CS243929B1

CS243929B1 - Linear sliding optical table

Info

Publication number: CS243929B1
Application number: CS844071A
Authority: CS
Inventors: Stefan Jurik
Original assignee: Stefan Jurik
Priority date: 1984-05-31
Filing date: 1984-05-31
Publication date: 1986-07-17
Also published as: CS407184A1

Abstract

Lineárně posuvný optický stolík je určený pre přesné meranie rovinnosti ploch. Podstata stolíka spočívá v tom, že pozostáva z lineárně posuvného štvorbokého skleněného hranola (4), ktorý má na svoje) hornej časti natmelený optický trojboký hranol (7), pričom vedenie pravoúhlého štvorbokého hranola (4) je zaistené systémom zhodných štvorbokých hranolov (1, 2 a 3), ktoré sú stmelené do jedného pevného celku spojovacími hranolami (5, 6), pričom stykové klzné plochy lineárně posuvného štvorbkového posuvného hranola (4) sú natreté silikonovým olejom. Lineárně posuvný stolík možno využit všade tam, kde sa vyžaduje přesné, pohyblivé vedenie optických súčiastok v meracích alebo iných prístrojoch.The linearly sliding optical stage is designed for precise flatness measurement of surfaces. The essence of the table lies in the fact that it consists of a linearly sliding quadrilateral glass prism (4), which has an optical triangular prism (7) cemented to its upper part, while the guidance of the rectangular quadrilateral prism (4) is ensured by a system of identical quadrilateral prisms (1, 2 and 3), which are cemented into one solid unit by connecting prisms (5, 6), while the contact sliding surfaces of the linearly sliding quadrilateral sliding prism (4) are coated with silicone oil. The linearly sliding table can be used wherever precise, movable guidance of optical components in measuring or other devices is required.

Description

Lineárně posuvný optický stolík je určený pre přesné meranie rovinnosti ploch. Podstata stolíka spočívá v tom, že pozostáva z lineárně posuvného štvorbokého skleněného hranola (4), ktorý má n,a svojej hornej časti natmelený optický trojboký hranol (7), pričom vedenie pravoúhlého štvorbokého hranola (4) je zaistené systémom zhodných štvorbokých hranolov (1, 2 a 3), ktoré sú stmelené do jedného pevného celku spojovacími hranolami (5, 6), pričom stykové klzné plochy lineárně posuvného štvorbkového posuvného hranola (4) sú natreté silikonovým olejom.Linear sliding optical table is designed for accurate flatness measurement of surfaces. The essence of the table is that it consists of a linearly sliding quadrilateral glass prism (4) having n and its upper part bonded to an optical triangular prism (7), the guiding of the rectangular quadrilateral prism (4) being secured by a system of identical quadrilateral prisms (1). , 2 and 3), which are bonded to one solid unit by connecting prisms (5, 6), wherein the contact sliding surfaces of the linearly sliding quadrilateral sliding prism (4) are coated with silicone oil.

Lineárně posuvný stolík možno využit všade tam, kde sa vyžaduje přesné, pohyblivé vedenie optických súčiastok v meracích alebo iných prístrojoch.The linear sliding table can be used wherever precise, movable guidance of optical components in measuring or other instruments is required.

Vynález sa týká lineárně posuvného optického stolíka pre přesné meranie rovinnosti ploch interferenčnými metodami.The present invention relates to a linearly movable optical stage for accurately measuring the flatness of surfaces by interference methods.

Doteraz používané posuvné stolíky pre přesné meranie rovinnosti plóch sú založené na mechanidkom principe, a to buď v presnom rybinovitom vedení posuvného! stolíka, alebo na principe lineárnych guličkových alebo valčekových ložísk. Nevýhodou uvedených lineárnych posuvných stolíkov je, že sú náročné na kvalitu a tepelné spracovanie použitého materiálu a kladů vysoké nároky na výrobu přesných a poměrně zložitých profilovaných vodiacich ploch.The hitherto used sliding tables for accurate flatness measurement are based on the mechanism principle, either in the precision dovetail guide sliding! table, or on the principle of linear ball or roller bearings. A disadvantage of these linear sliding tables is that they are demanding on the quality and heat treatment of the material used and the high demands on the production of accurate and relatively complex profiled guide surfaces.

