CN1237124A - 氩精制方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供用简便的工序、少量的能耗来精制氩的方法。向含有作为不纯物的氮、一氧化碳、氢及甲烷的氩气中添加氧,在一氧化碳氧化塔31中在催化剂的作用下氧化一氧化碳变成二氧化碳。向氢气中添加氢,在脱氧塔33中在催化剂作用下使氧和氢反应变成水。在除碳干燥单元50中用吸附剂从氩气中去除二氧化碳及水。该氩气在主热交换器60等设备中被冷却并液化之后,导入精馏塔70,用以氩为主成分的还流液进行精馏。从精馏塔顶部76使氮与浓缩的氩气分离,从底部77使甲烷与浓缩的液体氢分离,从中段的气相中回收高纯度的氩气。

Description

氩精制方法及其装置
本发明涉及到精制含有不纯物的氩气并回收高纯度氩气的工艺方法及其装置，特别涉及到适合精制从单晶硅拉制装置中排出的氩气的工艺方法及其装置。
作为半导体元件的原料被使用的单晶硅是由拉制法(直拉法)制造的，在单晶硅拉制装置(制造装置)中，为了控制硅结晶中的氧浓度，确保所制造的单晶硅的纯度，要向容器内大量供给作为保护气体的氩气。在从单晶硅拉制装置排出的氩气之中含有氮(N2)、氧(O2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)等等的不纯物，除此之外还有甲烷(CH4)、其他的碳化氢。
氩气(Ar)在空气中只占0.93％，一般通过空气的深冷分离来精制。因此，氩气是比较昂贵的。从而希望精制从单晶硅拉制装置中排出的排出气(含有不纯物气体的氩气)并回收高纯度的氩气，进而进行再利用。
对于精制含有不纯物气体的氩气并回收高纯度氩气的方法，已公开发表了各种工艺。例如，特开昭63-189774号、特开平1-230975号、特开平2-272288号及特开平5-256570号各公开公报上公布了在由吸附工艺除去了CO、CO2、H2O等不纯物之后，通过深冷分离和催化剂进行精制，得到精制氩气的方法。另外，在特开平2-282682号、特开平3-39886号、特公平4-12393号及特公平5-29834号的各公报上公布了含有用催化剂把CO、H2、碳化氢等不纯物变换成H2O及CO2工序的氩气回收方法。
在上述各文献记述的氩气精制方法中，用催化剂把不纯物碳化氢通过氧化而转换成H2O和CO2，从而去除上述碳化氢。在该过程中，为了促进反应、添加过量的O2。即添加比氩气多的O2、添加的O2的量在去除碳化氢之后还有残余。为了从氩气中去除该O2，通常采用让O2与H2反应变成H2O来去除O2的方法。由于使用催化剂进行氧化反应之际，需要来自外部的热源，上述的各方法从能量效率方面来看不能说是圆满的方法。
本发明是鉴于上述情况而完成的，本发明的目的在于提供一种由简便的工序组成的、能量消耗量少的氩气精制方法。
本发明的氩精制方法是精制至少含有氮、一氧化碳、氧及甲烷的氩气以得到高纯度氩的氩精制方法，其特征在于，该方法备有四道工序，第一道工序：向上述氩气添加空气或氧，使氩气中所含有的一氧化碳在催化剂作用下氧化而变成二氧化碳；第二道工序：向经过了第一道工序的氩气中添加氢气、氩气中含有的氧气和氢气在催化剂的作用下进行反应为成水；第三道工序：用吸附剂从经过了第二道工序的氩气中去除二氧化碳及水；第四道工序：冷却经过了第三道工序的氩气之后，导入精馏塔，用以氩为主成分的还流液进行精馏去除氮、氧、甲烷、回收高纯度的氩气。
最好是在上述第四道工序中，首先冷却经过了第三道工序的氩气、使氩气的大部分液化的同时，分离并去除浓缩着氢的氩气，其次，把液化了的氩导入精馏塔。
