CN118564486A - 一种气浮轴承总成的压力控制方法 - Google Patents

一种气浮轴承总成的压力控制方法 Download PDF

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Abstract

一种气浮轴承总成的压力控制方法，包括气浮轴承总成及其连接的轴承供气系统，所述气浮轴承总成包括主轴，主轴外周分别套接有止推盘以及轴套，止推盘与轴承壳之间设有推力片，轴套外周设有轴承壳，轴承壳外周设有轴承座，所述轴套与主轴之间设有提供径向载荷的第一气道，所述止推盘与轴承壳侧面之间设有提供轴向载荷的第二气道，轴承壳侧面设有感应止推盘位置的位移传感器，所述的轴承供气系统包括为第一气道提供进气压力的进气管路以及控制器。该种气浮轴承总成的压力控制方法由控制器根据感应到的位移传感器数据结合第一气道的排气压力，调节进气压力控制第一气道和第二气道的气道压力。

Description

一种气浮轴承总成的压力控制方法
技术领域
本发明涉及气浮轴承领域，特别涉及一种用于离心式压缩机使用的气浮轴承，且具备承担径向载荷和轴向载荷的气浮轴承压力控制方法。
背景技术
气浮轴承是通过气体在气浮轴承与主轴之间形成气膜，其中气体通过轴承表面的微孔进入到轴承与转子之间的间隙，对转子的支撑部位形成气膜压力，从而起到支撑转子浮起的作用，与常规油质润滑轴承相比，气浮轴承具有较多良好特性，如高转速、高精度、低功耗、振动噪声小、无污染和寿命长等优点，广泛应用于流体机械、机床及医疗等行业，尤其在超高速旋转机械和超精密机械制造领域有明显的优越性，也可在极高温或极低温工况下工作。
目前，根据气浮轴承的润滑形式主要是分为静压气浮轴承和动压气浮轴承，相对动压气浮轴承而言，静压气浮轴承的承载能力是动压气浮轴承的5-9倍，而且与轴承表面之间的任何相对运动无关，主要依靠外部高压气源给轴承供气，气体由气源经节流器进入轴承间隙，然后连续的从轴承外边缘排出，从而使得轴承间隙内的气膜获得承载力(参考文献：J.W.POWELL著，丁维刚、林向群等译，《空气静压轴承设计》，国防工业出版社)，气浮轴承的特点是结构简单，便于维护，但是缺点也非常明显，存在承载力低、刚度弱、微振动和抗外界干扰能力弱等问题，由于受限于承载力，其被支撑转子重量不能过高，转子瞬时起停时，可能存在短时间接触，极易导致动静部件摩擦或磨损，对气浮轴承接触面的耐磨性能要求高。
根据专利CN210371677U公开了一种三向支撑的小孔节流气浮轴承，轴承由径向轴承和布置在两个推力面的推力轴承一起组成复合轴承，主轴上布置两止推盘，复合轴承布置在两止推盘中间，同时承受径向和轴向载荷。而专利CN204003975U和CN102494025A所公开的静压气浮轴承结构两者特点类似，在主轴上加工两个止推面和径向面，轴承的两推力面和径向面包裹在主轴外侧，同时承受径向和轴向载荷。所述三个专利所公开的气浮轴承结构，其共同点为采用一个径向轴承面和两个推力轴承面组成复合轴承，由于两个推力轴承面位于径向轴承面的两侧呈“H”型，所以又称为H型气浮轴承。如专利CN113738661A所示，H型气浮轴承用于离心式压缩机轴系时其支撑端必须同时配套一个独立的径向气浮轴承，H型气浮轴承和径向气浮轴承分别布置在电机转子两侧，一端承担径向和轴向载荷，另一端承担径向载荷。
根据专利CN216343373U公开了一种推力气浮轴承总成，其结构为在主轴上布置单一止推盘，双推力面，推力气浮轴承两推力面布置在止推盘的两侧，由于推力盘较薄，两推力面距离较近，与推力气浮轴承组合在一起呈“I”型，又称为I型推力轴承。如专利CN112628281A和专利CN106015032B所述，I型推力气浮轴承用于离心式压缩机轴系时其支撑端必须同时配套两个独立的径向气浮轴承，轴系支撑两端，一端布置推力轴承和径向轴承，承担径向和轴向载荷，另一端单独布置径向轴承，承担径向载荷。
