CZ2006607A3 - Aluminová vrstva se zlepšenou texturou - Google Patents

Aluminová vrstva se zlepšenou texturou Download PDF

Info

Publication number
CZ2006607A3
CZ2006607A3 CZ20060607A CZ2006607A CZ2006607A3 CZ 2006607 A3 CZ2006607 A3 CZ 2006607A3 CZ 20060607 A CZ20060607 A CZ 20060607A CZ 2006607 A CZ2006607 A CZ 2006607A CZ 2006607 A3 CZ2006607 A3 CZ 2006607A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
layer
thickness
hkl
μιη
cutting
Prior art date
Application number
CZ20060607A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ305851B6 (cs
Inventor
Sakari@Ruppi
Original Assignee
Seco Tools Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Tools Ab filed Critical Seco Tools Ab
Publication of CZ2006607A3 publication Critical patent/CZ2006607A3/cs
Publication of CZ305851B6 publication Critical patent/CZ305851B6/cs

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/36—Carbonitrides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
    • C04B41/5031—Alumina
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/40—Oxides
    • C23C16/403—Oxides of aluminium, magnesium or beryllium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
    • Y10T428/24372—Particulate matter
    • Y10T428/24413—Metal or metal compound
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y10T428/252—Glass or ceramic [i.e., fired or glazed clay, cement, etc.] [porcelain, quartz, etc.]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/266—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension of base or substrate

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

Nános se skládá z jedné nebo více žáruvzdorných vrstev, z nichž alespon jedna je vrstvou .alfa.-Al.sub.2.n.O.sub.3.n. silne texturovanou ve smeru <001>. Vrstva .alfa.-Al.sub.2.n.O.sub.3 .n.má tlouštku pohybující se mezi 1 a 20 .mi.m a je tvorena sloupcovitými zrny s podílem délky a šírky 2 až 15. Vrstva se vyznacuje silnou difrakcní špickou (006) zmerenou pomocí XRD a nízkou intenzitou difrakcních špicek (012), (104), (113), (024) a (116). Vrstvy .alfa.-Al.sub.2.n.O.sub.3 .n.texturované ve smeru <001> jsou nanášeny v teplotním rozmezí 750-1000.degree.C. Textura je rízena specifickým nukleacním postupem spojeným s použitím legovacích látek s obsahem síry a fluoru.

Description

Vynâlez se tÿkâ pokryté britové desticky navrzené k pouziti pfi obrâbëni kovù. Nânos vykazuje vÿbornou prilnavost k substrâtu a pokrÿvâ vsechny jeho funkcni câsti. Nânos se sklâdâ z jedné nebo vice zâruvzdornÿch vrstev, z nichz alespon jedna je vrstvou a-Al2O3 silnë texturovanou ve smëru <001>.
Dosavadni stav techniky
Techniky nanâseni vrstev (X-AI2O3 a K-AI2O3 s celkovou kontrolou nukleace byly uvedeny v prùmyslovém mëfitku teprve nedâvno a jasnë se pfitom ukâzalo, ze ve vëtsinë aplikaci fezâni kovù je CC-AI2O3 ne juprednosthovanë j si fâzi.
Experimentâlnë se potvrdilo, ze a-Al2O3 raùze bÿt nukleovân napf. na povrchu T12O3, pojicich vrstvâch (Ti,Al)(C,0) nebo rizenim oxidacniho potenciâlu pomoci smësi CO/CO2. Myslenkou vsech tëchto postupù je to, ze k nukleaci nesmi dojit na povrchu z TiC, TiN, Ti(C,N) nebo Ti(C,O,N) s plosnë centrovanou krychlovou strukturou, jinak se ziskâ K-AI2O3.
Vsechny zpùsoby podle dosavadniho stavu techniky pouzivaji rizeni nukleace k dosazeni rûstovÿch textur. Jak je popsâno v nedâvno vyslé publikaci (clânek S. Ruppihc „Nanâseni, mikrostruktura a vlastnosti nâtëru z CC-AI2O3
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 nanâsenÿch chemickÿm rozkladem par s rizenim textury v casopise Int. J. Refractory Metals & Hard Materials c. 23 (2005), str. 306-315), mùze manipulace s nukleacnimi povrchy vést k ziskâni rûstovÿch textur <012>, <104> nebo <003>. Naproti tomu spicka (006), kterâ indikuje pfitomnost textury <001>, vzdy chybi. Dale bylo pozorovâno, ze optimalizaci textury (X-AI2O3 je mozno dosâhnout zvÿseného vÿkonu. Je tak mozné zvÿsit vÿkon nâstroje uzpusobenim textury (X-AI2O3 pro rûznë materiâly aplikacniho nâstroje i obrobku pfi rezâni kovù.
