开：自然冷却到加热保温模块的滑开温度后，中控单元控制二运动机构启动，加热保温模块滑开；

工件自动滑出：测温单元检测到炉膛内温度达到工件滑出温度后，中控单元控制第一运动机构启动，载物台及工件滑出。

通过采用上述技术方案，工件放入、加热、保温、冷却、取出等一系列热处理工艺均采用自动控制的形式，无需人工的参与，因此不仅减轻了对人力资源的占用，同时也保障各个步骤的相互衔接，缩短了每个工件的热处理周期，提高了工件性能以及工作效率。

优选的，自然冷却到加热保温模块的滑开温度后，启动冷风单元和/或启动充气单元和/或启动循环冷却单元，辅助炉膛冷却至工件滑出温度。

通过采用上述技术方案，启动冷风单元、充气单元、循环冷却单元中的任意一个或者任意两个或者全部启动，可以有效辅助炉膛散热，使得炉膛快速达到工件滑出温度，有利于提高工件的热处理效率，缩短处理周期。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

本申请通过将炉门和载物台集成一体，并且炉门和载物台滑动设置在炉膛内，由第一运动机构带动炉门和载物台自动滑入炉膛，并在工件退火处理完成后，第一运动机构带动载物台和工件自动滑出炉膛，可以自动完成工件退火的一整个工艺流程，且各过程间可以不间断衔接，缩短了工件的热处理周期，提高了工件的各项性能；

通过使用具有耐高温性能的石英材质的炉膛，因此可以将加热保温模块包裹在炉膛的外部，并在加热保温模块上安装与中控单元连接的第二运动机构，当加热保温步骤完成后，需要对工件冷却时，中控单元控制第二运动机构启动以带动加热保温模块与炉膛脱离，加快炉膛的冷却，提高工件的冷却速度；

通过设置与中控单元连接的冷风单元和/或充气单元和/或循环冷却单元，辅助炉膛散热，使得工件快速冷却至工件滑出温度，有效缩短了工件热处理的周期，提高了工件性能。

附图说明

图1是本申请双运动机构退火炉的整体结构示意图。

图2是本申请双运动机构退火炉的控制逻辑图。

图3是本申请退火工艺的工艺流程图。

附图标记说明：1、炉膛；2、测温单元；3、中控单元；4、炉门；5、载物台；6、第一运动机构；7、炉门法兰；8、立桩；9、炉底座；10、第一位置传感器；11、扣合件；12、支柱；13、加热保温模块；131、加热单元；132、保温单元；133、保温空间；14、第二运动机构；15、第二位置传感器；16、抽真空接口；17、抽真空阀门；18、气压传感器；19、加速冷却模块；20、冷风单元；201、风扇；21、充气单元；211、充气接口；212、充气阀门；22、循环冷却单元；221、进水接口；222、排水接口。

具体实施方式

以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种双运动机构退火炉。参照图1，双运动机构退火炉包括一端开口的炉膛1、炉门4、固定在炉门4一侧的载物台5、与炉门4固定连接的第一运动机构6以及用于对工件进行加热及保温的加热保温模块13。在炉膛1的内壁上设置有用于检测炉膛1内温度的测温单元2，本申请以测温单元2使用热电偶传感器为例进行说明。第一运动机构6和测温单元2均与中控单元3连接，保障加热、保温、冷却过程的不间断衔接，并且实现对工件放入和取出的自动控制，减少了对人力资源的占用。

具体的，工件放入时，中控单元3向第一运动机构6发送指令，带动载物台5和工件沿炉膛1的轴线方向滑动，将载物台5和工件伸入炉膛1内。中控单元3内预设有工件退火完成后达到取出标准时的工件滑出温度，当完成对工件的加热保温过程，并且炉膛1内的温度逐渐冷却至工件滑出温度时，测温单元2向中控单元3发送电信号，中控单元3接收到该电信号后形成带动工件从炉膛1内滑出的指令，并将该指令发送至第一运动机构6，第一运动结构启动并带动炉门4、载物台5和工件滑出炉膛1。

炉膛1的开口端安装有炉门法兰7，且炉门法兰7通过立桩8支撑在炉底座9上，使得炉膛1呈悬空状，且炉膛1的轴线与地面平行以保障工件水平送入炉膛1内。为了保障第一运动机构6带动炉门4一次滑动到位，在炉门4靠近炉门法兰7的一侧固定有第一位置传感器10，第一位置传感器10与中控单元3连接。当第一运动机构6带动炉门4运动至与炉门法兰7贴合时，炉门法兰7挤压第一位置传感器10从而触发第一位置传感器10，第一位置传感器10向中控单元3发送信号，中控单元3接收到第一位置传感器10发送的信号后向第一运动机构6发送指令，控制第一运动机构6停止。

