CS265627B1

CS265627B1 - Adjustable electron microscope aperture holder

Info

Publication number: CS265627B1
Application number: CS879455A
Authority: CS
Inventors: Jaroslav Ing Klima; Lubomir Rndr Tuma; Jiri Ing Petr
Original assignee: Klima Jaroslav; Tuma Lubomir; Petr Jiri
Priority date: 1987-12-18
Filing date: 1987-12-18
Publication date: 1989-11-14
Also published as: CS945587A1

Abstract

Je tvořen trubkou clony, která je ve své rozpěrné části opatřena podélnými zářezy, uvnitř trubky clony je vytvořeno lůžko clonového terčíku, přičemž trubka clony je svou rozpěrnou částí s přesahem suvně uložena v centrální trubce mikroskopu. Držák lze využít při konstrukci elektronových mikroskopů.It consists of a diaphragm tube, which is provided with longitudinal notches in its expansion part, a diaphragm target seat is formed inside the diaphragm tube, and the diaphragm tube is slidably mounted in the central tube of the microscope with its expansion part with an overlap. The holder can be used in the construction of electron microscopes.

Description

Vynález se týká nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu.The invention relates to an adjustable electron microscope aperture holder.

Elektronové mikroskopy jsou podél optické osy opatřeny několika clonami, které mají za úkol oddělit od středového svazku elektronů okrajové elektrony, které nejsou opticky kvalitní, a vymezit aperturu elektronového svazku, vytvořeného elektronově optickým tubusem. Tyto clony bývají bud stavitelné s možností jemného centrování zvnějšku mikroskopu, nebo pevné, nehybně umístěné podél optické osy tubusu. Pevné clony ve^tvaru terčíků s malým středovým otvorem bývají v držácích, jejichž poloha je pevně určena konstrukcí mikroskopu.The electron microscopes are provided with several orifices along the optical axis to separate non-optically high edge edge electrons from the central electron beam and define the aperture of the electron beam formed by the electron optical tube. These screens are either adjustable with the possibility of fine centering from the outside of the microscope or fixed, stationary along the optical axis of the tube. Fixed apertures in the form of discs with a small central opening tend to be in holders whose position is fixed by the structure of the microscope.

Nevýhodou tohoto stavu je, že vertikální polohu clony není možno měnit ani při přechodu k jinému režimu elektronově optické soustavy, což má za následek, že soustava clon může být optimalizována pouze pro jeden režim elektronově optické soustavy.The disadvantage of this state is that the vertical position of the aperture cannot be changed even when switching to another mode of the electron optical system, which results in the aperture system being optimized for only one mode of the electron optical system.

Uvedenou nevýhodu dosavadního stavu do značné míry odstraňuje nastavitelný držák clony elektronového mikroskopu podle vynálezu, jehož podstatou je, že je tvořen trubkou clony, která je ve své rozpěrné části opatřena podélnými zářezy, uvnitř trubky clony je vytvořeno lůžko clonového terčíku, přičemž trubka clony je svou rozpěrnou částí a přesahem suvně uložena v centrální trubce mikroskopu.This disadvantage of the prior art is largely eliminated by the adjustable electron microscope aperture holder of the present invention, which is formed by an aperture tube having longitudinal slits in its expansive portion, and an aperture target bed is formed within the aperture tube; the spacing part and the overlap are slidably mounted in the central tube of the microscope.

Výhody nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu spočívají zejména v tom, že umožňuje libovolné nastavení vertikální polohy clon, takže polohu clon je možno optimalizovat pro každý režim elektronového mikroskopu.The advantages of the adjustable electron microscope aperture holder according to the invention are in particular that it allows arbitrary adjustment of the vertical aperture position so that the aperture position can be optimized for each electron microscope mode.

Vynález bude dále podrobněji popsán podle přiloženého výkresu, na němž je znázorněno příkladné provedení nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu.The invention will now be described in more detail with reference to the accompanying drawing, in which an exemplary embodiment of an adjustable electron microscope aperture holder according to the invention is shown.

Držák clony je v příkladném provedení tvořen trubkou 2 clony, která je ve své rozpěrné části 2 opatřena podélnými zářezy 3.· Uvnitř trubky 1. clony je vytvořeno lůžko £ clonového terčíku 5.. Trubka JL clony je svou rozpěrnou částí 2 s přesahem suvně uložena v centrální trubce £ mikroskopu. Clonový terčík 5 je v lůžku 4_ přidržován pružnou zátkou J7· Ve spodní Části trubky clony je vytvořen vnitřní manipulační závit _8. 'In the exemplary embodiment, the aperture holder is formed by an aperture tube 2, which has longitudinal slots 3 in its spacer part 2. The aperture target bed 5 is formed inside the aperture tube 1. The aperture tube 11 is slidably supported by its spacer part 2. in the central tube 6 of the microscope. The diaphragm target 5 is held in the seat 4 by a resilient plug 7. In the lower part of the diaphragm tube an internal handling thread 8 is formed. '

V činnosti nastavitelného držáku clony elektronového mikroskopu podle vynálezu se manipulační závit 8^ trubky 1. clony našroubuje na neznázorněnou vytahovací tyčku a s její pomocí se nasune do centrální trubky mikroskopu do polohy optimální pro zamýšlený režim činnosti. Centrální trubka 6 prochází pólovými nástavci cívek mikroskopu, přičemž její osa je současně osou pólových nástavců, a umožňuje minimalizaci počtu vakuových spojů v oblasti elektronového svazku. Trubka .1 clony je držena v centrální trubce j5 mikroskopu třením rozpěrné části o vnitřní povrch centrální trubky Toto tření spolehlivě fixuje polohu clonového terčíku _5 v průběhu práce s mikroskopem, nezamezuje však přestavění polohy trubky 1. clony s clonovým terčíkem 5. do jiné polohy pomocí vytahovací tyčky při změně režimu mikroskopu, ani úplnému vyjmutí trubky 1_ clony z elektronového mikroskopu za účelem vyčištění clonového terčíku _5.In the operation of the adjustable electron microscope diaphragm holder according to the invention, the manipulation thread 8 of the diaphragm tube 1 is screwed onto a pull-out rod (not shown) and is pushed into the central microscope tube in a position optimal for the intended mode of operation. The central tube 6 extends through the pole extensions of the microscope coils, the axis of which is at the same time the axis of the pole extensions, and allows to minimize the number of vacuum connections in the region of the electron beam. The diaphragm tube 1 is held in the central tube 5 of the microscope by rubbing the spacer portion on the inner surface of the central tube. This friction reliably fixes the position of the iris target 5 while operating the microscope, but does not prevent the positioning of the iris tube 5 with the iris target 5 the pull-out rod when changing the microscope mode, or completely removing the orifice tube 7 from the electron microscope to clean the orifice plate 5.

Vynález lze využít při konstrukci elektronových mikroskopů.The invention can be used in the construction of electron microscopes.

Claims

OBJECT OF THE INVENTION /

An adjustable electron microscope aperture holder, characterized in that it is formed by an aperture tube (1) having longitudinal slots (3) in its expansive portion (2), and an aperture target bed (4) is formed inside the aperture tube (1) ( 5), wherein the diaphragm tube (1) is slidably mounted in the central tube (6) of the microscope with its overlap portion (2).