最好上述精馏塔的精馏部由上段部、中段部、下段部构成，把上述液化的氩导入上段部和中段部之间，从上述精馏塔的顶部分离出浓缩着氮、氢的氩气，从上述精馏塔的底部分离出浓缩着甲烷的液体氩，从中段部和下段部之间回收上述高纯度的氩气。
另外，在上述工艺中使用的氩精制装置是精制至少含有氮、一氧化碳、氧及甲烷的氩气而得到高纯度氩的氩精制装置，其特征在于，该装置备有一氧化碳氧化塔、脱氧塔、吸附塔、主热交换器、精馏塔。上述一氧化碳氧化塔用于：向上述氩气中添加空气或氧，使氩气中含有的氧化碳在催化剂作用下氧化而变成二氧化碳；上述脱氧塔导入从上述一氧化碳氧化塔出来的氩气、添加氢，使氩气中含有的氧和氢在催化剂作用下反应变成水，上述吸附塔导入从上述脱氧塔出来的氩气，用吸附剂去除二氧化碳及水，上述主热交换器导入从上述吸附塔出来的氩气，冷却该氩气；上述精馏塔用于导入从上述主热交换器出来并冷却了的氩，用以氩为主成分的还流液进行精馏，去除氮、氧、甲烷、回收高纯度氩气。
最好，在上述热交换器和上述精馏塔之间设置气液分离器，在从上述热主交换器出来的气液混合物中，将氢被浓缩了的氩气分离并去除，把液体氩导入上述精馏塔内。
最好，上述精馏塔的精馏部由上段部、中段部、下段部构成，上述液体氩导入上段部和中段部之间，从上述精馏塔的顶部分离浓缩着氮及氢的氩气，从上述精馏塔的底部分离出浓缩着甲烷的液体氩，从中段部与下段部之间回收上述高纯度氩气。
根据本发明的氩精制方法，从含有不纯物的氩气中，首先把与氩(沸点：-186℃)之间沸点之差小的一氧化碳(沸点：-192℃)及氧(沸点：-183℃)分别变成二氧化碳及水并去除。其次，把去除了一氧化碳及氧的氩导入精馏塔，用以氩为主成分的还流液进行精馏，属于低沸点不纯物的氮(沸点-196℃)及氢(沸点：-253℃)从精馏塔的顶部分离出去，属于高沸点不纯物的甲烷(沸点：-162℃)从精馏塔的底部分离出去，其结果，从精馏塔的中段的气相中回收高纯度氩气。
由于一氧化碳及氧与氩之间沸点之差小，所以在用精馏塔分离时必须有较多的精馏段。根据本发明的氩精制方法，由于分别把一氧化碳及氧变成二氧化碳及水并去除，所以可以比较容易的去除它们，为了去除甲烷，用精馏塔分离代替原有的在催化剂作用下氧化甲烷的方法。由于氩和甲烷之间沸点之差大，所以用精馏塔可以比较容易地分离甲烷。
由于上述的结果，根据本发明的氩精制方法，与原有的方法相比可以简化工艺方法。再有，在工艺方法的途中向含有不纯物的氩气中添加的氧的量，与原有的方法比较可以减少。另外，在使用催化剂的氧化反应时，由于不需要来自外部的热源，可以降低工艺方法的整体的能量消耗。
最好通过从外部向上述精馏塔供给高纯度的液体氩，以补充在精馏工序中所需要的冷热的一部分。由此，由于可以从外部用氩进行冷热的补给，所以装置的构成可以单纯化。
图1是表示基于本发明的氩精制工艺方法的一个例子的流程图。
图2是表示基于本发明的氩精制工艺方法的另一个例子的流程图。
图3是组合基于本发明的氩精制装置的方法的说明图。
在图1中，表示了基于本发明的氩精制方法的流程图的一个例子。
图中，10表示单晶硅拉制装置(制造装置)，30表示预备精制单元，40表示冷却单元，50表示除碳干燥单元，60表示主热交换器，70表示精馏塔，80表示氩冷凝器，90表示高纯度氩罐。
向单晶硅拉制装置10中，供给作为保护气体的高纯度的氩气(沸点：-186℃)。在从单晶硅拉制装置10由真空泵12排出的气体(下面称氩排气)中除含有粉尘外，还含有H2、N2、O2、CO、CO2、碳化氢等的杂质。碳化氢在20Vol PPM以下主要是CH4。在本例中，真空泵12使用的是机械密封的干密封型真空泵。在图1中，为了简化，单晶硅拉制装置10和真空泵12分别只图示了一台，实际上并列配置了若干个装置。由于从这些单晶硅拉制装置10中排出的氩排气的量是对应单晶硅拉制装置10的运转台数而变化的，所以先收容在气体保存器13中。