Je-li nukleacni procès neùplnÿ, coz je pfipad mnoha vÿrobku podle dosavadniho stavu techniky, byly vyrobené vrstvy CX-AI2O3 vytvoreny alespon zcâsti nâsledkem fâzové transformace K-AI2O3 v CI-AI2O3. Tyto druhy vrstev OC-AI2O3 jsou slozeny z vëtsich zrn s transformacnimi trhlinami. Prokazuji o mnoho nizsi mechanickou pevnost a kujnost nez textury z (X-AI2O3 slozené z vrstev nukleovaného CC-AI2O3. Vÿslednë pak vznikâ potreba vyvinuti technik fizeni nukleacniho kroku a rùstové textury CC-AI2O3.
Moznosti fizeni polymorfu CC-AI2O3 na prûmyslové ùrovni bylo dosazeno na pocâtku 90. let u komercnich vÿrobkù zalozenÿch na U.S. patenta 5 137 774. Pozdëjsi modifikace tohoto patentu byly pouzivâny k naneseni a-Al2O3 s upfednostnovanÿmi texturami. V dokumentu U.S. 5 654 035 je zvefejnëna aluminovâ vrstva texturovanâ ve smëru <012> a v dokumentu U.S. 5 980 988 vrstva texturovanâ ve smëru <110>. V dokumentu U.S. 5 863 640 je zvefejnën upfednostnovanÿ rûst podél <012>, <104> nebo <110>. U.S. 6 333 103 popisuje modifikovanÿ zpùsob fizeni nukleace a rûstu CC-AI2O3 ve smëru <10 (10) >. U.S. 6 869 668 popisuje
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 zpûsob, jak na a-Al2O3 dosâhnout silné textury ve smëru <300> pomoci cinidla pro modifikaci textury (ZrCl4) . Postupy podle dosavadniho stavu techniky, jak jsou popsané vyse, pouzivaji vsechny teplotu pfi nanâseni okolo 1000°C.
U.S. 2004/0028951A1 popisuje techniku k dosazeni vÿrazné textury ve smëru <012>. Komerôni uspëch tohoto druhu vyrobku ukazuje dûlezltost zdokonalovânl postupu nanâseni a-Al2O3 chemiekym rozkladem par s orientael na plné rizenl textur.
Bezne pozorované difrakcni spicky a-Al2O3 jsou (012), (104), (110), (113) a (116). Difrakcni spicka (006) vzdy chybi v obrazech ziskanÿch z difrakcni rentgenové analÿzy (XRD) texturovanÿch vrstev a-Al2O3 podle predchoziho stavu techniky.
«vexe aetinrce pouzité v Mezinârodnich krystalografickych tabulkâch patri a-AlA do klencové krystalické soustavy, mâ romboedricky eentrovanou hexagonâlni krystalovou mrizku a jeho prostorovâ skupina mâ symbol R3o. Krystalické struktura a-AlA je casto popisovana jako slozenlna z kysllkovÿch iontû (A, B) v pribliznê sesterecném nejtêsnëjsim ulozenl (...ABAB,..) , pficemz hlinikové anronty zabiraji dvè tretiny osmistênové stërbiny. Hlinikové kationty mohou zaujmout tri rûznë vakanoe v kyslikové krystalové mrizce s uklâdaci sekvenci ...αβγαβγ.... Obvykle se oznacuji symboly c“, c’ a Jednotkovâ buüka α-Α12Ο3 obsahuje sest vrstev O a Al a mûze byt popsâna nâsledujioim zpûsobem: AcaBcpAcxBcaAcpBcz.
Zâznam JPDS, k nëmuz se budeme dâle odvolâvat, pouzivâ
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 hexagonâlni soustavu, a tedy se pouzivaji ctyri osy (hkil), kde i=- (h+k) . Casto se index i vypousti, jak je tomu i v tomto pripadë.
