CN121038024B - 一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，涉及晶圆加工技术领域，包括控制座与加热盘，所述加热盘设于控制座上端并与其电性连接，所述加热盘内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆，所述位于正中心位置的伸缩支撑杆上端固定连接有第一承载台，剩余两组伸缩支撑杆上端固定连接有第二承载台，第一承载台上端固定连接有第一电热丝，第二承载台上端固定连接有第二电热丝，晶圆直径小于第一陶瓷片，仅下压第一陶瓷片，带动第一承载台与第一电热丝上移，单独贴合第一陶瓷片锁热槽；晶圆直径大于第一陶瓷片，同步下压第一、第二陶瓷片，带动两组承载台与电热丝上移，分别贴合对应陶瓷片锁热槽。

Description

一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，具体是一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘。

背景技术

在物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）制备薄膜（如金属电极膜、绝缘介质膜）时，需将晶圆加热至特定恒温（通常200-800℃）以保证薄膜附着力与均匀性，从而需要使用碳化硅陶瓷加热盘对其进行加热，碳化硅陶瓷加热盘核心是利用碳化硅陶瓷的半导体特性与高热导率，通过通电使电流流经碳化硅材料产生焦耳热，热量依托其优异的导热性能快速且均匀地传递至整个盘面，实现稳定加热。

经过检索发现，公告号为CN220858441U的中国专利公开了一种基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，包括下体放置盘，所述下体放置盘的表面开设有加热丝放置槽，所述加热丝放置槽的内部卡接有加热丝，所述下体放置盘的顶面的外侧开设有内螺纹槽，所述内螺纹槽的内部螺纹连接有螺纹套圈，所述螺纹套圈的顶部固定连接有上盘体。该基于费马螺线加热丝布局的碳化硅陶瓷加热盘，通过底部放热组件的设置，当加热盘工作时，加热丝的热量会同样传递到下体放置盘，下体放置盘通过上层圈与底层圈形成中空隔热环境，从而对底部热量进行阻断，防止热量传递到底部，对与加热盘底部的物体进行保护，提高了加热盘加热过程中的安全性

上述发明存在以下问题：

1.上述陶瓷加热盘虽然可以进行加热工作，但缺乏针对晶圆直径的自适应加热调节能力，该类型加热盘采用固定直径设计，其加热区域无法随晶圆尺寸动态调整，导致加热系统需恒定启动全区域加热丝以实现加热作业，当待加热晶圆直径显著小于加热盘固有直径时，加热盘非有效覆盖区域的加热丝仍处于工作状态，造成加热能量的无效耗散，引发能源利用率低下的问题，不符合半导体制造过程中对能耗优化及精准加热的技术需求，增加了晶圆热处理环节的能源成本；

2.现有陶瓷加热盘采用人工介入式开关控制模式，其加热丝的启停操作需依赖工作人员在作业前后进行手动干预，控制流程存在明显的人为依赖性，该控制方式不仅增加了操作人员的工序复杂度，降低了晶圆加热作业的流程效率，还存在人工操作失误风险，若工作人员在加热作业前遗漏启动操作，将导致加热流程延误；若作业后忘记关闭开关，易引发加热盘空烧，可能造成设备过热损耗，甚至对周边生产环境的安全性产生潜在影响，不符合半导体制造自动化、无人化的发展趋势及设备运行的安全性要求。

因此，本领域技术人员提供了一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，以解决上述提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，包括控制座与加热盘，所述加热盘设于控制座上端并与其电性连接，所述控制座用于为加热盘提供电能以及控制，所述加热盘用于集成各个零部件；第一陶瓷片与第二陶瓷片，设于加热盘上表面，第一陶瓷片设于第二陶瓷片内侧，所述第一陶瓷片与第二陶瓷片通过自身材质起到导热效果，加热机构，设于加热盘内，所述加热机构包括伸缩支撑杆、第一承载台、第一电热丝、第二承载台以及第二电热丝，所述加热盘内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆，所述位于正中心位置的伸缩支撑杆上端固定连接有第一承载台，剩余两 组伸缩支撑杆上端固定连接有第二承载台，第一承载台上端固定连接有第一电热丝，第二承载台上端固定连接有第二电热丝，第一电热丝与第二电热丝均与控制座电性连接，所述加热机构用于控制第一陶瓷片与第二陶瓷片升温；重力调节机构，设于加热盘以及第一陶瓷片与第二陶瓷片上端，所述重力调节机构用于调整加热机构与第一陶瓷片与第二陶瓷片接触，并进行加热。

