CS258074B1

CS258074B1 - Sliding table for optoelectronic production

Info

Publication number: CS258074B1
Application number: CS866928A
Authority: CS
Inventors: Antonin Tesar
Original assignee: Antonin Tesar
Priority date: 1986-09-26
Filing date: 1986-09-26
Publication date: 1988-07-15
Also published as: CS692886A1

Abstract

Posuvný stolek pro optoelektronic kou Výrobu, jehož podstata spočívá v tom, že posuvná pracovní deska a pevná základ ní část etolku jsou opojeny pružným para- lelogramem, eeetávajíoím ze dvou nosníků, vzájemně spojených dvěma páry pružnýoh dvoudílných ramen, z nichž jedno dvoudil- ná_rameno z každého páru je ve svém stře du Zpěvně spojeno s pevnou základní části etolku a druhá dvoudílná rameno je spojeno s posuvnou praoovní deskou.A sliding table for optoelectronic production, the essence of which lies in the fact that the sliding work plate and the fixed base part of the table are connected by a flexible parallelogram consisting of two beams, mutually connected by two pairs of flexible two-part arms, of which one two-part arm from each pair is pivotally connected in its center to the fixed base part of the table and the other two-part arm is connected to the sliding work plate.

Description

Vynález ee týká posuvného stolku pro optoelektronickou výrobu obsahující posuvnou pracovní desku a pohybový mechanismus s posuv ovým členem, uložený v pevné základní části a kinematicky spojený s posuvnou pracovní deskou.The invention relates to a sliding table for optoelectronic production comprising a sliding working plate and a movement mechanism with a sliding member mounted in a fixed base part and kinematically connected to the sliding working plate.

V oboru optoelektronického výzkumu a výroby óe pro přesné hastevování vzájemné polohy součástek obecně používá posuvných ustavovacíoh stolků. Jejich provedení se sice různí dle účelu použití a zvyklostí výrobců, avšak systém pohybového mechanismu u všech provedení je takový, že buá posuvná pracovní deska stolku klouže na přesně opracovaných plocl^ ách pevné základní části, nebo se odvaluje v kuličkových drahách.In the field of optoelectronic research and manufacture, echo generally uses sliding positioning tables to accurately position the relative positions of the components. Although their design varies according to the purpose of use and the conventions of the manufacturers, the system of the movement mechanism in all embodiments is such that either the sliding table worktop slides on precisely machined faces of the fixed base part or rolls in ball tracks.

oO

Nevýhodou obou konstrukčních koncepcí je choúlos+.ivost styčných ploch at kluzných nebo valivých na volbu mater.iálu, přesnost opracování a udržení jejich čistoty. Tyto požadavky kladou vysoké nároky na výrobu a projevují se pak vysokými pořizovacími náklady.The disadvantages of both design concepts are the ability of the contact surfaces, whether sliding or rolling, to select the material, the precision of machining and maintaining their cleanliness. These requirements place high demands on production and result in high purchase costs.

Tyto nevýhody odstraňuje pohybový mechanismus s posuvovým členem dle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že posuvná praoovní deska a pevná základní část stolku jsou spojeny pružným paralelo&ramem sestává jícím ze dvou nosníků vzájemně spojených dvěma páry pružných dvoudílných ramen z. nichž jedno dvoudílné rameno z každého páru je ve svém středu pevně spojeno s pevnou základní částí a druhé dvoudílné rameno je spojeno s posuvnou pracovní deskou.These drawbacks are overcome by the movement mechanism with the displacement member of the invention, which consists in that the sliding plate and the fixed base part of the table are connected by a flexible parallel arm consisting of two beams connected by two pairs of flexible two-part arms. the steam is fixedly connected to the fixed base at its center and the other two-piece arm is connected to the sliding worktop.

Výhody zařízení dle vynálezu spočívají v jednoduchostiThe advantages of the device according to the invention are simplicity

- 2 principu, v menší náročnosti na výrobu a tudíž levnější pořizovací .ceně. Další výhodou jest vyloučeni' jakákoliv kluzné, nebo valivé stykové plochy, Čímž' stolek není choulostivý proti nečistotám, což v optoelektronice jest obzvláší nezbytně nutné. Výhodou je i možnost jednoduchého vložení dilatačního členu hydraulické posuvné a ustavovací jednotky , Čímž se docílí' velmi jemného posuvu bezdotykovým ovládáním až v rozměrech menších jak 1 mikron.2 principle, in lower production demands and hence cheaper purchase price. Another advantage is the elimination of any sliding or rolling contact surfaces, which makes the stage not sensitive to dirt, which is particularly necessary in optoelectronics. An advantage is also the possibility of a simple insertion of an expansion member of the hydraulic sliding and positioning unit, which results in a very gentle displacement by contactless actuation in dimensions of less than 1 micron.

Příklad provedení zařízení dle vynálezu je znázorněn ha připojeném výkrese, kde obr.1. představuje schematický náčrtek půdorysu u něhož je v paralelogramu znázorněno v dolní části provedení ramen z tuhých pásů s pružně ohebnými konci a v horní části alternativní provedení ramen z pružných planžet.An exemplary embodiment of the device according to the invention is shown in the accompanying drawing, wherein FIG. is a schematic plan view showing, in a parallelogram, at the bottom of an embodiment of rigid strips with resiliently flexible ends and at the top an alternative embodiment of resilient blades.

