CN219873464U - 一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备，通过载板，所述载板上沿载板的径向方向开设有若干移动长孔；若干定位机构，所述定位机构与所述移动长孔对应，所述定位机构设置在所述载板的下方，并且所述定位机构伸出对应的移动长孔；所述定位机构适于在所述移动长孔内同步移动，以调整各定位机构与载板中心的距离，适配相应尺寸的晶圆；实现了适配不同尺寸的晶圆，便于对不同尺寸的晶圆在干燥或者湿法清洗前进行定位。
Description
技术领域
本实用新型属于清洗技术领域，具体涉及一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备。
背景技术
在清洗行业，全自动湿法清洗设备中，单片晶圆的清洗，需要对晶圆定位，然后用机械手将定位后的晶圆放到清洗的腔室里，从而保证晶圆在清洗过程中位置的准确性，保证清洗的效果；同时也避免因位置不准而产生撞片损坏晶圆的风险。有的清洗工艺要求兼容多种规格的晶圆。晶圆在单片清洗前上料的过程一般是采用机械手抓取上料，那么目前存在几种情况，第一晶圆脆，易碎，所以抓取的精准度很重要，第二同一种设备可能会用来清洗不同尺寸的晶圆，目前的常见的解决办法有在机械手上料部加装视觉组件，可以判断晶圆的大小，还可以调整机械手的位置抓取准确，但是缺点也很明显，第一会增加机械手的负载，因为单片抓取的机械手很小。
因此，基于上述技术问题需要设计一种新的晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备，以解决适配多种尺寸晶圆的技术问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆定位结构，包括：
载板，所述载板上沿载板的径向方向开设有若干移动长孔；
若干定位机构，所述定位机构与所述移动长孔对应，所述定位机构设置在所述载板的下方，并且所述定位机构伸出对应的移动长孔；
所述定位机构适于在所述移动长孔内同步移动，以调整各定位机构与载板中心的距离，适配相应尺寸的晶圆。
进一步，所述晶圆定位结构还包括：驱动机构；
所述驱动机构与各定位机构连接，所述驱动机构适于带动定位机构在对应的移动长孔内移动。
进一步，所述载板上周向等距开设有若干连接孔，所述连接孔靠近所述载板的边沿设置。
进一步，所述载板上设置有若干支撑柱，所述支撑柱的高度低于定位机构伸出移动长孔的高度。
进一步，所述定位机构包括：底板；
所述底板上周向等距设置有若干连接柱，所述连接柱靠近所述底板的边沿设置；
所述连接柱的侧壁上开设有凹槽；
所述连接柱与所述连接孔对应，所述连接柱适于伸出对应的连接孔；
所述底板上周向等距设置有若干定位组件，所述定位组件适于伸出对应的移动长孔。
进一步，所述底板的中心位置开设有通孔。
进一步，所述定位组件包括：滑轨；
所述滑轨沿所述底板的径向方向设置；
所述滑轨上设置有适配的滑块；
所述滑块上设置有定位柱，所述定位柱适于伸出所述移动长孔；
所述定位柱上套设有轴承。
进一步，所述支撑柱的顶端为球面。
进一步，所述驱动机构包括：电机、减速机和旋转板；
所述电机与所述减速机连接；
所述减速机的旋转端与所述旋转板连接；
所述旋转板设置在底板与载板之间；
所述旋转板上倾斜设置有与移动长孔对应的条形孔，各条形孔的倾斜程度相同；
所述定位机构中的轴承设置在对应的条形孔内，并且轴承与条形孔的内壁适配；
所述定位机构中的底板设置在所述减速机上。
另一方面，本实用新型还提供一种采用上述晶圆定位结构的全自动湿法清洗设备，包括：
清洗装置，所述清洗装置设置在晶圆定位结构上方，所述清洗装置适于对晶圆定位结构上定位的晶圆进行清洗。
本实用新型的有益效果是，本实用新型通过载板，所述载板上沿载板的径向方向开设有若干移动长孔；若干定位机构，所述定位机构与所述移动长孔对应，所述定位机构设置在所述载板的下方，并且所述定位机构伸出对应的移动长孔；所述定位机构适于在所述移动长孔内同步移动，以调整各定位机构与载板中心的距离，适配相应尺寸的晶圆；实现了适配不同尺寸的晶圆，便于对不同尺寸的晶圆进行定位。
本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的一种晶圆定位结构的结构示意图；
图2是本实用新型的载板的结构示意图；
图3是本实用新型的驱动机构的结构示意图；
图4是本实用新型的定位机构的结构示意图；
图5是本实用新型的一种晶圆定位结构的爆炸示意图。
图中：
1载板、11移动长孔、12连接孔、13支撑柱；
2定位机构、21底板、22连接柱、23凹槽、24通孔、25滑轨、26滑块、27定位柱、28轴承；
3驱动机构、31电机、32减速机、33旋转板、34条形孔。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1至图5所示，本实施例1提供了一种晶圆定位结构，包括：载板1，所述载板1上沿载板1的径向方向开设有若干移动长孔11；若干定位机构2，所述定位机构2与所述移动长孔11对应，所述定位机构2设置在所述载板1的下方，并且所述定位机构2伸出对应的移动长孔11；所述定位机构2适于在所述移动长孔11内同步移动，以调整各定位机构2与载板1中心的距离，适配相应尺寸的晶圆；实现了适配不同尺寸的晶圆，便于对不同尺寸的晶圆进行定位，并且通过定位机构2的移动可以使得晶圆对准载板1的中心位置(圆心)，实现晶圆的对中，无论晶圆大小，都采用定位机构2保正晶圆的圆心与载板1圆心重合，由于晶圆定位结构是固定于地面的，所以机械手抓取的位置也是固定的；移动长孔11的宽度可以略大于定位柱27的宽度，便于定位柱27穿过。
