CZ20003336A3 - Dvouosý gyroskop - Google Patents
Dvouosý gyroskop Download PDFInfo
- Publication number
- CZ20003336A3 CZ20003336A3 CZ20003336A CZ20003336A CZ20003336A3 CZ 20003336 A3 CZ20003336 A3 CZ 20003336A3 CZ 20003336 A CZ20003336 A CZ 20003336A CZ 20003336 A CZ20003336 A CZ 20003336A CZ 20003336 A3 CZ20003336 A3 CZ 20003336A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- axis
- umístěný
- plane
- sensing
- mode
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5677—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional [2D] vibrators, e.g. ring-shaped vibrators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
Vynález se týká dvouosého gyroskopu.
Dosavadní stav techniky
Vibrační konstrukce gyroskopu může být vyráběna s využitím celé řady různých konstrukcí jako rezonančních prvků. Tyto konstrukce zahrnují trámce, ladicí vidlice, válce, polokulové skořepiny a prstence. Úspěšné komerční využívání je závislé na optimalizaci provozu zařízení při minimálních nákladech. Kromě toho je účelem některých uplatnění snížení velikosti zařízení.
Některé známé vibrační konstrukce gyroskopů jsou vhodné pro výrobu s využitím moderních způsobů mikroskopického obrábění. Mohou být zkonstruovány z práškového křemíku, z polysilikonu nebo z elektricky tvářeného kovu. Tyto výrobní postupy zajišťují možnost výroby miniaturních gyroskopů při vysokém objemu a při snížených nákladech.
U mnoha uplatnění gyroskopických ústrojí je vyžadována rychlostní citlivost kolem tří os. Známé vibrační konstrukce gyroskopů zajišťují jednoosou rychlostní citlivost, takže je nutno používat tří zařízení, která musejí být vyrovnána podél kolmých os. Vibrační konstrukce gyroskopu, zahrnující • · to · · · · to · · • to · * to · to to * • «>«··· · to · · · · rezonátor, který je schopen snímat kolem tří os současně, by proto byla velice účelná. Jediné zařízení by tak mohlo nahradit tří známé jednoosé jednotky se zcela zřejmými výhodami z hlediska nákladů. Rovněž způsob montáže a vyrovnávání tří jednoosých gyroskopú nebude nutno využívat.
Podstata vynálezu
Existuje proto potřeba vyvinout zdokonalený gyroskop, který by mohl snímat rychlost na alespoň dvou osách.
V souladu s jedním aspektem předmětu tohoto vynálezu byl proto vyvinut dvouosý gyroskop, který obsahuje v podstatě rovinný vibrační rezonátor, mající v podstatě prstencovitou nebo obručovitou konstrukci s vnitřním a vnějším obvodem probíhajícím kolem společné osy, hnací prostředky vidu nosné frekvence pro uvedení rezonátoru do vibrací ve vidu nosné frekvence mimo rovinu cos ηθ, kde n je celé číslo o velikosti 2 nebo více, nosné prostředky pro pružné nesení rezonátoru a pro umožnění vibrování rezonátoru v odezvě na hnací prostředky vidu nosné frekvence vzhledem k nosným prostředkům, snímací prostředky vidu nosné frekvence pro
| snímání pohybu | rezonátoru | mimo | rovinu, | snímací | prostředky | |
| odezvového | vidu | osy X | pro | snímání | pohybu | rezonátoru |
| odezvového | vidu | v rovině | cos | ηχθ v závislosti | na otáčení |
gyroskopú kolem osy X, kde ni má hodnotu o velikosti η + 1 nebo η - 1, a snímací prostředky odezvového vidu osy Y pro snímání pohybu rezonátoru odezvového vidu v rovině sin ηχθ v závislosti na otáčení gyroskopú kolem osy Y, kde ni má hodnotu o velikosti η + 1 nebo η - 1, která je stejná jako pro odezvový vid osy X.
fc·· fcfcfcfc · • fcfcfc fcfcfc fcfc • fcfc*··· · fcfcfc · • fcfc fcfcfcfcfc •fc · ···«· fcfc ·
Gyroskop podle tohoto vynálezu s výhodou obsahuje hnací prostředky odezvového vidu osy X pro anulování pohybu rezonátoru odezvového vidu osy X pro umožnění funkce provozu gyroskopu v nuceném zpětnovazebním uspořádání.
Gyroskop rovněž s výhodou obsahuje hnací prostředky odezvového vidu osy Y pro anulování pohybu rezonátoru odezvového vidu osy Y pro umožnění funkce provozu gyroskopu v nuceném zpětnovazebním uspořádání.
Nosné opěrné prostředky s výhodou zahrnují množinu pružných ohebných ramen, ohebně připojujících rezonátor k opěře, přičemž počet ramen N je roven 4nlř a přičemž úhlové rozdělení mezi rameny je dáno vztahem 360°/N.
Rezonátor je s výhodou vyroben z kovu, křemene, polysilikonu nebo sypaného křemíku.
Hnací prostředky a/nebo snímací prostředky jsou s výhodou elektrostatické, elektromagnetické, piezoelektrické nebo optické.
Videm nosné frekvence je s výhodou vid mimo rovinu cos 2Θ, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin Θ, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos Θ, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 0° a 180° vzhledem k referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 90° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují snímací prvek, umístěný pod úhlem 0° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací • · • φ • · · ♦ *»···« * 9 «·»· * · · «*· » · ·«· »···*· • · · ·*«·· · · · · φ prvky osy Υ zahrnují snímací prvek, umístěný pod úhlem 90° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují hnací prvek, umístěný pod úhlem 180° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují hnací prvek, umístěný pod úhlem 270° vzhledem k pevné referenční ose.
Videm nosné frekvence je s výhodou vid mimo rovinu cos 2Θ, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin 3Θ, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos 3Θ, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 0° a 180° vzhledem k pevné referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 90° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 0°, 120° a 240° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy Y zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 30°, 150° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 60°, 180° a 300° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 90°, 210° a 330° vzhledem k pevné referenční ose.
