CZ2002196A3 - Piezoelektrický ovladač - Google Patents

Piezoelektrický ovladač Download PDF

Info

Publication number
CZ2002196A3
CZ2002196A3 CZ2002196A CZ2002196A CZ2002196A3 CZ 2002196 A3 CZ2002196 A3 CZ 2002196A3 CZ 2002196 A CZ2002196 A CZ 2002196A CZ 2002196 A CZ2002196 A CZ 2002196A CZ 2002196 A3 CZ2002196 A3 CZ 2002196A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
piezoelectric actuator
electrodes
actuator according
piezoelectric
extensions
Prior art date
Application number
CZ2002196A
Other languages
English (en)
Inventor
Rodolf Heinz
Bertram Sugg
Steffen Jung
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ2002196A3 publication Critical patent/CZ2002196A3/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M2200/00Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
    • F02M2200/21Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements

Landscapes

  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

(57) Anotace:
Piezoelektrický ovladač je proveden s vícevrstvým uspořádáním piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami (2,3), uspořádanými mezi nimi, a se střídavým bočním vzájemným propojením vnitřních elektrod (2, 3) prostřednictvím vnějších elektrod (4,5) prostřednictvím kterých je přiváděno elektrické napětí. Vnější elektrody (4. 5) jsou umístěny rozděleně ve tvaru sítě nebo tkaniny vždy na jedné boční ploše a alespoň bodově spojeny s příslušnými vnitřními elektrodami (2,3). Mezi místy připojení je vytvořena prodloužitelná oblast. Vnější elektrody (4, 5) ve tvaru sítě nebo tkaniny jsou prodlouženy za vícevrstvé uspořádání piezoelektrických vrstev tak, že na prodlouženích (8, 9) je proveden přívod elektrického napětí.
• · • ·· • · ·« ····
01-4029-01-Ma PV 2002-196
Piezoelektrický ovladač
Oblast techniky
Vynález se týká piezoelektrického ovladače, s vícevrstvým uspořádáním piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi nimi, se střídavým bočním vzájemným propojením vnitřních elektrod prostřednictvím vnějších elektrod, prostřednictvím kterých je přiváděno elektrické napětí.
Dosavadní stav techniky
Je všeobecně známo, že při využití takzvaného piezoelektrického efektu může být vytvořen piezoelektrický element z materiálu s vhodnou krystalickou strukturou. Při připojení vnějšího elektrického napětí nastane mechanická reakce piezoelektrického elementu, která v závislosti na krystalické struktuře a oblastech připojení elektrického napětí představuje tlak nebo tah v předem stanoveném směru. Vytvoření tohoto piezoelektrického ovladače může být provedeno v několika vrstvách (vícevrstvé ovladače), přičemž elektrody, kterými se přivádí elektrické napětí, jsou vždy uspořádány mezi jednotlivými vrstvami.
Takové piezoelektrické ovladače mohou být například použity pro pohon neboli ovládání spínacích ventilů u vstřikovacích systémů paliva ve vozidlech. Při činnosti piezoelektrického ovladače je zejména zapotřebí dbát na to, aby mechanickými napětími ve vícevrstvém provedení nedocházelo ke vzniku žádných trhlin v oblasti vnějších připojovacích elektrod. Protože vnitřní elektrody, jejichž místa kontaktu jsou vždy provedena na jedné straně, jsou do vícevrstvého uspořádání integrována na způsob hřebenu, musí být elektrody následující za sebou ve směru vícevrstvého uspořádání navzájem propojeny vždy střídavě na protilehlých stranách.
Při ovládání piezoelektrického ovladače, to znamená při přivedení napětí mezi vnitřní elektrody uspořádané ve vícevrstvém provedení protilehle, vznikají v oblasti vnitřních elektrod, jakož i v oblasti vzájemného propojení na vnějších elektrodách různé mechanické síly, které způsobují vznik mechanických napětí a proto mohou způsobit vznik trhlin ve vnějších elektrodách. Vnější elektrody potom musí být opět opatřeny připojovacími elektrodami, které zpravidla musí odolávat i mechanickým napětím.
Podstata vynálezu
Výše uvedené nedostatky odstraňuje piezoelektrický ovladač, s vícevrstvým uspořádáním piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi nimi, se střídavým bočním vzájemným propojením vnitřních elektrod prostřednictvím vnějších elektrod, prostřednictvím kterých je přiváděno elektrické napětí, podle vynálezu, jehož podstatou je, že vnější elektrody jsou umístěny rozděleně ve tvaru sítě nebo tkaniny vždy na jedné boční ploše a alespoň bodově spojeny s příslušnými vnitřními elektrodami, přičemž mezi místy připojení je vytvořena prodloužitelná oblast, a přičemž vnější elektrody ve tvaru sítě nebo tkaniny jsou prodlouženy za vícevrstvé uspořádání piezoelektrických vrstev tak, že na prodlouženích je proveden přívod elektrického napětí.
Oproti obvyklému pájení těchto vnějších připojovacích vodičů přímo na vnější elektrodu u dolního dílu piezoelektrického ovladače v aktivní nebo neaktivní oblasti je podle vynálezu s výhodou dosaženo toho, že připojením k prodloužení vnější elektrody se vytvoří lepší a mechanicky robustnější spojení. U obvyklého pájení ···· ··· · · · · · · • « ···· · · · • * 4 * · ·· · · · · ··♦· na tkanině ve tvaru sítě nebo síta je přilnutí elektrod na piezoelektrickém ovladači velmi malé, takže i malé síly mohou způsobit odloupnutí vnější elektrody od piezoelektrického ovladače. Podle vynálezu se může potom i počet potřebných elektrických spojů v oblasti vícevrstvého uspořádání zmenšit.