所述的H型轴承和I型轴承结构特征和轴系布局，会存在两方面的问题：问题一为轴承本身结构所存在的问题，H型轴承结构和I型轴承结构排气方向为推力间隙外圆侧，而推力间隙内气膜压力分布与气膜的排气方向具有相关性，从而导致推力轴承内圆处的压力明显高于外圆处压力，且压力梯度较大，此外H型气浮轴承推力面侧同时兼顾径向间隙气体的排气，推力间隙和径向间隙的气体形成封闭，由于气体排气方向呈90°，容易在推力面内圆形成紊流，不但会导致摩擦生热引起轴承本体的热变形，而且也容易破坏推力间隙内的层流气膜，从而导致推力面偏载，严重时止推盘与推力面发生摩擦，在瞬间摩擦升温时推力片会脱落，轴承失效。问题二为转子的结构布局的非对称性所带来的问题，主轴一端布置推力轴承和径向轴承，另一端单独布置径向轴承，轴承支撑两端所受到的载荷差别较大，对于气浮轴承支撑的转子，由于气体粘度约为油粘度的1/1000，气膜的厚度非常小，哪怕受到外界微小的扰动，容易造成转子失稳，严重时导致主轴与轴承接触，发生刮擦或抱轴，所以对动平衡要求极高，而转子结构布局的非对称性不利于高精度动平衡工艺的执行。
采用静压气浮轴承的离心式压缩机转子结构，由于转子的重量通常不变，在运行过程中气浮轴承所承受的载荷非常稳定，很少有因为径向载荷原因而导致轴承的损坏。由于离心式压缩机在运行过程中存在瞬间起动、瞬间停机、突然加速及载荷突变等异常工况，导致离心式压缩机的轴向载荷变化较大，非常的不稳定，所以在离心式压缩机的轴系设计过程中叶轮采用背靠背分别布置在转子的两端以抵消绝大部分轴向推力，但是仍有小部分轴向推力靠推力轴承来承担，在离心式压缩机出现异常工况时，轴承的承载力、刚度及阻尼并没有根据异常情况进行及时调整，从而导致离心式压缩机轴向振动加大，严重时止推盘与推力轴承会发生碰撞、刮擦，甚至推力片受热摩擦失效。
在专利CN203035757U中，同样公开了一种用于高速电主轴气浮轴承组件，采用单推力轴承和径向轴承的组合型式，轴承外形与本发明气浮轴承类似，径向轴承外圆布置2个的O型圈来提供额外阻尼，在高速旋转下，并不能完全消除转子的振动，并且节流器采用孔板式，在小间隙工况运行下，可能伴随有“气锤”现象，当间隙小减小到一定的程度，轴承刚度会出现坍塌，转子运行极其不稳定。
对于上述现有技术，本领域技术人员研究的对象是气膜形成稳定、承载能力强的气浮轴承总成方法。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种气浮轴承总成的压力控制方法，使得轴承具备推力间隙自动测量功能，并通过主动调节供气压力对推力间隙加以控制，对轴承本体而言，通过合理的设计气道及其整体结构的优化，从而进一步提高了气浮轴承总成运行的可靠性。
为了达到上述目的，本发明提供一种气浮轴承总成的压力控制方法，包括气浮轴承总成及其连接的轴承供气系统，所述气浮轴承总成包括主轴，主轴外周分别套接有止推盘以及轴套，轴套外周设有轴承壳，止推盘与轴承壳之间设有推力片，轴承壳外周设有轴承座，所述轴套与主轴之间设有提供径向载荷的第一气道，所述止推盘与轴承壳侧面之间设有提供轴向载荷的第二气道，轴承壳侧面设有感应止推盘位置的位移传感器，第一气道和第二气道相互连通，所述的轴承供气系统包括为第一气道提供进气压力的进气管路以及控制器，控制器根据感应到的位移传感器数据结合第一气道的排气压力，调节进气压力控制第一气道和第二气道的气道压力。该种气浮轴承总成的压力控制方法通过位移传感器检测到止推盘与推力片之间的间隙，相应调节进气管路的气压，实现对于气浮轴承总成的第一气道、第二气道压力控制,避免第一气道、第二气道压力变化引起的主轴、止推盘、轴套之间的间隙变化导致的意外磨损。
