CN219112364U - 一种硅片清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括箱体，所述箱体的底部表面两侧设有支腿，且支腿之间设有支撑板，所述支撑板的顶部表面两侧安装有电动推杆，且电动推杆的输出端贯穿箱体底部表面两侧上的密封套固定连接有清洗篮，所述箱体的内壁两侧安装有超声波换能器。本实用新型，将待清洗的硅片放置在清洗篮中，通过箱体中的超声波换能器的使用，能够有效使箱体中的清洗液充分与清洗篮中的硅片接触，即可对清洗篮中的硅片清洗，清洗后，通过电动推杆带动清洗篮进行移动，当清洗篮移动到合适位置后，打开顶板上的鼓风机，鼓风机通过输风管将风输送至顶板底部表面上的出风口，再通过出风口吹风，即可对清洗后的硅片进行烘干，有利于提高其工作效率。

Description

一种硅片清洗装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工清洗技术领域，尤其涉及一种硅片清洗装置。

背景技术

硅片经过切片、倒角、研磨、表面处理、抛光、外延等丕回工序加工后，表面已经受到严重的沾污，清洗的目的就是为了去除硅片表面颗粒、金属离子以及有机物等污染。

现有的授权公告号为CN205828411U的中国专利公开了一种硅片清洗机，其技术方案的要点在于：包括清洗机箱体和清洗篮；所述清洗机箱体的底部设有多个沉槽；所述清洗篮的底部设有与所述沉槽相对应的凸起部；所述清洗机箱体的侧面和底部均设置有超声波振子；所述清洗篮上设有握把孔；所述握把孔上安装有挂钩；所述清洗篮通过所述挂钩安装到所述清洗机箱体上；所述清洗机箱体设置有便于拿放所述挂钩的握把凹槽；本实用新型硅片清洗机的结构紧凑合理，清洗篮可上下堆叠在清洗机内且彼此之间是不接触的，空间利用率高，清洗效果好。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷，上述技术方案虽然清洗篮可上下堆叠在清洗机内且彼此之间是不接触的，空间利用率高，但是上述技术方案中在对硅片清洗后，需要等待其自然晾干，晾干时间长，容易降低其工作效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片清洗装置，具备便于对清洗后的硅片进行吹干，工作效率高的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

(二)技术方案

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种硅片清洗装置，包括箱体，所述箱体的底部表面两侧设有支腿，且支腿之间设有支撑板，所述支撑板的顶部表面两侧安装有电动推杆，且电动推杆的输出端贯穿箱体底部表面两侧上的密封套固定连接有清洗篮，所述箱体的内壁两侧安装有超声波换能器，所述箱体的两侧表面设有立板，且立板的顶部表面设有顶板，所述顶板的顶部表面安装有鼓风机，且鼓风机通过输风管与顶板底部表面上设置的出风口连接。

优选的，所述清洗篮与箱体相匹配。

优选的，所述密封套为橡胶材质。

优选的，所述箱体的前端表面通过螺栓固定连接有检修板。

优选的，所述支腿共设有多个，且多个支腿两两均匀分布在箱体的底部表面两侧。

优选的，所述箱体的一侧表面设有排液管，且排液管上安装有阀门。

优选的，所述立板通过螺栓与箱体固定连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种硅片清洗装置，具备以下有益效果：

(1)、本实用新型中，将待清洗的硅片放置在清洗篮中，通过箱体中的超声波换能器的使用，能够有效使箱体中的清洗液充分与清洗篮中的硅片接触，即可对清洗篮中的硅片清洗，其中清洗后，通过电动推杆带动清洗篮进行移动，当清洗篮移动到合适位置后，打开顶板上的鼓风机，鼓风机通过输风管将风输送至顶板底部表面上的出风口，再通过出风口吹风，即可对清洗后的硅片进行烘干，有利于提高其工作效率。

(2)、本实用新型中，通过电动推杆带动清洗篮进行移动，当清洗篮移出箱体时，即可将清洗篮中清洗后的硅片从清洗篮中取出，其中通过电动推杆带动清洗篮进行移动，能够自动将清洗后的硅片移出箱体，从而便于工作人员取出清洗后的硅片，减少了在使用时的弊端，有利于提高其实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提出的一种硅片清洗装置的结构示意图；