Tím, že se vnější elektrody prodlouží za dolní díl piezoelektrického ovladače, v ideálním případě až k zástrčce, mohou být připojeny v nekritické oblasti. Toto provedení dále umožňuje jednak levnou výrobu a jednak v tomto místě snížení ohrožení funkčnosti a výpadku. Dále je kromě toho výhodné, že je možno upustit od vytvoření jinak nutné přídavné neaktivní oblasti na vícevrstvém uspořádání, čímž se umožní provedení kratší konstrukční délky a uspoří se další náklady.
Podle výhodného provedení vynálezu jsou prodloužení vedena elektricky izolovaně dolním dílem piezoelektrického ovladače, například z oceli nebo oxidu hlinitého A12O3, na němž je vícevrstvé uspořádání piezoelektrických vrstev upevněno. Přitom je rovněž výhodné, když jsou prodloužení pro upevnění a pro odlehčení zatížení v tahu vnějších elektrod zalita v zalévací hmotě, která je umístěna ve vybrání dolního dílu, popřípadě jsou obklopena tvarovým dílem z oceli nebo polymeru.
Prodloužení mohou být s výhodou vytvořena i tak, že vnější elektrody jsou v oblasti prodloužení zúženy. Dále mohou být vnější elektrody i v oblasti prodloužení přehnuty nebo svinuty.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu mohou vnější elektrody ve tvaru sítě nebo tkaniny sestávat z překřížené vodorovně a svisle položených vodičů nebo z vodičů položených šikmo pod úhlem 45°, které jsou navzájem spojeny pokovením z mědi nebo cínu.
» · · • · · • · · · » · · · · ·· ·· « · ·· ····
Tyto a další znaky dalších výhodných provedení vynálezu vyplývají jak z nároků, tak i z popisu a výkresů, přičemž jednotlivé znaky mohou být uplatněny jak samostatně, tak i ve formě podkombinací, a to jak u provedení podle vynálezu, tak i v jiných oblastech, a mohou představovat výhodná, jakož i sama o sobě ochrany schopná provedení, na která je zde požadována ochrana.
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude dále blíže objasněn na příkladech provedení piezoelektrického ovladače podle přiložených výkresů, na nichž obr. 1 znázorňuje řez piezoelektrickým ovladačem s vícevrstvým uspořádáním vrstev z piezoelektrického keramického materiálu a vnitřních elektrod, jakož i s vnější elektrodou prodlouženou na způsob sítě skrz dolní díl, obr. 2 řez podél čáry A-A provedením z obr. 1, obr. 3 ve zvětšeném měřítku detail v oblasti průchodu prodloužení vnější elektrody dolním dílem, obr. 4 provedení obměněné oproti provedení podle obr. 1 až 3, s přídavným tvarovým dílem v oblasti prodloužení, obr. 5 provedení obměněné oproti dřívějším provedením, s vnější elektrodou zužující se v prodloužení, obr. 6 provedení s vnější elektrodou v prodloužení přehnutou, obr. 7 provedení s vnější elektrodou v prodloužení svinutou, obr. 8 a 9 provedení s vnější elektrodou ve tvaru sítě nebo tkaniny a obr. 10 řez vodiči vnější elektrody ve tvaru sítě nebo tkaniny spojenými pokovením z mědi nebo cínu.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 a 2 je v různých řezech znázorněn piezoelektrický ovladač 1, který je známým způsobem vytvořen z piezoelektrických * »♦·· • · · • ·
«* ·· *· ♦·· · · ·· fólií z keramického materiálu s vhodnou krystalickou strukturou, takže při využití takzvaného piezoelektrického efektu dojde při připojení vnějšího elektrického napětí na vnitřní elektrody 2 a 3. vždy prostřednictvím vnějších elektrod 4 a 5_ k mechanické reakci piezoelektrického ovladače i v axiálním směru.
Piezoelektrický ovladač 1_ je prostřednictvím dolního dílu 6 pevně zalit v tělese 7, například v tělese vstřikovacího ventilu vozidla. Vnější elektrody 4 a 5. jsou opatřeny prodlouženími 8 a 9 na jejichž dolním konci může být umístěna vždy elektrická přípojka pro přívod napětí. V oblasti průchodu prodloužení 8 a 9 dolním dílem 6. jsou popřípadě tato prodloužení 8 a 9 navíc elektricky izolována, například pomocí smrštitelné hadice 10. Pro upevnění a odlehčení vnějších elektrod 4 a 5, popřípadě jejich prodloužení 8 a 9, v tahu jsou prodloužení 8 a 9 v dolním dílu 6 zalita v zalévací hmotě 12. Na obr. 3 je ve zvětšeném měřítku znázorněn detail oblasti průchodu prodloužení 8 a 9 podle jednoho příkladného provedení.
Příkladné provedení podle obr. 4 znázorňuje obměnu upevnění a odlehčení vnějších elektrod 4 a 5_, popřípadě jejich prodloužení 8 a 9, v tahu pomocí tvarového dílu 13, v němž je umístěna zalévací hmota 12, uloženého v dolním dílu £6.
Na obr. 5 až 7 jsou znázorněna různá provedení prodloužení 8. a
9. vnějších elektrod 4 a 5. podle vynálezu. Podle obr. 5 jsou prodloužení 8 a 9 pouze zúžena, což je vidět na průřezu prodloužení 9 znázorněném dole. Na obr. 6 je znázorněno prodloužení 9, které je složené do záhybů, a na obr. 7 je znázorněno prodloužení 9, které je svinuté, což je opět vidět na průřezu prodloužením 9. znázorněném dole.
Na obr. 5 je znázorněno síťovité provedení vnější elektrody 4, 5. s vodorovně a svisle uspořádanými vodiči 14 a 15. přičemž na obr. 9
·« · • v «««« » • · · · · · * 9 · · · · · • « · * » · · je znázorněno obdobné provedení, avšak s vodiči 14 a 15 uspořádanými se sklonem pod úhlem 45°. V řezu podle obr. 10 je vidět poloha navzájem překřížených vodičů 14 a 15 s kontaktními místy 16. vytvořenými například pokovením z mědi nebo cínu.