所述的进气管路包括管路连接的压力泵、储罐、调节阀、流量计、第二压力传感器，调节阀和与位移传感器形成连锁保护，通过第二压力传感器检测第一气道和第二气道的进气压力，由调节阀相应调节进气压力以满足间隙内的气膜厚度要求；所述储罐内设有加热器以及液位计，加热器用于控制储罐压力，储罐可以储存气体、液体或气液两相流体,液位计兼顾有测温功能，同时与压力泵形成连锁保护，用于控制储罐内的液位高低和流体温度；储罐外连接有检测其压力的第一压力传感器，第一压力传感器与加热器形成连锁保护。
所述第一气道包括设于轴承座的进气孔，进气孔连通位于轴承座内侧的第一凹槽，第一凹槽连通轴承壳内的径向进气孔和轴向进气孔，径向进气孔连通轴套的气槽进气口，轴套与主轴之间形成径向间隙，轴套为多孔透气介质，气槽进气口内的气体连通径向间隙。主轴在重力载荷的作用下，相对于轴套偏心，所述径向间隙绕主轴的外圆面间隙并不均匀，形成上部间隙和下部间隙，两者相互连通且上部间隙平均值大于下部间隙的平均值，间隙内形成具有一定承载力的气膜包络在主轴圆周，实现主轴在轴套内的浮动运转。
所述轴套包括位于两端的第一环形面、第二环形面，第一环形面与第二环形面之间设有气槽进气口连通的横向气槽、纵向环形气槽，横向气槽、纵向环形气槽均布于轴套外周使得气槽进气口的气体可以透过轴套进入径向间隙内。轴套上布置一定数量的气槽，有利于气体在轴套外圆面上更好的分布，多孔透气介质其透气性非常均匀，有利于在径向间隙形成均匀的气模，提供稳定的气膜压力。该轴套采用全多孔介质作为节流器，也适用于部分多孔介质节流器，另外其它形式的节流器例如小孔或微孔节流器、狭缝节流器等也同样适用。
所述的轴承壳包括位于轴承壳内侧面的第一径向环形面、位于轴承壳外周的第二凹槽，所述的第一径向环形面两侧均设有径向蓄胶槽，径向蓄胶槽连通注胶孔，通过注胶孔向径向蓄胶槽注入粘结剂，粘结剂充满蓄胶槽，把轴套和轴承壳牢固的粘结在一起。
所述的第二气道包括位于轴承壳侧面的轴向环形气槽，轴向环形气槽连通轴向进气孔，轴向环形气槽内的气体透过推力片，进入止推盘与推力片之间的轴向间隙，轴向间隙连通轴承座的第二排气孔。轴向间隙所形成的具有一定承载力的气膜，气膜的有效厚度避免了推力片与止推盘之间出现接触或磨损，延长了气浮轴承总成的使用寿命。
所述的轴向环形气槽两侧分别设有第一环形蓄胶槽和第二环形蓄胶槽，轴向环形气槽与第一环形蓄胶槽之间连通有第一径向气槽，轴向环形气槽与第二环形蓄胶槽之间连通有第二径向气槽。第一环形蓄胶槽和第二环形蓄胶槽涂抹粘结剂，把推力片和轴承壳牢固的粘结在一起，防止推力片在一定的进气压力下脱落，第一径向气槽和第二径向气槽呈散射状分布，有利于气体均匀的透过推力片，在轴向间隙内形成压力分布均匀的气膜，确保提供足够的轴向承载力。
推力片和轴套采用多孔介质材料，该材料在静压气浮轴承中的应用越来越广泛，多孔介质材料应用于气浮轴承其主要优点为气膜表面压力分布均匀，不存在压力陡降现象，并且不易引发“气锤”现象，在较大倾覆力矩的作用下运行更加稳定，适用于单组分气体和多组分混合气体，对于流体的不同状态例如气态、液态以及气液两相态具有较强的适应性。多孔介质材料目前发展比较完善，有现成成熟可用的原材料，能迅速工程化。
所述的主轴、止推盘、轴套以及轴承壳相互围绕形成第一腔体，所述的止推盘外周安装有密封端盖，所述密封端盖、轴承壳与轴承座相互围绕形成第二腔体，所述第一腔体、第二腔体通过轴向间隙以及轴承壳内的第一排气孔连通，也就是第一气道、第二气道相互连通，确保气浮轴承总成具备稳定的互通的进气和排气通道。第一排气孔的布置，有利于轴向间隙和径向间隙内的气体及时排出，能够把间隙内的因气体摩擦所产生的热量及时带走，从而降低了间隙内气膜的工作温度，消除了因热应力或热膨胀所引起的一系列问题，特别是对于推力片而言有助于提高倾覆刚度，承载能力会更加稳定，能够有效的降低压缩机异常工况下所带来的风险。