进一步的，在炉门4和炉门法兰7上安装有扣合件11，扣合件11也与中控单元3连接，并在第一位置传感器10检测到炉门4与炉门法兰7紧密贴合后，接收中控单元3传递的指令自动闭合以将炉门4和炉门法兰7锁紧。当测温单元2检测到炉膛1内的温度冷却至预先设定的工件滑出温度时，测温单元2向中控单元3发送电信号，中控单元3接收该电信号，进行分析处理后向扣合件11发送指令，控制扣合件11自动开启，之后再向第一运动机构6发送指令，带动炉门4、载物台5以及工件自动滑出炉膛1，实现了上料和取料的自动控制，减少了人工的参与，通过自动检测和自动控制，保障退火工艺各个过程衔接起来，保障了工件性能。

具体的，扣合件11为安装在炉门4背离炉门法兰7一侧的气动夹爪，气动夹爪根据中控单元3的指令将炉门法兰7的边缘以及下表面夹紧，以实现炉门4和炉门法兰7的自动锁紧。当测温单元2检测到炉膛1内温度达到工件滑出温度时，向中控单元3发送信号，中控单元3控制气动夹爪张开，以解除炉门4和炉门法兰7的锁定关系。之后中控单元3向第一运动机构6发送指令，以带动炉门4、载物台5和工件滑出。为了保障炉门4的密闭性，本申请将扣合件11设置有四个，四个扣合件11环绕炉门4的轴线间隔均匀设置。

为了节省炉膛1内空间，减小炉膛1的体积，本申请的炉膛1使用具有耐高温特质，且热传导性能较强的石英炉膛1，并将加热保温模块13包裹设置在石英炉膛1的外部。为了节省人力资源，本申请还设置了与加热保温模块13连接的以用于带动加热保温模块13将炉膛1包裹或者与炉膛1脱离的第二运动机构14，第二运动机构14也与中控单元3连接以实现加热保温模块13的自动滑入和自动滑出。

加热保温模块13包括加热单元131和保温单元132。保温单元132为导热系数低、保温效果好的挤塑式聚苯乙烯材质制成的长方体状保温块，且保温单元132的内部开设有用于与炉膛1嵌合的保温空间133。加热单元131包括固定在保温空间133内壁上的红外灯丝，红外灯丝沿保温空间133的轴线方向以螺旋状延伸。加热时，红外灯丝产生的热量透过石英炉膛1，通过热辐射的方式传导热量，直达工件，具有加热速度快的优势。红外灯丝的开启与关闭也由中控单元3自动控制，具体的，中控单元3内预设有给工件加热的目标温度，当测温单元2检测到炉膛1内的温度达到该目标温度时，中控单元3控制红外灯丝的开关自动关闭。

为了在加热保温模块13自动滑入将炉膛1包裹时可以精确定位，在加热保温模块13开口端的端壁上安装有第二位置传感器15，在加热保温模块13将炉膛1全部包裹后，保温单元132的端壁和炉门法兰7贴合时，将第二位置传感器15挤压，第二位置传感器15向中控单元3发送电信号，中控单元3控制第二运动机构14停止，保障加热保温模块13滑入的位置与炉门法兰7紧密贴合，可以有效保障对炉膛1的加热和保温效果。

在中控单元3内还预设有加热保温模块13滑开温度，当加热保温模块13完成加热过程后，先停止加热保温模块13的加热，待炉膛1自然冷却，直至测温单元2检测到炉膛1内的温度达到中控单元3内预设的加热保温模块13滑开温度时，中控单元3向第二运动机构14发送指令以带动加热保温模块13滑开，便于工件的加速冷却。

第一运动机构6和第二运动机构14可以为任意的具有自动控制功能的电动机械设备或者机械结构的组合，例如气缸、液压缸、电动导轨或者由电机和传动结构组合的自动轮组等，为了减小体积，节省空间并保障第一运动机构6和第二运动机构14的灵敏性，本申请的第一运动机构6和第二运动机构14均为电动导轨。第一运动机构6所使用的电动导轨的滑动部与炉门4通过竖直支柱12连接。

更进一步的，为了实现对炉膛1内工件的加速冷却，本申请还包括与中控单元3连接的加速冷却模块19。

在第一种具体的结构实施例中，加速冷却模块19包括风口朝向炉膛1的冷风单元20。通过冷风单元20向炉膛1的外壁吹风以与炉膛1附近的空气产生对流，吸收炉膛1的热量加快炉膛1的散热。冷风单元20可以为风扇201，也可以为设置在炉膛1上方的与鼓风机连接的中空导流板，中空导流板沿炉膛1的轴线方向延伸并且导流板上开设有若干用于将气流送出的送风孔。本申请以冷风单元20为风扇201为例进行说明。