作为本发明进一步的方案：所述第一陶瓷片下端面左右两端均固定连接有第一齿条，第一承载台下端面左右两端均固定连接有第二齿条，第二陶瓷片下端面左右两端均固定连接有第三齿条，第二承载台下端面左右两端均固定连接有第四齿条。

作为本发明再进一步的方案：相邻的所述第一齿条与第二齿条之间均设有第一齿轮，相邻的所述第三齿条与第四齿条之间均设有第二齿轮，第一齿条与第二齿轮外壁均连接有限位座，且限位座与加热盘内部底端固定，所述第一齿条与第二齿条均与相邻的第一齿轮相啮合，所述第三齿条与第四齿条均与相邻的第二齿轮相啮合，所述第一齿条与第三齿条底端均固定连接有阻尼弹簧，阻尼弹簧另一端均与加热盘底端固定连接。

作为本发明再进一步的方案：所述控制机构设于加热盘内部底端，所述控制机构用于控制第一电热丝与第二电热丝的启闭，所述加热盘内部底端固定连接有两组控制板，两组控制板上端均配备有控制开关，设于靠近加热盘中心位置的控制板与控制开关与第一电热丝电性连接，设于远离加热盘中心位置的控制板与控制开关与第二电热丝电性连接，靠近两组控制板的第一齿条与第三齿条外壁均固定连接有挤压块，挤压块外壁设有楔形面。

作为本发明再进一步的方案：所述锁定机构设于第一陶瓷片与第二陶瓷片以及第一承载台与第二承载台上方，所述锁定机构用于锁定第一承载台与第二承载台的位置，所述第一陶瓷片与第二陶瓷片底端均开设有锁热槽，两组锁热槽内左右两端均开设有锁定槽，第一承载台与第二承载台上端面左右两端均设有L形锁定杆，L形锁定杆均与相对应的锁定槽配合使用，所述锁定槽内部形状呈L形，锁定槽内部一端内均固定连接有第一复位弹簧，第一复位弹簧另一端均固定连接有限位块，限位块与第一复位弹簧用于对L形锁定杆进入锁定槽后进行限位，L形锁定杆底端均固定连接有滑块，第一承载台与第二承载台上端面均开设有与滑块相配合的滑槽，滑槽与相对应滑块之间固定连接有第二复位弹簧。

作为本发明再进一步的方案：所述第一陶瓷片与第二陶瓷片上端放置有晶圆。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.因设有重力调节机构，晶圆直径小于第一陶瓷片，仅下压第一陶瓷片，带动第一承载台与第一电热丝上移，单独贴合第一陶瓷片锁热槽；晶圆直径大于第一陶瓷片，同步下压第一、第二陶瓷片，带动两组承载台与电热丝上移，分别贴合对应陶瓷片锁热槽，无需人工调整，即可适配不同尺寸晶圆的加热需求，提升设备对多规格产品的兼容性；

锁热槽采用环形状结构，能对第一、第二电热丝形成物理包裹，有效阻挡热量向外部扩散，将热量集中于陶瓷片与晶圆接触区域，既避免了热量浪费，又确保加热区域温度更集中、均匀，保障晶圆加热质量；

当晶圆移除后，陶瓷片通过底部阻尼弹簧的储能自动复位，同步带动齿条、齿轮反转，使承载台、电热丝回归初始位置，无需人工操作复位机构，减少作业步骤，降低人为干预成本，同时避免因忘记复位导致的下一次作业误差。

2.因设有控制机构，完全替代传统人工介入式开关控制，电热丝的启停由陶瓷片的移动以及复位动作自动触发，无需工作人员手动操作，从根源上杜绝作业后忘记关闭开关导致的加热盘空烧问题，避免设备因过热产生损耗，同时消除空烧对周边生产环境的火灾、高温烘烤等潜在安全风险；