所述的密封端盖与止推盘之间设有密封间隙。
采用上述的技术方案，该一种气浮轴承总成的压力控制方法通过位移传感器检测到止推盘与推力片之间的间隙，相应调节进气管路的气压，实现对于气浮轴承总成的第一气道、第二气道的压力控制，提高了气浮轴承总成运行的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。
图1为本发明一种气浮轴承总成的压力控制方法原理图；
图2为本发明一种气浮轴承总成的结构示意图；
图3为图2中A处局部放大图；
图4为本发明中轴承壳立体剖视示意图；
图5为本发明中轴套立体结构示意图；
图6为本发明中推力片和轴套安装结构示意图；
图7为本发明中对称转子气浮轴承布置示意图；
图8为本发明中轴套径向承载原理图；
图9为图8中B-B截面视图；
图10为本发明中推力片轴向承载原理图。
具体实施方式
下面结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明的保护范围。
如图1-10所示，一种气浮轴承总成的压力控制方法，包括气浮轴承总成及其连接的轴承供气系统，气浮轴承总成包括主轴1，主轴1外周分别套接有止推盘9以及轴套2，轴套2外周设有轴承壳3，止推盘9与轴承壳3之间设有推力片7，轴承壳3外周设有轴承座5，轴套2与主轴1之间设有提供径向载荷的第一气道，止推盘与轴承壳侧面3p之间设有提供轴向载荷的第二气道，轴承壳侧面3p设有感应止推盘位置的位移传感器6，位移传感器6安装于轴承壳侧面3p的安装孔3k内，第一气道和第二气道相互连通，轴承供气系统包括为第一气道提供进气压力Po的进气管路以及控制器13，控制器13根据感应到的位移传感器数据结合第一气道的排气压力Pa，调节进气压力Po控制第一气道和第二气道的气道压力。推力片7和轴套2垂直布置呈“T”型，分别承受轴向载荷和径向载荷。T型气浮轴承成对使用，两轴承尺寸规格一样，可以实现互换性，主轴特征要求对称性布置。主轴1两侧均设有轴承壳3、止推盘9以及叶轮54。推力片7为圆环形，轴套2为圆筒形，两者均具有一定的厚度。轴承壳3包括位于轴承壳3内侧面的第一径向环形面3r、位于轴承壳3外周的第二凹槽3a，第二凹槽3a配合安装第一O型圈4，第一径向环形面3r两侧均设有径向蓄胶槽3o，径向蓄胶槽3o连通注胶孔3n。
进气管路包括管路连接的压力泵14、储罐15、调节阀17、流量计18、第二压力传感器19；储罐15内设有加热器20以及液位计21，储罐15外连接有第一压力传感器16。
第一气道包括设于轴承座5的进气孔5b，进气孔5b连通位于轴承座5内侧的第一凹槽5a，第一凹槽5a连通轴承壳3内的径向进气孔3b和轴向进气孔3c，径向进气孔3b连通轴套2的气槽进气口2c，轴套2与主轴1之间形成径向间隙q2，轴套2为多孔透气介质，气槽进气口2c内的气体连通径向间隙q2。轴承座5侧边设有第二凹槽5d，第二凹槽5d为环形且轴向布置第二O型圈12，第一凹槽5a的排气槽口进行倒角形成斜面5e，提高第一凹槽5a与径向进气孔3b的连通性能。由于主轴1在重力载荷(G)的作用下，相对于轴套2偏心，径向间隙(q2)绕主轴(1)的外圆面间隙并不均匀，形成上部间隙(q2a)和下部间隙(q2b)，两者相互连通且上部间隙(q2a)平均值大于下部间隙(q2b)的平均值。斜面5e的主要作用是轴承壳装配过程中有利于第一O型圈顺利通过第一凹槽，同时防止第一O型圈装入时被刮伤。轴套2包括位于两端的第一环形面2a、第二环形面2e，第一环形面2a与第二环形面2e之间设有气槽进气口2c连通的横向气槽2b、纵向环形气槽2d。止推盘9套设在主轴1上，并且布置在推力片7的外侧，形成轴向间隙q1，轴承在工作过程中必须保证轴向间隙q1和径向间隙q2的最小间隙范围，防止轴套2与主轴1接触，防止推力片7与止推盘9接触。