图2是本实用新型提出的一种硅片清洗装置的正视图；

图3是本实用新型提出的一种硅片清洗装置的俯视图；

图4是本实用新型提出的一种硅片清洗装置的清洗篮结构示意图。

图例说明：

1、箱体；2、超声波换能器；3、清洗篮；4、电动推杆；5、支腿；6、立板；7、顶板；8、出风口；9、鼓风机；10、排液管；11、阀门；12、密封套；13、支撑板；14、检修板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1-4，一种硅片清洗装置，包括箱体1，箱体1的底部表面两侧设有支腿5，且支腿5之间设有支撑板13，支撑板13的顶部表面两侧安装有电动推杆4，且电动推杆4的输出端贯穿箱体1底部表面两侧上的密封套12固定连接有清洗篮3，箱体1的内壁两侧安装有超声波换能器2，箱体1的两侧表面设有立板6，且立板6的顶部表面设有顶板7，顶板7的顶部表面安装有鼓风机9，且鼓风机9通过输风管与顶板7底部表面上设置的出风口8连接，其中将待清洗的硅片放置在清洗篮3中，通过箱体1中的超声波换能器2的使用，能够有效使箱体1中的清洗液充分与清洗篮3中的硅片接触，即可对清洗篮3中的硅片清洗，其中清洗后，通过电动推杆4带动清洗篮3进行移动，当清洗篮3移动到合适位置后，打开顶板7上的鼓风机9，鼓风机9通过输风管将风输送至顶板7底部表面上的出风口8，再通过出风口8吹风，即可对清洗后的硅片进行烘干，有利于提高其工作效率。

在一个实施例中，清洗篮3与箱体1相匹配，便于清洗篮3在箱体1中进行移动。

在一个实施例中，密封套12为橡胶材质，其中通过密封套12的使用，能够有效对箱体1的底部和电动推杆4之间进行密封，便于提高其密封性。

在一个实施例中，箱体1的前端表面通过螺栓固定连接有检修板14，其中通过松动螺栓，取下检修板14，即可对箱体1中的零部件进行维护检修。

在一个实施例中，支腿5共设有多个，且多个支腿5两两均匀分布在箱体1的底部表面两侧，其中通过支腿5对箱体1进行支撑，有利于提高箱体1的稳定性。

在一个实施例中，箱体1的一侧表面设有排液管10，且排液管10上安装有阀门11，其中通过打开排液管10上的阀门11，即可将箱体1中的使用后的清洗液进行排放。

在一个实施例中，立板6通过螺栓与箱体1固定连接，便于提高立板6在箱体1上的稳定性。

在一个实施例中，控制面板控制电路通过本领域的技术人员简单的编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，不进行改造，故不再详细描述控制方式和电路连接。

工作原理：

使用时，将待清洗的硅片放置在清洗篮3中，通过箱体1中的超声波换能器2的使用，能够有效使箱体1中的清洗液充分与清洗篮3中的硅片接触，即可对清洗篮3中的硅片清洗，其中清洗后，通过电动推杆4带动清洗篮3进行移动，当清洗篮3移动到合适位置后，打开顶板7上的鼓风机9，鼓风机9通过输风管将风输送至顶板7底部表面上的出风口8，再通过出风口8吹风，即可对清洗后的硅片进行烘干，有利于提高其工作效率，其中通过电动推杆4带动清洗篮3进行移动，当清洗篮3移出箱体1时，即可将清洗篮3中清洗后的硅片从清洗篮3中取出，从而便于工作人员取出清洗后的硅片，减少了在使用时的弊端，有利于提高其实用性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种硅片清洗装置，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)的底部表面两侧设有支腿(5)，且支腿(5)之间设有支撑板(13)，所述支撑板(13)的顶部表面两侧安装有电动推杆(4)，且电动推杆(4)的输出端贯穿箱体(1)底部表面两侧上的密封套(12)固定连接有清洗篮(3)，所述箱体(1)的内壁两侧安装有超声波换能器(2)，所述箱体(1)的两侧表面设有立板(6)，且立板(6)的顶部表面设有顶板(7)，所述顶板(7)的顶部表面安装有鼓风机(9)，且鼓风机(9)通过输风管与顶板(7)底部表面上设置的出风口(8)连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述清洗篮(3)与箱体(1)相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述密封套(12)为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述箱体(1)的前端表面通过螺栓固定连接有检修板(14)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述支腿(5)共设有多个，且多个支腿(5)两两均匀分布在箱体(1)的底部表面两侧。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述箱体(1)的一侧表面设有排液管(10)，且排液管(10)上安装有阀门(11)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片清洗装置，其特征在于，所述立板(6)通过螺栓与箱体(1)固定连接。

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