挤压块外壁采用楔形面设计，相比平面接触，能更平滑、稳定地挤压按压式控制开关，避免因接触面积过小、受力不均导致的开关触发失效或损坏。

3.因设有锁定机构，L形锁定杆通过滑块、滑槽、第二复位弹簧，可随第一、第二陶瓷片的升降同步自适应移动，无需额外手动调整，确保锁定动作与陶瓷片位置精准匹配，锁定时，L形锁定杆凸块卡入锁定槽凹槽，同时第一复位弹簧带动限位块抵接锁定杆外壁，形成机械卡合与弹性抵紧的双重限位，避免锁定后松动，确保加热时第一、第二承载台位置稳定，不影响晶圆加热精度；

L形锁定杆可随陶瓷片升降自动完成 卡入锁定槽以及移出锁定槽动作，无需人工干预锁定或解锁流程。

附图说明

图1为一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘的结构示意图。

图2为一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘中加热盘内部加热机构的结构示意图。

图3为一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘中加热机构的分解结构示意图。

图4为图2中A处的放大结构示意图。

图5为一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘中加热盘内部的结构示意图。

图6为一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘中锁热槽的结构示意图。

图7为一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘中加热盘在 不同状态下的正视剖面结构示意图。

图8为图7中B处的放大结构示意图。

图中：1、控制座；2、加热盘；3、第一陶瓷片；4、第二陶瓷片；5、加热机构；501、伸缩支撑杆；502、第一承载台；503、第一电热丝；504、第二承载台；505、第二电热丝；6、重力调节机构；601、第一齿条；602、第二齿条；603、第三齿条；604、第四齿条；605、第一齿轮；606、第二齿轮；607、限位座；608、阻尼弹簧；7、控制机构；701、控制板；702、控制开关；703、挤压块；8、锁定机构；801、锁热槽；802、锁定槽；803、L形锁定杆；804、第一复位弹簧；805、限位块；806、滑槽；807、滑块；808、第二复位弹簧；9、晶圆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参照图1-图8，提供了一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘2，包括控制座1与加热盘2，所述加热盘2设于控制座1上端并与其电性连接，所述控制座1用于为加热盘2提供电能以及控制，所述加热盘2用于集成各个零部件；第一陶瓷片3与第二陶瓷片4，设于加热盘2上表面，第一陶瓷片3设于第二陶瓷片4内侧，所述第一陶瓷片3与第二陶瓷片4通过自身材质起到导热效果，加热机构5，设于加热盘2内，所述加热机构5包括伸缩支撑杆501、第一承载台502、第一电热丝503、第二承载台504以及第二电热丝505，所述加热盘2内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆501，所述位于正中心位置的伸缩支撑杆501上端固定连接有第一承载台502，剩余两 组伸缩支撑杆501上端固定连接有第二承载台504，第一承载台502上端固定连接有第一电热丝503，第二承载台504上端固定连接有第二电热丝505，第一电热丝503与第二电热丝505均与控制座1电性连接，所述加热机构5用于控制第一陶瓷片3与第二陶瓷片4升温；重力调节机构6，设于加热盘2以及第一陶瓷片3与第二陶瓷片4上端，所述重力调节机构6用于调整加热机构5与第一陶瓷片3与第二陶瓷片4接触，并进行加热；

参照图2-图5以及图7，所述第一陶瓷片3下端面左右两端均固定连接有第一齿条601，第一承载台502下端面左右两端均固定连接有第二齿条602，第二陶瓷片4下端面左右两端均固定连接有第三齿条603，第二承载台504下端面左右两端均固定连接有第四齿条604，相邻的所述第一齿条601与第二齿条602之间均设有第一齿轮605，相邻的所述第三齿条603与第四齿条604之间均设有第二齿轮606，第一齿条601与第二齿轮606外壁均连接有限位座607，且限位座607与加热盘2内部底端固定，所述第一齿条601与第二齿条602均与相邻的第一齿轮605相啮合，所述第三齿条603与第四齿条604均与相邻的第二齿轮606相啮合，所述第一齿条601与第三齿条603底端均固定连接有阻尼弹簧608，阻尼弹簧608另一端均与加热盘2底端固定连接；

