CS252966B1 - Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment - Google Patents
Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment Download PDFInfo
- Publication number
- CS252966B1 CS252966B1 CS858984A CS898485A CS252966B1 CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1 CS 858984 A CS858984 A CS 858984A CS 898485 A CS898485 A CS 898485A CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- ion
- components
- ion implantation
- flanges
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Riešenie sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory, ktorá je opatřená přírubami na ktoré sú připojené vyměnitelné příruby s dížkou v závislosti na dížke upravovaných súčiastok, ktoré sú uchytené o veká v ktorých je prípravok umožňujúci rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory, oproti zdrojů deponovaných častíc.The solution relates to a vacuum chamber for a device for ion plating and ion implantation of long shaft components and tools with a length exceeding the chamber dimension, which is provided with flanges to which are attached replaceable flanges with a length depending on the length of the treated components, which are attached to lids in which there is a device enabling rotation, reciprocating and sliding movement of the components during the formation of layers in the vacuum chamber space, opposite the sources of deposited particles.
Description
Riešenie sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory, ktorá je opatřená přírubami na ktoré sú připojené vyměnitelné príruby s dížkou v závislosti na dlžke upravovaných súčiastok, ktoré sú uchytené o veká v ktorých je prípravok umožňujúci rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory, oproti zdrojů deponovaných častíc.
252966 252966
Vynález sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantaciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory.
Doteraz známe zariadenia na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev metodami tónového plátovania alebo iónovej implantácie neumožňujú s ohladom na rozměry pracovnej komory, ktorá je mimo iného primárné závislá na velkosti a čerpacej schopnosti vákuových vývev upravovat povrch súčiastok hriadetového tvaru s velkým pomerom dížky ku prierezu súčiastok. Vákuové komory takýchto zariadení sú buď horizontálně, alebo vertiká’ne orientované a sú v tvare valca alebo hranola, ktoré sú osovo súmerné. Ak by sme použili vákuové komory, ktorých by dížka bola dostatočná pre umiestnenie súčiastok hriadetového tvaru, potom by to boli jednoúčelovo konstruované zariadenia, čím by bola obmedzená po- 4 žadovaná univerzálnost uvedených typov vákuových zariadení.
Uvedené nevýhody odstraňuje zariadenie podta vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že pozostáva z vákuovej komory 1 pre zariadenie na iónové plátovanie alebo iónovú implantáciu na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev na dlhých hriadelových súčiastkach 3 tak, že o príruby 2 vákuovej komory 1 sa uchytia vyměnitelné príruby 4, ktorých dížka je volená v závislosti na dížke upravovaných súčiastok 3. Príruby 4 sú uzavreté vekami 5 o ktoré je upnutý prípravok 6 pre rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok 3 ktorých dížka přesahuje rozměr vákuovej komory 1 v priestore oproti zdrojů deponovaných častíc 7.
Navrhované riešenie podfa vynálezu představuje vyššiu univerzálnost zariadení pre iónové plátovanie a iónovú implantáciu a úpravu povrchu súčiastok a nástrojov hria»· dělového tvaru.
The invention relates to a vacuum chamber for an ion cladding device and an ion implantation of long shaft components and tools with a length exceeding the chamber dimension, which is provided with flanges to which interchangeable flanges are attached depending on the length of the components to be fastened to the lids in which is a composition allowing rotation, reciprocating and sliding movement of components during the formation of layers in the vacuum chamber space, as opposed to the particles deposited.
252966 252966
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a vacuum chamber for ion cladding and ion implantation of long shaft components and tools with a length exceeding the chamber dimension.
The prior art devices for producing functional hard abrasive layers by tonal cladding or ion implantation methods do not allow the surface of the shaft parts with a large length to cross sectional area to be adapted to the dimensions of the working chamber, which is primarily dependent on the size and pump capacity of the vacuum pumps. The vacuum chambers of such devices are either horizontally or vertically oriented and are cylindrical or prism-shaped, which are axially symmetrical. If we were to use vacuum chambers that would be long enough to accommodate shaft-shaped components, then they would be single-purpose devices, thus limiting the required versatility of the types of vacuum equipment.
The above-mentioned disadvantages are eliminated by the device according to the invention, which consists of a vacuum chamber 1 for an ion cladding device or an ion implantation for producing functional hard abrasive layers on long shaft components 3 such that the flanges 2 of the vacuum chamber 1 are retained by replaceable the flanges 4 are closed by lids 5, which is a fixture 6 for rotating, reciprocating and sliding movement of the components 3 whose length exceeds the size of the vacuum chamber 1 in space relative to the deposited material sources 7 .
The present invention provides a greater versatility of ion cladding and ionic implantation devices and surface treatment of shaft-shaped components and instruments.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS858984A CS252966B1 (en) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS858984A CS252966B1 (en) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS898485A1 CS898485A1 (en) | 1987-03-12 |
| CS252966B1 true CS252966B1 (en) | 1987-10-15 |
Family
ID=5441122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS858984A CS252966B1 (en) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS252966B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ305025B6 (en) * | 2001-04-19 | 2015-04-01 | Deutsche Bahn Ag | Method of preventing press fit damages to wheelsets and apparatus for making the same |
-
1985
- 1985-12-09 CS CS858984A patent/CS252966B1/en unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ305025B6 (en) * | 2001-04-19 | 2015-04-01 | Deutsche Bahn Ag | Method of preventing press fit damages to wheelsets and apparatus for making the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS898485A1 (en) | 1987-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2050467T3 (en) | DEVELOPING TOOL WITH SWINGING BLADE. | |
| CS252966B1 (en) | Vacuum chamber for ion plating and ion implantation equipment | |
| ATE57362T1 (en) | DEVICE FOR CONTINUOUS CONVEYING AND TURNING OF BODIES THROUGH A PROCESSING CHAMBER. | |
| SU1171240A1 (en) | Reamer | |
| RU94026912A (en) | Magnetogravitational separator | |
| Gillespie | A quantitative approach to vibratory deburring effectiveness | |
| SU1355471A1 (en) | Method of impregnating abrasive tool | |
| RU2067520C1 (en) | Cold chisel | |
| ES2029978T3 (en) | BOX FOR A CUTTING TOOL FOR LIQUID JET. | |
| SU1199455A1 (en) | Apparatus for magnetic working of cutting tool | |
| CN211029548U (en) | Polishing equipment | |
| SU921749A1 (en) | Tool-electrode for electrochemical machining of curvilinear surfaces | |
| Kwetkus | Contact electrification of solids | |
| SU931441A1 (en) | Apparatus for working parts by abrasive mass | |
| LOPEZ | Certification of the Zirshot Z-600 and Z-150 ceramic shot(HOMOLOGACION DE LOS PERDIGONES CERAMICOS ZIRSHOT Z 600 Y Z 150) | |
| SU768586A1 (en) | Electrochemical grinding method | |
| Spataru et al. | Research on Abrasive Wear Behavior of Boronized Steels Thermochemically Treated | |
| DE59006548D1 (en) | Portable blasting machine. | |
| SE9804392L (en) | Motor-driven hand tool, for filing or grinding, with synchronously rotating imbalance bodies. | |
| Yang et al. | Investigation on Low Cycle Impact Fatigue | |
| JPS57138567A (en) | Grinding machine | |
| SU833419A1 (en) | Material for producing tool electrode | |
| SU1688996A1 (en) | Device for removing barb from shells of sliding bearings | |
| SU1127629A1 (en) | Milling body | |
| Li et al. | The Fracture Toughness of Spring Steel Containing Surface Cracks |