CS252966B1 - Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment - Google Patents

Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment Download PDF

Info

Publication number
CS252966B1
CS252966B1 CS858984A CS898485A CS252966B1 CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1 CS 858984 A CS858984 A CS 858984A CS 898485 A CS898485 A CS 898485A CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
vacuum chamber
ion
components
ion implantation
flanges
Prior art date
Application number
CS858984A
Other languages
Czech (cs)
Slovak (sk)
Other versions
CS898485A1 (en
Inventor
Dusan Liska
Ivan Pecar
Ladislav Semsey
Andrej Gajdos
Milan Ferdinandy
Jozef Kral
Original Assignee
Dusan Liska
Ivan Pecar
Ladislav Semsey
Andrej Gajdos
Milan Ferdinandy
Jozef Kral
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dusan Liska, Ivan Pecar, Ladislav Semsey, Andrej Gajdos, Milan Ferdinandy, Jozef Kral filed Critical Dusan Liska
Priority to CS858984A priority Critical patent/CS252966B1/en
Publication of CS898485A1 publication Critical patent/CS898485A1/en
Publication of CS252966B1 publication Critical patent/CS252966B1/en

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Riešenie sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory, ktorá je opatřená přírubami na ktoré sú připojené vyměnitelné příruby s dížkou v závislosti na dížke upravovaných súčiastok, ktoré sú uchytené o veká v ktorých je prípravok umožňujúci rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory, oproti zdrojů deponovaných častíc.The solution relates to a vacuum chamber for a device for ion plating and ion implantation of long shaft components and tools with a length exceeding the chamber dimension, which is provided with flanges to which are attached replaceable flanges with a length depending on the length of the treated components, which are attached to lids in which there is a device enabling rotation, reciprocating and sliding movement of the components during the formation of layers in the vacuum chamber space, opposite the sources of deposited particles.

Description

Riešenie sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory, ktorá je opatřená přírubami na ktoré sú připojené vyměnitelné príruby s dížkou v závislosti na dlžke upravovaných súčiastok, ktoré sú uchytené o veká v ktorých je prípravok umožňujúci rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory, oproti zdrojů deponovaných častíc.

252966 252966

Vynález sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantaciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory.

Doteraz známe zariadenia na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev metodami tónového plátovania alebo iónovej implantácie neumožňujú s ohladom na rozměry pracovnej komory, ktorá je mimo iného primárné závislá na velkosti a čerpacej schopnosti vákuových vývev upravovat povrch súčiastok hriadetového tvaru s velkým pomerom dížky ku prierezu súčiastok. Vákuové komory takýchto zariadení sú buď horizontálně, alebo vertiká’ne orientované a sú v tvare valca alebo hranola, ktoré sú osovo súmerné. Ak by sme použili vákuové komory, ktorých by dížka bola dostatočná pre umiestnenie súčiastok hriadetového tvaru, potom by to boli jednoúčelovo konstruované zariadenia, čím by bola obmedzená po- 4 žadovaná univerzálnost uvedených typov vákuových zariadení.

Uvedené nevýhody odstraňuje zariadenie podta vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že pozostáva z vákuovej komory 1 pre zariadenie na iónové plátovanie alebo iónovú implantáciu na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev na dlhých hriadelových súčiastkach 3 tak, že o príruby 2 vákuovej komory 1 sa uchytia vyměnitelné príruby 4, ktorých dížka je volená v závislosti na dížke upravovaných súčiastok 3. Príruby 4 sú uzavreté vekami 5 o ktoré je upnutý prípravok 6 pre rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok 3 ktorých dížka přesahuje rozměr vákuovej komory 1 v priestore oproti zdrojů deponovaných častíc 7.

Navrhované riešenie podfa vynálezu představuje vyššiu univerzálnost zariadení pre iónové plátovanie a iónovú implantáciu a úpravu povrchu súčiastok a nástrojov hria»· dělového tvaru.

The invention relates to a vacuum chamber for an ion cladding device and an ion implantation of long shaft components and tools with a length exceeding the chamber dimension, which is provided with flanges to which interchangeable flanges are attached depending on the length of the components to be fastened to the lids in which is a composition allowing rotation, reciprocating and sliding movement of components during the formation of layers in the vacuum chamber space, as opposed to the particles deposited.

252966 252966

BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum chamber for ion cladding and ion implantation of long shaft components and tools with a length exceeding the chamber dimension.

