CS259749B1 - Zařízení pro manipulaci s prostředky v nltravakuových přístrojích, například preparátu v elektronových mikroskopech - Google Patents

Abstract

Podstatu tvoří nosné pouzdro, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu je kyvně uloženo závěsné pouzdro, kterým prochází ovládací trubičko, zakončená nosníkem k připevnění prostředku, která je vakuově spojená přes vlnovec se dnem. Závěsné pouzdro je na druhém konci ukončeno osazením po obvodě opatřeným hřitem, po kterém se posouvají čtyři kladky pružně upevněné v přírubovém osazení. Na ovládací trubičku dosedá osazený konec diferenciálního šroubu. Nosné pouzdro je spojeno s upev­ ňovací přírubou opatřenou vakuově těsnicím kroužkem, například z měkkého kovu.

Description

Podstatu tvoří nosné pouzdro, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu je kyvně uloženo závěsné pouzdro, kterým prochází ovládací trubičko, zakončená nosníkem k připevnění prostředku, která je vakuově spojená přes vlnovec se dnem. Závěsné pouzdro je na druhém konci ukončeno osazením po obvodě opatřeným hřitem, po kterém se posouvají čtyři kladky pružně upevněné v přírubovém osazení. Na ovládací trubičku dosedá osazený konec diferenciálního šroubu. Nosné pouzdro je spojeno s upevňovací přírubou opatřenou vakuově těsnicím kroužkem, například z měkkého kovu.

Vynález se týká zařízení pro manipulaci s prostředky v- ultravakuových přístrojích, -například preparátu v elektronových mikroskopech v osách x, y, z.

V různých vakuových zařízeních se setkáváme s problémem přesného a seřiditelného nastavení prvku do určité polohy. Manipulátor musí umožňovat pohyb v osách x, y, z ovládaný z vnějšku zařízení a přenesený do jeho částí, kde je vysoké vakuum. Přitom je nutné zejména dodržovat časovou i prostorovou stálost nastavení ipolohy, která může být ovlivňována tepelnou dilatací materiálů, vibracemi, vůlemi v mechanismech.

V zařízeních pracujících s ultravakuem se vylučuje možnost použití manipulátorů s gumovým těsněním. Snadnost montáže většinou vyžaduje umístění všech ovládacích mechanismů manipulátoru na jedné přírubě bez jejich vazby na ostatní části přístroje. Vzhledem k relativně malým rozměrům ultravakuových aparatur je nutné, aby rozměry manipulátoru byly minimální. Dosavadní známé konstrukce nesplňují důsledně všechny shora uvedené technické a ultravakuové požadavky, a proto je k tomuto účelu většinou nelze použít.

Tyto nedostatky odstraňuje zařízení pro manipulaci s prostředky v ultravakuových přístrojích, například preparátu v elektronových mikroskopech, jehož podstatou je, že sestává z nosného pouzdra, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu je kyvně uloženo závěsné pouzdro, kterým prochází ovládací trubička zakončená nosníkem k připevněni prostředku, která je vakuově spojená přes vlnovec se dnem na jednom konci nosného pouzdra, přičemž závěsné pouzdro je ukončeno osazením po obvodě opatřeným břitem, na který doléhají křížové čtyři kladky v nosnících vůči sobě posuvné pomocí dvou regulačních šroubů proti oběma pružinám ve vodicích dutinkách provedených v přírubovém osazení na druhém konci nosného pouzdra, zatímco na ovládací trubičku dosedá osazený konec diferenciálního šroubu procházejícího otvorem ve víku nosného pouzdra, které je spojeno s upevňovací přírubou opatřenou vakuotěsně těsnicím kroužkem, například z měkkého kovu.

Ovládací trubička je ještě opatřena tepelným stabilizátorem, například odporovou spirálou s termistorem.

