CS241697B1 - Upínací zařízení kazety - Google Patents

Abstract

Podstatou upínacího zařízení je základní těleso ve tvaru korýtka s přehnutými okraji se třemi dorazy, jejichž výška se nastavuje při konečné montáži křížového stolku litografického přístroje v toleranci několika mikrometrů, přičemž upevnění kazety se dociluje pohybem plošiny, rovnoběžným s rovinou kazety. Pohyb plošiny je zabezpečován valivě uloženým klínovým šoupětem, pohybujícím se ve směru pohybu X křížového stolku. K uvolnění upínacího zařízení dochází při dojetí stolku na jeden z koncových dorazů stolku ve směru X, upnutí při odjetí z dorazu zabezpečuje tažná pružina, spojující šoupě se základním tělesem. Ustavení polohy kazety na plošině ve směru os X a Y zabezpečují vodicí anuloidové kladky, zapadající na jedné straně kazety do rybinové, na druhé straně do rovinné drážky.

Description

Vynález se týká upínacího zařízení kazety, uspořádané na křížovém stolku litografického přístroje.

U litografických přístrojů, užívaných při výrobě mikroelektronických součástí, jsou kladeny vysoké požadavky na mechanismy, zajišťující upínání substrátů nebo* masek. Požaduje se jednak vysoká reprodukovatelnost upnutí co do polohy X, Y (v expoziční rovině), jednak vysoká přesnost předmětové vzdálenosti (přesnost ve směru Z). Současně se objevuje požadavek na možnost automatizace procesu výměny kazet.

U dosavadních řešení se projevovaly potíže jednak s přesným umístěním kazety na stole litografického přístroje, jednak s přesným umístěním substrátu nebo· masky do kazety. Kazety se zhotovovaly masivní a těžké, a poloha, zejména, ve směru osy Z, se při umístění expozičního tubusu nahoře docilovala gravitačním,¹ upínáním. Tím se neúměrně zvyšovaly nároky na přesnost kazet. Opačné řešení (expoziční tubus dole) přinášelo naopak řadu problémů z hlediska obsluhy.

Tyto nevýhody odstraňuje upínací zařízení kazety, uspořádané na křížovém stolku litografického přístroje, jehož podstatou je, že sestává ze základního tělesa ve tvaru korýtka s přehnutými okraji, ve kterých jsou uspořádány tři justážní šrouby, ke kterým je kazeta se substrátem nebo maskou v zasunuté poloze dotlačována třemi vodicími kladkami, upevněnými na plošině přitahované k základnímu tělesu třemi kotevními pružinami přes šoupě, opatřené jednak dvěma zvedacími klíny, najíždějícími na zvedací kladky, z nichž jedna je spojena se základním tělesem a druhá s plošinou a jednak pružným členem vytvářejícím upínací předpětí, přičemž mechanickou vazbu mezi základním tělesem a plošinou tvoří dva páry kuliček v rybinových drážkách, vytvořených v základním tělese, v šoupěti a v plošině, přičemž podélný upínací posuv šoupěte zajišťuje nejméně jedna tažná pružina, upevněná k základnímu tělesu.

Hlavní předností předkládaného řešení je dotlačování kazety ke třemi dorazům, jejichž výška se nastavuje při konečné montáži upínacího zařízení na křížový stůl. Tato justáž je schopna kompenzovat nejen výrobní nepřesnosti samotného upínacího zařízení, ale i chyby křížového stolu (nepřesnosti, průhybyj. Na přesnosti polohy expoziční roviny ve směru Z se pak podílí jen nerovnost substrátu nebo masky a tolerance vzdálenosti doteků pro lícovou plochu substrátu nebo masky a ploch, které dosedají na justážní šrouby (dorazy). Tuto vzdálenost lze dosáhnout v toleranci jednotek mikrometrů.

Vynález blíže objasní přiložený výkres, kde na obr. 1 je v osovém řezu pohled na upínací zařízení ve směru X, na obr. 2 ve směru Y a na obr. 3 půdorysný pohled ve směru Z.