将晶圆9放置在第一陶瓷片3的正中心位置，晶圆9根据其自身尺寸（直径）处于第一陶瓷片3以及第二陶瓷片4上端，并根据其自身质量下压第一陶瓷片3或第一陶瓷片3以及第二陶瓷片4；

需要补充的是，如晶圆9的尺寸（直径）大于第一陶瓷片3的直径，会将第一陶瓷片3以及第二陶瓷片4同步下压，如晶圆9的尺寸（直径）小于第一陶瓷片3的直径，会将第一陶瓷片3单独下压；

当第一陶瓷片3单独向下移动时，第一陶瓷片3带动底部左右两端的第一齿条601向下移动，并对第一齿条601底部的阻尼弹簧608进行挤压，使阻尼弹簧608收紧并储能，跟随第一齿条601的向下移动，带动相啮合的第一齿轮605转动，第一齿轮605转动又与另一端相啮合的第二齿条602相啮合，带动第二齿条602进行与第一齿条601相反的运动，从而带动两组第二齿条602进行向上抬升，使第一承载台502与上端的第一电热丝503向上移动，此时第一承载板底部的伸缩支撑杆501会同步伸缩，最终实现第一承载台502与上端的第一电热丝503与第一陶瓷片3底部开设的锁热槽801完全贴合；

需要补充的是，第一陶瓷片3被下压移动前后状态可见图7；

当第一陶瓷片3与第二陶瓷片4同时向下移动时，第一陶瓷片3与第二陶瓷片4底端的第一齿条601与第三齿条603同步向下移动，并进行上述同样的工作原理以及效果进行移动，最终使第一承载台502、第二承载台504上端的第一电热丝503与第二电热丝505均分别与第一陶瓷片3以及第二陶瓷片4底端的锁热槽801抵接；

需要补充的是，锁热槽801为环形状，可以防止第一电热丝503与第二电热丝505的热量扩散，影响加热效果；

当晶圆9不再第一陶瓷片3或第二陶瓷片4上端时，第一陶瓷片3与第二陶瓷片4通过底部的阻尼弹簧608进行自动复位，从而带动各个齿条、齿轮反转进行自动复位，还原至初始位置；

需要补充的是，晶圆9通过自身质量向下压迫第一陶瓷片3或第一陶瓷片3与第二陶瓷片4时，由于第一陶瓷片3或第一陶瓷片3与第二陶瓷片4的下降移动距离有限，（当第一陶瓷片3或第一陶瓷片3与第二陶瓷片4向下移动时，通过底部设置的重力控制机构6带动第一承载台502以及第二承载台504进行同步上升，第一电热丝503与第二电热丝505均与相对应的锁热槽801贴合，），从而无论晶圆9自身具有多大质量，都不会影响第一陶瓷片3或第一陶瓷片3与第二陶瓷片4向下移动的长度，均可保证第一电热丝503与第二电热丝505与相对应的锁热槽801贴合。

参照图5和图7，所述控制机构7设于加热盘2内部底端，所述控制机构7用于控制第一电热丝503与第二电热丝505的启闭，所述加热盘2内部底端固定连接有两组控制板701，两组控制板701上端均配备有控制开关702，设于靠近加热盘2中心位置的控制板701与控制开关702与第一电热丝503电性连接，设于远离加热盘2中心位置的控制板701与控制开关702与第二电热丝505电性连接，靠近两组控制板701的第一齿条601与第三齿条603外壁均固定连接有挤压块703，挤压块703外壁设有楔形面；

现有陶瓷加热盘2采用人工介入式开关控制模式，其加热丝的启停操作需依赖工作人员在作业前后进行手动干预，控制流程存在明显的人为依赖性，若作业后忘记关闭开关，易引发加热盘2空烧，可能造成设备过热损耗，甚至对周边生产环境的安全性产生潜在影响；