Videm nosné frekvence je s výhodou vid mimo rovinu cos 3Θ, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin 20, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos 20, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 0°, 120° a 240° vzhledem k pevné referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly
Β * • · fc •fcfcfc· * • · · • fc·
60°, 180° a 300° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 0° a 180° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy Y zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 45° a 225° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 90° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 135° a 315° vzhledem k pevné referenční ose.
Videm nosné frekvence je s výhodou vid mimo rovinu cos 30, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin 4Θ, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos 40, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 0°, 120° a 240° vzhledem k pevné referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 60°, 180° a 300° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují čtyři snímací prvky, umístěné pod úhly 0°, 90°, 180° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy Y zahrnují čtyři snímací prvky, umístěné pod úhly 22,5°, 112,5°, 202,5° a 292,5° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují čtyři hnací prvky, umístěné pod úhly 45°, 135°, 225° a 315° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují čtyři hnací prvky, umístěné pod úhly 67,5°, 157,5°, 247,5° a 337,5° vzhledem k pevné referenční ose.
* · · ··«· · ··
6··«· ··· · · · • · ··· · »····« · • · · ····«· · · ··· ·· ·· ···
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude v dalším podrobněji objasněn na příkladech jeho konkrétního provedení, jejichž popis bude podán s přihlédnutím k přiloženým obrázkům výkresů, kde:
obr. la znázorňuje schematické zobrazení vibrační konstrukce gyroskopu, která není podle tohoto vynálezu;
obr. lb znázorňuje grafické zobrazení tří kolmých os pro gyroskop podle obr. la;
obr. 2a a obr. 2b znázorňují grafické zobrazení tvarů vibračních vidů ve třech osách u dvouosého gyroskopu podle tohoto vynálezu s využitím vidů nosných frekvencí mimo rovinu cos ηθ, kde n = 1;
obr. 3a a obr. 3b znázorňují grafické zobrazení vibračních vidů ve třech osách pro gyroskop podle tohoto vynálezu s využitím vibračních vidů mimo rovinu cos ηθ pro n = 2;
obr. 4a a obr. 4b znázorňují grafické zobrazení vidových tvarů ve třech osách pro gyroskop podle tohoto vynálezu pro n = 3;
obr. 5a až obr. 8b znázorňují grafická zobrazení vibračních vidových tvarů v rovině osy X a osy Y, přičemž ni = 1 pro obr. 5a a obr. 5b, ni = 2 pro obr. 6a a obr, 6b, ni = 3 pro obr. 7a a obr. 7b, a ni = 4 pro obr. 8a a obr. 8b;
» « I · • * · · • ****· · • ·
9· 9 9 • · · • · · • · · · • ·
99 obr. 9a a obr. 9b znázorňují grafické zobrazení v osách X a Y pro rezonátor gyroskopu podle tohoto vynálezu, nabuzený do vidu nosné frekvence mimo rovinu cos 2Θ a otáčející se kolem osy X, přičemž jsou zde znázorněny generované radiální složky Coriolisových sil;
obr. 10a a obr. 10b znázorňují generování složek Coriolisových sil, obdobných jako na obr. 9a a obr. 9b, avšak generovaných otáčením kolem osy Y;
obr. 11 znázorňuje schematické zobrazení části dvouosého gyroskopu podle prvního provedení předmětu tohoto vynálezu, ukazující orientaci hnacích a snímacích prvků;
obr. 12 znázorňuje pohled v řezu, vedeném v rovině A-A z obr. 11, ukazující další přídavné součásti, neuvedené na obr. 11;
obr. 13 znázorňuje schematické uspořádání, ukazující hnací a snímací prvky pro dvouosý gyroskop podle druhého provedení předmětu tohoto vynálezu;
obr. 14 znázorňuje schematické zobrazení, ukazující hnací a snímací prvky pro dvouosý gyroskop podle třetího provedení předmětu tohoto vynálezu; a obr. 15 znázorňuje schematické zobrazení, ukazující hnací a snímací prvky pro dvouosý gyroskop podle čtvrtého provedení předmětu tohoto vynálezu.
• · · ·· · · · » ·
111» ··· · · · · ·«·· · »«···· · ··* ···!·· «· · «·· ·« *· ···
Příklady provedení vynálezu
Společný prvek všech známých vibračních konstrukcí gyroskopu spočívá v tom, že udržují rezonanční nosný kmitočet vidu oscilací. Tím vzniká lineární moment, který vytváří Coriolisovu sílu Fc, pokud se gyroskop otáčí kolem příslušné osy. Velikost této Coriolisovy síly Fc je dána vztahem:
Fc = 2 Ω m v (1) kde
Ω - představuje uplatňovanou úhlovou rychlost, m - představuje hmotnost, a v - představuje lineární rychlost.
Rychlost, otáčení a vektory sil leží podél vzájemně kolmých os, jak je znázorněno na vyobrazeních podle obr. Ia a podle obr. lb.
Jedním z nej jednodušších provedení vibrační konstrukce gyroskopu je trámec 1, znázorněný na vyobrazení podle obr. Ia. Nosný kmitočet vidu kmitání představuje ohybový pohyb v rovině XZ, jak je znázorněno na vyobrazeních podle obr. Ia a podle obr. lb. Otáčením kolem osy trámce ý (osa Z) bude vznikat Coriolisova síla, která uvede trámec 1. do pohybu v rovině YZ na nosném kmitočtu. Amplituda pohybu na této ose bude úměrná uplatňované rychlosti otáčení.
Citlivost takového ústrojí může být zvýšena vytvořením konstrukce tak, že Coriolisova síla přímo budí rezonanční vid. Amplituda pohybu je poté zesílena o Q vidu odezvy. Pro jednoduchý trámec, vyrobený z izotropního materiálu, toho t t · toto · · to to toto
9···· ······ • · ···· « ·····* · • to· ······ to· · to·· ·· *· »·' bude dosaženo s pomocí trámce čtvercového průřezu, kde budou rozměry X a Y stejné.