第二气道包括位于轴承壳侧面3p的轴向环形气槽3d，轴向环形气槽3d连通轴向进气孔3c，轴向环形气槽3d内的气体透过推力片7，进入止推盘9与推力片7之间的轴向间隙q1，轴向间隙q1连通轴承座5的第二排气孔5c。
轴向环形气槽3d两侧分别设有第一环形蓄胶槽3i和第二环形蓄胶槽3j，轴向环形气槽3d与第一环形蓄胶槽3i之间连通有第一径向气槽3e，轴向环形气槽3d与第二环形蓄胶槽3j之间连通有第二径向气槽3f，第二径向气槽3f和第一径向气槽3e呈径向散射状交叉布置一定数量，有利于气体均匀的透过推力片7，在轴向间隙q1内形成压力分布均匀的气膜，确保提供足够的轴向承载力。推力片7布置在第一径向气槽3e和第二径向气槽3f外侧面上，通过多条且形状呈“V”型的第一环形蓄胶槽3i和第二环形蓄胶槽3j内涂抹足量的粘结剂，把推力片7和轴承壳3粘结在一起，且保证轴承壳侧面3p要略低推力片7。
作为结构优选主轴1、止推盘9、轴套2以及轴承壳3相互围绕形成第一腔体10，止推盘9外周安装有密封端盖8，密封端盖8、轴承壳3与轴承座5相互围绕形成第二腔体11，第一腔体10、第二腔体11通过轴向间隙q1以及轴承壳3内的第一排气孔3g连通。第一排气孔3g沿轴承壳3呈径向散射状布置一定数量。密封端盖8与止推盘9之间设有密封间隙q3。
本发明一种气浮轴承总成的压力控制方法为：轴承供气系统的气体通过进气孔5b和第一凹槽5a进入轴承壳，其中第一气道气体通过径向进气孔3b依次进入轴套2的横向气槽2b和纵向环形气槽2d,气体经过轴套2渗透节流后由径向间隙q2排出，第二气道气体通过轴向进气孔3c依次进入轴向环形气槽3d，经过第一径向气槽3e和第二径向气槽3f，最后经过推力片7渗透节流后由轴向间隙q1排出，轴向间隙q1排出气体一部分进入第一腔体10，另一部分分两路，一路经过密封间隙q3排出，另一路直接进入第二腔体11与第一排气孔3g气体混合后，经过第二排气孔5c排出。第一气道气体经过径向间隙q2沿着轴套2两侧排出，其中一侧是直接经过第一腔体10、第一排气孔3g、第二腔体11和第二排气孔5c排出。
作为控制器13的控制方法，进气压力Po经过轴套2和推力片7在径向间隙q2和轴向间隙q1处产生渗透压力，其中上部间隙q2a处的渗透压力Ps，下部间隙q2b处的渗透压力Pn，轴向间隙q1平均半径处的渗透压力Pz，压力Ps、压力Pn和压力Pz通过进气压力Po与排气压力Pa的压差进行调节。
气浮轴承的间隙与流量呈三次方关系，间隙越大排气流量越大，排气阻力越小，由于间隙q2a＞q2b，从而导致压力Ps＜Pn，相应作用在主轴1上下部分的承载力L×D×(Ps-Pa)＜L×D×(Pn-Pa),主轴1在上下承载力差的作用下被浮起来，进气压力Po越大，压力Ps和Pn越大，主轴1上下承载力差值越小，轴套2的承载能力越强，主轴1的中心线越靠近轴套2的中心线，为了安全起见，径向间隙q2要保证大于一定的最小值。L为轴套2长度，D为主轴1直径,径向载荷与径向间隙q2之间通过试验建立对应的函数关系。
作用在推力片7上的承载力为π×(Pz-Pa)×(Ro2-Ri2)，进气压力Po越大，压力Pz越大，相应承载力越大，离心压缩机的轴向推力载荷变化非常大，所以必须保证轴向间隙q1的最小安全距离，轴向间隙q1通过一定数量的位移传感器6进行检测，根据检测的数值来调节进气压力Po。Ro为推力片7的外径，Ri为推力片7的内径，轴向载荷与轴向间隙q1之间通过试验建立对应的函数关系。