Claims (10)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Piezoelektrický ovladač, s vícevrstvým uspořádáním piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami (2, 3) uspořádanými mezi nimi, se střídavým bočním vzájemným propojením vnitřních elektrod (2, 3) prostřednictvím vnějších elektrod (4, 5), prostřednictvím kterých je přiváděno elektrické napětí, přičemž vnější elektrody (4, 5) jsou umístěny rozděleně ve tvaru sítě nebo tkaniny vždy na jedné boční ploše a alespoň bodově spojeny s příslušnými vnitřními elektrodami (2, 3), přičemž mezí místy připojení je vytvořena prodloužitelná oblast, a přičemž vnější elektrody (4, 5) ve tvaru sítě nebo tkaniny jsou prodlouženy za vícevrstvé uspořádání piezoelektrických vrstev tak, že na prodlouženích (8, 9) je proveden přívod elektrického napětí.
  2. 2. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, že prodloužení (8, 9) jsou elektricky izolovaně (10) vedena dolním dílem (6) piezoelektrického ovladače (1), na němž je upevněno vícevrstvé uspořádání piezoelektrických vrstev.
  3. 3. Piezoelektrický ovladač podle nároku 2, vyznačující se tím, že prodloužení (8, 9) jsou upevněna v zalévací hmotě (12), která je umístěna ve vybrání (11) dolního dílu (6).
  4. 4. Piezoelektrický ovladač podle nároku 3, vyznačující se tím, že zalévací hmota (12) je obklopena tvarovým dílem (13).
  5. 5. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že vnější elektrody (4, 5) jsou v oblasti prodloužení (8, 9) zúženy.
    • 4444 ·· ·»»·
    4 4 ·· · »· « · • 4
    4 4
    4 ·
  6. 6. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že vnější elektrody (4, 5) jsou v oblasti prodloužení (8, 9) složené do záhybů.
  7. 7. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že vnější elektrody (4, 5) jsou v oblasti prodloužení (8, 9) svinuté.
  8. 8. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že vnější elektrody (4, 5) ve tvaru sítě nebo tkaniny sestávají z překřížené položených vodičů (14, 15) skloněných pod úhlem 45°.
  9. 9. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že vnější elektrody (4, 5) ve tvaru sítě nebo tkaniny sestávají z překřížené vodorovně a svisle položených vodičů (14, 15).
  10. 10. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z nároků 8 nebo 9, vyznačující se tím, že vodiče (14, 15) jsou navzájem spojeny pokovením z mědi nebo cínu.
CZ2002196A 2000-05-25 2001-04-05 Piezoelektrický ovladač CZ2002196A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000126005 DE10026005B4 (de) 2000-05-25 2000-05-25 Piezoaktor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2002196A3 true CZ2002196A3 (cs) 2002-07-17