在本实施例中，所述晶圆定位结构还包括：驱动机构3；所述驱动机构3与各定位机构2连接，所述驱动机构3适于带动定位机构2在对应的移动长孔11内移动；通过驱动机构3可以调节定位机构2距离载板1中心位置的距离，以调整所有定位机构2围成的范围大小，以适配不同尺寸的晶圆，例如对6寸、8寸和12寸晶圆，使得晶圆被限位在所有定位机构2围成的区域内。
在本实施例中，所述载板1上周向等距开设有若干连接孔12，所述连接孔12靠近所述载板1的边沿设置；通过连接孔12可以将载板1与底板21进行定位连接，避免载板1发生转动。
在本实施例中，所述载板1上设置有若干支撑柱13，所述支撑柱13的高度低于定位机构2伸出移动长孔11的高度；通过支撑柱13可以对晶圆进行支撑，并且在支撑柱13对晶圆进行支撑后，通过驱动机构3带动定位机构2向载板1的中心位置移动，使得定位机构2与晶圆的边沿接触，通过定位机构2将晶圆限位在支撑柱13上；所述支撑柱13的顶端为球面，即支撑柱13的顶端圆滑处理，便于在定位柱27接触晶圆边沿时使得晶圆可以进行移动，支撑柱13圆滑的顶端可以便于晶圆的移动。
在本实施例中，所述定位机构2包括：底板21；所述底板21上周向等距设置有若干连接柱22，所述连接柱22靠近所述底板21的边沿设置；所述连接柱22的侧壁上开设有凹槽23；所述连接柱22与所述连接孔12对应，所述连接柱22适于伸出对应的连接孔12；所述底板21上周向等距设置有若干定位组件，所述定位组件适于伸出对应的移动长孔11；通过连接柱22穿过连接孔12，并且可以通过凹槽23使得连接柱22与连接孔12进行限位，使得底板21与载板1连接。
在本实施例中，所述底板21的中心位置开设有通孔24；便于减速机32穿过通孔24后与旋转板33连接，便于减速机32带动旋转板33发生转动。
在本实施例中，所述定位组件包括：滑轨25；所述滑轨25沿所述底板21的径向方向设置；所述滑轨25上设置有适配的滑块26；所述滑块26上设置有定位柱27，所述定位柱27适于伸出所述移动长孔11；所述定位柱27上套设有轴承28；定位柱27上可以设置有键槽，轴承28设置在键槽上；所述滑块26适于在滑轨25上移动，以带动定位柱27在滑轨25上移动；可以首先将轴承28设置在定位柱27上，将定位柱27固定在滑块26上，将滑块26设置在滑轨25上，便于滑块26沿滑轨25移动。
在本实施例中，所述定位柱27可以采用圆柱，避免在定位柱27的移动过程中，棱边对晶圆的碰撞导致晶圆的损坏。
在本实施例中，所述驱动机构3包括：电机31、减速机32和旋转板33；所述电机31与所述减速机32连接；所述减速机32的旋转端与所述旋转板33连接；所述旋转板33设置在底板21与载板1之间；所述旋转板33上倾斜设置有与移动长孔11对应的条形孔34，各条形孔34的倾斜程度相同；条形孔34的数量可以是6条，便于更加精确的将晶圆对中；所述定位机构2中的轴承28设置在对应的条形孔34内，并且轴承28与条形孔34的内壁适配；所述定位机构2中的底板21设置在所述减速机32上；通过减速机32降低电机31的转速并提高输出扭矩，通过减速机32带动旋转板33进行转动，由于轴承28设置在条形孔34内，在旋转板33进行转动时，通过条形孔34带动轴承28，使得轴承28可以带动定位柱27沿滑轨25移动，定位柱27靠近或远离载板1的中心位置(圆心)，可以对定位柱27进行复位或使得定位柱27对晶圆进行限位。
实施例2
在实施例1的基础上，本实施例2还提供一种采用实施例1中晶圆定位结构的全自动湿法清洗设备，包括：清洗装置，所述清洗装置设置在晶圆定位结构上方，所述清洗装置适于对晶圆定位结构上定位的晶圆进行清洗。在一些情况下也可以由机械手将清洗后的晶圆转移到干燥模组中进行干燥。
综上所述，本实用新型通过载板1，所述载板1上沿载板1的径向方向开设有若干移动长孔11；若干定位机构2，所述定位机构2与所述移动长孔11对应，所述定位机构2设置在所述载板1的下方，并且所述定位机构2伸出对应的移动长孔11；所述定位机构2适于在所述移动长孔11内同步移动，以调整各定位机构2与载板1中心的距离，适配相应尺寸的晶圆；实现了适配不同尺寸的晶圆，便于对不同尺寸的晶圆进行定位。
本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本实用新型各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (10)
1.一种晶圆定位结构，其特征在于，包括：
载板，所述载板上沿载板的径向方向开设有若干移动长孔；
若干定位机构，所述定位机构与所述移动长孔对应，所述定位机构设置在所述载板的下方，并且所述定位机构伸出对应的移动长孔；
所述定位机构适于在所述移动长孔内同步移动，以调整各定位机构与载板中心的距离，适配相应尺寸的晶圆。
