CS257689B1

CS257689B1 - Handling Pitch for Substrate Plates

Info

Publication number: CS257689B1
Application number: CS867095A
Authority: CS
Inventors: Stanislav Steiner
Original assignee: Stanislav Steiner
Priority date: 1986-10-02
Filing date: 1986-10-02
Publication date: 1988-05-16
Also published as: CS709586A1

Abstract

Řešení se týká manipulační úchopky na substrátové desky. Podstatou řešení je, že manipulační úohopka je tvořena rukojeti, na níž je uspořádán čep, na němž je výkyvné uložen držák; opatřeny na konoi svého delšího ramene úchopným ozubem, přičemž na konci kratšího ramene rukojeti jsou v přímce, rovnoběžné a osou čepu uspořádány dva opěrné výstupky. Řešení lze s výhodou využít pro .umožnění manipulace s plochými předměty, zejména mohlo-li by pri této manipulaci dojit k poškození těchto předmětů.The solution concerns a manipulation grip for substrate boards. The essence of the solution is that the manipulation grip is formed by a handle on which a pin is arranged, on which a holder is pivotably mounted; provided with a gripping tooth at the end of its longer arm, while at the end of the shorter arm of the handle two supporting projections are arranged in a straight line, parallel to the axis of the pin. The solution can be advantageously used to enable manipulation with flat objects, especially if this manipulation could result in damage to these objects.

Description

Vynález se týká manipulační úchopky na substrátové desky. *BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a gripper for substrate plates. *

Pro výrobu čipů se používá substrátová deska,nejčastěji křemíková,na níž se fotocestou nanáší vhodné schéma zapojení. Při technologických operacích je nutné mít možnost uchopit substrátovou desku ke kontrole nebo k jinému účelu, aniž by došlo k je jímu poškození.For the production of chips, a substrate plate is used, most often silicon, on which a suitable wiring diagram is applied by a photo path. In technological operations, it is necessary to be able to grasp the substrate plate for inspection or other purpose without damaging it.

Pro uchopení substrátové desky je možno použít rukou nebo pinzety, případně různě provedených přísavných úcho— pek připojených hadičkou na vakuový zdroj.For gripping the substrate plate, it is possible to use hand or tweezers or various suction cups connected by a hose to a vacuum source.

Nevýhody dosavadního stavu spočívají při použití rukou zejména v možnosti poškození substrátové desky potom, výpary z kůže a případným nevhodným předepnutím, při použití pinzety zejména v možnosti vzniku škodlivých strukturálních změn v důsledku mechanického pnutí od čelistí pinzet a při použití přísavných úchopek v neúměrné složitosti zařízení a v jeho vázanosti na blízké okolí vakuového zdroje. ¹ Disadvantages of the prior art are, in particular, the possibility of damaging the substrate plate, fumes from the skin and possible improper pretensioning when using the hands, in particular the possibility of damaging structural changes due to mechanical stresses from the tweezer jaws and using suction grips. in its connection to the near surroundings of the vacuum source. ¹

Uvedené nevýhody dosavadního stavu do značné míry odstraňuje manipulační uchopka na substrátové desky podle vynálezu, jehož podstatou je, že manipulační úchopka je tvořena rukojetí, na níž je uspořádán Čep, na němž je výkyvně uložen držák, opatřený na konci svého delšího ráme— ne úchppným ozubem, přičemž na konci kratšího ramene rukojeti jsou v přímce, rovnoběžné s osou ěepu, uspořádány dva opěrné výstupky. Výhodné přitom je, jestliže kratší'rameno držáku je pružně spojeno s rukojetí nebo jestliže delší rameno držáku je opatřeno závažím.The aforementioned disadvantages of the prior art are largely eliminated by the gripper for the substrate plates according to the invention, which is characterized in that the gripper is formed by a handle on which a pivot is mounted on which a holder is provided with a gripping tooth at the end of its longer frame. wherein two abutments are provided at the end of the shorter handle arm in a line parallel to the axis of the pin. It is advantageous here if the shorter arm of the holder is elastically connected to the handle or if the longer arm of the holder is provided with a weight.

Výhody manipulační uchopky na substrátové desky podle vynálezu spočívají zejména v její jednoduchosti, nezávislosti na jiných, na příklad vakuových zdrojích. Další její výhody spočívají v tom, že umožňuje uchopit substrátovou desku ležící na ploché podložce i v zásobníku, přičemž substrátovou desku drží samosvorně konstantní silou, takže nedochází kc vzniku škodlivých strukturálních změn substrátové desky. Manipulační uchopku lze přitom vyrobit z materiálu, který je k substrátu netečný.The advantages of the gripper for the substrate plates according to the invention lie in particular in its simplicity and independence from other vacuum sources, for example. Another advantage is that it makes it possible to grasp the substrate plate lying on the flat substrate even in the container, holding the substrate plate with a self-locking constant force, so that no harmful structural changes of the substrate plate occur. The handle can be made of a material which is inert to the substrate.

Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiložených výkresů, kde na obr. 1 je znázorněn pohled shora na příkladné provedení manipulační uchopky na substrátové desky podle vynálezu a na obr, 2 je znázorněn pohled z boku na manipulační uchopku na substrátové desky z obr. 1.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which: FIG.

Na obr. 1 je znázorněna rukojeť 1. ve tvaru rovnoramen— ného trojúhelníka s odlehčenou základnou 2. Rovnoběžně s odlehčenou základnou 2 je v rukojeti 1 uspořádán čep 2» na němž je výkyvrtě uložen držák 4., opatřený na konci svého delšího ramene uchopným ozubem 2· Odlehčená základna 2 rukojeti 1 je na každém svém konci opatřena opěrným výstup‘257689FIG. 1 shows an isosceles triangular handle 1 with a lightweight base 2. Parallel to the lightweight base 2, a pin 2 is arranged in the handle 1, on which a bracket 4 is pivoted, provided with a gripping tooth at the end of its longer arm. 2 · The lightweight base 2 of the handle 1 has a support outlet at each end.

- 3 kem 6. Kratší rameno držáku _4 je pružinou 2 spojeno s vrcholem rukojeti 1, protilehlým odlehčené základně 2.6. The shorter arm of the holder 4 is connected by a spring 2 to the top of the handle 1 opposite the lightened base 2.

Na obr. 2 je znázůrněna rukojeť 1_, kyvné spojená prostřednictvím čepu 2 ³ držákem 4. Kratší rameno držáku £ je pružinou 2 spojeno s tím vrcholem rukojeti který je protilehlý odlehčené základně 2,. Mezi uchppným ozubem 2 držáku 4 a opěrnými výstupky 6 rukojeti !_ je substrátová deska 8, ležící na podložce 2,.FIG. 2 is znázůrněna 1_ handle, a swing link pivotally 2 ³ holder 4. Short £ holder arm is a spring 2 connected to the apex of the handle that is opposite lightweight base 2 ,. Between the retaining tooth 2 of the holder 4 and the support lugs 6 of the handle 1 there is a substrate plate 8 lying on the support 2.

V činnosti manipulační úchopky na substrátové desky podle vynálezu se nejdříve proti tahu pružiny 2 rozevřou čelisti manipulační uchopky, čímž se zvětší vzdálenost úehppného ozubu 2 opěrných výstupků ť>. Schopný ozub 2 se přiloží k okrají substrátové desky 8 a za pomalého uvolňování napětí tahu pružiny 2 ^3e přiloží opěrné výstup ky 6 k protilehlé straně substrátové desky 8, která je takto sevřena mezi uchopným ozubem 2 a dvěma opěrnými, výstřípky 6 silou, úměrnou síle pružiny 2· Sílu pružiny 2 lze případně nahradit neznázorněným zavážím, připevněným h delšímu tameni držáku 4.In the operation of the gripper on the substrate plates according to the invention, the gripper jaws are first opened against the tension of the spring 2, thereby increasing the distance of the tapered tooth 2 of the support lugs. Able tooth 2 against the edge of the substrate plate 8 and the slow release of tension tensile spring 2 ^3e accompanied abutment output ky 6 to the opposite side of the substrate plate 8, which is thus clamped between the gripping claw 2 and two support, výstřípky 6 a force proportional to the force of the spring 2 · The spring force 2 can be replaced by a load (not shown) attached to the longer bracket 4.

Vynález lze s výhodou využít pro umožnění manipulace plochými předměty, zejména mohlo-li by při této manipulaci snadno dojít k poškození těchto předmětů.The invention can advantageously be used to facilitate the handling of flat objects, particularly if such objects could easily be damaged by such handling.

‘257689‘257689

Claims

A handle for threading a substrate plate, characterized in that it comprises a handle (1) on which a pin (3) is arranged on which the holder CO, t is pivotably mounted.

provided with a tapered tooth (5) at the end of its longer arm, wherein two support lugs (6) are arranged at the end of the shorter arm of the handle (1) in a line parallel to the axis of the pin (3).

Handling grip according to claim 1, characterized in that the shorter arm of the holder (4) is resiliently connected to the handle (1).

Handling grip according to claim 1, characterized in that the longer arm of the CO holder is provided with a weight.

F