CS245749B1 - Způsob výroby usměrňovačích prvků - Google Patents

Abstract

ŘeSení patři ke spůsobům výroby polovodičových prvků. Cílem řeěení je slepěenl jakosti a snížení pracnosti výrony usměrňovačích prvků. Toto se dociluje tím, že v předkládaném spůsobu ae metalisace. provádí difuznlm svářením kovové folie s polovodiíovou strukturou, přlSerně tato metalisace se provádí současně s přivařením termokompenaátoru.

Description

-2· ϋ300ρθΤΘΗΗβ OTHOCHTOH Κ OdliaOSB aBOBSpOSaXHBBB Ημοβθτ (5ητι> HonontaoBaHO npa ueTaoHaaiWH β οοβαθβββ κοηχΤΒΚΤΗΗΧ ΟΟΘΒΒΗΘΒΒϋ Β BOByiipOBOABBBOBUX ΠρΒ00ρβΧ. Μ8ΒΘ0ΤΘΗ ΟΠΟΟΟύ Β8ΓΟΙΟΒ9ΘΒΒΒ ΒΒΠρΗΜΗΤβΠΒΗΟΓΟ βΒΘ“μθητθ οηλοβογο nonynpoBoaHHKOBoro npHdopa, npa bosoponoosaaHBe kobsbktb k κρθμηβθβοΚ ospyssype ooyaieosBaHasoasflaKTpoHHD-ayyaBHM aanuaoaaaii (MaTanHHaauaaU) θβιμιβηββ/1/. Π8ΒΘ0ΙΘΗ S8BB0 ΟΠΟΟΟΰ ΒβΓΟΙΟΒΒΘΒΒΒ ΒΗΠρΒΜΒΤΘΒΒΒΟΖΌsneueesa οηποβογο nojiynpoBOflHHKOBoro npadopa, npa boso-*pou nonynpoBogHBBOBaa ospyssypa uesannaBBpyesoa nyseiiΧΒΜΒΗΘΟΚΟΓΟ OCaBAOBBB ΗΒΒΘ&Η* 8 3ΘΤΘΜ Ηβ OBHOft B8 OSO-poa nosynpoBosBBKOBofl orpyHsypH apenas o noMpipjo nattBBnudo cnnaBneaaa sapuoBounaBoasop (uasepaaa o κοβφφΒΚΒ-ΘΗΤΟ1Ι ΤβρϋΗΊΘΟΒΟΓΟ paCnBpeBKB, Č9B8BBH B Si , Β8Β8 ΒΟΘ-rOMo.W /2/. 8sa onooodu xapaBsapB8ynsofl cnanysBiBHB BeaoosasKa-ub: I. MasasxBsaiiBB χβββίθοκημ ooasBOBBeu $opii«pyer Ha 245749 -3- noBopxHocxa nojiynpoBozíHíiKa cjioíí ueianna, κοτορκϋ as-aaCBoatt nopacxocxa oóycnoBJíBBaeT ποβηοιθημθ y βηπρημβτθπβ-ηογο θπθμθητθ aMnyjiLCHoro npfluor o HanpaseHaa a τθπλοβο-ΓΟ ΟΟΠρΟΓΜΒίΙβΗΗβ. 2. Mejeaoasaima cTpyKTypu a κρθππθηβη k ηθΑ τθρμο-KOMneHcaTopa BanojiHUDTca sByua OTueaBauua nocaeaoBaxojiB-Huua onepaiiaauB, uxo yBananaBaeT TpynoeMKOCTB ββγοτοβπθ-HHH a CHHsaeT buxob γοϊηηχ bhjiphmbtojibhhx θηθμθητοβ. 3. ΚρβιιπθΗΚθ xepMOBotanaHcaxopa c πομο^ββ khakoS $a-3bi (naflKa.cruiaBJíQHae) ηθ oóecneíBBaeT Heoóxoaauoň cnjiom-hootb κοητθκτθ aa-aa πρθκτΒΊθοκοβ ηθβο3μοκηοοτη coaaaHaaycnosait nonaott ομθίββθθμοοτβ οοθαβηηθμηχ noBepxHoexeít.

