CZ2002143A3 - Elektroluminiscenční zařízení a způsob jeho výroby - Google Patents

Description

Elektroluminiscenční zařízení a způsob jeho výroby.

Oblast techniky

Předložený vynález se vztahuje k elektroluminiscenčnímu zařízení, které obsahuje dvě elektrody a mezi nimi rozloženou alespoň jednu elektroluminiscenční organickou polovodičovou vrstvu, a substrát nesoucí toto zařízení stejné jako zdroj elektrického proudu připojený k elektrodám elektricky vodivým způsobem. Vynález se rovněž týká způsobu výroby takového zařízení.

Ve smyslu vynálezu, výraz „alespoň jedna elektroluminiscenční organická polovodičová vrstva* znamená elektricky vodivý, případně vícevrstvý organický materiál“, u kterého může vzniknout elektroluminiscenční jev, jestliže jsou do něj vloženy (injektovány) elektrody na jedné straně a na druhé straně kladné elektronové díry. Rekombinací těchto nábojů s protilehlými znaky se docílí výstupu světelného záření. Proto, ve smyslu vynálezu je řečeno, že v tomto případě se jedná o injektovanou elektroluminiscenci.

Dosavadní stav techniky

Jev elektroluminiscence, používající organické polovodiče byl odhalen poprvé v šedesátých letech dvacátého století (1960) a vývoj těchto elektroluminiscentních systémů založených na organických tenkých fóliích je datován do druhé poloviny osmdesátých let dvacátého století. Proto je možno citovat následující publikace: A.L.Kraft, A.C. Grimsdale, A.B. Holmes, Electroluminescent conjugated polymereSeeing plymers in a new light (Elektroluminiscenční konjugované polymery - pohled na polymery v novém světle), Angew. Chem. Int. Ed. (1998) 37, 402-428, a R.H. Friend, R.W. Gymer, A.B. Holmes, J.H, Burroughes, R.N. Marks, C. Taliani, D.D.C. Bradley, D,A. Dos Dantos, J.L. Bredas, M. logdlund, W.R. Salanek, Electroluminescence in conjugated polymere (Elektroluminiscence v konjugovaných polymerech), Nature/1999/397,121-128.

Ve většině případů, systémy používají sklo, které je bráno jako substrát.

Tenké vrstvy vytvářející eiektroluminiscenční systém jsou na ném postupně tttttttt tttt · « fl · · • tt · a a a*· · · ukládány. Později, v současné době, PET (polyethylen tereftalát) nahrazuje sklo. Sklo i PET je transparentní a přímo na tento substrát je nanesen oxid india a cínu /indium-tin oxide (ITO) vytvářející kladnou elektrodu k injektování kladných elektronových děr ve stejnosměrném proudu do organického polovodiče, který je naopak uložen v jedné nebo více vrstvách, pokud možno obsahujících odlišné molekuly na vrstvě ITO. Nakonec, tenká vrstva hliníku, hořčíku a vápníku je uložena vcelku, a vytváří zápornou elektrodu v systému stejnosměrného proudu, která má injektovat elektrony do organického polovodiče. Je to rekombinace elektronových děr, která vytváří světelnou emisi prostupující substrátem ze skla nebo PET.V systémech, které využívají střídavý proud (SCALE: Symmetrically Configured Alternating current Lifht Emiitting devices - Symetricky konfigurovaná zařízení střídavého proudu emitující světlo) byly zjištěny stejné elektrody (ITO na skle nebo na PET a hliník, méd nebo zlato), ale elektrody již nemusí mít odlišnou funkci.

Tato zařízení mají zpětnou vazbu tím, že substrát je tepelné izolačním materiálem. Při používání za vysoké výkonové hustoty elektrického proudu, tento substrát neumožní přiměřené uvolňování tepla a výsledkem může být porucha zařízení. Navíc, v případě skla je substrát křehký, zatímco v případě PET je flexibilní. Proto, žádný z těchto substrátů není rezistentní vůči mechanickým statickým a dynamickým tlakům, které se mohou vyskytnout při používání elektroluminiscenčn ího zařízení..

