CZ20021439A3 - Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám - Google Patents

Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám Download PDF

Info

Publication number
CZ20021439A3
CZ20021439A3 CZ20021439A CZ20021439A CZ20021439A3 CZ 20021439 A3 CZ20021439 A3 CZ 20021439A3 CZ 20021439 A CZ20021439 A CZ 20021439A CZ 20021439 A CZ20021439 A CZ 20021439A CZ 20021439 A3 CZ20021439 A3 CZ 20021439A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
temperature
temperature sensor
ceramic
resistant
filler
Prior art date
Application number
CZ20021439A
Other languages
English (en)
Inventor
Gert Lindemann
Wolfgang Dressler
Friederike Lindner
Horst Boeder
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ20021439A3 publication Critical patent/CZ20021439A3/cs

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/22—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a non-linear resistance, e.g. thermistor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/04—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient
    • H01C7/042—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient mainly consisting of inorganic non-metallic substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/58085—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
    • C04B35/58092—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides based on refractory metal silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/589—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • C04B35/5935—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering obtained by gas pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
    • C04B35/63—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B using additives specially adapted for forming the products, e.g.. binder binders
    • C04B35/632—Organic additives
    • C04B35/634—Polymers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3817—Carbides
    • C04B2235/3826—Silicon carbides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3852—Nitrides, e.g. oxynitrides, carbonitrides, oxycarbonitrides, lithium nitride, magnesium nitride
    • C04B2235/3873—Silicon nitrides, e.g. silicon carbonitride, silicon oxynitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3891—Silicides, e.g. molybdenum disilicide, iron silicide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
    • C04B2235/54—Particle size related information
    • C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
    • C04B2235/5445—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof submicron sized, i.e. from 0,1 to 1 micron
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/60—Aspects relating to the preparation, properties or mechanical treatment of green bodies or pre-forms
    • C04B2235/604—Pressing at temperatures other than sintering temperatures
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/77—Density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/80—Phases present in the sintered or melt-cast ceramic products other than the main phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)