Haaóonee ójihskbu no τθχηβϊθοκοΚ cymHoexa a aocxara-eiaouy pe3yjiBTaiy ηβπηθτοη cnocotf βθγοτοβπθηβη Banpaua-τθπβηογο ajiauema, BKmaiomaa aa$$yaaonHy» CBapKy xepMO-KOMnencaTopa c ouhoIí CTOpoHOfó nojiynpoBoaHBKOBOfl cípyBxy-pti a Mexaanaaaua® ea npoTHBonoaosHOiS cxopoflu /3/.

IlOCKOJIBKy ΰΟθίΚΗΘΗΗΘ ΠρΒ AB$$y3B0HH0tt ΟΒβρΚΘ BHflOJI-ηηθτοη b ΤΒβρηοϋ $aaa, το xaKoa κοητθκτ xapaKTopaayoxcaBucoKOtt οτθπθηβμ onnoiuaocxa a βητθιοιοιιιβμη oxcioaa ynyu-moHHnua noKasaxonaua θλθκτρβίθοκογο a χθπβοβογο conpo-TBBJIQHBH·

HesocxaxKaua cnocotía ηβκηθτοη ποβηιιιθηηθ y Bunpaua-τθλβηογο aneuoHxa aunynacHoro npauoro aanpasoHaa a τθπ-noBorO'οοπροτΒΒπβΗΒΗ BCJieACTBaa nopacxocxa cjioh Maxa a ji a,χημηίθοκη οοθκαθηηογο Ha noBapxHoexB nojiynpoBOSHHKa. Ma-xaaaasaQaa cxpyKxypu a xpennetme κ aeň xepMOKOMnaHcaxopaBunojiaaoxca AByMa οτβ,θαβηημμ onapanaaiia, ητο yBajiaiHBaaxxpyaoauaocxB ζ3γοτοβϊιθηηη a CHasaeT buxoq γοβ,ηνχ Bbinpa-μητθπβηηχ snauaaxoB.

UajiBB aacToanaro ΗβοόρβτβΗΗΗ ηβληθτοα yjtymaaHae yΒΗΠρΗΜΗΤΘΠΒΗΗΧ 3ΗΘΜΘΗΤ0Β T3KHX Π0Κ83ΘΤθπβ0, K3K HMIiyiIB-CHOe npaMOe ΗΘΠρΗΚΘΗΗΘ, ΤθΐυΐΟΒΟΘ ΟΟΠρΟΤΗΒΛΘΗΗΘ, a Ta KS ayMOHBinoHaa xpysoeMKocxa ax ηβγοτοβπθηηη a KoaauecxBa 245749 -4- dpaita. ΠΟΟΤΘΒΠΘΗΗΘΗ H0JIB ΗΟΟΤΗΓΘΘΤΟΗ τθμ, uto b ηηβθοτηομcnocode Η3ΓΟΤΟΒηθΗΗΗ, ΒΚΠΒΊΘΒΠΙΘΜ HH$$y3H0HHy» CBapKy ΤΘΡMOKounaHcaTopa κ oshok otοροΗβ nonynpoBosHHKOBOít OTpyKTypu H ΜΘΤ8ηΠΗ38ΗΗΒ θθ ΠρΟΤΗΒΟΠΟΠΟΧΗΟΑ OTOpOHH, ΜΘΤΘΠΠΗδθ“muo ocymecTB7ifl»T w^y3H0HHQli cBapnoíl Μθτβηποθοκοΰ φοηΒγη o nonynpoBOHHHKOBoa cípyKiypofi, npHUěu TaKyio μθτθλπη-aauHB npoH3Bosnr οαηοβρθμθηηο oo CBapKOň τθρμοκομπθηοθ-Topa.