Nosnou součást upínacího zařízení kazety tvoří základní těleso 1, které se upevňuje ke křížovému stolku litografického přístroje. V základním tělese 1 jsou umístěny 3 justážní šrouby 4,- k nimž dosedá kazeta 2 se substrátem nebo maskou 3, posuvná po prvních třech vodicích kladkách 8, upevněných čepy k plošině 10. Druhé tři vodicí kladky 9 jsou upevněny v základním tělese 1. Poloha plošiny 10 je zajištěna ve směru osy X vodicím kolíkem 22, procházejícím mezi dvěma kladkami 7, upevněnými v základním tělese i. Zajištění polohy plošiny 10 ve směru osy Y je provedeno pomocí dvou zvedacích kladek 14 na čepech 15 a dvou párů kuliček 13, zapadajících do rybinových drážek jednak v základním tělese 1, jedna v plošině 10 a jednak v kostkách 23, které jsou součástí šoupěte 12. Základní těleso 1 je svázáno s plošinou 10 a šoupětem 12 třemi kotevními pružinami 11. Poloha kazety 2 je ve směru osy Y určena třemi prvními voidicími kladkami 8, ve směru osy X dorazovou kladkou 5, ke které je kazeta přitlačována odpruženou kladkou 6. Pohyb šoupěte 12 zabezpečují tažné pružiny 19, jejichž jeden konec je pomocí prvních kolíků 20 spojep pevně se šoupětem 12, druhý pomocí druhých kolíků 21 se základním tělesem 1.

Při dojezdu křížového stolku na jeden z dorazů ve směru osy X je šoupě 12 ůdtlačeno o vzdálenost Z proti tahu tažných pružin 19. Tím sjedou dva zvedací klíny 16 ze zvedacích kladek 14. Jedna zvedací kladka 14 je pomocí čepu 15 pevně spojena se základním tělesem; 1, druhá s plošinou 10. Důsledkem je paralelní snížení plošiny 10, a tím i třech prvních vodicích kladek 8 a uvolnění kazety 2 z mechanického kontaktu s justážními šrouby 4. Kazeta 2 přitom dosedne i na druhé tři vodicí kladky 9, spojené pevně se základním tělesem 1. Tento stav umožní výměnu kazety 2, která je vedena na jedné straně prvními i druhými vodicími kladkami 8, 9 v rybinové drážce, na druhé straně prvními i druhými kladkami 8, 9 na rovinné plošce. Odjede-li křížový stůl o vzdálenost Z ve směru osy X od dorazu, stáhnou tažné pružiny 19 šoupě 12 zpět, zvedací klíny 16 najedou na zvedací kladky 14 a plošina 10 se zvedne. Kazeta 2 se nejprve zvedne z druhých vodicích kladek 9, zaujme jednoznačnou polohu na prvních třech vodicích kladkách 8. Ve směru osy X zajišťuje polohu při zvedání dorazová kladka 5, k níž kazetu 2. dotlačuje odpružená kladka 6. Po dotlačení kazety 2 na justážní šrouby 4 je část zdvihu šoupěte 12 použita ještě na deformaci pružného členu 17, který vytváří upínací předpětí. Velikost tohoto předpětí je nastavitelná třemi stavěcími šrouby 18.

Upínací zařízení kazet je využitelné zejména pro elektronové biografické přístroje.

PREDMET

Claims (1)

1. Upínací zařízení kazety, uspořádané na křížovém stolku litografického přístroje, vyznačené tím, že sestává ze základního tělesa (1) ve tvaru korýtka s přehnutými okraji, ve kterých jsou uspořádány tři justážní šrouby (4), ke kterým je kazeta (2) se substrátem nebo maskou (3) v zasunuté poloze přitisknuta třemi vodícími kladkami (8), upevněnými na plošině (10J, přitahované k základnímu tělesu (1) třemi kotevními pružinami (11) přes šoupě (12), opatřené jednak dvěma zvedacími klíny (16), dosedacívynalezu mi na zvedací kladky (14), z nichž jedna je spojena se základním tělesem (1) a druhá s plošinou (10) a jednak pružným členem (17), vytvářejícím upínací předpětí, přičemž mechanickou vazbu mezi základním tělesem (1) a plošinou (10) tvoří dva páry kuliček (13) v rybinových drážkách, vytvořených v základním tělese (1), v šoupěti (12) a v ploišině (10), přičemž podélný upínací posuv šoupěte (12) zajišťuje nejméně jedna tažná pružina (19), upevněná k základnímu tělesu (1).