Description

Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám
Oblast techniky
Vynález se týká keramického teplotního čidla, odolného proti vysokým teplotám a mechanicky stabilního. Vynález se dále týká použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám.
Dosavadní stav techniky
Pro zjišťování teploty je známá řada různých teplotních čidel. Jejich funkce je založena na tom, že se použijí různé kovové nebo keramické materiály, jejichž elektrický odpor se mění v závislosti na teplotě. Změna tohoto elektrického odporu může být vyhodnocena příslušným způsobem upraveným elektrickým obvodem jako využitelný signál, když má v zjišťovaném teplotním intervalu pravidelnou, například lineární, charakteristiku. V závislosti na použitém materiálu se může elektrický odporu přitom se stoupající teplotou zvyšovat nebo snižovat. V prvním případě se hovoří o kladném součiniteli teplotní závislosti neboli kladném teplotním součiniteli (PTC) elektrického odporu a v druhém případě o záporném součiniteli teplotní závislosti neboli záporném teplotním součiniteli (NTC) elektrického odporu.
Kovová teplotní čidla mají většinou charakteristiku PTC. Jsou však mechanicky nestabilní a zpravidla nemohou být použita jako samonosná teplotní čidla. Teplotní čidla ve formě drátů se obvykle vkládají do keramických, to znamená elektricky izolačních, a/nebo • ti ti ti ti ti ti · ti ··· titititi· titi ti • titititi titi titi ··· ti ti • ti titititi titi· • titi ti titi titi ·· titititi kovových ochranných trubek. Tato čidla jsou potom označována jako plášťové termočlánky. Dále jsou známá teplotní čidla, která se vyrábějí technologií tlusté vrstvy s následným společným vypalováním a umístí se na povrchu vhodného jednotlivého substrátu nebo se zapouzdří do dvouvrstvého nebo vícevrstvého substrátu. Tato teplotní čidla jsou označována jako tlustostěnné články.
Termočlánky PTC neboli termočlánky s kladným teplotním součinitelem jsou dále na bázi neušlechtilých kovů použitelné jen v omezeném teplotním rozsahu až do maximální teploty 800 °C. Tato známá provedení principiálně vyžadují nosič z inertního materiálu, který zajišťuje mechanickou podpěrnou funkci vlastního tepelného čidla. Protože se však i tyto pasivní součásti termočlánku zahřívají, dojde při změně signálu k určité setrvačnosti, což nevýhodně působí na rychlost zjišťování teploty.
Termistory s kladným teplotním součinitelem jsou teplotně závislé polovodičové odpory na bázi dotovaného titaničitanu barnatého (BaTiCh). Charakteristika odporu se vyznačuje tím, že odpor zůstává až do teploty Curieho prakticky konstantní a potom skokově o několik řádů vzroste. Typické termistory s kladným teplotním součinitelem mají využitelnou charakteristiku odporu pouze ve velmi úzkém omezeném teplotním rozsahu a jsou použitelné jen do teploty maximálně 500 °C.
Termistory se záporným teplotním součinitelem, označované jako odpory NTC, jsou převážně vyrobeny z oxidů přechodových kovů, do nichž se přimíchávají stabilizačně působící oxidy, aby charakteristika mohla být lépe reprodukována. Tyto termistory se záporným teplotním součinitelem jsou v důsledku své malé tepelné • « · · « · • · ·· · · · • · · · φ · · ♦ · · · · φ φ · ··· · φ· «· «φ ·Φ·« stability použitelné jen v omezeném rozsahu do teploty maximálně 1000 °C.
Úkolem vynálezu proto je vytvořit teplotní čidlo odolné proti velmi vysokým teplotám až do 1400 °C, které bude mechanicky stabilní a tedy samonosné. Dalším úkolem vynálezu je, aby toto teplotní čidlo umožňovalo měření teploty v teplotním rozsahu od mínus 40 °C do plus 1400 °C.
Podstata vynálezu
Uvedený úkol splňuje keramické teplotní čidlo podle vynálezu, jehož podstatou je, že obsahuje kompozitní materiál odolný proti teplotám až do alespoň 1400 °C z matrice odolné proti vysokým teplotám a z jedné nebo více vkladných sloučenin s výraznou charakteristikou kladného teplotního součinitele.
Teplotní Čidlo podle vynálezu je odolné proti extrémně vysokým teplotám, je mechanicky vysoce zatížitelné, a proto samonosné. Na základě této samonosné konstrukce je nyní možné umístit materiál citlivý na teplo přímo do měřené oblasti. Tím, že odpadají obvykle použité nosné materiály se svými pasivními objemy, se zvlášť výhodným způsobem zajistí rychlá změna odporu v čidle a proto i rychlé změření teploty.
Další výhoda teplotního čidla podle vynálezu spočívá v tom, že toto teplotní čidlo je stabilní jak v oxidační, tak i v redukční atmosféře.
• · · tototo <
• a t a · * «> a to · • •«•••to · · to · to · to»·· ··· ·♦· · ·· «· ·· ····