Family

ID=7643584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2002196A CZ2002196A3 (cs) 2000-05-25 2001-04-05 Piezoelektrický ovladač

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20020135275A1 (cs)
EP (1) EP1230688A1 (cs)
KR (1) KR20020024309A (cs)
CZ (1) CZ2002196A3 (cs)
DE (1) DE10026005B4 (cs)
WO (1) WO2001091199A1 (cs)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10259949A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
DE102005039548A1 (de) 2005-08-22 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit einer Steckverbindung
DE102005039567A1 (de) 2005-08-22 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102005039911A1 (de) * 2005-08-24 2007-03-08 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor
DE102005046122A1 (de) * 2005-09-27 2007-03-29 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE102006026643A1 (de) * 2006-06-08 2007-12-13 Robert Bosch Gmbh Piezoelekterischer Aktor
DE102006045663A1 (de) 2006-09-27 2008-04-03 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit einer Ummantelung, zur Anordnung in einem Piezoinjektor
DE102006051325A1 (de) 2006-10-31 2008-05-08 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls
DE102007001566A1 (de) 2007-01-10 2008-07-17 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Isolierung des aktiven Bereichs eines Piezoaktors und Piezoaktor
DE102007001563A1 (de) 2007-01-10 2008-07-17 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit zwischen einem Aktorkopf und einem Aktorfuß eingespannten Piezoelementen
DE102007004552A1 (de) 2007-01-30 2008-07-31 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einem Schutzschichtsystem
DE102007004559B4 (de) 2007-01-30 2020-02-27 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul oder Piezoaktor mit einem ummantelnden Schutzschichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines solchen Schutzschichtsystems
KR20080093281A (ko) * 2007-04-16 2008-10-21 주식회사 메디슨 초음파 진단용 프로브
DE102007040509A1 (de) 2007-08-28 2009-03-05 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit einer Umhüllung des Piezoaktors und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007042224A1 (de) 2007-09-05 2009-03-12 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren
DE102007044751A1 (de) 2007-09-19 2009-04-09 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren
DE102007046314A1 (de) 2007-09-27 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007046315A1 (de) 2007-09-27 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007056553A1 (de) 2007-11-23 2009-05-28 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul
DE102007060052A1 (de) 2007-12-13 2009-06-18 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor mit mehreren Aktiv- und/oder zusätzlichen Sensorbereichen
DE102008003840A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden
DE102008004227A1 (de) 2008-01-14 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
JP5180975B2 (ja) * 2008-02-18 2013-04-10 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子の製造方法および圧電振動子
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008055119A1 (de) 2008-12-23 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoinjektor
DE102009029213B4 (de) 2009-09-04 2017-03-30 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Aktor
DE102010022925B4 (de) 2010-06-07 2019-03-07 Tdk Electronics Ag Piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Ausbildung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Vielschichtbauelement
JP6017937B2 (ja) * 2012-11-28 2016-11-02 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
JP6062728B2 (ja) * 2012-11-30 2017-01-18 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
DE102013106223A1 (de) * 2013-06-14 2014-12-18 Epcos Ag Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung, einer Weiterkontaktierung und einem Verbindungselement
CN106461486B (zh) * 2014-07-04 2019-06-28 株式会社村田制作所 压电传感器及压电元件
DE102015213003A1 (de) * 2015-07-10 2017-01-12 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul und Piezoinjektor
DE102020113700B4 (de) 2020-05-20 2024-06-06 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Piezoelektrisches Funktionsnetzwerk

