CS260551B1 - Equipment for etching a part of flat panels - Google Patents

Equipment for etching a part of flat panels Download PDF

Info

Publication number
CS260551B1
CS260551B1 CS831877A CS187783A CS260551B1 CS 260551 B1 CS260551 B1 CS 260551B1 CS 831877 A CS831877 A CS 831877A CS 187783 A CS187783 A CS 187783A CS 260551 B1 CS260551 B1 CS 260551B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
etching
etched
shaft
etching medium
flat
Prior art date
Application number
CS831877A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CS187783A1 (en
Inventor
Tomas Bohacek
Original Assignee
Tomas Bohacek
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tomas Bohacek filed Critical Tomas Bohacek
Priority to CS831877A priority Critical patent/CS260551B1/en
Publication of CS187783A1 publication Critical patent/CS187783A1/en
Publication of CS260551B1 publication Critical patent/CS260551B1/en

Links

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

Zařízeni k leptání Části plochých dílců obsahuje otočně uspořádaný unášecí člen leptaného plochého dílce, který je na unášecí člen nasazen v poloze kolmé k ose otáčení unášecího členu procházející tělesem leptaného plochého dílce, při nlš zasahuje pod úhlem 30° až 90° vůči hladině leptacího média do nádoby pro leptací médium. Výhodné provedení zařízení obsahuje několik leptacích stanic samostatně zapojitelných a odpojitelných a elektrický obvod pro průchod proudu leptacím médiem v každé z nádob, sloužící též k samočinnému odpojení té které leptací stanice při dosažení požadovaného rozsahu proleptánl a k signalizaci odpojeného stavu.The device for etching parts of flat parts comprises a rotatably arranged carrier member of the etched flat part, which is mounted on the carrier member in a position perpendicular to the axis of rotation of the carrier member passing through the body of the etched flat part, at least extending into the container for the etching medium at an angle of 30° to 90° to the surface of the etching medium. A preferred embodiment of the device comprises several etching stations which can be connected and disconnected separately and an electrical circuit for passing current through the etching medium in each of the containers, also serving to automatically disconnect the particular etching station when the desired extent of etching is reached and to signal the disconnected state.

Description

Vynález se týká zařízení k leptání částí plochých dílců, a to způsobem určeným k zajištění vysokého stupně vzájemné rozměrové přesnosti leptaných částí omezením rozptylu podleptání, při němž plochý dílec, ponořený Částí svého objemu do leptacího média, zaujímá vůči povrchu leptacího média úhel v rozmezí od 30° do 90°, a při němž v průběhu leptání je mu udílen otáčivý pohyb okolo osy kolmé k jeho stěnám.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for etching portions of flat panels in a manner designed to provide a high degree of mutual dimensional accuracy of etched panels by limiting scattering, wherein the flat panel, immersed in part by its volume into the etching medium, ° to 90 °, and in which, during etching, it is given a rotational movement about an axis perpendicular to its walls.

Podstata zařízení podle vynálezu, obsahujícího nádobu pro leptací médium, spočívá v tom, že obsahuje otočně uspořádaný unášecí člen leptaného plochého dílce uzpůsobený pro točně pevné uchyceni plochého dílce v poloze kolmé k ose otáčení unášecího členu procházející tělesem leptaného plochého dílce, při níž alespoň část leptaného plochého dílce zasahuje pod úhlem 30° až 90° vůči hladině leptacího média v ijejím·klidovém stavu do nádoby pro leptací médium. Točně pevného uchycení, to je takového, při němž plochý leptaný dílec nucené sdílí otáčivý pohyb i klidový stav unášecího členu, lze dosáhnout jakýmkoliv vhodným prostředkem známého stavu techniky, např. trojúhelníkovým průřezem unášecího členu a tvarově shodným, pouze o potřebnou vůli větším nasazovacím otvorem v plochém‘leptaném dílci nebo uspořádáním, které bude popsáno v dalším s odvoláním na obr. 3, apod.An apparatus according to the invention comprising an container for an etching medium is characterized in that it comprises a rotatably mounted etched flat member adapted to rotatably mount the flat panel in a position perpendicular to the rotation axis of the carrier member passing through the etched flat body. The flat panel extends at an angle of 30 ° to 90 ° relative to the surface of the etching medium in its resting state into the container for the etching medium. A turntable fastening, i.e., in which the flat etched part is forced to share both the rotational movement and the idle state of the entrainment member, can be achieved by any suitable means of the prior art, eg triangular cross-section of the entrainer and identical in shape, a flat etched panel or arrangement as described below with reference to FIG. 3, and the like.