Jsou rovněž známy systémy, které jako zdroje elektroluminiscence používají „látky obsahující fosfor“. Tyto látky obsahující fosfor jsou anorganické sloučeniny, které jsou odděleny od vodivého pevného substrátu dielektrickou vrstvou, pokud možno s proměnlivou rezistencí. Látky obsahující fosfor jsou všeobecně uzavřeny například v pryskyřici schopné polymerizace. Jsou umístěny ve střídavém elektrickém poli, ve kterém se vytváří elektrony působením tepelného proudění a působením příslušných kladných elektronových děr vytvořených ve valenčním pásu. Tyto elektrony v důsledku kolize produkují excitace s následnou produkcí světla.

Toto je případ, který je nazýván intrinzická (vlastní) elektroluminiscence (viz například WO-97/46053 a US-A-3,626,240).

K excitaci „látek obsahujících fosfor je zapotřebí vytvořit pole střídavého proudu o dostatečné intenzitě a proto je nutná přítomnost dielektrické a/nebo rezistentní vrstvy. Výsledkem je vysoké elektrické napětí 60 až 500 V v oscilačním střídavém proudu při 50 Hz až 2,5 k Hz za vysoké tloušťky přibližně 100 pm.

·« · fc fcfc 9 9 9 1 9

11 119 · · fc····* fcfcfcfc fc

Úkolem předloženého vynálezu je poskytnutí elektroluminiscenčního zařízení s organickým polovodičem, který umožní jednoduchým způsobem obejít výše uvedené problémy.

Vynález předkládá elektroluminiscenční zařízení popsané v úvodu, ve kterém substrát tvoří kov nebo legovaná slitina. Takový substrát má dostatečnou tepelnou vodivost, která umožňuje propouštět teplo uvolňované elektroluminíscenčním systémem, zvláště je-li používán při vysoké proudové hustotě.

Legovanou slitinou je s výhodou ocel, například měkká/nízkouhlíková ocel nebo nerezová ocel. Vlastnosti oceli nabízí jak pevnost tak snadné obrábění, vlastnosti žádoucí pro řadu aplikaci v elektroluminiscenčních přístrojích, jako jsou osvětlovací panely a externí nebo interní osvětlení, dekorační systémy a pevné nebo programovatelné zobrazovací systémy.

Podle jednoho výhodného provedení vynálezu, první elektroda je umístěna na první straně řečené alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče, na prvním povrchu, který je otočený k substrátu, a druhá elektroda je umístěna na druhé straně řečené alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče, na druhém jeho povrchu, odvráceném od substrátu, přičemž tato druhá elektroda umožňuje alespoň částečné propouštění světla.

Jak již bylo zmíněno, zařízení může obsahovat jednu nebo více po sobě jdoucích vrstev elektroluminiscenčního organického polovodiče. První povrch a druhý povrch znamená v případě jednoduché vrstvy polovodič o dvou stěnách. V případě několika po sobě jdoucích vrstev, z této sady vrstev vystupují dvě externí stěny.

Použití substrátu vyrobeného z kovu, legované slitiny nebo oceli, proti dosavadnímu stavu, přináší možnost dvoustranného protilehlého uspořádání vrstev v elektroíuminiscenčním systému. Je to proto, že světlo emitované tímto zařízením již neprostupuje skrz substrát, nýbrž pouze skrz jednu z elektrod, která je vždy opačné uspořádána vůči substrátu, a skrz vnější uzavření z transparentního materiálu, který s výhodou nepropouští vodu a vzduch.

Při výrobě elektrod pro protilehlé umístěné vůči substrátu, je výhodné použít materiál co nejvíce transparentní, K výrobě elektrody je možno uvažovat například anorganické materiály, o kterých je známo, že jsou dosud používány »««· · · « * * · «·· ·· ·· ·· ·· ···* v elektroíuminiscenčních nebo fotovoltaických (fotonapěťových) zařízeních pro elektrody nesené přímo substrátem ze skla nebo PET. Jako příklady je možné citovat, výčet však není vyčerpávající, oxid india a cínu (ITO), oxid india a zinku (IZO) nebo systémy založené na oxidech india a (zinku, galia) nebo ZnO, SnO2, ZnS, CdS, ZnSe, ZnxCdlxO, ZnTe. Je rovněž možné použít organické transparentní elektricky vodivé materiály, jako jsou například p-dotované konjugované polymery, polypyrol, polytiofen, polyanilin, polyacetylen (CHx) stejné jako deriváty směsí těchto substancí. Je rovněž možné použít z několika těchto superponovaných vodivých vrstev, například vrstvy z ITO potažené konjugovaným polymerem.