收容在气体保存器13里的氩排气，通过吸气过滤器单元14，由压缩机15导入预精制单元30。导入预备精制单元30的氩排气的流量被设定成与从单晶硅拉制单元10中排出的氩排气的平均流量相平衡。在吸气过滤器单元14中从氩排气中去除尘埃。为了补充在后续的氧化工序中所需要的氧量，在从吸气过滤器单元14出来的氩排气中通过配管P31添加微量的空气。氩排气由压缩机15升压到3.5-9.0kg/cm2G程度的压力。该压力值被设定成与在后续的除碳干燥工程中的最佳运转条件相适应。
从压缩机15出来的氩排气被导入预备精制单元30。预备精制单元30备有一氧化碳氧化塔3l和脱氧塔33，从系统外的氢气源通过配管P32向脱氧塔33中供给脱氧用的H2。氩排气先被导入一氧化碳氧化塔31，通过Pd催化剂CO被氧化成CO2。接着，在添加了H2之后，被导入脱氧塔33。在脱氧塔33中，由Pd催化剂促进O2与H2的反应，O2变成H2O。为了在脱氧塔33中几乎完全除去O2，所添加的H2的流量被设定成相对于理论上所需要的量有所过剩。例如，过剩地添加到氩排气流量的大约0.5～1.5Vol％程度。
从预备精制设备30出来的氩气(以下称为脱氧氩气)被导入冷却单元40。冷却单元40由水冷式热交换器41、分离器43、备有冷冻机46的热交换器45、水分离器47构成。脱氧氩气首先被导入热交换器41而被冷却到大约40℃。被冷却的脱氧氩气导入水分离器43分离出凝缩的水分。接着，脱氧氩气在热交换器45内被冷却到大约10℃。被冷却的脱氧氩气被导入水分离器47进一步分离凝缩的水分。
从冷却单元出来的脱氧氩气被导入除碳干燥单元50中。除碳干燥单元50由交互使用的一对吸附塔51和52构成。为了吸附H2O及CO2在吸附塔51及52内充填着氧化铝及分子筛等充填物。在除碳干燥单元50中，从脱氧氩气中去除H2O及CO2。
一对吸附塔51及52利用压力振动吸附(压力スィング吸着)(PSA)或者温度振动吸附(温度スィング吸着)(TSA)原理进行运转。因此，连接着吸附剂再生用的氮气的供给用配管P50。该氮气从氮气供给管道P61分支供给。用于吸附剂再生的氮气通过排出用配管P51排出到系统外面。
从除碳干燥单元50出来的脱氧氩气在温度大约为10℃、压力大约为6.4kg/cm2G的状态下被导入主热交换器60。其组成，例如，N2:2.0Vol％、CH4:0.002Vol％、H2:0.5Vol％，其余的是氩。
在主热交换器60中，脱氧氩气由于与从相反方向导入的制冷剂进行热交换而被冷却。另外，在主热交换器60中，与脱氧氩气被冷却的同时，被后述的压缩机23升压的氮气(高压循环氮气)也被进行冷却。作为上述的制冷剂使用的是：把从后述的精馏塔70的顶部分离出的氮气浓缩了的混合气(富氮气)，从后述的氩冷凝器80出来的氮气(低压循环氮气)及在后述氢分离器22中分离出的富氢气等等。
经热交换器60被冷却到其凝缩温度附近的脱氧氩气接着被导入重沸器21。在重沸器21中、脱氧氩气与从后述精馏塔底部77导入的液体氩进行热交换而部分地被液化的同时，从液体氩中放出重沸气体。在液化的脱氧氩中除了含有不纯物N2、CH4外，还混有作为非凝缩气体的H2。
部分被液化的脱氧氩接着被导入氢分离器22中。在氢分离器22中，从脱氧氩中分离出浓缩着H2的混合气体(富氢气)。从氢分离器22的顶部被分离的富氢气通过配管P71作为制冷剂被导入主热交换器60中，在那里被加热到常温之后，通过配管P72返回到上述压缩机15的上流侧，用来去除O2，或者通过配管P73放出到大气中。另一方面，分离出富氢气的液化脱氧氩从氢分离器22的底部取出，通过配管P12被导入膨胀阀V1，在那里被减压后，通过配管P13，在温度大约为-175℃，压力大约2.2kg/cm2G的状态下被导入精馏塔70的上段部71和中段部72之间。