Otáčení kolem osy Y bude rovněž indukovat Coriolisovu sílu v trámci JL· Tato síla bude působit podél délky trámce 1 (osa Z) . Trámec 1 je v tomto směru mimořádně tuhý, takže nebude citlivý na tyto síly. Avšak tato jednoduchá lineární vibrace kolem jediné osy je schopna vytvářet odezvy na otáčení kolem dvou os. Praktické provedení gyroskopu, založeného na těchto odezvách, vyžaduje takovou konstrukci rezonátoru, která umožňuje, aby složky této Coriolisovy síly se spojily přímo do vidu odezvy podél vhodných os.
Rovinné prstencovité konstrukce, využívající vidy nosné frekvence mimo rovinu cos ηθ, jsou v podstatě schopné vykazovat citlivost na rychlost na dvou osách. Pohyb vidu nosné frekvence je podél jediného směru (osa Z) a proto budou Coriolisovy síly generovány tehdy, pokud se konstrukce bude otáčet kolem každé z os v rovině. Za účelem praktického využívání jako gyroskopu musí být amplituda pohybu, indukovaného Coriolisovými silami, dostatečná pro dosažení přiměřené citlivosti při měření rychlosti. Této citlivosti může být dosaženo, pokud mohou být síly sdruženy přímo do rezonančních vidů v rovině, takže dochází k zesílení indukovaného pohybu o Q vidů odezvy.
Pro konstrukci rezonátoru ve tvaru dokonalého prstence vidy vibrací mimo rovinu cos ηθ existují jako degenerované dvojice pod vzájemným úhlem o velikosti (90/n)°. S využitím pevné referenční osy R v rovině rezonátoru budou tyto vidové dvojice mít tvary, které vykazují posuny cos ηθ a sin ηθ. Pro φ
• · • « • · • φ » • φφφ φ * φφφφ « θ = Ο leží referenční osa R pro modální diagramy kolem osy Y v kladném směru.
Vidové tvary pro η = 1 jsou znázorněny na vyobrazeních podle obr. 2a a podle obr. 2b. Dva extrémy maximálního posunu z nebuzené polohy prstence během jediného vibračního cyklu jsou znázorněny pro každý vid dvojice. Osy vyjadřují posun z nebuzené polohy prstence {čárkovaná čára) pro poloměr prstence 1,0 (v libovolných jednotkách). Vidy existují pod vzájemným úhlem 90°.
Vidové tvary pro n = 2 jsou obdobně znázorněny na vyobrazeních podle obr. 3a a podle obr. 3b. Existují pod vzájemným úhlem 45°. Odpovídající vidové tvary pro n = 3 jsou znázorněny na vyobrazeních podle obr. 4a a podle obr. 4b, přičemž existují pod vzájemným úhlem 30°.
S využitím vlivů nosné frekvence mimo rovinu cos ηθ bude otáčení kolem os v rovině prstence vyvolávat Coriolisovy síly. Otáčení kolem osy Y bude vyvolávat Coriolisovy síly, působící kolem osy X. Rozložení těchto sil se bude měnit spolu s úhlovou polohou θ a může být rozloženo na radiální a tangenciální složky. Pro otáčení kolem osy Y, Ωγ, budou tyto složky sil dány následujícími vztahy;
Fcr (Θ) = F(n+i)rfiY sin(n+l)6 + F(n-i)r Ωγ sin(n-l)0
Fct(Θ) = F(n+i)t Ωγ cos(n+l)6 - F(n-i)t Ωγ cos(n-l)9 (2) <3) kde • 4 4 44 4 ·
4 4 4 4«4
4 44*4 4 4 « 4
4 4 4 4 ·
4 44» »4 ·
• 4
444
Fcr (0) - představuje rozložení Coriolisových sil radiálně zaměřených v rovině , a
Fct(0) “ představuje rozložení sil tangenciálně zaměřených v rovině.
Parametry F(n+i)r, F(n_1)r, F(n+1)t a F(n-i,t jsou konstanty, které závisejí na přesné geometrii prstence a nosných opěrných prostředků, na materiálu a na hodnotě n.
Pro stejné vidy nosných frekvencí bude otáčení kolem osy X indukovat Coriolisovy síly, působící kolem osy Y. Tyto síly mohou být opět rozloženy na radiální a tangenciální složky, které jsou pro uplatňované otáčení, Ωχ, dány následujícími vztahy:
FCr(6) = F(n+1)r Ωχ cos{n+l)0 + F(n-i)r Ωχ cos(n-l)0 (4)
Fct{0) = F(n+i)t Ωχ sin(n+l)0 - F(n-i)t Ωχ sin(n-l)0 (5)
Tyto složky sil mohou být přímo využity pro buzení vidů vibrací prstencového rezonátoru v rovině. Tvary vidů vibrací v rovině pro ni = 1, 2, 3 a 4 jsou znázorněny na vyobrazeních podle obr. 5a až 8b. Tyto vidy existují jako degenerované dvojice pod vzájemným úhlem o velikosti (90/ηχ)°. Grafické znázornění zobrazuje maximální posuny z klidové polohy pro prstenec o nominálním poloměru 1,0 (v libovolných jednotkách). Způsob, kterým mohou být tyto vidy buzeny, je možno ilustrovat prostřednictvím příkladu pro specifický vid nosné frekvence.