Podstata vynâlezu
Pfedmëtem tohoto vynâlezu je poskytnout vylepsenou aluminovou vrstvu, kde se fâze a-Al2O3 sklâdâ z nukleovaného α AI2O3 se silnou, plnë rizenou rûstovou texturou ve . smëru <001>.
Bylo prekvapivë zjistëno, ze textura ve smëru <001> mùze bÿt nanâsena rizenÿm zpûsobem. V obraze XRD je charakteristicka silnou spickou 006. Aluminovâ vrstva se silnou texturou ve smëru <001> je efektivnëjsi nez nâhodné nebo jiné rizené textury podle predchoziho stavu techniky. Dale je mozné dosâhnout zvÿsené pevnosti.
Prehled obrâzku na vykresech
Vynâlez bude blize vysvëtlen prostrednictvim konkrétnich pfikladu provedeni znâzornënÿch na vykresech, na kterÿch pfedstavuje obr. la rastrovaci elektronovou mikroskopii (SEM) sejmutÿ obraz typické povrchové morfologie vrstvy podle tohoto vynâlezu pri 15000-nâsobném zvëtseni obr. 1b tutéz vrstvu v pricném rezu pri 15000-nâsobném zvëtseni °hr. 2 obraz XRD vrstvy (X-AI2O3 podle tohoto vynâlezu
89667 (2789667...CZ.doc) 1.10.2006 pro 2θ=20 °-70
Priklady provedeni vynâlezu
Podle tohoto vynâlezu byla poskytnuta pokrytâ britovâ desticka do rezacich nâstrojù, ktera obsahuje substrat a nânos k pouziti v obrâbëni kovù.
Substrat obsahuje tvrdÿ material jako slinutÿ karbid, kovovâ keramika, keramika, vysokorychlostni ocel nebo supertvrdÿ material jako kubickÿ nitrid boru (CBN) nebo diamant, prednostnë slinutÿ karbid nebo CBN. Terminem CBN se zde mini britovâ desticka do rezaciho nâstroje, kterÿ obsahuje alespon 40 % obj . CBN. V uprednostnovaném provedeni je substrâtem slinutÿ karbid s povrchovou zonou obohacenou o nâvaznou fâzi.
Tvrdÿ a proti opotrebeni odolnÿ nânos vykazuje vynikajici prilnavost k substrâtu, pricemz zakrÿvâ vsechny jeho funkcni câsti. Sklâdâ se z jedné nebo vice zâruvzdornÿch vrstev, z nichz alespon jedna vrstva je silnë texturovanÿ CC-AI2O3 nanesenÿ na vazebnou vrstvu z (Ti,Al)(C,O,N) se zvysujicim se podilem aluminy smërem k vnëjsimu povrchu. Vrstva a-Al2O3 mâ tloustku 1-45 μιη a je slozen ze sloupcovitÿch zrn se silnou texturou ve smëru <001>. Pomër délky k slice aluminovÿch zrn se pohybuje mezi 2 a 15, prednostnë vice nez 5. Vrstva se vyznacuje silnou difrakcni spickou 006 zmërenou pomoci XRD a difrakcnimr spickami 012, 104, 113, 024 a 116 o nizké intenzitë.
Koeficienty textury (TC) pro vrstvu α AI2O3 se urci nâsledovnë:
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 nrz'-’zi I i-.
TC(hk,) = WMdi
ΣΙ(ΙύίΓ) -I lo(hkl)' kde :
I(hkl) = intenzita odrazu (hkl), I0(hkl) = standardni intenzita podle zâznamu JCPDS c. 46-1212, n = pocet odrazù pouzitÿch ve vÿpoctu, pouzité odrazy (hkl) jsou: (012), (104), (110), (600), (113) a (116) . Odraz (024) , coz je odraz druhého fadu (012) je z vÿpoctû vynat.
Textura aluminové vrstvy je definovâna nâsledovnë:
TC(006)>1,4, pfednostnë >3,0 a nejvÿhodnëji >4,0. Toto je znak silné textury ve smëru <001>.