Na připojených vyobrazeních značí obr. 1 nárysný pohled na plochý dílec, z něhož má být leptáním zhotoven kotouč s vyleptanými otvory, obr. 2 schematické znázornění jednoho provedení zařízení podle vynálezu v nárysném pohledu, obr. 3 nárysný pohled na část zařízení podle obr. 2 a obr. 4 schematické znázorněni jiného provedení zařízení podle vynálezu v axonometrickém pohledu.In the accompanying drawings, FIG. 1 is a side elevational view of a flat part from which a disk with etched holes is to be etched; FIG. 2 is a schematic front view of one embodiment of the device according to the invention; and FIG. 4 is a schematic diagram of another embodiment of the device according to the invention in axonometric view.

Plochý dílec 2 podle obr. 1, z něhož má být zhotovena clona fotoelektrického polohovadla stopmotoru, je zhotoven např. z bronzového plechu o tlouštce 0,2 mm, čtvercového průřezu o délce strany 50 mm, a je z obou stran opatřen maskoti ponechávající odkrytá místa 2., 3., £ atd. určená k proleptání. Těchto míst je v plochém dílci 2 celkem 120; další nejsou na obr. 1 vyznačena, nebot jsou rozměrově shodná a umístěna obdobně na obvodu roztečné kružnice 5..The flat part 2 according to FIG. 1, from which the shutter of the photoelectric positioner of the stopmotor is to be made, is made, for example, of 0.2 mm thick bronze sheet, 50 mm square cross-section and has mascots leaving exposed on both sides. 2., 3., £ etc. to be etched. There are a total of 120 of these points in the flat panel 2; the others are not shown in FIG. 1 because they are identical in dimension and are similarly placed on the circumference of the pitch circle 5.

Rozměr každého z těchto míst 2» 3, 4 atd. činí 0,45 mmx3 mm. V plochém dílci 2 jsou dále ponechána maskou nezakrytá místa 6, T_, 8 určená pro další otvory potřebné pro řádnou funkci polohovadla stopmotoru, která zde není blíže vysvětlována, nebot se ji předkládaná přihláška vynálezu netýká. V plochém dílci 2 3e dále ponecháno nezakryté mezikruží 13, jehož proleptáním se z plochého dílce 2 vytvoří vlastní kotouč 14. Přibližně ve středu kotouče 14 je vyražen pomocný otvor 9. určený k nasazení kotouče 14 na hřídel 10, obr. 2, a mající průměr např, 3 mm. Okolo tohoto otvoru 9. jsou ponechána nezakrytá místa 11 určená k tomu, aby po jejich vyleptání bylo možno vylomením můstků 12 vytvořit otvor přesně soustředný vůči místům - po proleptání otvorům - 2, 2» A atd. a určený k nasazení kotouče 14 na funkční hřídel polohovadla .The dimension of each of these points 2, 3, 4, etc. is 0.45 mmx3 mm. In the flat panel 2, the openings 6, T, 8 are also left open for other openings necessary for the proper operation of the stopper motor positioner, which is not explained here in detail, since the present invention is not concerned with it. In the flat panel 3 and two further annulus 13 is left uncovered, which proleptáním of flat panel 2 creates its own wheel 14. About the center of the disc 14 is stamped counterbore 9. Determination of the deployment of the disk 14 on shaft 10, FIG. 2, and having diameter eg, 3 mm. Openings 9 are left around this opening 9, intended to be able, after etching, to break out the bridges 12 to make a hole exactly concentric to the locations - after etching the holes - 2, 2 ' positioners.