当第一陶瓷片3向下移动时（详细状态上述文字已经说明）带动相应的第一齿条601向下移动，第一齿条601通过外壁的挤压块703向下挤压，并压紧相对应的控制板701上端的控制开关702，并触发该控制开关702，从而启动第一电热丝503；

同理，当第二陶瓷片4与第一陶瓷片3同时向下移动时，通过第一齿条601与第三齿条603向下移动，第一齿条601与第三齿条603通过外壁的挤压块703向下挤压，并压紧相对应的控制板701上端的控制开关702，并触发该控制开关702启动第一、第二电热丝505；

需要补充的是，控制开关702为按压式开关；

需要补充的是，控制板701、控制开关702均与控制座1电性连接；

需要补充的是，挤压块703外壁采用楔形面设计，该形状可更好的挤压控制开关702并将其触发；

当第一陶瓷片3与第二陶瓷片4复位时，挤压块703会再次接触控制开关702，从而控制第一电热丝503、第二电热丝505关闭。

参照图6-图8，所述锁定机构8设于第一陶瓷片3与第二陶瓷片4以及第一承载台502与第二承载台504上方，所述锁定机构8用于锁定第一承载台502与第二承载台504的位置，所述第一陶瓷片3与第二陶瓷片4底端均开设有锁热槽801，两组锁热槽801内左右两端均开设有锁定槽802，第一承载台502与第二承载台504上端面左右两端均设有L形锁定杆803，L形锁定杆803均与相对应的锁定槽802配合使用，所述锁定槽802内部形状呈L形，锁定槽802内部一端内均固定连接有第一复位弹簧804，第一复位弹簧804另一端均固定连接有限位块805，限位块805与第一复位弹簧804用于对L形锁定杆803进入锁定槽802后进行限位，L形锁定杆803底端均固定连接有滑块807，第一承载台502与第二承载台504上端面均开设有与滑块807相配合的滑槽806，滑槽806与相对应滑块807之间固定连接有第二复位弹簧808；

在加热的过程中，加热丝易移位、堆叠，导致与陶瓷片接触面积忽大忽小，出现部分区域温度过高（远超设定值）、部分区域无热量的情况，无法稳定输出额定功率；

当相对应的L形锁定杆803接触至锁热槽801的锁定槽802时（通过上述描述，在第一陶瓷片3、第二陶瓷片4上端放置晶圆9后），L形锁定杆803的顶端会与锁定槽802内的限位块805接触，限位块805向后移动，并挤压后端的第一复位弹簧804进行收缩，使L形锁定杆803进入锁定槽802内，且L形锁定杆803顶端的凸块进入锁定槽802的凹槽内，限位块805又失去外力的限位，第一复位弹簧804自动复位，带动限位块805抵接至L形锁定杆803的外壁，对L形锁定杆803进行限位；

需要补充的是，L形锁定杆803会通过底部的滑块807、滑槽806以及第二复位弹簧808进行自适应移动；

需要补充的是，限位块805两端均开设有楔形面，从而在L形锁定杆803进出锁定槽802时（在进出锁定槽802时会与限位块805接触并挤压），不会与限位块805产生卡死状态，影响锁定机构8的整体效果；

需要补充的是，L形锁定杆803根据第一陶瓷片3、第二陶瓷片4的升降进行同步移动，在升降至指定位置后自动卡入锁定槽802或移出锁定槽802，从而完成在加热时，对第一承载台502或第二承载台504的位置的锁定。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，包括：

控制座（1）与加热盘（2），所述加热盘（2）设于控制座（1）上端并与其电性连接，所述控制座（1）用于为加热盘（2）提供电能以及控制，所述加热盘（2）用于集成各个零部件；

第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4），设于加热盘（2）上表面，第一陶瓷片（3）设于第二陶瓷片（4）内侧，所述第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）通过自身材质起到导热效果；