Apyroe οτληίηθ coctoht b tou, mto nepas οΒβρκοίί Haποβθρχηοοτη nonynpoBoaHHKOBoa OTpyKTypu, nosnesameil μθ-TanjiH3an0n, οοβαθβτ BucTynu bugotoB ηθ dones tohihhhhnpHBapHBaeuoJ} κ stoH ποβθρχηοοτη Φοπβγη. Πρηηηηπηθπβηοθ οτπηηηθ npennaraeMoa onepaman μθτθπ-nH3an.Hn npHBapHBBHiieu MeTannnnecKoa φοηΒΓΗ οτ πρημθηηθ-Μοϋ β HacToamee Bpeun ueTannHaanHH χημηηθοκημ οοηββθηη-eu ueianna ηηκπβίθθτοη b tom, hto Ha ποβθρχηοοτβ nony-npOBOAHHKOBOtt OTpyKTypu H8H00HT0H ΠϋΟΤΗϋβ ΜΘΤΘΗΠΗΗΘΟΚΗβΟηΟβ C ΜΘΗΒΠ1ΗΜ ΤΘΠΠΟΒΜΜ Η ΗΠΘΚΤρΗΊΘΟΚΗΜ ΟΟΠρΟΤΗΒΠΘΗΗΘΜ,ΊΘΜ 3Τ0 ΗΜΘΘΤ ΜΘΟΤΟ y ΠΟρΗΟΤΟΓΟ, ΧΗΜΗΠΘΟΚΗ ΟΟΘΚΠΘΗΗΟΓΟueianna. Πομημο ητογο, πρηβθρηβηηηθ μθτθππηηθοκοΗ φοπβγηΠ03Β0ΠΗΘΤ ΟΟ^ΘΟΤΒΠΗΤΒ ΟΠβρβΠΗΒ ΜΘΤ8ΠΠΗ3ΘΠΗΗ ΟΠΗΟΒρθΜθΗ-ηο c onepaunefi πρΗΒβρκπ TapuoKouneHoaTopa, ίτο yueHBBia-θτ TpysoeMKOOTB η κοπηίθοτβο dpana πρπ ηηγοτοβπθηηη βη-ΠρΗΜΗΤΘΠΒΗΟΓΟ ΒΠΘΜΘΗΤΘ, ΠΟ CpaBHQHHiO Ο H3B0OTHUM ΟΠΟΟΟ-dOM, rne onepauHH μθτθππηβθπηη OTpyKTypu η κρθππθηηη κΗββ TepMOKOuneHoaTopa βηποπηηβτοη ρθβπθπβηο h nocneno-ΒβΤΘΠΒΗΟ. ΠβρβΜ ΠρΟΒΘΠΘΗΗΘΜ ΜΘΤ8ΠΠΗ30ΠΗΗ Ί30ΤΒ ΠΟΒΘΡΧΗΟΟΤΗHOnynpOBOgHHBOBOft CTpyKTypU Ο ΠΟΜΟΠξΒΒ φΟΤΟΠΗΤΟΓρβφΗΗτρβΒΗΓ na rnydHHy ηθ donee tohihhhh πρηβθρηβθθμοΚ Φοπβγη,τθκ κβκ β προτΗΒΗΟΜ cny^ae, κθκ ποκθβηπη θκοπθρημθητη,Φοπβγθ πρκ noonesyiomea πρηβθρκθ paspymaeTon. Odpa30BaH-huo τηκημ od pasou Ha ποβθρχηοοτβ OTpyKTypu BuoiynaBUBe 245749 -5- odaacTH, BsaBňHBaaci b npuBapHBaeuyB φοηί-ry, npaKTHM.ec-kh aa se$opMHpyiDT η $opuKpyioT Ha cBOdosHoa noBepxHOCTHφοπ&ΓΗ cooTBeTCiByKímaM odpasoia BucTynaíomne yMacTKH, noKOIOPUU ΠΡΟΒΟΑΗΤ ΟΟΒΜβΙξθΗΗΘ $OTOUiadHOHa ΠρΗ ΠΟΟΛΘΖφΗΙίθΚφοτοηπτοτροφηκ yKaeaHHOg Φοαβγη.