控制器13分别接收位移传感器6、进气压力Po、排气压力Pa和储罐15的压力Pc等信号。控制器13，接受到移传感器6信号后，判断是否在合理范围内，如果轴向间隙q1过小，控制器13发出调节指令，控制调节阀17的开度来提高Po值，进气和排气压差Po-Pa越大，使得轴向间隙q1越大，径向间隙q2的上部间隙q2a和下部间隙q2b的值越接近，气浮轴承的承载能力越强，反之既然。进气和排气压差Po-Pa并不是越大越好，虽然气浮轴承间隙越大，其承载力越大，但是轴承的刚度会相应变弱，抵抗外部扰动的能力变弱，所以根据轴承实际运行情况，控制器13会控制进气和排气压差Po-Pa在一定的范围内波动。
第一压力传感器16检测储罐15内的压力，如果压力Pc过低时，为了保证Pc＞Po，需要控制器13发出指令，起动加热器20对气体进行加热以提高其压力。液位计21用于检测储罐15内液体的液位高度，如果液位过低，控制器13发出指令，起动压力泵14供液，直到达到一定的液位高度，此外液位计兼顾有测温功能，能够及时反应储罐内流体的温度。
由于推力片和轴套的共用一套供气系统，对轴向气间隙隙q1进行调整时，两者供气压差(Po-Pa)相同，由于轴套的承载力在选型设计初已经充分考虑了轴向载荷的变化情况，所以在调整轴向载荷时，虽然径向载荷也同步调整，但是轴套的承载力支撑整个转子的径向载荷相对于轴向载荷而言，留有足够的裕量。
本发明采用一个轴套和一个推力片组成具备承受径向载荷和轴向载荷的气浮轴承总成，推力片与轴套中心线垂直布置并且呈“T”型。T型气浮轴承的结构形式更有利于采用对称式轴系布局，转子的两支撑点可以分别布置同一个规格尺寸的气浮轴承，每个气浮轴承承受的载荷接近，两者可以进行互换，有利于安排生产，降低气浮轴承的制造成本。
尽管上述已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims (10)

1.一种气浮轴承总成的压力控制方法，包括气浮轴承总成及其连接的轴承供气系统，其特征在于：所述气浮轴承总成包括主轴(1)，主轴(1)外周分别套接有止推盘(9)以及轴套(2)，轴套(2)外周设有轴承壳(3)，止推盘(9)与轴承壳(3)之间设有推力片(7)，轴承壳(3)外周设有轴承座(5)，所述轴套(2)与主轴(1)之间设有提供径向载荷的第一气道，所述止推盘与轴承壳侧面(3p)之间设有提供轴向载荷的第二气道，轴承壳侧面(3p)设有感应止推盘位置的位移传感器(6)，第一气道和第二气道相互连通，所述的轴承供气系统包括为第一气道提供进气压力(Po)的进气管路以及控制器(13)，控制器(13)根据感应到的位移传感器数据结合第一气道的排气压力(Pa)，调节进气压力(Po)控制第一气道和第二气道的气道压力。
2.根据权利要求1所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述的进气管路包括管路连接的压力泵(14)、储罐(15)、调节阀(17)、流量计(18)、第二压力传感器(19)；所述储罐(15)内设有加热器(20)以及液位计(21)，储罐(15)外连接有第一压力传感器(16)。
3.根据权利要求1所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述的第一气道包括设于轴承座(5)的进气孔(5b)，进气孔(5b)连通位于轴承座(5)内侧的第一凹槽(5a)，第一凹槽(5a)连通轴承壳(3)内的径向进气孔(3b)和轴向进气孔(3c)，径向进气孔(3b)连通轴套(2)的气槽进气口(2c)，轴套(2)与主轴(1)之间形成径向间隙(q2),轴套(2)为多孔透气介质，气槽进气口(2c)内的气体连通径向间隙(q2)。