加热机构（5），设于加热盘（2）内，所述加热机构（5）包括伸缩支撑杆（501）、第一承载台（502）、第一电热丝（503）、第二承载台（504）以及第二电热丝（505），所述加热盘（2）内部底端固定连接有三组伸缩支撑杆（501），位于正中心位置的所述伸缩支撑杆（501）上端固定连接有第一承载台（502），剩余两组伸缩支撑杆（501）上端固定连接有第二承载台（504），第一承载台（502）上端固定连接有第一电热丝（503），第二承载台（504）上端固定连接有第二电热丝（505），第一电热丝（503）与第二电热丝（505）均与控制座（1）电性连接，所述加热机构（5）用于控制第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）升温；

重力调节机构（6），设于加热盘（2）以及第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）上，所述重力调节机构（6）用于调整加热机构（5）与第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）接触，并进行加热。

2.根据权利要求1所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述重力调节机构（6）包括第一齿条（601）、第二齿条（602）、第三齿条（603）、第四齿条（604）、第一齿轮（605）、第二齿轮（606）、限位座（607）以及阻尼弹簧（608），所述第一陶瓷片（3）下端面左右两端均固定连接有第一齿条（601），第一承载台（502）下端面左右两端均固定连接有第二齿条（602），第二陶瓷片（4）下端面左右两端均固定连接有第三齿条（603），第二承载台（504）下端面左右两端均固定连接有第四齿条（604）。

3.根据权利要求2所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，相邻的所述第一齿条（601）与第二齿条（602）之间均设有第一齿轮（605），相邻的所述第三齿条（603）与第四齿条（604）之间均设有第二齿轮（606），第一齿条（601）与第二齿轮（606）外壁均连接有限位座（607），且限位座（607）与加热盘（2）内部底端固定。

4.根据权利要求3所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述第一齿条（601）与第二齿条（602）均与相邻的第一齿轮（605）相啮合，所述第三齿条（603）与第四齿条（604）均与相邻的第二齿轮（606）相啮合。

5.根据权利要求3所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述第一齿条（601）与第三齿条（603）底端均固定连接有阻尼弹簧（608），阻尼弹簧（608）另一端均与加热盘（2）底端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述加热盘（2）内部底端设置有控制机构（7），所述控制机构（7）包括控制板（701）、控制开关（702）以及挤压块（703），所述控制机构（7）用于控制第一电热丝（503）与第二电热丝（505）的启闭。

7.根据权利要求6所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述加热盘（2）内部底端固定连接有两组控制板（701），两组控制板（701）上端均配备有控制开关（702），设于靠近加热盘（2）中心位置的控制板（701）分别与控制开关（702）和第一电热丝（503）电性连接，设于远离加热盘（2）中心位置的控制板（701）分别与控制开关（702）和第二电热丝（505）电性连接，靠近两组控制板（701）的第一齿条（601）与第三齿条（603）外壁均固定连接有挤压块（703），挤压块（703）外壁设有楔形面。

8.根据权利要求1所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）以及第一承载台（502）与第二承载台（504）上方设置有锁定机构（8），所述锁定机构（8）包括锁热槽（801）、锁定槽（802）、L形锁定杆（803）、第一复位弹簧（804）、限位块（805） 、滑槽（806）、滑块（807）以及第二复位弹簧（808），所述锁定机构（8）用于锁定第一承载台（502）与第二承载台（504）的位置，所述第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）底端均开设有锁热槽（801），两组锁热槽（801）内左右两端均开设有锁定槽（802），第一承载台（502）与第二承载台（504）上端面左右两端均设有L形锁定杆（803），L形锁定杆（803）均与相对应的锁定槽（802）配合使用。

9.根据权利要求8所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述锁定槽（802）内部形状呈L形，锁定槽（802）内部一端内均固定连接有第一复位弹簧（804），第一复位弹簧（804）另一端均固定连接有限位块（805），限位块（805）与第一复位弹簧（804）用于对L形锁定杆（803）进入锁定槽（802）后进行限位，L形锁定杆（803）底端均固定连接有滑块（807），第一承载台（502）与第二承载台（504）上端面均开设有与滑块（807）相配合的滑槽（806），滑槽（806）与相对应滑块（807）之间固定连接有第二复位弹簧（808）。

10.根据权利要求1所述的一种导热均匀的碳化硅陶瓷加热盘，其特征在于，所述第一陶瓷片（3）与第二陶瓷片（4）上端放置有晶圆（9）。