在第二种具体的结构实施例中，加速冷却模块19包括与炉门4连接的用于向炉膛1内部充入保护气体的充气单元21。其原理是利用通入炉膛1内的氩气等保护气体来提高炉膛1单元内的导热率，以加快热量的散失，加速炉膛1和工件的冷却。具体的，充气单元21包括固定在炉门4上的充气接口211和充气阀门212，当炉门4和炉门法兰7扣合时，充气接口211伸入炉膛1内，充气接口211的另一端连接至充满保护气体（本申请以氩气为例进行说明）的气体罐中。

在第三种具体的结构实施例中，加速冷却模块19包括设置在炉门法兰7上的循环冷却单元22。其原理是利用在炉门法兰7内循环通入冷却物质，例如液态水、液态油或者冷却气体等（本申请以向炉门法兰7内通入冷却水为例进行说明），利用温度较低的冷却物质与炉膛1换热，以吸收炉膛1的热量，实现炉膛1和内部工件的快速冷却。具体的，循环冷却单元22包括固定在炉门法兰7顶部的进水接口221和排水接口222，进水接口221连接至外界水源，排水接口222连接至集水池或者直接排出。

在实际生产中，加速冷却模块19可以为三种实施例中的任意一种、任意两种的组合或者同时包括三种实施例。本申请以加速冷却模块19包括冷风单元20、充气单元21和循环冷却单元22三种为例进行说明，以帮助炉膛1最大效率的散热。

在炉门4上还安装有抽真空接口16和抽真空阀门17。通过抽除炉膛1内的空气使得炉膛1内营造出真空环境，以改善工件在退火时容易氧化的问题。进一步的，在炉膛1内安装有气压传感器18，中控单元3内预设有炉膛1内的真空度阈值，当气压传感器18检测到炉膛1内的压力达到真空度阈值时，中控单元3控制抽真空阀门17自动关闭。

本申请实施例一种双运动机构退火炉的实施原理为：使用，工人将工件放置在载物台5上，之后启动程序，中控单元3控制第一运动机构6启动以推动炉门4和放置有工件的载物台5一起滑入炉膛1。当炉门4和炉门4单元抵接并触发第一位置传感器10时，第一运动机构6停止，并且中控单元3控制扣合件11将炉门4和炉门法兰7扣合。第一运动机构6启动的同时第二运动机构14也启动，以带动加热保温模块13滑动以将炉膛1包裹。当加热保温模块13和炉门法兰7抵接并触发第二位置传感器15时，中控单元3控制第二运动机构14停止运动。之后加热单元131透过炉膛1对工件进行加热，加热至中控单元3内预设的目标温度时即停止加热单元131的加热。待炉膛1自然冷却至加热保温模块13滑开温度时，第二运动机构14启动以带动加热保温模块13脱离炉膛1，之后启动冷风单元20、充气单元21和循环冷却单元22辅助炉膛1散热，直至测温单元2检测到炉膛1内温度达到工件滑出温度时，向中控单元3发送信号，从而开启扣合件11并启动第一运动机构6以带动炉门4、载物台5和工件滑出炉膛1，实现了工件退火工艺各个过程的自动控制，保障各个过程之间的衔接，减少了人力资源的投入。

本申请实施例还公开一种双运动机构退火炉的退火工艺方法。参照图3，双运动机构退火炉的退火工艺方法包括如下步骤：

S1：在载物台5上放置工件。

S2：设置程序：在中控单元3内设置退火工艺参数，包括炉膛1的真空度、升温时间、目标温度、目标温度保温时间、加热保温模块13的滑开温度、工件滑出温、炉膛1内真空度阈值。

S3：启动程序：启动第一运动机构6以带动载物台5和工件滑入炉膛1，启动第二运动机构14以带动加热保温模块13滑入并包裹炉膛1。

S4：炉膛1抽真空：开启抽真空阀门17，抽除炉膛1内空气。

S5：加热与保温。

S6：等待炉膛1自然冷却。

S7：加热保温模块13滑开：自然冷却到加热保温模块13的滑开温度后，中控单元3控制二运动机构启动，加热保温模块13滑开。为了加速炉膛1的散热，加热保温模块13滑开后，启动冷风单元20、充气单元21和循环冷却单元22，辅助炉膛1冷却至工件滑出温度。

S8：工件自动滑出：测温单元2检测到炉膛1内温度达到工件滑出温度后，中控单元3控制第一运动机构6启动，载物台5及工件滑出。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种双运动机构退火炉，其特征在于：包括一端开口的炉膛(1)、测温单元(2)、中控单元(3)、炉门(4)、集成在所述炉门(4)上的载物台(5)以及与所述炉门(4)连接的第一运动机构(6)，所述测温单元(2)、所述第一运动机构(6)均与所述中控单元(3)连接，且所述中控单元(3)内预设有工件滑出温度；