CyUHOCTB Η30ΰρβΤΘΗΗΗ ΠΟΗΟΗΗΘΤΟΗ ΜθρΤΘΚΟΜ, Γ2.Θ Haφϋτ.Ι HsodpaaaH nanes, coctohahK H3 ahckob 1,3 μθτθααη-ίθοκοΑ φοπΒΓΗ, nonynpoBOAHHKOBoa cspyKiypu 2 H ΤβρΜΟΚΟΜ-ΠΘΗΟβΤ opa 4. Υκ838ηηηΚ πθκθτ Harpesa»T, csHuastx h Bugap-KHBaiOT B ΤΘΜΘΗΗ9 ΟΠρβΑΘΗΘΗΗΟΓO ΒρβΜΘΗΗ B BaKyyUQ, φθρΜΗ~pya npn stou οαηοβρθμθηηο οβθρηηθ οοθαηηθηηη no πποοκοο-THM, ΟΤΜΘΗΘΗΗΜΜ H8 φΗΓ.Ι Γ0ρΗ30ΗΤ3ΗΒΗΚΜΗ TOHKHMH AHHHfl-MH. TaKHM odpasou Η3ΓΟΤ8ΒΠΗΒ8ΙΟΤ ΒΗΠρΗΜΗΤΘΗΒΗΗϋ 3ΠΘΜΘΗΤ,y kot op oř o μθτθππη3θπη]ο CTpyKTypu 2 ocyinecTBnsoT npuBa-ΡΗΒ8ΗΗΘΜ ΚΟΜΠΘΚΤΗΟΓΟ ΜΘΤΘΠΗΗΗΘΟΚΟΓΟ Μ3ΤβρΗ3ΠΘ (φΟΑΒΓΗ) I, ΟΑΗΟΒρβΜΘΗΗΟ C ΠρΗΒβρΚΟΚ Κ ΠρΟΤΗΒΟΠΟΛΟΚΗΟίί ΟΤΟρΟΗΘτοβ se CTpyKTypu TepMOKOMneHcaiopa 4. Πρκ Η3Γ0Τ0ΒΠΘΗΗΗ ΒΗΠρΗΜΗΤΘΗΒΗΟΓΟ ΒΠΘΜΘΗΤΘ THpHCTO-pa nepes οΒβρκοΗ ο πομοϊαββ ΦοτοπητογρθΦηη yAanflfQT μθοτβποβθρχηοοτη noaynpoBOAHHKOBoft CTpyKTypu 4, φορΜί^η HaH6fi BUCTyntJ 2 (φΗΓ.2).

Sanee coÓMpaeTcn πβκθτ αθτθαθΗ η προΗ3ΒθΑΗΤ ηχ ΑΗφ-φy3H0HHyD OBapKy τβκ se, κθκ sto duno onncano Buuie. Πρκθτομ Buciynu 2« BucoTa kotopux βθ donee toaiuhhh μθτηπβη-ueoKOň Φοαβγη 3, παθοτημθοκη z^opMHpyjoi ποοπθαηββ hφορΗΗρ^τ na- ee noBepxHOGTH BucTynu I, no kotopum npoH3-boaht ooBuemeHHa φοτοωθΟποΗθ npn nocneAyiomeíí φοτοΑκτο-ΓρβφΗΗ φΟΠΒΓΗ 3. ΠρΗΜθρ I. Μ3Γ0Τ8ΒΠΗΒ8ΠΗ ΒΗΠρΗΜΗΤΘΗΒΗΗβ 3ΑΘΜΘΗΤΗnpfluofl ποαηρηοοτη AHOsa. Ληθμθτρ κρθμηηθβοα CTpyKTypu ηΒΟΑΒφρβΜΟΒΟΓΟ ΤβρΜΟΚΟΜΠΘΗΟβΤOpa yKa3aHH0r0 AHOAa C0CT8B-ajui 18 um. TaKoro se αηθμθτρθ ηοποπββοβθπηοβ θαβμηηηθ—ΒΗΘ AHCKH ΑΠΗ ΜΘΤ3ΑΑΗ33ΙξΗΗ H npOMesyTOHHOfl ΠρΟΚΠΘΑΚΗuessy τβρΜοκοΜπβΗοβτοροΜ a cípyKiypoa, toaiuhhoíi οοοτβθτ- 245749 -6- ΟΤΒΘΗΗΟ 30 H 100 ΜΗΜ. jHH$$y3íí0HH8fI ΟΒβρΚβ Πθρθ*ί«θηβΗΗΗΧneiajiefl, pacnojiOEeHHUx β ποολθαοβθτθλβηοοτμ, yKaaaHHoBHa φΗΓ.Ι, npoM3Bowiaci> řípu 540°, oBHuaiouieH pa3pmteHHHb κθμθρθ 66,5 Míla, β τθ^θηηθ 5 mhh. ΠρΗΜθρ 2. Μ3Γ0Τ3ΒΙΙΗΒ3ΠΗ ΒΗΠρΗΜΚΤΘΗΒΗΗΘ 3ΗΘΜΘΗΤΗ TH-pnoTopa 5naueTpoM 32 um. TonmzHU θλιομηηηθβηχ ahckob hpaaMM GBapKH HaaHa^asHGB, KaK b npeaunyneu ony^ae. OňHa-ko nepea osapKOft cnooodoM $OTOJiHTorpa$nn ϊθοτβ noBapxHO-ctm κρβΜΗΗθΒΟϋ cípyKTypu 4 ($ηγ.2) yaanoiacL· a ji η φορΜκρο-Β3ΗΗΗ BUGTynOB 2 BUCOTOň 3 MKU. nočně ΟΒβρΚΗ MeTaOHBH-poBaHHbift cjioa 3 nonBepranofl φοτοπΗΤΟΓρβφΗΗ snu ηβγοτοβπθ-hmh pereHepaTHBHoro KOJiBiia ynpaBneHHH, npa sxom Tpetíye-Maa opn6HTauHH $0T0maÓJi0Ha οτηοοητθπβηο cjioh 3 ooymecT-BjiHJiacB no BbicTynau I. Βηπρημηχθπβηηθ βπθμθητη, HsroTOBjíeHHbie β npHuepe I,CpaBHHBajIHCB O 8Η8Π0ΓΗΗΗΗΜΗ, y KOTOpHX ΜΘΤΘΠΠΗ38ΗΗΗ du-na ooyiaecxBneHa χημηίθοκημ ooaxnoHHeu hhkqjih, a κρβππβ-HHe xepMOKOMneHcaTopa - ;nH$$y3H0HH0fi cBapKOň.