K vytvoření transparentní materiálové vrstvy k zapouzdření je možno použít například tenké vrstvy kysličníku křemičitého uloženého například technikou (SiOx) zvanou PECVD (Physical Enhanced Chemical Vapour Deposition- parní povlakování chemickou cestou).

Podle výhodného provedení vynálezu, substrát je připojen k elektrickému zdroji proudu. Ocel je dobrým vodičem, proto může sloužit jako proudový napáječ pro jednu z elektrod, se kterou je v kontaktu. Substrát sám o sobě může sloužit jako elektroda.

Je samozřejmé, že je možné použít zařízení podle vynálezu, ve kterém substrát nese elektrodu přímo připojenou ke zdroji proudu aniž by proud procházel substrátem.

K vytvoření elektrody uložené na straně substrátu je možné použít jakýkoliv materiál přicházející v úvahu pro tyto účely. Zvláště mohou přicházet v úvahu materiály, indikované výše pro elektrodu odvrácenou od substrátu. Nicméně, je rovněž možné uvažovat pro vytvoření elektrody substrát, který je nejen ve formě ocelového plechu, ale ještě raději ve formě takového plechu, který se podrobí ošetření povrchu.

K ošetření povrchu je možné v rámci vynálezu jakékoliv ošetření, které zajistí přímo elektricky vodivou povrchovou Úpravu plechy nebo na povrchu plechu uloženou sloučeninu, která je dobrým vodičem elektrického proudu. Je to možné například především ošetřením ocelového plechu prostředky řízené oxidace tak, že alespoň na povrch se nanese větší část dobrého vodiče, například Fe304. Tato řízená oxidace může být prováděna známým způsobem, například elektrolyticky nebo oxidací ve vzduchu.

φφφφ · * · · · · · • Φ· · · * · · · «φ · φ · « · φ φ φ φ φφ» φφ φφ φφ «φ φφφφ

Ošetření povrchu je rovněž možné nanesením vodivého povlaku na ocelový plech, zvláště zinku, zinku lehce nebo více legovaného hliníkem, chrómem nebo zinkem. Takový povlak lze získat podle okolností elektrolytickým ukládáním nebo termálním postupným kalením, technikami, které znají experti.

Ošetření povrchu je rovněž možné nanesením na substrát tenké vrstvy kovu nebo slitiny jiné, než té, která tvoří substrát, například hliníku, hořčíku nebo vápníku na ocelový plech. Tato aplikace muže být uskutečněna známými prostředky, například odpařováním ve vakuu nebo katodovým rozprašováním (pokovováním).

Je rovněž možné uplatnit nanesení k obnaženému substrátu, nebo k substrátu již s ošetřeným povrchem, alespoň jeden vodivý polymer. Jako příklady uvádíme vodivý polymer, polyacetylen, polyanilin, polypyrol, polytiofen, jejich deriváty a směsi.

Podle jednoho výhodného provedení vynálezu, substrát je vyroben z oceli, ošetřené tak, aby odrážela světlo emitované organickou elektroluminiscenční polovodičovou vrstvou. Netransparentní ocel, sloužící jako substrát, může být pro tento účel například vyleštěna, stejně jako její netransparentní povlak. Je rovněž možné, aby elektroda zabezpečená na straně substrátu a jakýkoliv povrchový povlak substrátu, byl rovněž transparentní. Takové uspořádání umožňuje zvýšit, ne nevýznamně, účinnost emise světla celého systému.

Jako materiálu pro výrobu elektrody, zvláště v tomto případě, je možné použít materiál, indikovaný výše jako materiál vhodný k vytvoření elektrody situované na odvrácené straně k substrátu.

Nahrazení skla nebo PET, transparentní produkty, použité jako substrát, ocelí a netransparentními produkty, umožní použití obou stěn zařízení k vytvoření elektroluminiscenčních zařízení, jejichž obé stěny jsou identické nebo se mohou navzájem lišit (barvou nebo zobrazením).