The prior art devices for producing functional hard abrasive layers by tonal cladding or ion implantation methods do not allow the surface of the shaft parts with a large length to cross sectional area to be adapted to the dimensions of the working chamber, which is primarily dependent on the size and pump capacity of the vacuum pumps. The vacuum chambers of such devices are either horizontally or vertically oriented and are cylindrical or prism-shaped, which are axially symmetrical. If we were to use vacuum chambers that would be long enough to accommodate shaft-shaped components, then they would be single-purpose devices, thus limiting the required versatility of the types of vacuum equipment.

The above-mentioned disadvantages are eliminated by the device according to the invention, which consists of a vacuum chamber 1 for an ion cladding device or an ion implantation for producing functional hard abrasive layers on long shaft components 3 such that the flanges 2 of the vacuum chamber 1 are retained by replaceable the flanges 4 are closed by lids 5, which is a fixture 6 for rotating, reciprocating and sliding movement of the components 3 whose length exceeds the size of the vacuum chamber 1 in space relative to the deposited material sources 7 .

The present invention provides a greater versatility of ion cladding and ionic implantation devices and surface treatment of shaft-shaped components and instruments.

Claims (1)

PREDMETSUBJECT Vákuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu vyznačená tým, že vákuová komora (1) je opatřená přírubami (2) do ktorých sú uložené dlhé hriadelové súčiastky alebo nástroje (3) s dížkou presahujúcou rozměr komory (1), pričom rozměr vyměnitelných prí-Vacuum chamber for ion cladding and ion implantation device, characterized in that the vacuum chamber (1) is provided with flanges (2) receiving long shaft components or tools (3) with a length exceeding the dimension of the chamber (1), -
CS858984A 1985-12-09 1985-12-09 Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment CS252966B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS858984A CS252966B1 (en) 1985-12-09 1985-12-09 Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS858984A CS252966B1 (en) 1985-12-09 1985-12-09 Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS898485A1 CS898485A1 (en) 1987-03-12
CS252966B1 true CS252966B1 (en) 1987-10-15

Family

ID=5441122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS858984A CS252966B1 (en) 1985-12-09 1985-12-09 Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS252966B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ305025B6 (en) * 2001-04-19 2015-04-01 Deutsche Bahn Ag Method of preventing press fit damages to wheelsets and apparatus for making the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ305025B6 (en) * 2001-04-19 2015-04-01 Deutsche Bahn Ag Method of preventing press fit damages to wheelsets and apparatus for making the same

Also Published As

Publication number Publication date
CS898485A1 (en) 1987-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2050467T3 (en) DEVELOPING TOOL WITH SWINGING BLADE.
CS252966B1 (en) Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment
ATE57362T1 (en) DEVICE FOR CONTINUOUS CONVEYING AND TURNING OF BODIES THROUGH A PROCESSING CHAMBER.
SU1171240A1 (en) Reamer
RU94026912A (en) Magnetogravitational separator
Gillespie A quantitative approach to vibratory deburring effectiveness
SU1355471A1 (en) Method of impregnating abrasive tool
RU2067520C1 (en) Cold chisel
ES2029978T3 (en) BOX FOR A CUTTING TOOL FOR LIQUID JET.
SU1199455A1 (en) Apparatus for magnetic working of cutting tool
CN211029548U (en) Polishing equipment
SU921749A1 (en) Tool-electrode for electrochemical machining of curvilinear surfaces
Kwetkus Contact electrification of solids
SU931441A1 (en) Apparatus for working parts by abrasive mass
LOPEZ Certification of the Zirshot Z-600 and Z-150 ceramic shot(HOMOLOGACION DE LOS PERDIGONES CERAMICOS ZIRSHOT Z 600 Y Z 150)
SU768586A1 (en) Electrochemical grinding method
Spataru et al. Research on Abrasive Wear Behavior of Boronized Steels Thermochemically Treated
DE59006548D1 (en) Portable blasting machine.
SE9804392L (en) Motor-driven hand tool, for filing or grinding, with synchronously rotating imbalance bodies.
Yang et al. Investigation on Low Cycle Impact Fatigue
JPS57138567A (en) Grinding machine
SU833419A1 (en) Material for producing tool electrode
SU1688996A1 (en) Device for removing barb from shells of sliding bearings
SU1127629A1 (en) Milling body
Li et al. The Fracture Toughness of Spring Steel Containing Surface Cracks