Koeficienty textury pro difrakcni spicky (012), (104), (113), (024) a (116) jsou nizsi nez 0,5, pfednostnë nizsi nez 0,2 a nejvÿhodnëji nizsi nez 0,1.
Pfesnëji obsahuje nânos prvni vrstvu sousedici se substrâtem z Ti(C,N) (nanesenÿm pomoci CVD, chemického rozkladu par), TiN (CVD), TiC (CVD), Ti(C,N) (nanesenÿm pomoci MTCVD, chemického rozkladu par za stfednich teplot) , Zr(C,N) (MTCVD), Ti(B,C,N) (MTCVD), HfN (CVD) nebo jejich kombinaci, pficemz Ti(C,N) ma pfednostnë tloustku mezi 1 az 20 pm, pfednostnë mezi 1 a 10 pm. Mezi substrâtem a prvni vrstvou je pfednostnë mezivrstva TiN o tloustce mens! nez 3 pm, pfednostnë 0,5-2 pm.
V jednom provedeni podle tohoto vynâlezu je vrstva a-Al2C>3 nejvyssi vrstvou.
V jiném provedeni tohoto vynâlezu se nad vrstvou a-Al2O3
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 nachâzi vrstva karbidu, nitridu, karbonitridu nebo karboxynitridu jednoho nebo vice prvkù z mnoziny Ti, Zr a Hf, a to o tloust’ce od cca 0,5 do 3 pm, prednostnë 0,5 az 1,5 μιη. Alternativnë ma tato vrstva tloustku od cca 1 do 20 μιη, prednostnë 2 az 8 μιη.
V dalsim provedeni tohoto vynâlezu nânos obsahuje vrstvu K-AI2O3 a/nebo γ-Α1203, prednostnë nad vrstvou (X-AI2O3, o tloust’ce od 0,5 do 10, prednostnë od 1 do 5 μιη.
Vynâlez se rovnëz tÿkâ zdokonaleného zpùsobu vÿroby texturovanÿch vrstev (X-AI2O3 v teplotnim rozmezi od 9501000°C, prednostnë pfi 1000°C s rizenou texturou ve smëru <001>. Vrstva a-Al2O3 je nanesena na vazebné vrstvë (Ti,Al)(C,O,N) se stoupajicim obsahem hliniku smërem k vnëjsimu povrchu. Na tuto vrstvë je nanâsena vrstva Ti(C,O) s fizenÿm obsahem O. Podobnÿm zpùsobem, jako se pouzivâ v ALD (Atomic Layer Deposition; nanâseni atomârni vrstvy), se ziskâ velmi tenkâ vrstva oxidu titanu. Postup je nâsledujici: (i) vystaveni prekurzoru TiCl4, prednostnë spolu s AICI3, (ii) cistëni (N2) , (iii) vystaveni druhého prekurzoru (H2O), (iv) cistëni (N2). Doba trvâni krokù (i) a (iii) je 1-5 min, prednostnë v obojim pripadë 2 min, a u krokù (ii) a (iv) 2-10 min, prednostnë v obojim pripadë 5 min. Nanâseni vrstvy CX-AI2O3 zacina relativnë dlouhÿm, 30 az 120-minutovÿm, prednostnë 60-minutovÿm, nukleacnim krokem bez sloucenin obsahujicich siru nebo fluor. a-Al2O3 roste do pozadované tloustky za pouziti sloucenin s obsahem siry H2S nebo SO2, prednostnë H2S, zâroveh se slouceninami s obsahem fluoru SFg nebo HF, prednostnë SF6. Je-li α-Α12Ο3 korektnë nukleovân, dosâhneme po nanâsecim procesu za pouziti relativnë malého mnozstvi tëchto legovacich lâtek zâroven se
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 smësi plynù CO+CO2 v pomëru CO = 2xCO2 silné rùstové textury ve smëru <001>, a to fizenÿm zpùsobem. Dùlezitÿ rozdil oproti dosavadnimu stavu techniky je vedle postupu nukleace prâvë to, ze je textura fizena rovnëz bëhem rùstu samotného (X-AI2O3. Popsané textury neni mozné dosâhnout, nejsou-li jak nukleace, tak rùst korektnë fizeny. To je mozné vysvëtleni pro skutecnost, ze textura ve smëru <001> [difrakcni spicka (006)] byla dosud neznâmâ.