Ostatní detaily a zvláštnosti zařízení podle vynálezu jsou vyznačeny v nárocích 1 až 17. Předložený vynález se týká rovněž způsobu výroby elektroluminiscenčního zařízení, který tvoří rozložení alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče mezi dvě elektrody, vytvoření nosného substrátu pro toto zařízení a připojení elektrod ke zdroji elektrického proudu. Podle tohoto vynálezu, součástí metody je rozložení první elektrody na substrát sestávající z kovu nebo legované slitiny, uložení řečené alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče na první elektrodu a uložení druhé elektrody, umožňující alespoň částečný prostup světla na řečenou alespoň jednu vrstvu organického polovodiče a pokud možno, uložení transparentního materiálu, nepropouštějícího vodu a vzduch na druhou elektrodu tak, aby přístroj byl zapouzdřen.

Ostatní detaily a zvláštnosti metody podle vynálezu jsou vyznačeny v nárocích až 24.

Ostatní detaily a zvláštnosti vynálezu vyplynou z následujícího popisu, který nepředstavuje jakékoliv omezení, s odkazy na přiložené výkresy k několika příkladům provedení zařízení podle vynálezu.

Objasnění výkresů

Obrázky 1 až 4, představují schematický průřez zařízením podle vynálezu. Dané rozměry nejsou měřítkem. Relativní rozměry mezi vrstvami rovněž nejsou rozhodující.

Příklady provedení

Obrázek 1 znázorňuje elektroluminiscenční zařízení napájené stejmosměrným proudovým zdrojem t Substrát 2 je vytvořen z ocelového plechu, vyrobeného například z měkké oceli, nese tenkou vrstvu 3 slitiny zinku a hliníku, sloužící jako záporná elektroda. Tato vrstva může být uložena na oceli například ponořením v termální lázni. Vrstva příslušného elektraluminiscenčního organického polovodiče 4 je nanesena k negativní elektrodě 3 například ve formě roztoku, ze kterého je následně rozpouštědlo odpařeno za atmosférického tlaku nebo částečně pod tlakem, nebo odpařováním-kondenzací oligomerů s dostatečně nízkou molekulární hmotností ve vakuu. Na protilehlé straně vůči substrátu 2 je s výhodou pod tlakem uložena na vrstvě organického polovodiče 4, například technikou reaktivního katodového pokovování, kladná elektroda 5^ která je transparentní, například na základě ITO,. Nakonec, k zajištěni ochrany celku, je nanesena transparentní vrchní vrstva 6 k zapouzdření, vyrobená například z kysličníku křemičitého, zejména metodou typu PECVD (Physical Enhanced Chemical Vapour Deposition), a na vnější stěně ocelového plechu 2 je nanesena izolace, například ve formě vrstvy barviva Z^které současně plní funkci elektrické izolace.

·· · • ·· • « ·· * ·· ·« ·· ····

Alespoň jedna vrstva elektroluminiscenčního organického polovodiče podle vynálezu je tenkou vrstvou o tloušťce, která činí maximálně jen několik mikrometrů.

V případě, který je znázorněn na obrázku 1, proudový zdroj 1 je přímo připojen ke každé elektrodě 3 a 5. Je samozřejmé možné připojit proudový zdroj 1 k ocelovému plechu 2, který pak slouží jako proudový napáječ elektrody 3.

Na obrázku 2 je zařízení provedeno podobným způsobem jako zařízení zobrazené na obrázku 1, s tou výjimkou, že je napojeno na dodávku proudu ze zdroje 8 střídavého proudu (AC). Tento je připojen na jedné straně k vrstvě elektrody založené na ÍTO 5 a na druhé straně k ocelovému plechu 2, který tvoří substrát a současně slouží jako protilehlá elektroda k elektrodě 5 . Tyto dvě elektrody slouží alternativně jako kladná elektroda a záporná elektroda.

Ke zdokonalení distribuce a průchodu elektřiny, plech je na povrchu potažen vrstvou organického vodiče & například CHx (polyacetylenem), který může být uložen na plechu technikou reaktivního katodového pokovování ve vakuu. Tato vrstva je s výhodou transparentní a povrch plechu potažený touto vrstvou 9 byl ošetřen předem, aby odrážel emitované světlo elektroluminiscencním systémem.

Jeho účinnost je takto zvýšena.

V příkladu provedení znázorněném na obrázku 2, je možno vidět dvě vrstvy 42 elektroluminiscenčních organických polovodičů, které mohou být v postupných vrstvách identické nebo odlišné.