Pro prstencový rezonátor, buzený do vidu nosné frekvence mimo rovinu cos 20 a otáčející se kolem osy X, budou složky * φ · ·· φ · φ φ » φ t t φ > φ φ φ · β φ··· · ··««·» φ • · φ · φ φ φ φ φ «Φ φ Φ·Φ ΦΦ ♦ · ·1·
Coriolisovy síly generovány s funkčními formami cos Θ a cos 30. Ty jsou graficky znázorněny na vyobrazeních podle obr. 9a a podle obr. 9b. Tečkovaná čára 2 vyjadřuje klidovou polohu prstence o nominálním poloměru 1,0 (v libovolných jednotkách), kde osy X a Y procházejí středem prstence. Síly působí radiálně přes středový bod (0,0) s velikostí, která je znázorněna plnou čarou 3. To je znázorněno graficky \ prostřednictvím šipek £, které představují vektory sil, působící v jednotlivých bodech na obvod prstence.
Obdobné grafické znázornění lze provést i pro tangenciální složky. Tyto složky sil mají funkční formy, které odpovídají funkčním formám vidů vibrací v rovině u prstence, znázorněného na vyobrazeních podle obr. 5a a obr. 7a. Otáčení kolem osy Y bude mít za následek vyvíjení složek Coriolisovy síly s funkčními formami sin θ a sin 3Θ.
Ty jsou graficky znázorněny na vyobrazeních podle obr. 10a a obr. 10b. Tyto funkční formy odpovídají modálním vzorům, znázorněným na vyobrazeních podle obr. 5b a obr. 7b.
Za účelem provedení praktické konstrukce gyroskopu musí být amplituda pohybu odezvového vidu maximalizována. To vyžaduje, aby byly rozměry prstence zvoleny tak, že frekvence vidu nosné frekvence a odezvových vidů budou přizpůsobeny. Výsledný pohyb tak bude zesílen o Q vibrací odezvového vidu, což poskytuje zvýšenou citlivost.
Frekvence vidu mimo rovinu jsou výrazně ovlivněny změnami hloubky (rozměru ve směru osy Z) prstence. Frekvence vidu v rovině nejsou citlivé na tyto změny, takže je možno odlišně posunout frekvence vidů nosné frekvence mimo rovinu a odezvových vidů v rovině za účelem jejich uvedení do
« t · · rovnováhy. S využitím vhodných rozměrů prstence má praktický dvouosý gyroskop podle prvního provedení předmětu tohoto vynálezu vid nosné frekvence mimo rovinu cos 2Θ v kombinaci s odezvovými vidy v rovině cos Θ.
Rozměry prstence mohou být rovněž zvoleny pro vytvoření dalšího příkladu předmětu tohoto vynálezu s využitím stejného vidu nosné frekvence v kombinaci s odezvovými vidy v rovině sin 3Θ a cos 3Θ.
Další konstrukce dvouosého gyroskopu podle tohoto vynálezu využívají alternativních kombinací vidu nosné frekvence a odezvových vidů, jak je vyjádřeno rovnicemi (2) až (5) . Vid nosné frekvence mimo rovinu cos 3Θ může být využíván v kombinaci s odezvovými vidy v rovině sin 2Θ a cos 2Θ. Tento stejný vid nosné frekvence může být rovněž využíván v kombinaci s odezvovými vidy sin 4Θ a cos 4θ. Další kombinace vidů vyššího řádu jsou rovněž možné, avšak mají výrazně menší praktické uplatnění. Jejich využitelnost je omezena složitostí vidového tvaru, což vyžaduje využívání složitých zařízení hnacích a snímacích prvků.
Dvouosý gyroskop podle tohoto vynálezu může být zkonstruován s využitím vidu nosné frekvence mimo rovinu cos 2Θ v kombinaci s odezvovými vidy v rovině sin θ a cos Θ. Tento gyroskop vyžaduje, aby byly vzájemně přizpůsobeny frekvence tří vidů (jedna nosná frekvence a dva odezvové vidy). Pro dokonale souměrný prstenec 5 o stejnoměrné tloušťce bude mít vidová dvojice sin Θ a cos θ stejné frekvence.
• · · ·* · · » · fcfc • · · fc fcfcfc fcfcfc • · fcfcfcfc · ··*»·· fc fcfcfc fcfcfcfcfcfc fcfc « fcfcfc fc* fcfc fcfcfc
Vidy mimo rovinu rovněž existují jako degenerované dvojice, přičemž zde bude vid sin 2Θ na nosné frekvenci pod úhlem 45°. Při praktickém provedení je výhodné volně indukovat rozdělení frekvencí mezi vidy. Tím bude rovněž nastavena poloha vidu nosné frekvence v pevné orientaci na prstenci 5. To má výhodu z hlediska zabránění jakýchkoliv nežádoucích interakcí mezi vidy mimo rovinu, které mohou rušit pohyb vidu nosné frekvence u praktických konstrukcí gyroskopu, kde mírné konstrukční nedokonalosti budou vždy nevyhnutelně existovat.
Pro gyroskop podle tohoto vynálezu musí vid nosné frekvence být v řádu cos ηθ, kde n je hodnota celého čísla o velikosti 2 nebo více, tak jako cos 2Θ, cos 3Θ, cos 4Θ atd. Odezvové vidy musejí být sin ηχθ nebo cos ηχθ, kde ηχ má hodnotu n+1 nebo n-1, tak jako sin θ, sin 2Θ, sin 3Θ atd.
Rozdělení frekvencí mimo rovinu při udržení degenerace odezvových vidů v rovině je možné tehdy, pokud jsou počet a orientace nosných opěrných ramen (na vyobrazeních neznázorněno) pro prstenec 5 správně zvoleny. Tato ramena připojují prstenec 5 ke středovému nosnému podstavci j>, přičemž působí jako bodové pružinové hmoty, které místně ruší vid dynamiky. Za účelem zabránění rozdělení frekvence musejí být počet a úhlové rozmístění nosných opěrných ramen přizpůsobeny vidu souměrnosti. Pro jakoukoliv degenerovanou vidovou dvojici cos ηθ je tento počet dán následujícím vztahem:
počet ramen N = 4ηχ (6) • 4
4*4 · 4 4 4 4 ·
4*4444 44 444 4 4 444 444444 • φ » ·· 4 44 44 444
Úhlové rozdělení je dáno vztahem 360°/N.