Uvedené nedostatky odstraňuje lineárně posuvný optický stolík podta vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že pozostáva z lineárně posuvného štvorbokého skleněného hranola, ktorý má na svojej hornej časti natmelený optický trojhoký hranol, pričom vedenie pravoúhlého štvorbokého hranola je zaistené systémom zhodných štv-orbokých hranolov, ktoré sú stmelené v jeden pevný celok spojovacími hranol,mi, pričom stykové klzne plochy lineárně posuvného štvorbokého posuvného hranola sú natreté silikonovým olejom.These drawbacks are overcome by the linearly movable optical stage of the invention, which consists of a linearly movable quadrilateral glass prism having an optical triangular prism bonded on its upper part, the guiding of the rectangular quadrilateral prism being secured by a system of identical quadrilateral prisms, which are bonded to one fixed unit by a connecting prism, wherein the contact sliding surfaces of the linearly sliding quadrilateral sliding prism are coated with silicone oil.

Vynález lineárně posuvného optického stolíka umožňuje přesné vedenie trojbokého meracieho hranola, ktorý je natmelený na lineárně posuvnom hranole, a to s presnoeťou min + 1 ,um v smere osi.The invention of the linearly displaceable optical stage allows the accurate guiding of a triangular measuring prism which is bonded to a linearly displaceable prism with an accuracy of min + 1 µm in the direction of the axis.

Posuv (+ 10 mm) vedeného štvorbokého hranola počas merania můžeme vykonávat ručně, alebo v případe automatizá4 cie meracieho procesu pomocou pohonného elektromotorčeka cez spojku, pohonnú skrutku a příslušné převody a to s možnosťou plynulej změny otáčdk elektromotorčeka za účelom dosiahnutia požadovaných posúnov měrného trojbokého hranola (6 až 60 mm/minj.The displacement (+ 10 mm) of the guided quadrilateral prism during measurement can be performed manually or in the case of automation of the measurement process by means of a drive electric motor through the clutch, drive screw and related gears. 6 to 60 mm / min.

Lineárně posuvný optický stolík je v axonometrickom zobrazení nakreslený na pripojenom obrážku, kde zhodné skleněné pravoúhlé hranoly 1, 2 a 3 sú pevne stmelené pomocou spojovacích skleněných hranolov· 5 a 6. Lineárně posúvatetný skleněný pravoúhlý hranol 4 má natmelený trojboký skleněný hranol 7.The linearly movable optical stage is drawn in an axonometric representation on an attached slot where identical glass rectangular prisms 1, 2 and 3 are firmly bonded by means of connecting glass prisms 5 and 6. The linearly displaceable glass rectangular prism 4 has a cemented triangular glass prism 7.

Činnost prístroja spočívá v tom, že světelný lúč po spatnom odraze od pohyblivého trojbokého hranola 7 natmeleného* na pravouhlom hranole 4 nesmie počas posuvu pravoúhlého hranola 4 měnit směr v osiach Y a Z o hodnoty + max 1 μΐη.Operation of the device consists in that the light beam, after a bad reflection from the movable triangular prism 7 cemented * on the rectangular prism 4, must not change the direction in the Y and Z axes by + max 1 μΐη during the movement of the rectangular prism 4.

Klzné plochy medzi pohyblivým pravoúhlým hranolom 4 a vodiacimi hranolmi 1, 2 a 3 sú natreté silikonovým olejom, ktorý zabezpečuje vláčný a netrhavý pohyb hranola 4 počas jeho posuvu v procese merania. Aby sa zabránilo vniku pevných aerosolov z ovzdušia medzi klzné plochy, je celý optický stolík ponořený do silikonového oleja cca 2 mm nad horný okraj pevného hranola 3.The sliding surfaces between the movable rectangular prism 4 and the guiding prisms 1, 2 and 3 are coated with silicone oil which provides a supple and non-tearing movement of the prism 4 during its movement in the measurement process. To prevent solid aerosols from escaping from the atmosphere between the sliding surfaces, the entire optical stage is immersed in silicone oil about 2 mm above the upper edge of the fixed prism 3.

Lineárně posuvný optický stolík možno použit všade tam, kde sa vyžaduje přesné, pohyblivé vedenie optických súčiastok v meracích alebo iných prístrojoch.The linearly movable optical stage can be used wherever precise, movable guidance of optical components in measuring or other instruments is required.

Claims

SUBJECT

A linearly movable optical table characterized in that it consists of a linearly movable rectangular glass prism (4) with a cemented triangular prism (7), wherein the linear guiding of the rectangular glass quadrilateral prism (4) is secured by glass prisms (1, 2 and 3). The solid sliding surfaces of the quadrilateral glass prism (4) are coated with silicone oil.