Tím, že materiály mají téměř lineární vzrůst elektrického odporu se zvyšující se teplotou v rozsahu od -40 °C do 1400 °C, může být měření teploty uskutečněno v celém rozsahu.
Výhodné je takové provedení teplotního čidla podle vynálezu, u něhož matrice odolná proti vysokým teplotám obsahuje trisiliciumtetranitrid a/nebo vkladná sloučenina je silicidem kovu.
Přitom se jako kov s výhodou použije molybden, niob, wolfram nebo titan.
Podle výhodného provedení vynálezu může být teplotní čidlo vyrobeno před svým slinováním izostatickým tvarovým lisováním zastudena.
Ohledně použitelných kompozitních materiálů se uvádí odkaz na spis DE 197 22 321 Al.
Při výrobě teplotních čidel z kompozitů SÍ3N4/MS12 (M = kov) se nejprve provede tváření kombinovaným axiálním/izostatickým lisováním zastudena.
Pro výrobu výchozích komponent a případných organických lisovacích a/nebo pojivových prostředků, jako jsou například polyvinylbutyraly, polyvinylalkoholy, polyvinylacetáty, polyethylenglykoly, v diskovém mlýnu v organickém rozpouštědle, například ethanolu, propanolu nebo izopropanolu, se použije předem upravený prášek S13N4 s odpovídajícími slinovacími přísadami, jako je například AI2O3, Y2O3 a příměsí Msi2, přičemž kovem M může být Mo, Nb, W, Ti, v různých hmotnostních podílech od 30 do 90 % hmotnostních.
·· · · · · · · « ·
5··· ···*« ft ft · • ft··· · · · ♦ · * · · ft • · · · · ft · · · • ·· · · · ft · ft· ftftft»
Předem upravený prášek S13N4 obsahuje 0-5 % hmotnostních, s výhodou 4,3 % hmotnostních, AI2O3 a 5-9 % hmotnostních, s výhodou 5,7 % hmotnostních, Y2O3.
Potom se rozemleté suspenze suší v rotačním odpařováku.
Dále se provede přimícháním MS12 tak, že vznikne keramický materiál, který je po slinovacím vypálení vodivý.
Vytvoření teplotního čidla se provede tak, že toto teplotní čidlo se v požadované geometrii předlisuje tlakem 40 MPa.
Další izostatické lisováni zastudena se provede při tlaku 200
MPa.
Druhá část výroby teplotního čidla z kompozitu SÍ3N4/MS12 se provede po tvarovém lisování a vyjmutí slinováním.
Hlavní slinování I se provede při definovaném parciálním tlaku N2, přičemž parciální tlak N2 ve slinovacím plynu mezi teplotou 1000 °C a slinovací teplotou, která není vyšší než 1900 °C, není větší než 1 MPa, přičemž celkový tlak slinovacího plynu se zvýší přimícháním inertního plynu, jako argonu, na hodnotu do 10 MPa.
Alternativně k hlavnímu slinování I se může provést hlavní slinování II při definovaném parciálním tlaku N2, přičemž tento parciální tlak N2 se musí s teplotou měnit tak, aby ležel uvnitř rozsahu, který je omezen následujícími závislostmi, přičemž celkový tlak slinovacího plynu se zvýší přimícháním inertního plynu, jako argonu, na hodnotu do 10 MPa:
horní hranice: log p(N2) = 7,1 566 ln(T) - 52,719 ···« * • · « • · ··· · · « ·«··»«· · • · · 4 ··· • · «· «· «··· dolní hranice: log p(N2) = 9,8279 In(T) - 73,988.
Údaje o teplotě T jsou uvedeny v °C, údaje o p(N2) jsou uvedeny v MPa.101. Slinovací teplota není vyšší než 19 °C. Vzniklé kompozity dosahují hustot větších než 95 % hustoty materiálu.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu je teplotní čidlo vyrobitelné keramizováním alespoň jednoho organokřemičitého polymeru a alespoň jednoho plniva, přičemž toto plnivo obsahuje alespoň jednu vodivou komponentu s vysokým bodem tání, přičemž podíl plniva činí 20-50 % objemových, vztaženo na směs polymeru a plniva bez rozpouštědla, přičemž prostřednictvím podílu plniva je nastavitelný specifický elektrický odpor.
V tomto případě se tedy vytvoří keramický materiál vyrobený keramizováním z plněného organického polymeru.
Ohledně použitých kompozitních materiálů se uvádí odkaz na spis DE 195 38 695 Al.
Podle ještě dalšího výhodného provedení teplotního čidla podle vynálezu obsahuje matrice příměsi z částic z tvrdého materiálu a/nebo jiné výztužné komponenty, přičemž teplotní čidlo je vyrobitelné pyrolýzou a reakčním procesem směsi sestávající z organokřemičitého polymeru a z kovového plniva, které reaguje s produkty rozkladu vzniklými při pyrolýze polymerních sloučenin.
Ohledně použitelných kompozitních materiálů se uvádí odkaz na spis EP 0 412 428 Al.
Ί
Φ « ΦΦΦΦ • Φ ·
Φ · ··· · φ φ • * · Φ Φ Φ Φ Φ Φ
Φ · Φ Φ Φ ΦΦΦ ··· · Φ· ΦΦ φ* ····