Takže pro vidovou dvojici cos Θ je možno této podmínky dosáhnout s využitím čtyř nosných opěrných ramen, vzdálených od sebe o 90°. Toto uspořádání nosných opěrných ramen povede k rozdělení vidů mimo rovinu cos 2Θ a tak k požadovanému zafixování jejich orientace na prstenci J5.
Vibrační rezonátor 5 je v podstatně rovinný, přičemž má v podstatě konstrukci prstencovitého nebo obručovitého tvaru, jejíž vnitřní a vnější obvody leží kolem pevné referenční osy.
Vibrační konstrukce gyroskopů podle tohoto vynálezu mohou být prováděny s využitím běžných výrobních a obráběcích postupů. Jsou rovněž vhodné pro výrobu s využitím postupů mikroskopického obrábění. Princip provozu a orientace pohonu a snímání bude shodný nezávisle na výrobním postupu. Rezonanční prstenec 5 může být zkonstruován z jakéhokoliv materiálu, který má vhodné mechanické vlastnosti, jako jsou například kovy, křemen, polysilikon nebo práškový křemík. Vidy prstence 5 mohou být poháněny do oscilací s využitím různých hnacích převodníků. Tyto převodníky zahrnují elektrostatické, elektromagnetické, piezoelektrické a optické prostředky. Amplituda pohybu může být obdobně zjišťována s využitím elektrostatických, elektromagnetických, piezoelektrických nebo optických snímacích prostředků. Hnací a snímací převodníky jsou umístěny tak, aby iniciovaly a snímaly pohyb v rovině nebo mimo rovinu.
Příkladné výhodné provedení využívá elektrostatických hnacích a snímacích prostředků. Orientace hnacích a snímacích prvků pro toto příkladné provedení je znázorněna na vyobrazení podle obr. 11.
Umístění prstence jehož vnitřní a vnější obvody leží kolem společné osy A, je znázorněno čárkovanými čarami. Vid nosné frekvence mimo rovinu cos 2Θ je poháněn do oscilací s využitím hnacích prvků umístěných pod úhly 0° a 180° vzhledem k pevné referenční ose R přímo pod okrajem prstence. Prstenec 5 je udržován na pevném potenciálu vzhledem k hnacím prvkům 2 a snímacím prvkům EL
Jednotlivé kondenzátory jsou vytvořeny mezi těmito hnacími prvky 7 a protilehlými segmenty spodní strany prstence 5. Oscilační napětí je přiváděno do hnacích prvků J_ na nosné frekvenci, takže je generována elektrostatická síla, uvádějícím prstenec _5 do rezonanční oscilace. Snímací prvky EL umístěné pod úhly 90° a 270°, obdobně vytvářejí kondenzátory, které snímají pohyb prstence 5 při změně mezery.
Otáčení kolem osy X bude sdružovat energii do odezvového vidu v rovině cos Θ, který má protilehlé uzlové body pod úhly 0° a 180°. Otáčení kolem osy Y bude sdružovat energii do vidu sin Θ, který má protilehlé uzlové body pod úhly 90° a 270°. Hnací a snímací prvky mohou být umístěny v jakékoliv vhodné kombinaci přilehle k těmto bodům. Sestávají z desek, umístěných soustředně kolem vnějšího obvodu prstence 5. Povrchová plocha desky, která je kolmá k rovině prstence, vytváří kondenzátor s přilehle směřujícím segmentem prstence 5.
• ·
Pohyb odezvového vidu osy X je s výhodou snímán prostřednictvím snímacího prvku 9, umístěného pod úhlem 0°. Hnací prvek 10, umístěný pod úhlem 180°, může být využit pro anulování pohybu vidu pro umožnění, aby gyroskop pracoval v nuceném zpětnovazebním uspořádání. Pokud pracuje v tomto režimu, je anulovací pohon úměrný příslušné rychlosti. Tento režim provozu je znám a poskytuje provozní výhody v porovnání s režimem otevřené smyčky. Pohyb odezvového vidu osy Y je snímán prostřednictvím snímacího prvku 11, umístěného pod úhlem 90°. Hnací prvek 12, umístěný pod úhlem 270°, umožňuje, aby gyroskop pracoval v nuceném zpětnovazebním režimu.
| Na vyobrazení podle | obr. | |
| podél čáry | A-A z obr. | 11, |
| rezonátoru | 5 podél osy | Y, |
| předmětného | ústroj í. |
je znázorněn pohled v řezu vedeném středem prstencového který ukazuje další detaily
Hnací a snímací prvky 9, 10, 11 a 12 osy X a Y jsou vodivými místy 13, uloženými na plochu vrstvy elektricky izolačního substrátu 14. Tato místa 13 jsou připojena drahami ke spojovacím podložkám (neznázorněno), které mohou být elektricky připojeny k řídicímu obvodu. Prstenec 5 je prostřednictvím nosných opěrných ramen (neznázorněno) připevněn ke středovému nosnému podstavci 6. Tento podstavec j> leží pod prstencem 5 a nosná opěrná ramena jsou volně zavěšena nad vrstvou substrátu 14. Hnací a snímací prvky 2 a 2 vidu mimo rovinu jsou pevně připevněny k substrátu 14 prostřednictvím drah a spojovacích podložek (neznázorněno), uspořádaných dle požadavků pro umožnění připojení k řídicímu obvodu.
* ·
Další různé modifikace gyroskopu podle obr. 11 a podle obr. 12 jsou rovněž možné. Přidání druhé vrstvy izolačního substrátu (neznázorněno), upevněné nad rezonátorovým prstencem 5, nebo zdvojení hnacích a snímacích míst 13 kondenzátorových prvků mimo rovinu může přispět ke zvýšení citlivosti gyroskopu kolem os X a Y. Dojde tak sice k vyšším nárokům na výrobní postup, přičemž však nedojde ke změně základních konstrukčních prvků nebo funkce gyroskopu.