Mezi vrstvy 4\4 a elektrodu na základě ITO je možno použít vrstvu polyacetylenu, která není znázorněna, stejnou jako je vrstva 9, rovněž ke zlepšení distribuce a průchodu elektřiny.

Příklad provedení znázorněný na obrázku 3 je identický s příkladem provedení na obrázku 1, s výjimkou substrátu 2, který zde slouží jako kladná elektroda. Z tohoto důvodu, substrát byl s výhodou vystaven oxidaci řízeným způsobem s tím, aby vrstva 10 například vykazovala vyšší obsah Fe3O4. Odvrácená elektroda H v tomto případě s výhodou obsahuje transparentní vodivý polymer.

V příkladu provedení podle obrázku 4, měkký ocelový plech slouží jako substrát 2 pro dvě elektroluminiscenční zařízení identická po obou svých stěnách.

Stěny substrátu byty aktivovány na povrchu plazmou ve vakuu a následné na každou z nich byla uložena hliníková vrstva 12 například odpařováním nebo katodovým pokovováním ve vakuu.

Mezi za sebou jdoucími vrstvami 4 .4 elektroluminiscenčního organického polovodiče a elektrodou vytvořenou vrstvou z ITO 5, byla použita vrstva polyacetylenu 13 ke zlepšení distribuce a průchodu elektrického proudu.

Uspořádání, tak jak je provedeno na tomto obrázku, nevyplývá ze známého stavu techniky v oblasti elektroluminiscenčních zařízení, neboť ve známých zařízeních' světlo musí prostupovat substrátem.

Je třeba zdůraznit, že předložený vynález se neomezuje na výše popsaná provedení, nýbrž připouští radu modifikací, aniž by došlo k odklonu z jeho rámce.

Například je možné zavést mezi substrát a alespoň jednu vrstvu elektroluminiscenčního organického polovodiče velmi tenkou vrstvu elektrické izolace, nicméně umožňující průchod elektronů kanálkovým systémem, například z hlediska homogenizace přenosu elektronů.

Ke zlepšeni kvantového pole, je možné rovněž zavést elektrofosforeskujíci molekuly alespoň do jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče.

Claims (24)

1. PATENTOVÉ NÁROKY

   1. EJektroluminiscenční zařízení obsahuje: dvě elektrody (2, 3, 5), mezi kterými je rozložená alespoň jedna vrstva elektroluminiscenčního organického polovodiče (4, 4', 4); substrát (2) nesoucí zařízení; a zdroj (1, 8) elektrického proudu připojený k elektrodám elektricky vodivým způsobem, vyznačující se t í m, že substrát (2) tvoří kov nebo legovaná slitina.
2. 2. Zařízení podle nároku 1,vyznačující se tím, že první eíektroda (2,3) je rozložena na první straně řečené alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče (4,4', 4) na jeho první stěně otočené směrem k substrátu (2) a tím, že druhá elektroda (5) je uložena na druhé straně řečené alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče (4, 4',

   4) na druhé jeho stěně, která je odvrácena od substrátu (2), přičemž tato druhá elektroda (5) alespoň částečně propouští světlo.
3. 3. Zařízení podle nároku 1 a 2, vy z n a ču j í c í se t í m, že legovanou slitinou je ocel.
4. 4. Zařízení podle nároku 1,2 a 3, vyznačující se t í m, že substrát (2) je připojen k proudovému zdroji (1, 8).
5. 5. Zařízení podle nároku 4, v y z n a č u j í c í se t í m, že substrát (2) tvoří jednu ze dvou řečených elektrod.
6. 6. Zařízení podle nároku 4, vyznačující se t í m, že substrát (2) vodivým způsobem spojen s jednou ze dvou řečených elektrod (3) a zajišťuje její proudové napájení.
7. 7. Zařízení podle kteréhokoliv z nároků 1až 3, vyznačující se tím, že substrát (2) nese jednu ze dvou řečených elektrod (3), která je připojena k proudovému zdroji (1,8).
8. 8. Zařízeni podle kteréhokoliv z nároků laz 6, vyznačující se t í m, že substrát (2) tvoří ocelový plech, který se podrobil ošetření povrchu,
9. 9. Zařízení podle nároku 8, vyzn a č u j íc í se t í m, že substrát (2), který se podrobí! povrchovému ošetření má na povrchu ocelového plechu elektricky vodivou sloučeninu (10).