BunpHMHTQjiBHua aneueHxu, ηβγοτοβπθηηηθ b npHuepe 2,xaBBe cpaBHKBanHCB c θηθηογηηηημη, y Koxopux Mexannuaa-UHH duna BunojiHQHa Hanuneaneu amouHHHH, a τθρμοκομπθηο8-τορ oo cxpyBTypoft οππθβπθηηη. Ορθβηητθπβηηθ ncnuxaHBjinoKa3ann, hto HMnynBCHOe πρπΜΟβ η8πρβκθηηθ h ϊθπποβοθ oo-npDTHBJíeHHe y BunpaMHxenBHUx aneueHXOB, ηβγοτοβπθηηηχno npennaraeMOMy onooody, οοοτβθτοτβθηηο ua 20 h 30%μθηβιιιθ, ίθμ y ηβγοτοβηθηηηχ no cpaBHHBaeMOuy onooody.

TaBHU 0dpa30M, ncnojiB3OBaHna npegnaraeMoro onocotíaΗ3Γ0Τ0ΒΠΘΗΗΗ ΒΗΠρΗΜΗΤΘΗΒΗΟΓO ΒΠΘΜΘΗΤΘ Π03Β0ΠΗΘΪ: 1. noBucHTB Ha 30-90% buxoa npHdopoB c npenenbHUUBnapaMexpaMH χοκβ. 2. ynymiiHXB κθίθοιβο npudopoB sa ch&e yueHbmeHHHna 10-20% HMnynBCHoro npnMoro aaupaxeaaa, 3. 7μθηβιβηιβ xpynoeuKOOXB ηβγοτοβπθηηη npadopoB sac^ěx hckjhohďhhh oaMOCTOHienBHOtt onepanHH MexannHaauHH* 245749 -Ί-