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude dále blíže objasněn na příkladném provedení podle přiložených výkresů, na nichž obr, 1 znázorňuje zařízení pro měření teploty, u něhož je použito teplotní čidlo podle vynálezu, obr, 2 závislost měrného elektrického odporu p na teplotě u příkladů 1-4 teplotního čidla podle vynálezu s kladným teplotním součinitelem a obr, 3 závislost měrného elektrického odporu p na teplotě u příkladu 5 teplotního čidla podle vynálezu s kladným teplotním součinitelem.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 je znázorněno teplotní čidlo 1 sestávající z kompozitního materiálu, které je ohraničeno dvěma připojovacími elektrodami 2., které jsou spojeny s přístrojem 4 na měření odporu. Teplotní čidlo I prochází oblastí 3 měření teploty.
Vynález bude blíže objasněn podle následujících příkladů.
Příklad 1
Použije se kompozitní komponenta A, která sestává ze 45 % hmotnostních S13N4, 2,35 % hmotnostních AI2O3, 2,65 % hmotnostních Y2O3 a 50 % hmotnostních M0S12, přičemž střední zrnitost použitého SÍ3N4 činí 0,7 pm a střední zrnitost použitého MoSi2 činí 1,8 pm. Tato kompozitní komponenta A se po přidání 0,5 % hmotnostních lisovacího pomocného prostředku z polyvinylbutyralu předem slisuje v axiálním lisovacím nástroji při ·· · · · · 0 0 0 « • · · · · ·· 0 0 0 • 0000 0 0 0 0 0*0 0 0 • · 0 0 0 · 0 0 0 ·*· 9 00 *· 00 ·000 tlaku 30 MPa, načež se dodatečně lisuje izostaticky zastudena při tlaku 200 MPa. Po slinování odpovídajícím hlavnímu slinování II vznikne teplotní čidlo se závislostí odporu na teplotě znázorněnou na obr. 2. Měrný odpor při pokojové teplotě činí asi 2.10'3 Qcm. Teplotní součinitel v teplotním rozsahu 20-1300 °C je asi 5.10“3 K'1,
Příklad 2
Použije se kompozitní komponenta B, která sestává ze 40,5 % hmotnostních S13N4, 2,12 % hmotnostních AI2O3, 2,38 % hmotnostních Y2O3 a 55 % hmotnostních M0S12, přičemž střední zrnitost použitého SÍ3N4 činí 0,7 pm a střední zrnitost použitého M0S12 činí 1,8 pm. Tato kompozitní komponenta B se po přidání 0,5 % hmotnostních lisovacího pomocného prostředku z poíyvinylbutyralu předem slisuje v axiálním lisovacím nástroji při tlaku 30 MPa, načež se dodatečně lisuje izostaticky zastudena při tlaku 200 MPa. Po slinování odpovídajícím hlavnímu slinování II vznikne teplotní čidlo se závislostí odporu na teplotě znázorněnou na obr, 2. Měrný odpor při pokojové teplotě činí asi 10'3 Qcm.
Příklad 3
Použije se kompozitní komponenta C, která sestává ze 36 % hmotnostních SÍ3N4, 1,89 % hmotnostních AI2O3, 2,11 % hmotnostních Y2O3 a 60 % hmotnostních M0S12, přičemž střední zrnitost použitého SÍ3N4 činí 0,7 pm a střední zrnitost použitého M0S12 činí 1,8 pm. Tato kompozitní komponenta C se po přidání 0,5 % hmotnostních lisovacího pomocného prostředku z poíyvinylbutyralu předem slisuje v axiálním lisovacím nástroji při tlaku 30 MPa, načež se dodatečně lisuje izostaticky zastudena při tlaku 200 MPa. Po slinování odpovídajícím hlavnímu slinování 11 •frfr frfrfr frfrfrfr • · · · · fr·· frfr fr • frfrfrfr · · frfr frfrfr fr fr • fr frfrfrfr frfrfr • frfr frfr frfr frfr ···· vznikne teplotní čidlo se závislostí odporu na teplotě znázorněnou na obr. 2. Měrný odpor při pokojové teplotě činí asi 2.10'4 Qcm.
Příklad 4
Použije se kompozitní komponenta D, která sestává ze 27 % hmotnostních S13N4, 1,43 % hmotnostních AI2O3, 1,57 % hmotnostních Y2O3 a 70 % hmotnostních M0S12, přičemž střední zrnitost použitého S13N4 činí 0,7 pm a střední zrnitost použitého M0S12 činí 1,8 pm. Tato kompozitní komponenta D se po přidání 0,5 % hmotnostních lisovacího pomocného prostředku z polyvinylbutyralu předem slisuje v axiálním lisovacím nástroji při tlaku 30 MPa, načež se dodatečně lisuje izostaticky zastudena při tlaku 200 MPa. Po slinování odpovídajícím hlavnímu slinování II vznikne teplotní čidlo se závislostí odporu na teplotě znázorněnou na obr. 2. Měrný odpor při pokojové teplotě činí asi 8.10'5 Ocm,
Příklad 5
Vyrobí se prekursorové keramické materiály E, F podle spisů EP 0 412 428 Al a DE 195 38 695 Al s kombinací plniva, která sestává z 7 % objemových AI2O3, 10 % objemových SiC, 20 % objemových M0S12, zbytek prekursorový základní materiál (prekursorový keramický materiál E), popřípadě 20 % objemových SiC, 20 % objemových MoSÍ2, zbytek prekursorový základní materiál (prekursorový keramický materiál F). Odpor prekursorových keramických materiálů E, F závislý na teplotě je znázorněn na obr. 3. Měrné elektrické odpory při teplotě 120 °C činí 8.10'3 Qcm (prekursorový keramický materiál E), popřípadě 5,6.10-3 Qcm (prekursorový keramický materiál F) a při teplotě 1300 °C činí 3,0.10-2 Qcm (prekursorový keramický materiál E), popřípadě • · · · · · « · • · · · · · · *·· · ·* ·« ···
1,9.10-2 Qcm (prekursorový keramický materiál F). Teplotní součinitele mají v teplotním rozsahu od pokojové teploty až do 1300 °C hodnotu 2,1.10-3 K1 (prekursorový keramický materiál Ej, popřípadě 3,1.10-3 K-1 (prekursorový keramický materiál F).