Hlavní předností předkládaného zařízení je, že při své relativní jednoduchosti a rozměrové nenáročnosti umožňuje ve všech třech osách x, y, z přesné a časově i prostorově stálé nastavení polohy použitého prostředku umístěného v ultravakuu. Rozsah i citlivost nastavované polohy lze volit stoupáním regulačních diferenciálních šroubů. Pr-o větší rozsahy a menší citlivost lze použít jednoduchých justážních šroubů s větším stoupáním.

Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je manipulátor znázorněn v nárysném řezu. Příklad praktického provedení na přiloženém obr. je pro objasnění podstaty vynálezu konstrukčně zjednodušen, aby byla zřejmá při popisu činnosti i funkce jednotlivých dílů.

Základ zařízení tvoří nosné pouzdro 1, ve kterém je uložen křížový závěs 2 kolmo na sebe v-ystředěný regulačními šrouby 13 a přítlačnými válečky 22. V křížovém závěsu 2 je upevněno závěsné pouzdro 3, které je opřeno přes břity 10 uspořádané v osazení 9 o kladky 11 ve válečcích 12 a přítlačných válečcích 22 suvně uložených v dutinkách 14 a přítlačných pružinou 21. V závěsném pouzdře 3 se suvně pohybuje ovládací trubička 4, na které je na jednom konci nosník 5, na který se upevňuje nastavovaný prostředek 6. Na druhém konci je ovládací trubička 4 spojena s justážním diferenciálním šroubem 15. V dutině ovládací trubičky 4 je odporová spirála 19 s termistorem 20. Ovládací trubička 4 je s nosným pouzdrem 1 spojena vlnovcem 7 umožňujícím přenos pohybu do ultravakua.

Prostředek 6, který má být nastavován, je umístěn na nosníku 5. Justážním diferenciálním šroubem 15 se nastaví jeho požadovaná poloha v ose y. Vůle v této ose je vymezována pružinou 23. Dvěma identickými regulačními šrouby 13 umístěnými kolmo na sebe a působícími přes válečky 12 s kladkami 11 na břity 10 vytvořenými na osazení 9 na druhém konci závěsného pouzdra 3 se nastavuje poloha prostředku 6 v osách x, z. Přítlačné pružiny 21 působí přes přítlačné válečky 22 s kladkami 11 na břity 10 na osazení 9 závěsného pouzdra 3 a vymezují vůle v osách x, z.

Zařízení lze uplatnit v aparaturách pracujících v oblastech ultravakua, zvláště v elektronových mikroskopech, a to zejména pro posuv zkoumaného předmětu clony a jiného prostředku.

Claims (2)

1. PREDMET

   1. Zařízení pro manipulaci s prostředky v· ultravakuových přístrojích, například preparátu v elektronových mikroskopech, vyznačené tím, že sestává z nosného pouzdra (lj, v jehož válcové dutině v křížovém závěsu (2) je kyvně uloženo závěsné pouzdro (3), kterým prochází ovládací trubička (4) zakončená nosníkem (5) k připevnění prostředku (6), která je vakuově spojená přes vlnovec (7) se dnem (8) na jednom konci nosného pouzdra (1), přičemž závěsné pouzdro (3) je ukončeno osazením (9) po obvodě opatřeným břitem (10], na který doléhají křížové čtyři kladky (11) v nosnících (12) vůči sobě posuvně pomocí dvou

   VYNALEZU regulačních šroubů (13) a proti dvěma pružinkám (21) ve vodicích dutinkách (14) provedených v přírubovém osazení (24) na druhém konci nosného pouzdra (1), zatímco na ovládací trubičku (4) dosedá osazený konec diferenciálního šroubu (15) procházejícího otvorem ve víku (16) nosného pouzdra (1), které je spojeno s upevňovací přírubou (17) opatřenou vakuově těsnicím kroužkem (18), například z měkkého kovu. zzztMemjéohrl
2. 2. Zařízení podle bodu 1, vyznačené tím, že ovládací trubička (4) je opatřena tepelným stabilizátorem, například odporovou spirálou (19) s termistorem (20).