2.如权利要求1所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述晶圆定位结构还包括：驱动机构；
所述驱动机构与各定位机构连接，所述驱动机构适于带动定位机构在对应的移动长孔内移动。
3.如权利要求1所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述载板上周向等距开设有若干连接孔，所述连接孔靠近所述载板的边沿设置。
4.如权利要求1所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述载板上设置有若干支撑柱，所述支撑柱的高度低于定位机构伸出移动长孔的高度。
5.如权利要求3所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述定位机构包括：底板；
所述底板上周向等距设置有若干连接柱，所述连接柱靠近所述底板的边沿设置；
所述连接柱的侧壁上开设有凹槽；
所述连接柱与所述连接孔对应，所述连接柱适于伸出对应的连接孔；
所述底板上周向等距设置有若干定位组件，所述定位组件适于伸出对应的移动长孔。
6.如权利要求5所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述底板的中心位置开设有通孔。
7.如权利要求5所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述定位组件包括：滑轨；
所述滑轨沿所述底板的径向方向设置；
所述滑轨上设置有适配的滑块；
所述滑块上设置有定位柱，所述定位柱适于伸出所述移动长孔；
所述定位柱上套设有轴承。
8.如权利要求4所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述支撑柱的顶端为球面。
9.如权利要求2所述的晶圆定位结构，其特征在于，
所述驱动机构包括：电机、减速机和旋转板；
所述电机与所述减速机连接；
所述减速机的旋转端与所述旋转板连接；
所述旋转板设置在底板与载板之间；
所述旋转板上倾斜设置有与移动长孔对应的条形孔，各条形孔的倾斜程度相同；
所述定位机构中的轴承设置在对应的条形孔内，并且轴承与条形孔的内壁适配；
所述定位机构中的底板设置在所述减速机上。
10.一种采用如权利要求1所述晶圆定位结构的全自动湿法清洗设备，其特征在于，包括：
清洗装置，所述清洗装置设置在晶圆定位结构上方，所述清洗装置适于对晶圆定位结构上定位的晶圆进行清洗。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321005633.2U CN219873464U (zh) | 2023-04-28 | 2023-04-28 | 一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202321005633.2U CN219873464U (zh) | 2023-04-28 | 2023-04-28 | 一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备 |
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| CN219873464U true CN219873464U (zh) | 2023-10-20 |
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| CN202321005633.2U Active CN219873464U (zh) | 2023-04-28 | 2023-04-28 | 一种晶圆定位结构及全自动湿法清洗设备 |
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|---|---|
| CN (1) | CN219873464U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119133055A (zh) * | 2024-05-30 | 2024-12-13 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 晶圆对中机构、晶圆加热系统以及晶圆对中方法 |
-
2023
- 2023-04-28 CN CN202321005633.2U patent/CN219873464U/zh active Active
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| CN119133055A (zh) * | 2024-05-30 | 2024-12-13 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 晶圆对中机构、晶圆加热系统以及晶圆对中方法 |
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