在精馏塔70的顶部76之上备有氩冷凝器80，以由氩冷凝器80凝缩的氩为主成分的液体做为还流液返回到精馏塔的上段部71。也从外部向精馏塔的上段部71内供给高纯度液体氩。该从外部供给的高纯度液体氩担任补给在精馏工序中必需的冷热的任务，同时还作为还流液的一部分来使用。导入精馏塔70的液化脱氧氩一边从精馏塔70中流下，一边与从顶部76流下的还流液及在重沸器21中产生的并从底部77上升的重沸气接触并被精馏。其结果，在精馏塔顶部76内积存着含有属于低沸点成分的N2及H2的氩气，在精馏塔的底部77内积存着浓缩着属于高沸点成分的CH4等碳化氢类的液体氩。从精馏塔的中段部72和下段部73之间的气相部分回收高纯度的氩气。
在积存于精馏塔的底部77内的液体氩中，CH4等碳化氢被浓缩到例如100倍的程度，这一部分从精馏塔的底部77通过配管P81排出系统之外。
另一方面，在积存于精馏塔顶部76内的氩气中含有N2和H2。该氩气在氩冷凝器80中被冷却，以凝缩了的氩为主成分的液体返回到精馏塔的上段71中，作为还流液使用。在残留的非凝缩气体(富氮气)中，N2及H2被浓缩到数十倍，该富氮气通过配管P41作为制冷剂被导入主热交换器60内。该富氮气在主热交换器60内被升温后，通过配管P49排出到系统之外。
由氮气供给管道P61供给的氮气，通过配管P50导入除碳干燥单元50内，作为上述吸附塔51、52的再生用气体被使用后而被排出到系统之外。
在该装置中，作为加热积存于精馏塔底部77内的液体氩来产生重沸气，接着冷却积存于精馏塔顶部76内的氩气、生成还流液用的循环气体的循环回路作业流体如下地使用着氮，即，在氮循环压缩机23中被升压的氮气(高压循环氮气)通过配管P44导入主热交换器60中，在那里被冷却之后，通过配管P45作为加热侧媒体导入到重沸器21内。氮气在重沸器21内被冷却而被液化，然后通过配管P46导入膨胀阀V3、在膨胀阀V3中被减压后，作为制冷剂被导入氩冷凝器80内。被液化了的氮在氩冷凝器80中与积存于精馏塔顶部76内的气体(含N2及H2的氩气)进行热交换而再度气化，气化了的氮气再被导入压力调整阀V4中，在这里，被减压的氮气(低压循环氮气)通过配管P47再次做为制冷剂导入到主热交换器60中。从主热交换器60出来的氮气的一部分返回配管P43中，构成的氮循环管路。在上述氮的循环管路中，由于从氮循环压缩机中泄漏而不足的氮气，通过从氮气供给管路分出的配管P61、阀V6及配管P43进行补给。
从精馏塔中段72和下段73之间的气相部分回收的高纯度氩气通过配管P14作为制冷剂被导入主热交换器60内，在那里被升温到常温。然后通过配管P15导入压缩机24，在那里被升压到例如7kg/cm2。然后通过配管P16导入过滤器单元25，在过滤器单元25中去除尘埃粒子之后，高纯度氩气在单晶硅拉制装置10内再循环。
在压缩机24的下流侧的上述配管P16上连接着分支配管P20，通过分支配管P20和流量调整阀V5在主热交换器60的跟前，连接到脱氧氩气的导入配管P9上。该配管线路用于将供给精馏塔70的脱氧氩的流量维持在规定值上，无论单晶硅制造装置10的运转台数等如何变化，都使精馏塔70的运转在稳定的状态下继续下去。
另外，在配管P1中循环的高纯度氩气的不足部分，由从高纯度液体氩罐90通过配管P92来补充高纯度的氩气。在高纯度液体氩罐中，从外部供给高纯度液体氩。
