CS262610B1 - Kompozície pre elastickú rubovú úpravu textilných podlahovin - Google Patents

Abstract

Riešenie sa týká kompozície pre elastickú rubovú úpravu textilných podlahovin na báze latexu butadiénstyrénového kaučuku, obsahujúoej vodu, povrchovoaktívne látky a připadne dalšie pomocné prostriedky, ktorá vo vztahu k neprohavej zložke latexu kaučuku obsahuje 100 až 400 % hmot. práškového plniva, ktoré je tvořené kombináciou anorganických látok a termoplastických polymérnych látok a 1 až 30 i hmot. zmesi vulkanizačnýoh přísad, kde aspoň jeden urýchlovač vulkanizáoie je na báze soli dialkylditiokarbamidovej kyseliny

Description

Vynález sa týká zapojenia pre automatické vyhodnocovanie časového priebehu elektrického signálu v procese plazmochemického leptania.

Pri plazmochemickom leptaní polovodičových štruktúr vo výrobě mikroelektronických prvkov třeba objektivně sledovat technologický proces a stanovit okamih jeho ukončenia podlá určitého příznaku. Na tento účel sa používajú různé typy snímačov priebehu plazmochemického leptania, ktoré transformujú charakteristické parametra chemicky aktívnej plazmy, ako je tlak, intenzita vyžarovania vhodné zvolenej spektrálnej čiary alebo spektrálnej oblasti atd., na elektrický signál. Okamih doleptania sa určuje podlá charakteristickéj změny elektrického signálu zo snímača počas leptacieho procesu. Automatizácia technologického procesu plazmochemického leptania vyžaduje, aby bolo možné charakteristickú změnu elektrického signálu, ktorá reprezentuje příznak ukončenia technologického procesu, vyhodnotit elektronicky s požadovanou presnosťou.

Doteraz používané spůsoby a zapojenia pre vyhodnocovanie signálu podlá úrovně pomocou komparačných obvodov sú použitelné iba v pripadoch, ked změna signálu je dostatočne velká a ked absolútna velkost signály je reprodukovateíná s priemernou presnosťou. Pri mnohých technologických procesoch plazmochemického leptania však snímaný elektrický signál nespiňa tieto kritéria, ked jeho změny sú relativné malé, absolútna hodnota signálu nie je reprodukovatelná, časový priebeh nie je monotónny a podobné. Vyhodnocivanie takých signálov len podlá ich úrovně je nemožné alebo velmi nespolahlivé a v praxi sa od automatizácie příslušných leptacich procesov upúšta. Niektoré z uvedených nedostatkov odstraňuje vyhodnocovanie signálu derivačnými obvodmi. Nevýhodou v tomto pripade je však malá odolnost proti šumom a rýchlo sa meniacim rušivým napátiam. Ani jedno z týchto riešení sa ale nehodí na signály meniace sa v čase nemonotónne.

Uvedené nedostatky odstraňuje zapojenie pre autmoatické vyhodnocovanie časového priebehu elektrického signálu v procese plazmochemického leptania podlá vynálezu, ktorého podstatou je, že signálová vstupná svorka je spojená cez zosilňovač so signálovým vstupom prírastkového zosilňovača, ktorého signálový výstup je připojený na signálový vstup diferenčného obvodu s logickým výstupom spojeným s druhým logickým vstupom riadiaceho obvodu. Jeho prvý logický výstup je spojený s blokovacím vstupom prírastkového zosilňovača a druhý logický výstup je připojený na riadiací vstup prírastkového zosilňovača, třetí logický výstup riadiaceho obvodu je spojený s aktivačným vstupom diferenčného obvodu a štvrtý logický výstup je spojený s prvým vstupom časoyacieho obvodu, ktorého výstup je spojený s výstupnou svorkou. Přitom na prvý logický vstup riadiaceho obvodu je připojený logický výstup prírastkového zosilňovača, na štvrtý logický vstup riadiaceho obvodu je připojený výstup prvého časovaoieho obvodu, ktorého vstup je spolu s třetím logickým vstupom riadiaceho obvodu a druhým vstupom druhého časovaoieho obvodu spojený s logickou vstupnou svorkou.

Výhodou zapojenia podlá vynálezu je, že umožňuje eliminovat vplyv absolútnej velkosti vyhodnocovaného signálu, presne detekovat jeho velmi malé změny, až 1 %, a vyhodnocovat jeho tvar. Zapojenie umožňuje jednoznačné a presne stanovit příznak ukončenia leptacieho procesu kombináciou vyhodnocovania zmien signálu oproti jeho extrémom a vyhodnotením směrnice časovej závislosti signálu. Vyhodnotenie směrnice časovej závislosti signálu pomocou diferenčnej metody podstane zvyšuje odolnost vyhodnocovania oproti šumom a náhodným poruchám. Ďalšou výhodou je možnost spracovania i signálu so zložitou štrukrútou časovej závislosti tým, že proces vyhodnocovania možno rozložit na jednoduchšie etapy v rámci ktorých sa už dá vykonat jednoznačná identifikácia charakteristických priznakov, pričom nereprezentativne a nežiadúce úseky signálu možno zo spracovania úplné vylúčiť. Zariadenie percentuálně určeného přídavného času leptania zohladňuje změny v leptaoích rýchlostiach tvarovaných vrstiev v různých výrobných dávkách.

Zariadenie podlá vynálezu zabezpečuje automatizáciu leptacieho procesu. Na začiatku technologického procesu sa zapojenie automaticky aktivuje, v priebehu procesu umožňuje detekovat příznak jeho ukončenia a následné po uplynutí přídavného času leptania sa generuje povel na automatické vypnutie technologického procesu.

Claims (2)

1. PREDMET VYNÁLEZU

   Kompozícia pre elastickú rubovú úpravu textilných podlahovin na báze latexu butadiénstyrénového kaučuku obsahujúca vodu, povrchovoaktívne látky a připadne dalšie pomocné prostriedky, vyznačujúca sa tým, že vo vztahu k neprchavej zložke latexu kaučuku obsahuje 100 až 400 % hmot. práškového plniva, ktoré je kombináciou anorganických látok a termoplastic kých polymérnych látok v hmotnostnom pomere 1:10 až 10:1 a 1 až 30 % hmot. zmesi vulkanizačných přísad o zložení 10 až 30 % hmot. síry, 10 až 40 % hmot. oxidu zinočnatého, 1 až 20 % hmot. antioxidantu a 5 až 55 % hmot. urýchlovačov vulkanizácie, z ktorých aspoň jeden je na báze soli dialkylditiokarbamidovej kyseliny.

   POPIS VYNÁLEZU