Detailni popis nukleacnich krokù:
1. Naneseni vazebné vrstvy o tloustce 0,1-1 pm ve smësi plynù se 2-3 % T1CI4 a AICI3 rostouciho od 0,5 do 6 %, 3-10 % CO2, 0,2-10 % CH3CN, 0,2-1,0 %, 2-10 % N2 a za pfebytku H2 pfi cca 750-1000°C, pfednostnë pfi 800°C a pfi tlaku 50-200 mbar.
2. Cisténi N2 po dobu 5 min.
3. Vystaveni vazebné vrstvy smësi plynù s 5-15 % T1CI4 a 5-20 % CO2 a 10-20 % Ar ve vodiku po dobu 5-15, pfednostnë 10 minut pfi min. 950-1000°C, pfednostnë pfi 1000°C a pfi tlaku 50-200 mbar.
4. Cisténi N2 po dobu 5 min.
5. Vystaveni vazebné vrstvy smësi plynù s 8-15 % T1CI4 a 0,5-2 % AICI3 ve vodiku po dobu 5-15, pfednostnë 10 minut pfi min. 950-1000°C, pfednostnë pfi 1000°C a pri tlaku 50-200 mbar.
6. Vystaveni smësi plynù 0,05-0,5 % H2O, pfednostnë 0,01 % za pfebytku H2.
7. Cisténi N2 po dobu 5 min.
8. Nukleace aluminové vrstvy pfi teplotë 950-1000°C na pozadovanou tloustku podle znâmého postupu nebo nanâseni aluminové vrstvy pfi 950-1000°C bez jakÿchkoli katalyzujicich prekurzorû.
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
9. Nanâseni aluminové vrstvy pfi teplotë 950-1000°C na pozadovanou tlousfku pfi teplotë 950-1000°C a pfi nanâsecim tlaku 50-200 mbar za pouziti 0,01-0,05 % H2S nebo SO2, pfednostnë H2S, a 0,01-0,02 % SFg nebo HF, pfednostnë SF6, jako katalyzâtorù. Spolecnë s CO se pouzivâ 1,0-4,5 % CO2 jako zdroj kysliku, pficemz se udrzuje pomër CO=2xCO2.
Priklad 1
Bfitové desticky ze slinutého karbidu se slitinou 5,9% Co a pfebytku WC (tvrdost okolo 1600 HV) byly pokryty vrstvou Ti(C,N) (MTCVD). Sifka vrstvy nanesené pomoci MTCVD byla cca 2 μιη. Na tuto vrstvu byla nanesena vrstva a-Al2Oa podle tohoto vynâlezu, kterou zde budeme nazÿvat Nânos a) . Nâsleduji podrobné udaje o postupu:
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
Krok 1: Vazebnâ vrstva 1
Smës plynù TiCl4 2,8 % CH3CN 0,7 % A1C13 Roste od 0,8 do 5,4 % CO 8,8 % CO2 2,2 % N2 5 % Pfebytek: H2
Doba trvâni 40 min
Teplota 1000°C
Tlak 100 mbar
Krok 2: Cistëni n2 Krok 3: Vazebnâ vrstva 2
Smës plynù TiCl4 θ % CO 12 % CO2 1,2 % Ar 5 % Pfebytek: H2
Doba trvâni 10 min
Teplota 1000°C
Tlak 100 mbar
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
Krok 3: (ALD alternative): a b) cistëni N2, c) vystaveni ) vystaveni T1CI4, H20, d) cistëni N2
a) T1CI4 AICI3 Prebytek: H2 5 min 9 % 1 %
c) H20 Prebytek: H2 2 min 0,1 %
b), d) n2 5 min 100 %
Teplota Tlak 1000°C 50 mbar
Krok 4 : Nukleace
Smës plynù AICI3 1,2 g, o
HC1 2,0 g, 0
C02 1,5 g. 0
CO 2,4 g, o
Prebytek: h2
Doba trvâni 60 min
Teplota 1000°C
Tlak 50 mbar
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
Krok 5: Nanâseni
Smës plynù A1C13 2,8 %
HC1 3 %
CO2 1,8 %
CO 3,6 %
H2S 0,01 %
sf6 0,01 %
Prebytek: h2
Doha trvâni 630 min
Teplota 1000°C
Tlak 70 mbar
Pfiklad 2
Nânos a) byl zkoumân difrakcnî rentgenovou analÿzou. Byly zjistëny texturové koeficienty vrstev a-Al2O3 a jsou uvedeny v Tab.l. Mikrofotografie ziskanâ SEM nânosu a) v pohledu shora s texturou ve smëru <001> je zobrazena na obr. la a v pricném rezu na obr. lb. Vrstva a-Al2O3 se sklâdala z sloupcovitÿch zrn. Difrakcnî rentgenovÿ obraz je zobrazen na obr. 2.