所述第一运动机构(6)用于受中控单元(3)的指令带动所述载物台(5)伸入所述炉膛(1)，并在所述测温单元(2)检测到所述炉膛(1)内达到工件滑出温度后带动载物台(5)从炉膛(1)内滑出。

2.根据权利要求1所述的双运动机构退火炉，其特征在于：所述炉膛(1)的开口端安装有炉门法兰(7)，所述炉门法兰(7)通过立桩(8)支撑在炉底座(9)上，使得所述炉膛(1)呈悬空状，所述炉门(4)靠近所述炉门法兰(7)的一侧安装有第一位置传感器(10)，所述炉门(4)和所述炉门法兰(7)上安装有扣合件(11)，所述扣合件(11)用于在所述第一位置传感器(10)检测到所述炉门(4)与所述炉门法兰(7)贴合后受所述中控单元(3)的指令将所述炉门(4)和所述炉门法兰(7)锁紧。

3.根据权利要求2所述的双运动机构退火炉，其特征在于：所述扣合件(11)为安装在所述炉门(4)背侧的气动夹爪，所述气动夹爪用于将所述炉门法兰(7)的侧壁和下缘夹紧。

4.根据权利要求2所述的双运动机构退火炉，其特征在于：所述第一运动机构(6)为固定于炉底座(9)上的电动导轨，所述电动导轨的滑动部与所述炉门(4)通过支柱(12)连接。

5.根据权利要求1所述的双运动机构退火炉，其特征在于：还包括用于对所述炉膛(1)加热及保温的加热保温模块(13)和第二运动机构(14)，所述炉膛(1)使用石英管，所述加热保温模块(13)活动套设在所述炉膛(1)外部，所述第二运动机构(14)与所述中控单元(3)连接以带动所述加热保温模块(13)自动将所述炉膛(1)的包裹或自动与所述炉膛(1)脱离。

6.根据权利要求5所述的双运动机构退火炉，其特征在于：所述加热保温模块(13)内开设有用于与所述炉膛(1)嵌合的保温空间(133)，所述加热保温模块(13)开口端的端壁上安装有第二位置传感器(15)，所述第二运动机构(14)在第二位置传感器(15)检测到所述加热保温模块(13)与炉门法兰(7)贴合时受所述中控单元(3)的指令停止，所述中控单元(3)内预设有所述加热保温模块(13)滑开温度，所述第二运动机构(14)在所述测温单元(2)在检测到所述炉膛(1)内温度达到加热保温模块(13)滑开温度时带动所述保温加热单元(131)滑出。

7.根据权利要求1所述的双运动机构退火炉，其特征在于：所述炉门(4)上安装有抽真空接口(16)和抽真空阀门(17)，所述炉膛(1)内安装有气压传感器(18)，所述抽真空阀门(17)用于在所述气压传感器(18)检测到所述炉膛(1)内真空度达到所述中控单元(3)内预设的真空度阈值时自动关闭。

8.根据权利要求1所述的双运动机构退火炉，其特征在于：还包括与所述中控单元(3)连接的加速冷却模块(19)，所述加速冷却模块(19)包括风口朝向所述炉膛(1)的冷风单元(20)；

和/或

与所述炉门(4)连接的用于向所述炉膛(1)内部填充保护气体的充气单元(21)；

和/或

设置在所述炉门法兰(7)上的循环冷却单元(22)。

9.一种双运动机构退火炉的退火工艺，其特征在于：包括如下步骤：

在载物台(5)上放置工件；

设置程序：在中控单元(3)内设置退火工艺参数，包括炉膛(1)的真空度、升温时间、目标温度、目标温度保温时间、加热保温模块(13)的滑开温度、工件滑出温度、炉膛(1)内真空度阈值；

启动程序：启动第一运动机构(6)以带动载物台(5)和工件滑入炉膛(1)，启动第二运动机构(14)以带动加热保温模块(13)滑入并包裹炉膛(1)；

炉膛(1)抽真空：开启抽真空阀门(17)，抽除炉膛(1)内空气；

加热与保温；

等待炉膛(1)自然冷却；

加热保温模块(13)滑开：自然冷却到加热保温模块(13)的滑开温度后，中控单元(3)控制第二运动机构(14)启动，加热保温模块(13)滑开；

工件自动滑出：测温单元(2)检测到炉膛(1)内温度达到工件滑出温度后，中控单元(3)控制第一运动机构(6)启动，载物台(5)及工件滑出。

10.根据权利要求9所述的双运动机构退火炉的退火工艺，其特征在于：自然冷却到加热保温模块(13)的滑开温度后，启动冷风单元(20)和/或启动充气单元(21)和/或启动循环冷却单元(22)，辅助炉膛(1)冷却至工件滑出温度。