Obr.2 představuje nárys zařízení z obr.1. Obr.3 a 4 představují půdorys a nárys zařízení s použitím hydraulické posuvné a .ustavovací jednotky.Figure 2 is a front view of the device of Figure 1. 3 and 4 are plan views and elevations of the apparatus using a hydraulic slide and adjuster unit.

Z obr.1 je patrno, že posuvný stolek sestává z pevné základní části 1 a pohyblivé pracovní desky 2» Pohyblivá pracovní deska 2 je zakreslena ve střední poloze, šipkami jsou naznačeny směry pohybu. Paralelogram je vytvořen dvěma nosníky napříč vzájemně spojenými dvěma páry dvoudílných pružných ramen 4-1 a 4-2. Ramena mohou být provedena z tuhých pásů s ohebnými konci dle zobrazení v dolní části obr.1, nebo z planžet dle zobrazení v jeho horní části. Jedno rameno 4-1 z každého páru je ve svém středu spojeno s pevnou základní částí 1 stolku, druhé pak stejným způsobem s posuvnou pracovní deskou 2. V pevné základní části I je uložen posuvový člen 6, který ve výkrese je vytvořen jako mikrometrický šroub, spojený svým dříkem 5 s posuvnou pracovní deskou 2 a jejím prostřednictvím i se středem ramen 4-2 obou párů. V obr.3 a 4 je zakreslen dilatační člen 7 s dávkovačem 8 hydraulické, posuvné a ustavovací jednotky.It can be seen from Fig. 1 that the sliding table consists of a fixed base part 1 and a movable worktop 2. The movable worktop 2 is drawn in the middle position, the directions of movement are indicated by arrows. The parallelogram is formed by two beams transversely connected by two pairs of two-part elastic arms 4-1 and 4-2. The arms can be made of rigid strips with flexible ends as shown in the lower part of Fig. 1, or of the blades as shown in its upper part. One arm 4-1 of each pair is in its center connected to the fixed base part 1 of the table, the other in the same way to the sliding worktop 2. In the fixed base part I there is a displacement member 6, which in the drawing is a micrometric screw. connected by its shaft 5 to the movable worktop 2 and through it also to the center of the arms 4-2 of both pairs. 3 and 4, an expansion member 7 with a dispenser 8 of a hydraulic, sliding and positioning unit is shown.

Z obrázků je patrno, že paralelogram, který popsaným způsobem spojuje obě Části stolku je pohybově ovládán pesuvovým šroubem 6 ve směru šipek. Kinematické uspořádání zaručujeIt can be seen from the figures that the parallelogram which connects the two parts of the stage in the described manner is moved by a sliding screw 6 in the direction of the arrows. Kinematic arrangement guarantees

2.58074 přímočθrošt pohybu při zachování roviny posuvné pracovní dečky2.58074 straightforward movement while maintaining the plane of the slide

2. V případě potřeby jemného nastavení polohy pracovního ctolku je možno zařízení doplnit dilatačním členem 2, posuvné a ustavovací jednotky polohy, který je nasazen na dřík 5 posuvového šroubu 6, který tlačí na paralelogram. V tom případě obstarává zpětný pohyb vratná pružina 9·2. In case of fine adjustment of the work piece position, the device can be supplemented by an expansion member 2, a sliding and positioning unit, which is fitted on the shaft 5 of the feed screw 6, which presses on the parallelogram. In this case, the return spring 9 is provided by the return spring 9 ·.

Bez vratné pružiny 9 se lze obejít v případě, bude-li vzdálenost mezi rameny 4-1 a 4-2 paralelogramu větší, než vzdálenost vzniklá, při nastavení středové polohy posuvné pracovní desky 2, mezi ní a pevnou základní částí 1 stolku v místě připojení ramen.The return spring 9 can be dispensed with if the distance between the arms 4-1 and 4-2 of the parallelogram is greater than the distance produced by adjusting the center position of the sliding worktop 2 between it and the fixed base part 1 of the table at the connection point. ramen.

Zařízení dle vynálezu je možno s výhodou použít ve všech případech, kde se vyžaduje velmi přesné nastavení polohy.The device according to the invention can advantageously be used in all cases where very precise positioning is required.

Claims

A sliding table for optoelectronic manufacturing, comprising a sliding worktop and a movement mechanism with a sliding member mounted in a fixed base and kinematically coupled to the sliding worktop, characterized in that the sliding worktop (2) and the fixed base part (1) of the table are connected by a flexible parallelogram consisting of two beams (3) connected by two pairs of roasted two-part arms (4-1, 4-2), of which one two-part arm (4-1) of each pair is firmly connected in its center with a fixed base part (1) and the second two-part arm (4-2) is connected to the sliding worktop (2).

Sliding table for optoelectronic production according to claim 1, characterized in that the elastic arms (4-1, 4-2) are designed as rigid strips with elastically flexible ends (4-3),

Sliding table for optoelectronic production according to Claims 1 and 2, characterized in that the elastic arms (4-1, 4-2) are formed by foils.

Sliding table for optoelectronic manufacturing according to claim 1, characterized in that the sliding member ($) is designed as a micrometer screw (6).

5. A sliding table for optoelectronic production according to claim 1 _, characterized in that the sliding member (5) is supplemented by a hydraulic sliding and positioning unit (7) and the connection of the sliding worktop (2) to the base part (1) is supplemented return spring (9).