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
Tabulka 1
hkl Nanos a)
012 0,01
104 0, 06
110 0,01
006 5,91
113 0,00
116 0,02
Pfiklad 3
Nânosy, jez budeme oznacovat Nanos b), resp. c) s texturami ve smëru <012>, resp. <104> byly nanâseny podle dosavadniho stavu techniky (pfi tloust’ce nânosu cca 10 pm) . Nânosy byly zkoumâny difrakcni rentgenovou analÿzou. Byly zjistëny texturové koeficienty vrstev (Χ-ΆΙ2Ο3 a jsou uvedeny v Tab.2.
Tabulka 2
hkl Nanos a), vynâlez Nânos b) Nânos c)
012 0,03 5,15 0, 16
104 0,06 0,13 4,27
110 0, 01 0,10 0, 08
600 5,88 0,00 0, 09
113 0, 00 0,18 0,66
116 0,02 0,44 0,74
Pfiklad 4
Nânosy a), b) a c) nanesené na substrâtech obohacenÿch Co byly testovâny vzhledem k pevnosti pfi podélném ohÿbâni
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 s prerusovanÿmi zârezy.
Pracovni kus: Vâlcovitâ drâzkovanâ tyc
Materiâl: SS1672
Typ desticky: CNMG120408-M3
Rezaci rychlost: 140 m/min
Podâvâni: 0,1, 0,125, 0,16, 0,20, 0,25, 0,315,
0,4, 0,5, 0,63, 0,8 mm/ot. s postupnÿm zvysovânim po 10 mm délky zârezu Hloubka zârezu: 2,5 mm
Poznâmky: ohÿbâni za sucha
Kritéria zivotnosti nâstroje: postupnë zvysované podâvâni az do poruseni hrany. Bylo testovâno 10 hran kazdé varianty.
Desticky byly zkontrolovâny po 2 a 4 minutâch rezâni. Jak vyplÿvâ z Tab.3, pevnost hrany se podstatnë zlepsila, kdyz byla vrstva vyrobena podle tohoto vynâlezu.
Tabulka 3
Pokusnÿ nânos Prûmërné podâvâni pri poruseni (mm/ot.)
Nânos a (006), podle tohoto vynâlezu 0,50
Nânos b (012) 0,22
Nânos c (104) 0,36
Vÿsledky testu ukazuji (Tab.3), ze nânos podle vynâlezu (nânos a) vykazoval jasnë lepsi pevnostni vlastnosti nez nânos podle dosavadniho stavu techniky (nânosy bac).
89667 (2789667.CZ.doc) 1.10.2006
Pfiklad 5
Nânosy a), b) a c) byly testovâny vzhledem
k odstipâvâni hrany v podélném ohybu u litého zeleza.
Pracovni kus: Vâlcovitâ tyc
Materiâl: SS0130
Typ desticky: SNUN
Rezaci rychlost: 400 m/min
Podâvâni: 0,4 mm/ot.
Hloubka zârezu: 2,0 mm
Poznâmky: ohÿbâni za sucha
Desticky byly zkontrolovâny po 2 a 4 minutâch rezâni.
Jak vyplÿvâ z Tab.4, pevnost hrany vÿrobku podle dosavadniho stavu techniky byla podstatnë vylepsena, kdyz byla vrstva vyrobena podle tohoto vynâlezu.