Jak je znázorněno na obr. 2, obsahuje zařízení podle vynálezu nádobu 15 zhotovenou ze skla nebo z jiného materiálu odolného vůči leptacímu médiu, jímž je např. k tomuto účelu běžně používaný vodný roztok chloridu železitého o hustotě např. 32 Bé, jímž je nádoba 15 naplněna do výšky umožňující zasazení dílce 2 alespoň jednou polovinou jeho objemu při zachování úhlu 30° až 90° vůči hladině leptacího média. Při vnitřních stěnách nádoby 15 jsou upevněny katody 16 zhotovené z elektricky vodivého materiálu relativně odolného vůči působení zvoleného leptacího média, např. z nerez plechu, a vodivě spojené vedením 17 se záporným zdrojem, resp. se záporným pólem regulovatelného zdroje 18 stejnosměrného proudu, jehož kladný pól je přes ampérmetr 19 propojen vedením 20 s hřídelem 10 zhotoveným z elektricky yodivého materiálu. První konec 10a hřídele 10 je známým způsobem pevně spojen s neznázorněným výstupním hřídelem elektromotoru 22, který je např. ke stěně 15a nádoby 15 připevněn držákem 24 zakončeným kloubem 25 umožňujícím výkyvný pohyb elektromotoru 21 ve směru šipek B, C. Elektromotor 21 by ovšem mohl být umístěn i na samostatném, s nádobou 15 nespojeném podstavci, umístěném ve vhodné poloze vůči nádobě 23- výstupního hřídele elektromotoru 21 dostává hřídel 10 v průběhu leptání otáčivý pohyb libovolného smyslu o velikosti např. 20 až 30 ot/min.As shown in FIG. 2, the apparatus of the invention comprises a container 15 made of glass or other material resistant to an etching medium, which is, for example, a commonly used aqueous ferric chloride solution having a density of e.g. 32Be, which is a container 15. filled to a height allowing insertion of the panel 2 by at least one half of its volume while maintaining an angle of 30 ° to 90 ° relative to the surface of the etching medium. At the inner walls of the container 15, cathodes 16 made of an electrically conductive material relatively resistant to the action of the selected etching medium, e.g. stainless steel sheet, are fastened and conductively connected via a line 17 to the negative source or to the other. the negative pole of a controllable direct current source 18, the positive pole of which is connected via an ammeter 19 via a line 20 to a shaft 10 made of an electrically conductive material. The first end 10a of the shaft 10 is connected in a known manner to the output shaft 22 of the electric motor (not shown), which, for example, is secured to the wall 15a of the container 15 by a bracket 24 terminated by a joint 25 allowing pivoting of the electric motor 21 in the direction of arrows B, C. placed on a stand-alone, non-container 15, placed in a suitable position relative to the container 23 of the output shaft of the electric motor 21, the shaft 10 receives, during etching, a rotational movement of any sense, for example 20 to 30 rpm.

Uchycení dílce 2 na hřídeli 10 je vyznačeno na obr. 3. Hřídel 10 má na svém druhém konci 10b tvar komolého kužele 10c, na který navazuje válcovitá část lOd s vnějším závitem. Na tento druhý konec 10b hřídele 10 je navlečena pružná hadice 22 zhotovená např. z pryže nebo jiného elastického a leptacímu médiu odolávajícího materiálu a zasahující při nenasazeném dílci 2 až do linie 22a vyznačené čárkovaně. Nasazením dílce 2 jeho pomocným otvorem 9 ve směru Šipky A na kuželovitou část 10c hřídele 10 se konec hadice 22 poněkud odtlačí a pak pružně doléhá na k němu přivrácenou stěnu dílce 2» takže takto vzniká těsnění zabraňující nežádoucímu přístupu leptacího média z jedné strany k druhému konci 10b hřídele 10. K druhé stěně dílce 2 dosedá jako mezikruží vytvořené čelo 23a přídržné matice 23 zhotovené rovněž z pryže nebo jiného elastického a leptacímu médiu odolávajícího materiálu. Tato přídržná matice 23 je našroubována na úsek lOd hřídele 10, jehož druhý konec 10b je tedy i z této strany chráněn proti dotyku s leptacím médiem.3. The shaft 10 has the shape of a truncated cone 10c at its other end 10b, to which the cylindrical portion 10d is connected with an external thread. On this second end 10b of the shaft 10 a flexible hose 22 made of eg rubber or other elastic and etching medium resistant to material and extending in the unassembled part 2 up to the line 22a indicated by dashed lines is threaded. By placing the component 2 with its auxiliary opening 9 in the direction of the arrow A on the tapered portion 10c of the shaft 10, the end of the hose 22 is pushed off somewhat and then resiliently abuts the wall 2 facing the component 2. 10b of the shaft 10. The face 23a of the retaining nut 23, which is also made of rubber or other elastic and etching-resistant material, bears against the second wall of the panel 2 as an annular face. This retaining nut 23 is screwed onto a section 10d of the shaft 10, the other end 10b of which is therefore also protected from this side against contact with the etching medium.

Dosednutím okraje otvoru 2 dílce 2 ta kuželovitou část 10c hřídele 10 se mezi dílcem 2 a hřídelem 10 vytváří elektricky vodivé spojeni a současně se fixuje poloha dílce 2 vůči hřídeli 22·.By abutting the edge 2 of the panel 2 and the tapered portion 10c of the shaft 10 an electrically conductive connection is formed between the panel 2 and the shaft 10 and at the same time the position of the panel 2 relative to the shaft 22 is fixed.