4.根据权利要求1和3所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述主轴(1)在重力载荷(G)的作用下，相对于轴套(2)偏心，所述径向间隙(q2)绕主轴(1)的外圆面间隙并不均匀，形成上部间隙(q2a)和下部间隙(q2b)，且上部间隙(q2a)平均值大于下部间隙(q2b)的平均值。
5.根据权利要求3所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述轴套(2)包括位于两端的第一环形面(2a)、第二环形面(2e)，第一环形面(2a)与第二环形面(2e)之间设有气槽进气口(2c)连通的横向气槽(2b)、纵向环形气槽(2d)。
6.根据权利要求1所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述的轴承壳(3)包括位于轴承壳(3)内侧面的第一径向环形面(3r)、位于轴承壳(3)外周的第二凹槽(3a)，所述的第一径向环形面(3r)两侧均设有径向蓄胶槽(3o)，径向蓄胶槽(3o)连通注胶孔(3n)。
7.根据权利要求1所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述的第二气道包括位于轴承壳侧面(3p)的轴向环形气槽(3d)，轴向环形气槽(3d)连通轴向进气孔(3c)，轴向环形气槽(3d)内的气体透过推力片(7)，进入止推盘(9)与推力片(7)之间的轴向间隙(q1)，轴向间隙(q1)连通轴承座(5)的第二排气孔(5c)。
8.根据权利要求7所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述的轴向环形气槽(3d)两侧分别设有第一环形蓄胶槽(3i)和第二环形蓄胶槽(3j)，轴向环形气槽(3d)与第一环形蓄胶槽(3i)之间连通有第一径向气槽(3e)，轴向环形气槽(3d)与第二环形蓄胶槽(3j)之间连通有第二径向气槽(3f)。
9.根据权利要求1所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：所述的主轴(1)、止推盘(9)、轴套(2)以及轴承壳(3)相互围绕形成第一腔体(10)，所述的止推盘(9)外周安装有密封端盖(8)，所述密封端盖(8)、轴承壳(3)与轴承座(5)相互围绕形成第二腔体(11)，所述第一腔体(10)、第二腔体(11)通过轴向间隙(q1)以及轴承壳(3)内的第一排气孔(3g)连通，所述的密封端盖(8)与止推盘(9)之间设有密封间隙(q3)。
10.根据权利要求1所述的一种气浮轴承总成的压力控制方法，其特征在于：轴承供气系统的气体通过进气孔(5b)和第一凹槽(5a)进入轴承壳，其中第一气道气体通过径向进气孔(3b)依次进入轴套2的横向气槽(2b)和纵向环形气槽(2d),气体经过轴套(2)渗透节流后由径向间隙(q2)排出，第二气道气体通过轴向进气孔(3c)依次进入轴向环形气槽(3d)，经过第一径向气槽(3e)和第二径向气槽(3f)，气体经过推力片7渗透节流后由轴向间隙(q1)排出，轴向间隙(q1)排出气体一部分进入第一腔体(10)，另一部分分两路，一路经过密封间隙(q3)排出，另一路直接进入第二腔体(11)与第一排气孔(3g)气体混合后，经过第二排气孔(5c)排出，第一气道气体经过径向间隙(q2)沿着轴套(2)两侧排出，其中一侧是直接经过第一腔体(10)、第一排气孔(3g)、第二腔体(11)和第二排气孔(5c)排出。
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