Dvouosý gyroskop podle tohoto vynálezu může být vyráběn s využitím stejného vidu nosné frekvence mimo rovinu cos 2Θ v kombinaci s odezvovými vidy v rovině sin 3Θ a cos 3Θ. U této konstrukce je nezbytné udržovat souměrnost vidu v rovině cos 3Θ při oddělení vidových frekvencí mimo rovinu cos 2Θ. Toho lze dosáhnout s využitím dvanácti opěrných nosných ramen, majících úhlové rozložení 30°.
Vhodné uspořádání hnacích a snímacích prvků je znázorněno na vyobrazení podle obr. 13. Hnací prvky T_ vidu nosné frekvence jsou umístěny pod úhly 0° a 180°, přičemž snímací prvky 8^ jsou umístěny pod úhly 90° a 270°. Otáčení kolem osy X bude budit odezvový vid cos 3Θ. Snímací prvky 9 odezvového vidu osy X jsou umístěny pod úhly 0°, 120° a 240°, přičemž hnací prvky 10 jsou umístěny pod úhly 60°, 180° a 300°. Otáčení kolem osy Y bude budit odezvový vid sin 3Θ. Snímací prvky 11 vidu osy Y jsou umístěny pod úhly 30°, 150° a 270°, přičemž hnací prvky 12 jsou umístěny pod úhly 90°, 210° a 330°.
·· * » · • ·♦·· ·
Dvouosý gyroskop podle tohoto vynálezu může být vyráběn s využitím vidu nosné frekvence mimo rovinu cos 3Θ v kombinaci s odezvovými vidy sin 2Θ a cos 2Θ v rovině. Udržování vidové souměrnosti odezvových vidů v rovině bude vyžadovat využívání osmi nosných opěrných ramen, vzájemně od sebe vzdálených o 45°. Orientace hnacích a snímacích prvků pro toto provedení je znázorněna na vyobrazení podle obr. 14. Hnací prvky 7_ vidu nosné frekvence jsou umístěny pod úhly 0°, 120° a 240°, přičemž snímací prvky £3 jsou umístěny pod úhly 60°, 180° a 300°. Otáčení kolem osy X bude budit odezvový
| vid | cos | 2Θ. Snímací prvky 9 pro | tento | vid | jsou | umístěny | pod |
| úhly | 0° | a 180°, přičemž hnací | prvky | ío | jsou | umístěny | pod |
| úhly | 90° | a 270°. Otáčení kolem osy Y bude | budit | odezvový | vid | ||
| sin | 2Θ. | Snímací prvky 11 pro | tento | vid | jsou | umístěny | pod |
| úhly | 45° | a 225°, přičemž hnací | prvky | 12 | j sou | umístěny | pod |
| úhly | 135' | 0 a 315°. |
Dvouosý gyroskop podle tohoto vynálezu může rovněž být vyráběn s využitím tohoto stejného vidu nosné frekvence cos 3Θ v kombinaci s odezvovými vidy v rovině sin 4Θ a cos 4Θ. Udržování souměrnosti odezvových vidu v rovině u tohoto příkladu vyžaduje využívání šestnácti nosných opěrných ramen, které mají úhlové rozmístění 22,5°.
Orientace hnacích a snímacích prvků pro toto provedení je znázorněna na vyobrazení podle obr. 15. Hnací prvky 7. vidu nosné frekvence jsou umístěny pod úhly 0°, 120° a 240°, přičemž snímací prvky 8 jsou umístěny pod úhly 60°, 180° a
300°. Otáčení kolem osy X bude budit odezvový vid cos 4Θ. Snímací prvky 9 pro tento vid jsou umístěny pod úhly 0°, 90°, « · * ···*·
IΦ I *«« ·« fcfc ·· 4
180° a 270°, přičemž hnací prvky 10 jsou umístěny pod úhly 45°, 135°, 225° a 315°. Otáčení kolem osy Y bude budit odezvový vid sin 4Θ. Snímací prvky 11 pro tento vid jsou umístěny pod úhly 22,5°, 112,5°, 202,5° a 292,5°, přičemž hnací prvky 12 jsou umístěny pod úhly 67,5°, 157,5°, 247,5° a 337,5°.
Dvouosé rychlostní gyroskopy podle tohoto vynálezu mohou být vyráběny s využitím vyššího řádu kombinací vidů v rovině a mimo rovinu, přičemž vidy mimo rovinu mají cos ηθ, kde n je hodnota celého čísla o velikosti 2 nebo více, a odezvové vidy v rovině X a Y mají cos ηιθ a sin ηιθ, kde ni má hodnotu o velikosti n+1 nebo n-1, přičemž hodnoty odezvových vidů osy X a Y jsou shodné. To bude vyžadovat výrazně vyšší počet opěrných ramen pro udržování nezbytné vidové souměrnosti a rovněž větší počet hnacích a snímacích prvků. V důsledku toho tato provedení, přestože jsou uskutečnitelná, se stávají výrazně složitějšími z výrobního hlediska, a to zejména v malých velikostech.
Ve shora uvedeném popise je úhlové rozmístění hnacích a snímacích prvků provedeno s ohledem na pevnou referenční osu R v rovině rezonátoru. Rovněž u gyroskopu podle tohoto vynálezu pro snímání rychlosti kolem dvou os jsou rezonátor 2 a nosné opěrné prostředky dimenzovány tak, že vid nosné frekvence mimo rovinu cos ηθ a odezvové vidové frekvence mimo rovinu sin ηιθ a cos ηχθ jsou přizpůsobeny.
