CS259353B1 - Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku - Google Patents
Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku Download PDFInfo
- Publication number
- CS259353B1 CS259353B1 CS85780A CS78085A CS259353B1 CS 259353 B1 CS259353 B1 CS 259353B1 CS 85780 A CS85780 A CS 85780A CS 78085 A CS78085 A CS 78085A CS 259353 B1 CS259353 B1 CS 259353B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- sulfuric acid
- microelectronics
- water
- purity
- weight
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
Abstract
Kysličník sírový získaný tepelným vytěsněním z olea sa absorbuje v kyselině sírovej pre mikroelektroniku a/alebo vodě čistoty pre mikroelektroniku, pričom sa zvyšuje koncentrácia absorpčnej kyseliny sírovej. Opatovným zriedením vodou Čistoty pre mikroelektroniku je upravovaná na požadovaná koncentráciu. Kysličník sírový používaný k absorpcii v kyselině sírovej a/alebo vodě čistoty pre mikroelektroniku je čištěný filtračnými zarladeniami. Riešenie je možné použit v elektrotechnickom prlemysle.
Description
Vynález sa týká výroby kyseliny sírovej pre mikroelektroniku, ktorá je vhodná predovšetkým na využitie v planarnej technologií výroby integrovaných obvodov.
Výroba kyseliny sírovej je jedna ž najrozšírenejších výrob v chemickom priemysle. V súčasnosti je najpoužívanejší sposob přípravy kvalitnej kyseliny sírovej termickou oxidáciou síry na kysličník siřičitý, ktorý sa katalyticky oxiduje na kysličník sírový, a tento je kontaktným sposobom absorbovaný v cca 98 % kyselině sírovej. Takto připravená kyselina však ešte nespíňa požiadavky na čistotu nutnú pre použitie v planárnej technologii pri výrobě integrovaných obvodov.
V súčasnej době sa připravuje kyselina sírová pre tieto účely čistěním od chemických příměs rektifikáciou a následné od heteročastíc mikrofiltráciou cez náročné zariadenia obsahujúce filtračně sviečky s vel'kosťou ok 0,2 až 0,45 μΐη.
Nakolko bežne připravovaná kyselina sírová obsahuje řádové 106 až 107 heteročastíc na jeden liter vSčších ako 0,5 μπι je ich odstraňovanie mikrofiltráciou z kyseliny sírovej vel'mi nákladné.
Samotná rektifikácia kyseliny sírovej je vefmi energeticky náročný proces.
Uvedené poznatky boli čerpané z nasledovných práč a materiálov: E. O. Stepun a kol. — Metody polučenija osobo čistých neorganičeskich veščestv. Moskva — 1969; Katalog fy Sartórius 1984; Katalog fy Millipore 1983; Katalog fy Merck — Selectlpur MOS 1983 a Katalog fy Carlo Erba Montedizon 1983.
Súčasne boli robené pokusy o čiastočne vyčistenie koncentrovanej kyseliny sírovej vyrábanej z dýmových plynov získaných z tavenia a zapekania sirnikových rúd. V týchto kyselinách sa však nachádza velké množstvo ťažkých kovov, hlavně ortuti. Ich odstraňovanie je popísané v anglickom patente 6 215 z roku 1884 ako i v amerických patentoch 314 548 (z roku 1885) 1891294 (z roku 1932) a 3 145 080 (z roku 1964), kde sú popisované spůsoby ich odstraňovania pomocou rozpustných sírnikov reagujúcich na nerozpustné sírniky týchto kovov, ktoré sú následné odfiltrované. Podobné aj v patente USA 3 826 819 (z roku 1974) od Orlandinýho a Larzona je popísaný sposob čistenia kyseliny sírovej za pomoci sirovodíka. Vo všetkých týchto opísaných spósoboch sú okrem prašnosti najvačšie ťažkosti s filtráciou nerozpustných zvyškov.
Vo všeobecnosti pri príprave kyseliny sírovej premenou SO2 na SO3 cez ložko V2O5 je účinnosť tejto katalytickej oxidácie cca 97 % takže kyselina sirova obsahuje značné množstvo SO2 (cca 80 až 1 260 ppm), ktoré sa prácne odstraňuje prebublávaním suchého vzduchu cez jej objem.
Hoře uvedené nedostatky odstránené sposobom výroby kyseliny sírovej pre mikroelektroniku, podstata ktorého je v tom, že sa do vysokočistej kyseliny sírovej pre mikroelektroniku resp. v počiatočnej fáze do vody čistoty pre mikroelektroniku (s parametrami 18 MQcm1 a filtrovanej cez filtračně zariadenie s pórmi 0,2 /xm), absorbuje filtrovaný kysličník sírový získaný vytěsněním z olea a súčasne sa takto získaná, koncentrovaná kyselina sírová riedi na požadovaná koncentráciu op3ť vodov čistoty pre mikroelektroniku.
Vynález je možné využit na výrobu kyseliny sírovej pre mikroelektroniku, ktorá nájde využitie hlavně pri výrobě integrovaných obvodov a iných elektrotechnických súčiastok v elektrotechnickom priemysle.