Claims (10)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Keramické teplotní čidlo, vyznačující se tím, že obsahuje kompozitní materiál odolný proti teplotám až do alespoň 1400 °C z matrice odolné proti vysokým teplotám a z jedné nebo více vkladných sloučenin s výraznou charakteristikou kladného teplotního součinitele.
  2. 2. Keramické teplotní čidlo podle nároku 1, vyznačující se tím, že matrice odolná proti vysokým teplotám obsahuje trisiliciumtetranitrid.
  3. 3. Keramické teplotní čidlo podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že vkládanou sloučeninou je silicid kovu.
  4. 4. Keramické teplotní čidlo podle nároku 3, vyznačující se tím, že kovem je molybden, niob, wolfram nebo titan.
  5. 5. Keramické teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že před svým slinováním je vyrobitelné izostatickým tvarovým lisováním zastudena.
  6. 6. Keramické teplotní čidlo podle jednoho z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že je vyrobitelné keramizováním alespoň jednoho organokřemičitého polymeru a alespoň jednoho plniva, přičemž toto plnivo obsahuje alespoň jednu vodivou komponentu s vysokým bodem tání, přičemž podíl plniva činí 20-50 % objemových, vztaženo na směs polymeru a plniva bez rozpouštědla, přičemž prostřednictvím podílu plniva je nastavitelný specifický elektrický odpor.
  7. 7. Keramické teplotní čidlo podle jednoho z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že matrice obsahuje příměsi z částic z tvrdého ·· · · · * • » to · · tototo • ··· · · · · · I • to · to to · toto· · toto »« ·♦ • · to • · • to • to ···· materiálu a/nebo jiné výztužné komponenty, přičemž teplotní čidlo je vyrobitelné pyrolýzou a reakčním procesem směsi sestávající z organokřemičitého polymeru a z kovového plniva, které reaguje s produkty rozkladu vzniklými při pyrolýze polymerních sloučenin.
  8. 8. Keramické teplotní čidlo, jehož samonosný materiál citlivý na teplo je umístěn přímo v měřené oblasti, přičemž materiál citlivý na teplo je kompozitním materiálem odolným proti teplotám až do alespoň 1400 °C, sestávajícím z matrice odolné proti vysokým teplotám a z jedné nebo více vkladných sloučenin s charakteristikou kladného teplotního součinitele.
  9. 9. Použití kompozitního materiálu odolného proti teplotám až do alespoň 1400 °C, sestávajícího z matrice odolné proti vysokým teplotám a z jedné nebo více vkladných sloučenin, jako odporu s charakteristikou kladného teplotního součinitele v teplotním čidlu.
  10. 10. Použití kompozitního materiálu odolného proti teplotám až do alespoň 1400 °C, sestávajícího z matrice odolné proti vysokým teplotám a z jedné nebo více vkladných sloučenin, jako samonosného materiálu citlivého na teplo s charakteristikou kladného teplotního součinitele v teplotním čidlu.
CZ20021439A 1999-10-29 2000-10-26 Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám CZ20021439A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19952127A DE19952127C2 (de) 1999-10-29 1999-10-29 Hochtemperaturbeständiger, mechanisch stabiler Temperaturfühler