根据上述的工艺方法，高纯度氩气(例如H2、N2、CO2、O2及CH4各为1Vol PPM以下)的回收率达到90～97％的程度。
在图2中表示基于本发明的氩精制装置的另一个例子。
在该装置中，作为加热积存于精馏塔的底部77内的液体氩未产生重沸气，接着冷却积存于精馏塔顶部76内的氩气而生成还流液的周期循环气体循环回路(P43～P47)的作业流体用氩来代替图1装置中的氮。为此，对于补充作业流体的管道使用配管P91及阀V7代替图1中的阀V6，通过该配管P91及阀V7自高纯度液体氩罐来补充氩。
在精馏塔70的运转压力高的情况下，周期循环气体的作业流体的作动压力也必需加高。当把氩作为作业流体使用时，由于在常压下氩的沸点比氮高约10℃，所以与氮气比较可以在较低的作动压力下使用。从而，可以使用通用的压缩机。如果提高精馏塔70的运转压力，根据情况，可以节省制品氩用的压缩机24。
如图3所示，如果把主热交换器60、精馏塔70、氩冷凝器80、重沸器21及氢分离器22收容在公共的真空容器(叫做冷箱)之中并组合成一个单元，就能提高对外的隔热效果，也能提高系统整体的能量效率。在该冷箱中也可以收容贮存高纯度液体氩的罐90，该高纯度液体氩用于补充精馏塔70所需的冷热及补充高纯度氩气的不足部分。如果进一步把预备精制单元30、冷却单元40及除碳干燥单元50等与压缩机15、23、24一起组合在另一个单元中，整个系统可以更加紧凑。如果进行这样的单元化，就可以缩短现场施工时间。
本发明的工艺方法可以根据需要进行各种变形。例如，图1或者图2所示的流程图，作为真空泵12相当于使用机械密封等的干型密封的情况，而在真空泵12使用油密封式的情况下，通过在真空泵12之后、预备精制单元30之前要追加去除碳化氢(CnHm)中的戊烷(C5+)以上的重质成分等，来防止除碳干燥单元50中的吸附剂的堵塞。
根据本发明的氩精制方法，首先将以氩为主成份的氩排气中含有的不纯物内的沸点非常接近氩(沸点：-186℃)的CO(沸点：-192℃)的氧化，使其变成CO2，接着，把同样沸点与氩非常接近的O2(沸点：-183℃)变成水，在冷却单元及除碳干燥单元中去除上述两者。之后，把含有作为主要不纯物的N2(沸点：-196℃)H2(沸点：-253℃)及CH4(沸点：-162℃)的氩(脱氧)导入精馏塔，来去除N2、H2及CH4。由于氩的沸点与这些不纯物的沸点差别较大，在精馏塔中可以比较容易地把这些不纯物从氩中分离出去。
根据本发明的氩精制方法，与原有的氧化CH4等碳化氢类并去除的方法比较，可以减少添加到氩排气中的氧量，另外，不需要促进反应用的加热。
从而，根据本发明的氩精制方法，可以以比较简单的工序、着以尽可能少的能量消耗进行氩排气的精制。

Claims (11)

1．一种氩精制方法，它是精制至少含有氮、一氧化碳、氧及甲烷的氩气而得到高纯度氩的氩精制方法，其特征在于，该方法包括：四道工序，在第一道工序中：在上述氩气中添加空气或者氧，使氩气中所含有的一氧化碳在催化剂的作用下氧化变成二氧化碳；在第二道工序中：在经过了第一道工序的氩气中添加氢，使氩气中所含有的氧和氢在催化剂的作用下进行反应变成水；在第三道工序中：使用吸附剂从经过了第二道工序的氩气中去除二氧化碳及水；在第四道工序中：将经过第三道工序的氩气冷却之后，导入精馏塔，使用以氩为主成分的还流液进行精馏，去除氮、氢、甲烷，回收高纯度的氩气。