ΦΟΡΜΑ H30EPETEHHH 1. GnOCOd Η3ΓΟΤΟΒΛΘΗΒΗ BUnpaMHTeJIBHUX 3Π6ΜΘΗΤ0Β,ΒΚΠΙΟΊΘΙΟΙΙΙΒβ SH$$y3H0HHyX) CBapKy ΤβρΜΟΚΟΜΠΘΗΟβΤΟρβ C Ofl-HOit ciopoHOS noaynpoBOíHMKOBoa dpyKiypu a ueTaanB3aiíBioΘ6 npOTMBOnOHOMOií CTOpOHU, ΟΤΠΗΪΘϊΟΒΙΗβΟfl ΤβΜ, «ΤΟ, Guaniio yjiy^uiaHHfl κθίθοτβθ a yMeHBuieHaa TpyaoeMKOOTB aaro-ΤΟΒΗΘΗΒΗ ΒΗΠρΗΜΒΤΘΠΒΗΗΧ 9ΠΘΜΘΗΤΟΒ ΜΘΤΘΠΠΒΒΘΙΙΒίΟ OCymSCT“bjihíot aa$$y3BOHHoa ΟΒβρκοβ MeiaanaueoKOfi φοηκτΗ c noay-npOBDAHBKOBOií CTpyKTypOá ΟδΗΟΒρθΜβΗΗΟ C ΠρΗΒβρΚΟβ ΤθρΜΟ-KOMnaHcaTopa. ΜΟΤΟΊΗΒΚΒ ΒΗφΟΡΜΘΗΗΒ, ΠρΗΗΗΤΗΘ ΒΟ ΒΗΒΜ8ΗΒΘ ΠρΗ 3KC-ΠθρΐΒ3θ: X. B.H.Cmmphob, B.M.Kypynn ‘'noayuenae κθτοαηηχ koh-Τ3ΚΤ0Β CanOBUX nOnynpOBOaHBKOBHX npadOpOB ΜθϊΟΖξΟΜ 3ΛΘΚΤ-ΡΟΗΗΟ-ΠΥΗΘΒΟΓΟ ΗβΠΗΠΘΗΗΗ11 CÓ. “ΤθΧΗΟΚΟΓΒΗ ΟΒΠΡΒΗΧ Π OJiy~npoBOAHBKOBux npaóopoB'', B35. “Banryc" TaaflBH, 1981,cíp. 19-97. 2. ΙΟ.Α.Εβοθθβ "IIonynpoBOAHBKOBHa npatíopu zyia uom-HHX BHCOKOBOJIBTHHX yCTpOŽCTB; "θΗθρΓΒΗ", 1978, M. , c.136-139. 3. B.B.3yMÓepoB a ap. '"fia^ysaoHHaa cBapica Bunpa-ΜΒΤΘΠΒΗΟΓΟ ΘΠΘΜΘΗΤΘ ΟΒΠΟΒΟΓΡ nonynpOB ΟΠΗΒΚΟΒΟΓ O HpHÓOpa","SjíQKTporexHa^ecKafl npouHuineHnocTB11, cep. "IlpeodpaeOBa-τθπβηθβ τθΧΗΒΚβ”, 1978, bují. 7 (103), c.3-5. 245749 -8- ΑΗΗΟΤΑΙξΚΗ ΗβΟόρβΤΘΗΗβ OTHOCHTCH Κ ΟΠΟΟΟ0ΗΜ Μ3Γ0Τ0ΒΛβΗΗΗ nOJiy-npOBOAHMKOBUX ΠρκόορΟΒ. IJ^eJibfo Η3θ6ρβτβΗΗΒ HBJíHeTCH yjiyweHHe KawecTBa κΥΜβΗΜΙβΗΜβ TpyAOeMKOCTH Η3Γ0Τ0ΒΛΘΗΗΗ BUnpHMHTeJIbHbK 3JI6-ΜβΗΤΟΒ. 3το flocTuraeTca τθμ, μτο β npe^JiaraeMOM cnocode Μβ-Tajuin3ai|HíO ocyigecTBJíHioT ftn$$y3M0HH0ň CBapKott MeTajiJinqec-Koň Φολμή c nojiynpoBOflHHKOBoň CTpyKTypoft, npmieM Tanyx)MeTaJIJIH3aHMÍ0 np0H3B0flHT ΟΑΗΟΒρβΜβΗΗΟ C npMBapKOft TepMO-KOMneHcaTopa. 245749

Claims (1)

1. 9 245749 PŘEDMĚT VYNÁLEZU Způsob výroby usměrňovačích prvků, zahrnujíc! difúznl svěřeni termokompenzětorus jednou stranou polovodičové struktury a metalizaci její protilehlé strany, se vyznaču-.je tlm, že a cílem zlepěenl jakosti a sníženi pracnosti výroby usměrňovačích prvkůmetalizace se provádí difúznlm svářením kovové fólie s polovodičovou strukturousoučasně s přivařenlm termokompenzětoru. Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedené Státním výborem pro vynálezya objevy SSSR, Moskva, SU. 1 výkres