Příklad 1
Z 23 % hmot. olea bol zohriatím vytěsněný SO3, ktorý bol cez filtračně zariadenie přivedený do absorpčnej banky, kde bola daná 98,4 % hmot. kyselina sírová kvality pre mikroelektroniku. Pri cirkulácii absorpčnej kyseliny sírovej sa zvýšila jej koncentrácia na 99,5 % hmot. Táto kyselina bola následné zriadená vodou čistoty pre mikroelektroniku na koncentráciu 96,2% hmot., a mala následovně parametre: odparok 3 . . 104 % hmot., sírany 4 . 104 % hmot., ťažké kovy 3 . 105 % hmot., chloridy 3 . 106 pere. hmot., lítium menej ako 166 hmot., hořčík menej ako 3 . 15 6 % hmot.
Počet častíc vilo velkostnom intervale:
až 5 μΐη bol 9 670 až 25 /tm bol 350 nad 25 μτη bol 36
Příklad 2
Postup bol rovnaký ako v prvom případe, avšak počas absorpcie SO2 sa kontinuálně přidávala voda čistoty pre mikroelektroniku, a tak sa udržiavala konštantná koncentrácia absorpčnej kyseliny v rozmedzí 98,3 až 98,6 % hmot. Súčasne bola táto kyselina odoberaná a dorieďovaná na koncentráciu 96,3 % hmot. pri súčasnom chladení zariadenia vodou. Takto získaná kyselina sírová mala následovně parametre: odparok 2 . 104 % hmot., sírany 2 . 104 % hmot., ťažké kovy 3 . 105 % hmot., sodík 4 . 105 pere. hmot., draslík 2 . 106 % hmot., vápník 166 % hmot., hořčík menej ako 3 . 10_ó % hmot.
S
Počet častíc vilo veikostnom intervale: 1 až 5 μϊα bol 6 354 až 25 μτη bol 937 nad 25 μία bol 84
Claims (2)
1. Spósob výroby kyseliny sírovej kvality pře mikroelektroniku vyznačujúci sa tým, že sa oxid sírový tepelne vytěsněný z oleo zavádza do vody a/alebo zriedenej kyseliny sírovej kvalit pre mikroelektroniku.
VYNALEZU
2. Spósob pódia bodu 1 vyznačujúci sa tým, že případné nečistoty strhávané plynným oxidom sírovým sa zachytávajú filtrom.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS85780A CS259353B1 (sk) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS85780A CS259353B1 (sk) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS78085A1 CS78085A1 (en) | 1988-03-15 |
| CS259353B1 true CS259353B1 (sk) | 1988-10-14 |
Family
ID=5340558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS85780A CS259353B1 (sk) | 1985-02-05 | 1985-02-05 | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS259353B1 (sk) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001047804A1 (de) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Merck Patent Gmbh | Verfahren zur herstellung hochreiner schwefelsäure |
-
1985
- 1985-02-05 CS CS85780A patent/CS259353B1/sk unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001047804A1 (de) * | 1999-12-28 | 2001-07-05 | Merck Patent Gmbh | Verfahren zur herstellung hochreiner schwefelsäure |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS78085A1 (en) | 1988-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1080938A (en) | Method of extracting and recovering mercury from gases | |
| DE2462681C2 (de) | Verfahren zum Abscheiden von Stickstoffoxiden aus Abgas | |
| CA1119387A (en) | Process for the purification of industrial waste gases | |
| CN102910590B (zh) | 一种二氧化硫烟气净化催化回收硫的方法及催化剂的应用 | |
| CN106834715B (zh) | 一种含砷物料的综合利用方法 | |
| PL74724B1 (sk) | ||
| US3855386A (en) | Catalytic fused salt extraction process for removal of sulfur oxides from flue or other gases | |
| WO2019016808A1 (en) | CATALYTIC OXIDATION OF NOX / SOX IN COMBUSTION GASES USING ATMOSPHERIC OXYGEN AS OXIDATION REAGENT | |
| WO2014075390A1 (zh) | 一种冶炼烟气中so2和重金属回收利用的方法 | |
| EP0679426A1 (en) | Magnesium-enhanced sulfur dioxide scrubbing with gypsum formation | |
| JPS63197521A (ja) | ガスからガス状水銀を除去する方法 | |
| CS259353B1 (sk) | Sposob výroby kyseliny sírovej kvality pre mikroelektroniku | |
| GB1410032A (en) | Method for the manufacture of mercury free sulphuric acid | |
| CA1112423A (en) | A process for the conversion of soluble thiosulfate in an effluent liquor to sulfates | |
| US3508868A (en) | Method of treating exhaust gases containing sulfur dioxide | |
| US4041142A (en) | Method for removing sulfur oxide from waste gases and recovering elemental sulfur | |
| JPH04504378A (ja) | ごみ焼却時に生成する煙道ガスの浄化法 | |
| JPH08252427A (ja) | 元素状硫黄の直接生成によりｓｏ２ を含むガスからｓｏ２ を除去する方法 | |
| CN1120018A (zh) | 一种湿法提砷方法 | |
| RU2167212C2 (ru) | Способ переработки материала на основе углерода, содержащего благородный металл | |
| DE3324570A1 (de) | Verfahren zur reinigung von abgasen mit hydrogensulfaten | |
| JPS6354641B2 (sk) | ||
| RU2077932C1 (ru) | Способ очистки промышленных газов от so2 и as2o3 | |
| CN112079366A (zh) | 从低温烟气氧化法脱硝吸收液分离回收硝酸钠和硫酸钠的方法 | |
| SE462550B (sv) | Foerfarande foer att avlaegsna svavelinnehaallet i avgaser med laag halt av svaveldioxid eller svaveldioxid och svavelvaete |