Pro práci se zařízením podle vynálezu nejprve naneseme na dílec 2 masku vymezující jednak obvod vlastního kotouče 14, jednak velikost a polohu otvorů, které mají být vyleptáním zhotoveny. Nato např. vyvrtáním nebo vylisováním zhotovíme pomocný otvor 2 určený k nasazení dílce 2 na úsek 10c hřídele 10. Elektromotor 21 ve vypnutém stavu ručně uvedeme do krajní polohy ve směru Šipky B, při níž je hřídel 10 v poloze téměř vodorovné, zcela vně nádoby 15, a na jeho konec 10c způsobem popsaným výše upevníme dílec 2* Nato elektromotor 21 současně nebo v libovolném vzájemném pořadí sepneme a sklopíme ve směru Šipky C, čímž dílec 2 ponoříme do leptacího média umístěného v nádobě 25» to íe do polohy znázorněné na obr. 2, při níž do leptacího média zasahuje jedna polovina dílce 2· Zdroj 18 proudu nastavíme na požadovanou hodnotu, v případě uvedeném výSe přibližně na hodnotu 1 A. Působením leptacího média a elektrolýzy nastává intenzivní odleptávání ploch nekrytých maskou otáčejícího se dílce 2* Průchod elektrického proudu leptacím médiem způsobuje jeho ohřev, který má přídavný příznivý vliv na rychlost leptání. Jakmile se v důsledku leptání v leptaných místech vytvoří dílčí otvory, počne hodnota proudu klesat. S pokračujícím zvětšováním otvorů tato hodnota klesá dále, až se při jejich konečném proleptání ustálí na konečné, empiricky zjistitelné hodnotě, ve shora uvedeném případu asi na 0,3 A, jejímž dosažením je signalizováno ukončení leptacího prócesu. Nato obsluhující pracovník vykývne elektromotorem 21 s hřídelem 10 ve směru šipky B, obr. 2, a dílec 2» nyní již ve tvaru kotouče 14 s vyleptanými otvory, sejme z hřídele 22.· Můstky 12 jsou dimenzovány tak, že na konci leptacího procesu vSech ostatních leptaných otvorů jsou pouze zeslabeny natolik, že ještě drží dílec 2» P°př. z něho vyleptaný kotouč 14 na hřídeli 10. Po sejmutí kotouče 14 z hřídele 10 se zbytky můstků 12 odstraní prostým vylomením. Je věci praktického odzkoušení, na kolik dílců 2 vystačí jeden obsah nádoby 15 a kdy tedy bude nutno leptací médium vyměnit, pokud nebude použito systému s jeho průběžnou regenerací.In order to work with the device according to the invention, we first apply a mask to the panel 2 defining both the circumference of the disc itself and the size and position of the holes to be etched. Then, for example, by drilling or molding, we make an auxiliary hole 2 for placing the component 2 on the shaft section 10c. In the switched-off state, manually move the electric motor 21 in the direction of Arrow B, in which the shaft 10 is almost horizontal. and to the end 10c in the manner described above and fasten the panel 2 * Then the electric motor 21 simultaneously or in any desired order closes and decline the direction of arrow C, whereby component 2 plunge into the etching medium placed in a container 25 »a d e to the position shown in Figure 2, in which one half of the panel reaches the etching medium 2 · Set the current source 18 to the desired value, in the above case it is approximately 1 A. The etching medium and electrolysis cause intense etching of areas not covered by the rotating panel. current of the etching medium causes its heating, which has an addition positive influence on etching rate. As soon as partial openings are formed as a result of etching at the etched locations, the current value begins to decrease. As the apertures continue to grow, this value decreases further until it stabilizes at the final, empirically detectable value, in the above case, at about 0.3 A, at which time the etching process is terminated. Then, the operator swivels the electric motor 21 with the shaft 10 in the direction of arrow B, FIG. 2, and the component 2, now in the form of a disk 14 with etched holes, removes it from the shaft 22. The bridges 12 are sized so that at the end of the etching process the other etched holes are only weakened to the extent that they still hold the panel 2 " the disk 14 etched thereon on the shaft 10. After the disk 14 has been removed from the shaft 10, the remnants of the bridges 12 are removed simply by breaking them off. It is a matter of practical testing to see how many parts 2 will be able to accommodate one of the contents of the container 15, and thus the etching medium will need to be replaced if the continuous regeneration system is not used.