2．另一种氩精制方法，是精制至少含有氮、一氧化碳、氧及甲烷的氩气而得到高纯度氩的氩精制方法，其特征在于：该方法包括：五道工序，在第一道工序中：在上述氩气中添加空气或者氧，使氩气中所含有一氧化碳在催化剂的作用下氧化成二氧化碳；在第二道工序中：在经过了第一道工序的氩气中添加氢，使氩气中所含有的氧和氢在催化剂的作用下进行反应变成水；在第三道工序中：使用吸附剂，从经过了第二道工序的氩气中去除二氧化碳及水；在第四道工序中：冷却经过第三道工序的氩气，液化氩的大部分的同时，分离并除去浓缩着氢的氩气；在第五道工序中：把在上述第四道工序中被液化了的氩导入精馏塔，使用以氩为主成分的还流液进行精馏，去除氮、氢、甲烷、回收高纯度氩气。
3．如权利要求2所述的氩精制方法，其特征在于：上述精馏塔的精馏部由上段部、中段部、下段部构成，把上述液化的氩导入上段部和中段之间，从上述精馏塔的顶部分离出浓缩着氮及氢的氩气，从上述精馏塔的底部分离出浓缩着甲烷的液体氩，从中段部和下段部之间回收上述高纯度氩气。
4．如权利要求1至权利要求3中任一项所述的氩精制方法，其特征在于，通过从外部向上述精馏塔供给高纯度液体氩，来补充精馏工序中所需的冷热的一部分。
5．如权利要求1至权利要求3中任一项所述的氩精制方法，其特征在于，作为加热积存于上述精馏塔底部的液体氩来产生重沸气体、接着冷却积存于上述精馏塔顶部的氩气并生成还流液用的循环气体循环回路的作业流体使用的是氩。
6．一种氩精制装置，是精制至少含有氮、一氧化碳、氧及甲烷的氩气而得到高纯度的氩的氩精制装置，其特征在于，该装置包括：向上述氩气中添加空气或者氧，使氩气中含有的一氧化碳在催化剂作用下氧化而变成二氧化碳的一氧化碳氧化塔；导入从上述一氧化碳氧化塔出来的氩气、并添加氢而使氩气中含有的氧和氢在催化剂作用下进行反应变成水的精馏塔；导入从上述脱氧塔出来的氩气，并用吸附剂去除二氧化碳和水的吸附塔；导入从上述吸附塔出来的氩气，并冷却该氩气的主热交换器；导入从上述主热交换器出来的冷却了的氩，并用以氩为主成分的还流液进行精馏，去除氮、氢、甲烷、回收高纯度的氩气的精馏塔。
7．一种氩精制装置，是精制至少有氮、一氧化碳、氧及甲烷的氩气，获得高纯度氩的氩精制装置，其特征在于，该装置备有向上述氩气中添加空气或者氧，使氩气中含有的一氧化碳在催化剂的作用下变成二氧化碳的一氧化碳氧化塔；导入从上述一氧化碳氧化塔出来的氩气，并添加氢、使氩气中含有的氧和氢在催化剂的作用下进行反应变成水的脱氧塔；导入从上述脱氧塔出来的氩气，并用吸附剂去除二氧化碳和水的吸附塔；导入从上述吸附塔出来的氩气，并冷却该氩气使其大部分液化的主热交换器；导入从上述主热交换器出来的气液混合物，使浓缩着氢的氩气与液体氩气分离的气液分离器；导入从上述气液分离器出来的液体氩，使用以氩为主成分的还流液进行精馏，以去除氮、氢、甲烷、回收高纯度的氩气的精馏塔。
8．如权利要求7所述的氩精制装置，其特征在于，上述精馏塔的精馏部由上段部、中段部、下段部构成，从上述气液分离器出来的液体氩，被导入上段部和中段部之间，从上述精馏塔的顶部分离出浓缩着氮和氢的氩气，从上述精馏塔的底部分离出浓缩着甲烷的液体氩，从中段部和下段部之间回收上述高纯度氩气。
9．如权利要求6至权利要求8中任一项所述的氩精制装置，其特征在于，该装置备有高纯度液体氩罐，通过从该高纯度液体氩罐向上述精馏塔供给高纯度液体氩来补充精馏工序中所需要的冷热的一部分。
10．如权利要求6至权利要求8中任一项所述的氩精制装置，其特征在于，把含有上述主热交换器及上述精馏塔的低温部收容在一体的隔热容器中，同时把含有上述一氧化碳氧化塔、上述精馏塔及上述吸附塔的常温部收容在一体的框架之中。
11．如权利要求9所的氩精制装置，其特征在于，把含有上述精馏塔及上述高纯度液体氩罐的低温部收容在一体的隔热容器之中，同时把含有上述一氧化碳氧化塔，上述精馏塔及上述吸附塔的常温部收容在一体的框架之中。
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