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ20021439A3 true CZ20021439A3 (cs) 2002-09-11

Family

ID=7927303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20021439A CZ20021439A3 (cs) 1999-10-29 2000-10-26 Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám

Country Status (8)

Country Link
EP (1) EP1228350A1 (cs)
JP (1) JP2003513459A (cs)
KR (1) KR20020059420A (cs)
CZ (1) CZ20021439A3 (cs)
DE (1) DE19952127C2 (cs)
HU (1) HUP0203124A3 (cs)
PL (1) PL354526A1 (cs)
WO (1) WO2001033177A1 (cs)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100475590B1 (ko) * 2002-11-13 2005-03-11 김영호 칼코게나이드 비정질 반도체를 이용한 박막온도센서 및 그제조방법
DE102006062374A1 (de) * 2006-12-20 2008-06-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Keramisches elektrisches Heizelement
DE102008009817A1 (de) * 2008-02-19 2009-08-27 Epcos Ag Verbundwerkstoff zur Temperaturmessung, Temperatursensor aufweisend den Verbundwerkstoff und Verfahren zur Herstellung des Verbundwerkstoffs und des Temperatursensors
DE102008046319B3 (de) * 2008-08-29 2009-12-17 Technische Universität Dresden Resistiver Sensor zur Messung der Temperatur oder infraroter Strahlung und Verfahren zu dessen Herstellung
ITUB20150793A1 (it) * 2015-05-22 2016-11-22 Nuovo Pignone Srl Materiale composito a base di siliciuro e processo per produrlo

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60216484A (ja) * 1984-04-09 1985-10-29 株式会社日本自動車部品総合研究所 セラミツクヒ−タ
US4814581A (en) * 1986-10-09 1989-03-21 Nippondenso Co., Ltd. Electrically insulating ceramic sintered body
JPH02107572A (ja) * 1988-01-28 1990-04-19 Hitachi Metals Ltd 導電性サイアロン焼結体とヒータ
DE3926077A1 (de) * 1989-08-07 1991-02-14 Peter Prof Dr Greil Keramische verbundkoerper und verfahren zu ihrer herstellung
JP3124864B2 (ja) * 1993-04-26 2001-01-15 京セラ株式会社 窒化珪素質焼結体及びその製法
DE19538695C2 (de) * 1994-10-19 2003-05-28 Bosch Gmbh Robert Keramischer elektrischer Widerstand und dessen Verwendung
DE19722321A1 (de) * 1997-05-28 1998-12-03 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung von Formkörpern aus einem keramischen Verbundgefüge

Also Published As

Publication number Publication date
PL354526A1 (en) 2004-01-26
EP1228350A1 (de) 2002-08-07
HUP0203124A3 (en) 2004-07-28
WO2001033177A1 (de) 2001-05-10
HUP0203124A2 (hu) 2003-01-28
DE19952127A1 (de) 2001-05-17
KR20020059420A (ko) 2002-07-12
DE19952127C2 (de) 2001-10-18
JP2003513459A (ja) 2003-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6245439B1 (en) composite material and method for the manufacture
US4804823A (en) Ceramic heater
JP2642573B2 (ja) ＳｉＣ質焼結体
US4814581A (en) Electrically insulating ceramic sintered body
US6320167B1 (en) Sintered stick-shaped heater
EP0073523A2 (en) Sintered body of ceramics and preparation thereof
KR100459296B1 (ko) 저체적저항 재료, 질화알루미늄 소결체 및 반도체 제조용부재
KR100756619B1 (ko) 질화알루미늄 소결체, 반도체 제조용 부재 및 질화알루미늄소결체의 제조 방법
Guo et al. The effect of different sintering additives on the electrical and oxidation properties of Si3N4–MoSi2 composites
JP3889536B2 (ja) セラミックヒータ及びその製造方法、並びに該セラミックヒータを備えるグロープラグ
JPH08198680A (ja) セラミックス発熱体
US7229940B2 (en) Dense cordierite based sintered body and method of manufacturing the same
CZ20021439A3 (cs) Keramické teplotní čidlo a použití kompozitního materiálu odolného proti vysokým teplotám
EP1597738B1 (en) A ceramic mixture having negative temperature co-efficient, a thermistor containing the ceramic mixture and a process for preparing thereof
JPS6033265A (ja) ヒータ用セラミックス導体
JP3303729B2 (ja) 窒化アルミニウム系焼結体とその製造方法
Zhao et al. Microstructure and mechanical properties of titanium carbonitride whisker reinforced β-sialon matrix composites
JP2534847B2 (ja) セラミツクヒ−タ
WO2013141238A1 (ja) 低温用サーミスタ材料及びその製造方法
KR960016071B1 (ko) 판상세라믹 발열체
JP3605254B2 (ja) 半絶縁性窒化アルミニウム焼結体
JPH07109176A (ja) 反応焼結セラミックスとその製造方法
JP2000169234A (ja) 炭化珪素焼結体、その製造方法、それを用いたマイクロ波吸収体及びそれを用いた電力用抵抗体
JP3784129B2 (ja) 高強度アルミナ質焼結体
JPH11189458A (ja) 半導電性セラミックス及びその製造方法