Z hlediska produktivity práce při provádění způsobu leptání podle AO 245 603 bude účelné leptat větší počet dílců současně. Řešení, které by bylo nejspíše nasnadě, totiž umístit na hřídel 10 ve vzájemném odstupu dva nebo víoe dílců a zařízení konstrukčně upravit tak, aby pracovní poloha hřídele 10 byla zcela nebo téměř vodorovná, tak, aby všechny dílce byly dostatečně ponořeny do leptacího média, nemusí být v praxi vyhovující, protože již zevně nepostřehnutelné rozdíly v kv.alitě, tloušťce apod. leptaného materiálu mohou mít za následek navzájem nestejnou dobu potřebnou k proleptání. Je proto účelné zvolit takové uspořádání, při němž dobu leptáni kteréhokoliv z dílců lze stanovit nezávisle na době leptáni dílců ostatních. Jeden z možných příkladů provedení takového uspořádání je schematicky znázorněn na obr. 4.From the viewpoint of labor productivity in carrying out the etching method according to AO 245 603, it will be expedient to etch a plurality of panels simultaneously. The most likely solution is to place two or more components on the shaft 10 at a distance from each other and to design the device so that the operating position of the shaft 10 is completely or almost horizontal so that all components are sufficiently immersed in the etching medium. be satisfactory in practice, since the already imperceptible differences in the quality, thickness, etc. of the etched material may result in an uneven time for etching. It is therefore expedient to select an arrangement in which the etching time of any of the panels can be determined independently of the etching time of the other panels. One possible embodiment of such an arrangement is shown schematically in FIG. 4.

Hnací motor 26, patřičně dimenzovaný na výkon i otáčky, obsahuje výstupní hřídel 27, na němž je pevně nasazena hnací řemenice 28» na níž je nasazen nekonečný pás 29. nasazený rovněž na hnané řemenici 30, která je otočně nasazena na neznázorněném čepu, který je připevněn k neznázorněně kostře zařízeni. Zařízení dále obsahuje dva kotouče 31a. 31b, které jsou přemístitelné do i třecího záběru s nekonečným pásem 29 nebo mimo tento záběr. Materiál povrchu nekonečného pásu 29 a kotoučů 31a» 31b je zvolen tak, že mezi nimi není elektricky vodivý kontakt. Kotouč 31a je naražen na první konec 32aa hřídele 32a procházejícího pouzdrem'33a, v němž jaou vytvořena neznázorněná ložiska tohoto hřídele 32a. jehož druhý konec 32ab je uspořádán shodná a koncem 10b hřídele 10. Pouzdro 33a je uloženo výkyvná na čepu 34a umožňujícím pohyb pouzdra 33a v roviná kolmá k roviná nákresu, a to tak, že při vytvoření dotyku mezi kotoučem 31a a nekonečným pásem 29 je leptaný dílec 35a ponořen do leptacího média v poloze vhodná pro leptání, jak byla již popsána výše. Naproti tomu při druhé krajní poloze pouzdra 33a bude kotouč 31a mimo záběr a nekonečným pásem 29 a kotouč 35a bude celý nad hladinou leptacího média umístěného v nádobě 36a. K leptanému dílci 35a přivrácený konec pouzdra 33a je pevně spojen e jádrem 37a cívky 38a elektromagnetu, která je neznázorněným způsobem připevněna např. k neznázoměné kostře zařízení. Zcela shodně je provedeno a proto zde není podrobněji popisováno i uspořádáni pro druhý leptaný dílec 35b, přičemž odpovídající prvky zařízení jsou označeny týmiž základními vztahovými číslicemi avšak s indexem b. Nekonečný pás lze dimenzovat pro umístění libovolně velkého počtu jednotlivých leptacích stanic, přičemž v hromadné výrobě by bylo účelné stanovit jejich úhrnný počet tak, jak by to odpovídalo kapacitním možnostem obsluhujícího pracovníka, jehož úkolem by bylo nasazovat dílce určené k leptání a vyjímat dílce již vyleptané.The drive motor 26, appropriately dimensioned for both power and speed, comprises an output shaft 27 on which a drive pulley 28 is fixedly mounted on which an endless belt 29 is also mounted on a driven pulley 30 that is rotatably mounted on a pin (not shown). attached to the frame of the apparatus (not shown). The apparatus further comprises two disks 31a. 31b, which are displaceable into the frictional engagement with or without the endless belt 29. The surface material of the endless belt 29 and the disks 31a, 31b is selected such that there is no electrically conductive contact between them. The disc 31a is impinged on the first end 32aa of the shaft 32a passing through the housing 33a, in which bearings (not shown) of the shaft 32a are formed. whose second end 32ab is arranged coincident with the end 10b of the shaft 10. The housing 33a is pivoted on a pin 34a allowing movement of the housing 33a in a plane perpendicular to the plane of the drawing, such that when contacting the disc 31a and the endless belt 29 is etched 35a is immersed in the etching medium in an etching position as described above. In contrast, at the second extreme position of the housing 33a, the disc 31a will be out of engagement with the endless belt 29 and the disc 35a will be entirely above the surface of the etching medium disposed in the container 36a. The end of the housing 33a facing the etched part 35a is rigidly connected to the core 37a of the electromagnet coil 38a, which is attached, for example, to a frame of the device (not shown). The arrangement for the second etched part 35b is exactly the same and is therefore not described in greater detail here, wherein the corresponding elements of the apparatus are denoted by the same basic reference numerals but with index b. it would be expedient to determine their aggregate number as appropriate to the capacity of the operator, who would be tasked to install the etching panels and to remove the etched panels.