Claims (15)
1, hnací pohybu provozu
1. Dvouosý gyroskop, vyznačující se tím, že obsahuje v podstatě rovinný vibrační rezonátor, mající v podstatě prstencovítou nebo obručovítou konstrukci s vnitřním a vnějším obvodem probíhajícím kolem společné osy, hnací prostředky vidu nosné frekvence pro uvedení rezonátoru do vibrací ve vidu nosné frekvence mimo rovinu cos ηθ, kde n je celé číslo o velikosti 2 nebo více, nosné prostředky pro pružné nesení rezonátoru a pro umožnění vibrování rezonátoru v odezvě na hnací prostředky vidu nosné frekvence vzhledem k nosným prostředkům, snímací prostředky vidu nosné frekvence pro snímání pohybu rezonátoru mimo rovinu, snímací prostředky odezvového vidu osy X pro snímání pohybu rezonátoru odezvového vidu v rovině cos ηχθ v závislosti na otáčení gyroskopu kolem osy X, kde ni má hodnotu o velikosti η + 1 nebo η - 1, a snímací prostředky odezvového vidu osy Y pro snímání pohybu rezonátoru odezvového vidu v rovině sin ηιθ v závislosti na otáčení gyroskopu kolem osy Y, kde ni má hodnotu o velikosti η + 1 nebo η - 1, která je stejná jako pro odezvový vid osy X.
2. Gyroskop vyznačuj ící prostředky odezvového podle nároku se tím, že obsahuje vidu osy X pro anulování rezonátoru odezvového vidu osy X pro umožnění funkce gyroskopu v nuceném zpětnovazebním uspořádání.
3. Gyroskop podle vyznačující se prostředky odezvového vidu nároku 1 nebo 2, tím, že obsahuje hnací osy Y pro anulování pohybu ft · · • **·· · • * rezonátoru odezvového vidu osy Y pro umožnění funkce provozu gyroskopu v nuceném zpětnovazebním uspořádání.
4. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 1 až 3, vyznačující se tím, že nosné opěrné prostředky zahrnují množinu pružných ohebných ramen, ohebně připojujících rezonátor k opěře, přičemž počet ramen N je roven 4ni, a přičemž úhlové rozdělení mezi rameny je dáno vztahem 360°/N.
5. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že rezonátor je vyroben z kovu, křemene, polysilikonu nebo sypaného křemíku.
6. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 1 až 5, vyznačující se tím, že hnací prostředky a/nebo snímací prostředky jsou elektrostatické, elektromagnetické, piezoelektrické nebo optické.
7. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 3 až 6, vyznačující se tím, že videm nosné frekvence je vid mimo rovinu cos 26, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin Θ, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos Θ, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 0° a 180° vzhledem k referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 90° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují snímací prvek, umístěný pod úhlem 0° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prvky osy Y zahrnují snímací prvek, umístěný pod úhlem 90° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací * * * · i · · » « « · · * • » · * · · ·♦« »· ♦ · «·· umístěný pod přičemž hnací umístěný pod * ♦ · · « Β »«·· · • · ♦ « « prostředky osy X zahrnují hnací prvek, úhlem 180° vzhledem k pevné referenční ose, a prostředky osy Y zahrnují hnací prvek, úhlem 270° vzhledem k pevné referenční ose.
8. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 3 až 6, vyznačující se tím, že videm nosné frekvence je vid mimo rovinu cos 20, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin 30, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos 30, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 0° a 180° vzhledem k pevné referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 90° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 0°, 120° a 240° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy Y zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 30°, 150° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 60°, 180° a 300° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 90°, 210° a 330° vzhledem k pevné referenční ose.
9 9 · · » 9 9999 · snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 60°, 180° a 300° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 0° a 180° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy Y zahrnují dva snímací prvky, umístěné pod úhly 45° a 225° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 90° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují dva hnací prvky, umístěné pod úhly 135° a 315° vzhledem k pevné referenční ose.
9. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 3 až 6, vyznačující se tím, že videm nosné frekvence je vid mimo rovinu cos 30, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin 20, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos 20, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 0°, 120° a 240° vzhledem k pevné referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž
Φ 9 * » * ·
10. Gyroskop podle kteréhokoliv z nároků 3 až 6, vyznačující se tím, že videm nosné frekvence je vid mimo rovinu cos 3Θ, odezvovým videm osy X je vid v rovině sin 40, a odezvovým videm osy Y je vid v rovině cos 40, přičemž hnací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři hnací prvky, umístěné pod úhly 0°, 120° a 240° vzhledem k pevné referenční ose v rovině rezonátoru, přičemž snímací prostředky vidu nosné frekvence zahrnují tři snímací prvky, umístěné pod úhly 60°, 180° a 300° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy X zahrnují čtyři snímací prvky, umístěné pod úhly 0°, 90°, 180° a 270° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž snímací prostředky osy Y zahrnují čtyři snímací prvky, umístěné pod úhly 22,5°, 112,5°, 202,5° a 292,5° vzhledem k pevné referenční ose, přičemž hnací prostředky osy X zahrnují čtyři hnací prvky, umístěné pod úhly 45°, 135°, 225° a 315° vzhledem k pevné referenční ose, a přičemž hnací prostředky osy Y zahrnují čtyři hnací prvky, umístěné pod úhly 67,5°, 157,5°, 247,5° a 337,5° vzhledem k pevné referenční ose.
• · to • to··* * «V to · to ·«»·« * • · to«t »» toto ··to
11. Dvouosý gyroskop, vyznačující se tím, že byl v podstatě shora popsán a zobrazen na obr. 11, obr.
12, obr.
13, obr.
14 nebo obr.