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3223801A1 (de) * 1982-06-25 1983-12-29 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung eines piezoelektrischen stellgliedes
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
JPH02266578A (ja) * 1989-04-06 1990-10-31 Nec Corp 電歪効果素子
DE19648545B4 (de) * 1996-11-25 2009-05-07 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden
DE19753930A1 (de) * 1997-12-05 1999-06-10 Ceramtec Ag Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren
DE19909452C1 (de) * 1999-03-04 2000-03-23 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928176A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor

Also Published As

Publication number Publication date
US20020135275A1 (en) 2002-09-26
WO2001091199A1 (de) 2001-11-29
DE10026005A1 (de) 2001-12-06
KR20020024309A (ko) 2002-03-29
EP1230688A1 (de) 2002-08-14
DE10026005B4 (de) 2004-07-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2002196A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
US8638025B2 (en) Piezo actuator with external electrode soldered to outer face
CZ2001576A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
US6522052B2 (en) Multilayer-type piezoelectric actuator
JP4546931B2 (ja) 目標破損個所を備えた圧電部材及び圧電部材を製造する方法並びに圧電部材の使用
CZ2001578A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
TW526635B (en) Piezo-bent-converter and its application
US8106566B2 (en) Piezoelectric component with outer contacting, having gas-phase deposition, method for manufacturing component and use of component
US8441175B2 (en) Piezoactuator having electrical contact
US6414418B1 (en) Piezoelectric actuator
US7276837B2 (en) Piezoelectric actuator
US9214621B2 (en) Piezoelectric multilayer component and method for forming an external electrode in a piezoelectric multilayer component
US9214620B2 (en) Piezoelectric actuator with outer electrode
US7259504B2 (en) Piezoelectric actuator
US8304963B2 (en) Piezoactuator with a predetermined breaking layer
TW543160B (en) Re-contacting for an electrical component as well as piezoelectrical component in several-layers construction
CZ2001665A3 (cs) Vícevrstvý piezoaktuátor pro dieselové vstřikovací zařízení s opatřením omezujícím tvoření prasklin a způsob jeho výroby
CN1473365A (zh) 压电执行元件
JP4921675B2 (ja) 圧電式多層アクチュエータ
US20200411244A1 (en) Multilayer Component with External Contact
CN1357086A (zh) 压电执行元件
US10707404B2 (en) Piezoelectric element
US20130248623A1 (en) Piezoelectric Component with Contact
US20210246993A1 (en) Valve Actuator and Valve
US7679273B2 (en) Strain tolerant metal electrode design