Zařízení dále obsahuje zdroj 39 proudu,^společný pro všechny jednotlivé leptací stanice. Jeho jeden pól 40 je vodivě spojen, např. pomocí kartáčů 41a, 41b. s konci 32ab, 32bb hřídelů 32a, 32b. Jeho druhý pól 42 je vodivě spojen s regulátory 43a, 43b proudu, jejichž výstupy 44a. 44b jsou zavedeny do elektrod 45a, 45b ponořených do leptacího média nádoby 36a, 36b. Regulátory 43a. 43b proudu umožňuji nastavit hodnotu proudu na počátku leptání na předem stanovenou velikost, např. na 1 A, registrovat pokles této hodnoty v průběhu leptání na nižší předem stanovenou velikost indikující dosažení požadovaného rozsahu leptání, např. na 0,3 A, a na tento pokles hodnoty reagovat zavedením proudu do cívek 38a. 38b, čímž se známým způsobem vyvodí pohyb jader 37a, 37b elektromagnetů, kterým se leptané dílce 35a, 35b přemístí nad hladinu leptaciho média v nádobách 36a, 36b. Toto uspořádání regulátorů 43a. 43b proudu zde není blíže popisováno, protože spadá do známého stavu techniky, fičelně lze toto zařízení doplnit obvody pro signalizaci ukončení požadovaného rozsahu leptání. Půjde zde např. o neznázorněné signální žárovky paralelně připojené k cívkám 38a, 38b elektromagnetů.The apparatus further comprises a power source 39 common to all the individual etching stations. Its one pole 40 is conductively connected, eg by brushes 41a, 41b. with shaft ends 32ab, 32bb of shafts 32a, 32b. Its second pole 42 is conductively connected to the current regulators 43a, 43b whose outputs 44a. 44b are introduced into electrodes 45a, 45b immersed in the etching medium of vessel 36a, 36b. Regulators 43a. 43b of the current allows to set the current value at the start of the etching to a predetermined amount, e.g., 1 A, to register a decrease of this value during the etching to a lower predetermined amount indicating reaching the desired etching range, e.g. values to react by introducing a current into the coils 38a. 38b, thereby generating in a known manner the movement of the electromagnet cores 37a, 37b by which the etched panels 35a, 35b are moved above the level of the etching medium in the containers 36a, 36b. This arrangement of regulators 43a. 43b is not described in detail here, as it falls within the prior art, this device can conveniently be supplemented with circuits to signal completion of the desired etching range. These will be, for example, signal lamps (not shown) connected in parallel to the electromagnet coils 38a, 38b.

Popsané zařízení připouští různé obměny. Tak např. by bylo možno ve dně. nebo při dně nádoby 15 umístit elektroventil ovládaný popsaným elektrickým obvodem tak, že při ukončeni požadovaného rozsahu leptání by bylo leptací médium za účelem své regenerace nebo výměny vypuštěno z nádoby 15, a to bud zcela nebo natolik, že by pak leptaný kotouč 14 byl již zcela nad úrovní nové hladiny leptacího média. Tato obměna je bez dalšího použitelná i u provedeni s nádobami 36a. 36b, kde by pak popř. odpadla potřeba přemístění proleptaných kotoučů 31a,The described device permits various variations. For example, it would be possible in the bottom. or at the bottom of the vessel 15, place an electrovalve operated by the described electrical circuit such that upon completion of the desired etching range the etching medium would be discharged from the vessel 15 for regeneration or replacement, either wholly or in such a way that the etched disk 14 would then be completely above the level of the new etching medium. This variation is readily applicable also to embodiments with containers 36a. 36b. the need to relocate the etched disks 31a has been eliminated,