15 jako modifikovaný nebo nikoliv prostřednictví jakéhokoliv z obr. 2a až obr. 10b přiložených výkresů.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9805358A GB2338781B (en) | 1998-03-14 | 1998-03-14 | A gyroscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ20003336A3 true CZ20003336A3 (cs) | 2001-12-12 |
Family
ID=10828483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ20003336A CZ20003336A3 (cs) | 1998-03-14 | 1999-03-10 | Dvouosý gyroskop |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1064519B1 (cs) |
| JP (1) | JP4375819B2 (cs) |
| CN (1) | CN1156675C (cs) |
| CA (1) | CA2323162A1 (cs) |
| CZ (1) | CZ20003336A3 (cs) |
| DE (1) | DE69900843T2 (cs) |
| DK (1) | DK1064519T3 (cs) |
| ES (1) | ES2169600T3 (cs) |
| GB (1) | GB2338781B (cs) |
| HU (1) | HUP0101044A3 (cs) |
| NO (1) | NO20004573D0 (cs) |
| PL (1) | PL342804A1 (cs) |
| WO (1) | WO1999047891A1 (cs) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2335273B (en) * | 1998-03-14 | 2002-02-27 | British Aerospace | A two axis gyroscope |
| EP1120630A1 (en) * | 2000-01-27 | 2001-08-01 | British Aerospace Public Limited Company | Micromachined angular rate sensor |
| GB0122252D0 (en) * | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
| GB0122256D0 (en) | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
| GB0122254D0 (en) | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
| GB0122253D0 (en) | 2001-09-14 | 2001-11-07 | Bae Systems Plc | Vibratory gyroscopic rate sensor |
| GB0206510D0 (en) | 2002-03-20 | 2002-05-01 | Qinetiq Ltd | Micro-Electromechanical systems |
| WO2009119204A1 (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ |
| WO2009119205A1 (ja) | 2008-03-25 | 2009-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 圧電体膜を用いた振動ジャイロ |
| WO2010067793A1 (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-17 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
| US9091544B2 (en) | 2010-11-05 | 2015-07-28 | Analog Devices, Inc. | XY-axis shell-type gyroscopes with reduced cross-talk sensitivity and/or mode matching |
| US20140013845A1 (en) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Robert E. Stewart | Class ii coriolis vibratory rocking mode gyroscope with central fixed post |
| US9869552B2 (en) | 2015-03-20 | 2018-01-16 | Analog Devices, Inc. | Gyroscope that compensates for fluctuations in sensitivity |
| US11777468B2 (en) * | 2018-03-05 | 2023-10-03 | Georgia Tech Research Corporation | Acoustically decoupled MEMS devices |
| CN213985134U (zh) * | 2020-07-09 | 2021-08-17 | 瑞声科技（南京）有限公司 | 一种mems陀螺仪及电子产品 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3206985A (en) * | 1963-01-04 | 1965-09-21 | Western Electric Co | Apparatus for simultaneously sensing movement of a body around a plurality of mutually perpendicular axes |
| GB8404668D0 (en) * | 1984-02-22 | 1984-03-28 | Burdess J S | Gyroscopic devices |
| JPH02198315A (ja) * | 1989-01-27 | 1990-08-06 | Canon Inc | リング状振動ジャイロ |
| DE69102590T2 (de) * | 1990-05-18 | 1994-10-06 | British Aerospace | Trägheitssensoren. |
| GB9207148D0 (en) * | 1992-04-01 | 1992-05-13 | British Aerospace | Planar rate sensor |
| US5616864A (en) * | 1995-02-22 | 1997-04-01 | Delco Electronics Corp. | Method and apparatus for compensation of micromachined sensors |
| GB2318184B (en) * | 1996-10-08 | 2000-07-05 | British Aerospace | A rate sensor |
-
1998
- 1998-03-14 GB GB9805358A patent/GB2338781B/en not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-03-10 CZ CZ20003336A patent/CZ20003336A3/cs unknown
- 1999-03-10 WO PCT/GB1999/000730 patent/WO1999047891A1/en not_active Ceased
- 1999-03-10 EP EP99907764A patent/EP1064519B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-10 PL PL99342804A patent/PL342804A1/xx unknown
- 1999-03-10 CN CNB998039357A patent/CN1156675C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-10 ES ES99907764T patent/ES2169600T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-10 DK DK99907764T patent/DK1064519T3/da active
- 1999-03-10 DE DE69900843T patent/DE69900843T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-10 CA CA002323162A patent/CA2323162A1/en not_active Abandoned
- 1999-03-10 JP JP54668899A patent/JP4375819B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-03-10 HU HU0101044A patent/HUP0101044A3/hu unknown
-
2000
- 2000-09-13 NO NO20004573A patent/NO20004573D0/no not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1156675C (zh) | 2004-07-07 |
| GB9805358D0 (en) | 1998-05-06 |
| PL342804A1 (en) | 2001-07-02 |
| WO1999047891A1 (en) | 1999-09-23 |
| EP1064519A1 (en) | 2001-01-03 |
| JP4375819B2 (ja) | 2009-12-02 |
| DK1064519T3 (da) | 2002-05-21 |
| NO20004573L (no) | 2000-09-13 |
| NO20004573D0 (no) | 2000-09-13 |
| ES2169600T3 (es) | 2002-07-01 |
| DE69900843D1 (de) | 2002-03-14 |
| DE69900843T2 (de) | 2002-11-07 |
| GB2338781B (en) | 2002-04-03 |
| GB2338781A (en) | 1999-12-29 |
| JP2002510398A (ja) | 2002-04-02 |
| CA2323162A1 (en) | 1999-09-23 |
| HUP0101044A2 (hu) | 2001-08-28 |
| HUP0101044A3 (en) | 2003-04-28 |
| EP1064519B1 (en) | 2002-01-30 |
| CN1292865A (zh) | 2001-04-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CZ20003337A3 (cs) | Gyroskop | |
| CA2217683C (en) | A rate sensor for sensing a rate on at least two and preferably three axes | |
| JP5690817B2 (ja) | 共振ジャイロスコープの連結構造 | |
| CN100386599C (zh) | 振动陀螺速度传感器 | |
| CZ20003336A3 (cs) | Dvouosý gyroskop | |
| JP4298503B2 (ja) | 振動ジャイロスコープレートセンサ | |
| KR20040031091A (ko) | 진동형 자이로스코프 속도 센서 | |
| WO2005024343A1 (en) | Isolated resonator gyroscope with isolation trimming using a secondary element | |
| JP2005503548A (ja) | 振動ジャイロスコープのレートセンサ |