   • 14 4 9 * · · · · • 44 4· ·· ·4 ** ····
10. 10. Zařízení podle nároku 8, v y z n a č u j í c í se t í m, že ocelový plech má na povrchu elektricky vodivý povlak (3, 9,12).
11. 11. Zařízení podle nároku 10, v yzn a č u j í c í se t í m, že povrchový povlak obsahuje alespoň jednu vrstvu materiálu zvoleného ze skupiny obsahující zinek, zinek legovaný hliníkem, hliník, hořčík, kalcium, cín a chrom.
12. 12. Zařízení podle nároku 10, vyznačující se tím, že povrchový povlak obsahuje alespoň jednu vrstvu alespoň jednoho vodivého polymeru.
13. 13. Zařízení podle nároku 12, v y z n a č u j í c í se t í m, že řečený alespoň jeden vodivý polymer je zvolen ze skupiny obsahující polyacetylen, polyanilin, polypyrol, polythiofen, jejich deriváty a směsi.
14. 14. Zařízenípodlekteréhokolivznároků8až 13, vyznačuj í cí se tím,že substrát (2) je vyroben z oceli, odrážející světlo emitované alespoň jednou vrstvou organického elektroluminiscenčního polovodiče (4,4', 4).
15. 15. Zařízení podle kteréhokoliv z nároků 2 až 14, vyznačující se tím, že druhá elektroda (5) na odvrácené straně, opačně k substrátu (2) má zapouzdření (6), vyrobené z transparentního materiálu, který nepropouští vodu a vzduch.
16. 16. Zařízení podle kteréhokoliv z nároků 1 až 15, v y z n a č u j í c í se t í m, že substrát má dvě části, elektricky vodivou část nesoucí elektroluminiscenční zařízení, připojenou k proudovému zdroji a vnější elektricky izolační část.
17. 17. Zařízení podle kteréhokoliv z nároků 1 až 15, v y z n a č u j í c í se t í m, že substrát má první povrch, na kterém je rozloženo řečené zařízení a druhý povrch, protilehlý k prvnímu, na opačné straně, na kterém je rozloženo dodatkové elektroluminiscenční zařízení podle nároku 1.
18. 18. Způsob výroby elektroluminiscenčního zařízení tvoří:

    - rozložení alespoň jednoho elektroluminiscenčního organického polovodiče mezi dvě elektrody,

    - podložení zařízení substrátem, a

    - připojení elektrod ke zdroji elektrického proudu, vyznačující se tím, že obsahuje

    - rozložení první elektrody na substrát z kovu nebo legované slitiny,

    - uložení alespoň jedné vrstvy elektroluminiscenčního organického polovodiče na první elektrodu,a

    - uložení druhé elektrody alespoň částečně propouštějící světlo na alespoň jednu vrstvu organického polovodiče,

    - a případně, zapouzdření zařízení transparentním materiálem, který nepropouští vzduch a vodu, jeho nanesením na druhou elektrodu.
19. 19. Způsob výroby podle nároku 18, vyznačující se t í m, že substrát obsahuje ocelový plech.
20. 20. Způsob výroby podle jednoho z nároků 18 a 19, vyznačující se tím, že součástí rozložení první elektrody je aktivace ocelového plechu, aby mohl plnit úlohu první elektrody a tím, že součástí způsobu výroby je elektrické spojení mezi zdrojem elektrického proudu a ocelovým plechem.
21. 21. Způsob výroby podle jednoho z nároků 18a 19, vyznačující se tím, že součástí rozložení první elektrody je nanesení první elektrody na povrch substrátu.
22. 22. Způsob výroby podle jednoho z nároků 18 až 21,vyznačuj ící se tím, že nejdříve je ošetřen povrch substrátu.
23. 23. Způsob výroby podle nároku 22, v y z n a č u j í c í se t í m, že ošetření povrchu se provádí potažením povrchu substrátu alespoň jednou elektricky vodivou sloučeninou.
24. 24. Způsob výroby podle nároku 22, v y z n a č u j í c í se t í m, že ošetření povrchu se provádí obohacením substrátu, alespoň na povrchu, elektricky vodivou sloučeninou.