31b mimo leptací médium po ukončeni požadovaného rozsahu leptání. V základního provedení podle obr. 2 se vyžaduje, aby k leptání určený dílec 1. byl na hřídeli 10 nasazen točně pevně, to je tak, že nucené sdílí otáčivý pohyb hřídele 10. z hlediska dosažení požadovaného účinku by nebylo na překážku, kdyby dílec 1. přitom byl na hřídeli 10 uspořádán axiálně posuvně, např. tak, že by hřídel 10 i pomocný otvor 9, dílce 1. měly příčný průřez trojúhelníkovitý.31b outside the etching medium after completion of the desired etching range. In the basic embodiment of FIG. 2, the etching member 1 is required to be rotatably mounted on the shaft 10, that is to say it is forced to share the rotational movement of the shaft 10 in order to achieve the desired effect, In this case, the shaft 10 and the auxiliary bore 9 of the panels 1 are arranged to be axially displaceable, e.g.

Toto uspořádání by bylo prakticky proveditelné ve variantě bez použití elektrického proudu urychlujícího leptání při poloze hřídele 10 rovnoběžné nebo téměř rovnoběžné s povrchem leptá čího média. Různé další možné obměny spadající vesměs pod 1. bod definice předmětu vynálezu a dosažitelné prostředky známého stavu techniky zde nejsou dále rozebírány.This arrangement would be practically feasible in a variant without the use of an electric current to accelerate the etching at the position of the shaft 10 parallel to or almost parallel to the surface of the etching medium. Various other possible variations falling largely under point 1 of the definition of the subject matter of the invention and the achievable means of the prior art are not further discussed here.

Zařízení podle vynálezu lze s vysokým stupněm přesnosti, to je s nízkým rozptylem podlep tání nejen proleptávat otvory v daném dílci nýbrž též zhotovovat nové dílce požadovaného tvaru, např. dílce .25., obr. 1. Na rozdíl od míst 2« ái 6, 7, 8 a 13 budou tyto dílce před zahájením leptání pokryty maskou, která bude přerušena pouze v liniích požadovaného obrysu dílců 25 po obou stranách plochého dílce 1,. I zde bude rozptyl podleptání tím nižší, čím přesněji budou linie požadovaného obrysu dílců 25 uspořádány na plochém dílci 1. symetricky vůči jeho ose otáčení.The device according to the invention can not only be etched with holes in the panel, but can also produce new panels of the desired shape, for example panels 25, with a high degree of accuracy, i.e. with low scattering. 7, 8 and 13, these panels will be covered by a mask prior to the etching, which will only be interrupted in the desired contour lines 25 on either side of the flat panel 1. Here again, the undercut scattering will be lower the more precisely the lines of the desired contour of the panels 25 are arranged on the flat panel 1 symmetrically with respect to its axis of rotation.

Claims (8)

1. Zařízení k leptáni částí plochých dílců obsahující nádobu pro leptacl médium, vyznačené tím, že obsahuje otočné uspořádaný unášecí člen leptáhého plochého dílce uzpůsobený pro točně pevné uchycení plochého dílce v poloze kolmé k ose otáčení unášecího členu procházejícího tělesem leptaného plochého dílce, při níž alespoň část leptaného plochého dílce zasahuje pod úhlem 30° až 90° vůči hladině leptacího média v jejím klidovém stavu do nádoby pro leptací médium.An apparatus for etching parts of flat panels comprising an container for an etching medium, characterized in that it comprises a rotatably mounted etching flat member adapted to rotatably hold the flat panel in a position perpendicular to the axis of rotation of the carrier member passing through the etched flat body. a portion of the etched flat panel extends at an angle of 30 ° to 90 ° relative to the surface of the etching medium in its rest state into the etching medium container. 2. Zařízení podle bodu 1, vyznačené tím, že otočně uspořádaný unášecí člen leptaného plochého dílce je vytvořen jako vidlice.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the rotatably mounted etching flat member is in the form of a fork. 3. Zařízení podle bodu 1, vyznačené tím, že unášecí člen leptaného plochého dílce (1) je vytvořen jako hřídel (10).Device according to claim 1, characterized in that the drive member of the etched flat part (1) is designed as a shaft (10). 4. Zařízení podle bodu 3, vyznačené tlm, že hřídel (10), tvořící unášecí člen leptaného plochého dílce (1) má na jednom svém konci (10b) tvar komolého kužele (10c), na který navazuje válcovitá část (lOd) s vnějším závitem, na nějž je našroubována přídržná matice zhotovená z elastického a vůči leptacímu médiu odolného materiálu, přičemž na zmíněný konec (10b) hřídele (10) je navlečena pružná hadice (22) zhotovená rovněž z elastického a leptacímu médiu odolávajícího materiálu.Device according to claim 3, characterized in that the shaft (10) forming the entrainment member of the etched flat panel (1) has at its end (10b) a frustoconical shape (10c) to which a cylindrical portion (10d) adjoins the outer threaded onto which a retaining nut made of elastic and etching medium resistant material is screwed, said elastic hose (22) also made of elastic and etching medium resistant material being pushed onto said end (10b) of the shaft (10). 5. Zařízení podle kteréhokoliv z bodů 1 až 4, vyznačené tím, že unášecí člen je uspořádán výškově výklopně do polohy, v níž je alespoň částí svého objemu umístěn nad nádobou (15) pro leptací médium.Device according to any one of Claims 1 to 4, characterized in that the entrainment member is arranged so that it is hinged vertically to a position in which it is located at least a part of its volume above the container (15) for the etching medium. 6. Zařízení podle kteréhokoliv z bodů 1 až 5, vyznačené tím, že unášecí člen je pohybově spojen s elektromotorem (21).Device according to any one of Claims 1 to 5, characterized in that the drive member is movably connected to the electric motor (21). 7. Zařízení podle bodu 6, vyznačené tlm, že unášecí člen je vytvořen jako výstupní hřídel elektromotoru (21).Device according to claim 6, characterized in that the drive member is designed as an output shaft of the electric motor (21). 8. Zařízení podle bodu 6, vyznačené tím, že na výstupním hřídeli (27) elektromotoru (26) je pevně nasazena hnací řemenice (28), na níž a na další řemenici (30) je nasazen nekonečný hnací pás (29), který je třecím záběrem pohybově spojen s alespoň jedním unášeclm členem (32a)' leptaného dílce (35a) .Device according to claim 6, characterized in that a drive pulley (28) is fixedly mounted on the output shaft (27) of the electric motor (26), on which and on another pulley (30) an endless drive belt (29) is fitted. in frictional engagement, movably coupled to the at least one carrier member (32a) of the etched panel (35a).
CS831877A 1983-03-18 1983-03-18 Equipment for etching a part of flat panels CS260551B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS831877A CS260551B1 (en) 1983-03-18 1983-03-18 Equipment for etching a part of flat panels

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS831877A CS260551B1 (en) 1983-03-18 1983-03-18 Equipment for etching a part of flat panels

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS187783A1 CS187783A1 (en) 1988-02-15
CS260551B1 true CS260551B1 (en) 1988-12-15

Family

ID=5354255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS831877A CS260551B1 (en) 1983-03-18 1983-03-18 Equipment for etching a part of flat panels

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS260551B1 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
CS187783A1 (en) 1988-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4633804A (en) Spinner and method for processing a substrate
US4385083A (en) Apparatus and method for forming a thin film of coating material on a substrate having a vacuum applied to the edge thereof
DE69326467D1 (en) UNINTERRUPTIBLE, OPTIONAL ACCESS STORAGE SYSTEM.
AU5216696A (en) Apparatus and method for dosing a pattern of food material
CS260551B1 (en) Equipment for etching a part of flat panels
WO1989000429A1 (en) An apparatus and a method for cleaning contact lenses
EP0316010A3 (en) Image forming apparatus with air exhaustion
JPH11121420A (en) Method and equipment for cleaning substrate
AU575597B2 (en) Polymer coated reactive metal electrode
EP0101846A3 (en) Process and device for monitoring a tiltable shute and its use in charging a shaft furnace
JPS6428921A (en) Plasma treatment device
KR950031308A (en) Method and apparatus for recycling sand
JPS57120936A (en) Step and repeat camera device
US2763233A (en) Automatic machine for coating cathode ray tube bulbs
JPS59112625A (en) Surface foreign material removing device
KR20010036505A (en) Wet process for preventing the adhesion of particles onto wafer in a semiconductor processing and apparatus for performing the same
JPS59152027A (en) Electric discharge machining equipment
JPS57191657A (en) Controlling method for copying machine with automatic original feeding device
JPS6410460A (en) Optical disk reproducing device
JPS5769737A (en) Coating method and device for resist on both side surfaces of wafer
KR100205304B1 (en) Anti-static apparatus of semiconductor package
JPS60188946A (en) Recording master development device
JPH09173929A (en) Paste applicator for chip-like part
JPH10112455A (en) Wet processing equipment
KR910001930Y1 (en) Tool lowering control of groove cutting tool set