Tabulka 4
Odprÿskâvâni hrany (%) po 2 min Odprÿskâvâni hrany (%) po 6 min
Nânos a), vynâlez 0 15
Nânos b) 0 18
Nânos c) 5 10
Pfiklad 6
Desticka z kubického nitridu boru (CBN) obsahujici aspon 90 % polykrystalického CBN (PCBN) byla pokryta podle tohoto vynâlezu a nanosem b) podle dosavadniho stavu techniky. Pokryta desticka z CBN byla porovnâna s nepokrytou destickou z CBN pfi fezani oceli obsahujici ferit. Je znâmo,
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 ze bor ma vysokou afinitu k feritu a pri vysokÿch rezacich rychlostech dochâzi k difuznimu opotrebeni.
Pracovni kus: Vâlcovitâ tyc
Materiâl: SS0130
Typ desticky: SNUN
Rezaci rychlost: 800 m/min
Podâvâni: 0,4 mm/ot.
Hloubka zârezu: 2,5 mm
Poznâmky: ohÿbâni za sucha
Tabulka 5
Zivotnost (min)
Pokrytÿ CBN, vynâlez 23
Pokrytÿ CBN, dosavadni stav, textura ve smëru <012> 14
Nepokrytÿ CBN 9
Jak je zrejmé z Tab.5, nânos podle tohoto vynâlezu mâ nad nânosem podle dosavadniho stavu techniky prevahu.
Priklad 7
Tvrdost a Youngùv modul pruznosti nânosù a)-c) zâroven s K-AI2O3 a stars! (Χ-ΆΙ2Ο3 podle dosavadniho stavu techniky byly zmefeny pomoci nanoindentace. Vÿsledky jsou shrnuty v Tab .6.
89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006
Tabulka 6
---------— Tvrdost (GPa) Youngùv modul (GPa)
Nanos a 28,92 444,42
Nânos b 27,31 419,53
Nânos c 28,81 441,17
Dosavadni CC-AI2O3 (bez textury) 25,79 385,45
K-AI2O3 23, 64 339,51
Nânos c) podle tohoto vynâlezu vykazuje nejvyssi hodnoty tvrdosti a modulu pruznosti, které jsou tesne nâsledovany hodnotami u nânosu c).

Claims (10)

1. Britovâ desticka pro rezaci nâstroje sklâdajici se ze substrâtu alespon zcâsti pokrytého nânosem o celkové tloustce 5-40 pm, prednostnë 5-25 μιη sklâdajiciho se z jedné nebo vice zâruvzdornÿch vrstev, z nichz alespon jedna vrstva je α-aluminovâ vrstva, vyznacujici se tim, ze tato aluminovâ vrstva je tvorenâ sloupcovitÿmi zrny (X-AI2O3 s uprednostnovanÿm smërem rùstu <001> s texturovÿmi koeficienty:
a) TC(OO6)>1,4, prednostnë >3,0 a nejvÿhodnëji >4,0, kde texturovÿ koeficient je definovân jako:
I(hkl) 1 Y^J(hkl£ -I Io(hkl) *n / Jn(hkl)' kde :
I(hkl) = namërenâ intenzita odrazu (hkl),
Io(hkl) = standardni intenzita podle zâznamu JCPDS c. 46-1212, n = pocet odrazù pouzitÿch ve vÿpoctu, pouzité odrazy (hkl) jsou: (012), (104), (110), (006), (113) a (116) .
2. Britovâ desticka pro rezaci nâstroje podle nâroku 1, vyznacujici se tim, ze aluminovâ sloupcovitâ zrna maji pomër délka/sirka 2 az 15, prednostnë 5 az 10.
3. Britovâ desticka pro rezaci nâstroje podle
27 89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 kteréhokoli z predchâzejicich nârokù, vyznacujici se tim, ze substrat obsahuje slinutÿ karbid prednostnë s povrchovou zénou obohacenou o vazebnou fâzi, CBN nebo sintrovanou slitinou CBN.
4. Britova desticka pro rezaci nâstroje podle kteréhokoli z predchâzejicich nâroku, vyznacujici se tim, ze nânos obsahuje prvni vrstvu prilehlou k zâkladu z Ti(C,N) (nanesenÿm pomoci CVD, chemického rozkladu par), TiN (CVD), TiC (CVD), Ti(C,N) (nanesenÿm pomoci MTCVD, chemického rozkladu par za stfednich teplot), Zr(C,N) (MTCVD), Ti(B,C,N) (MTCVD), HfN (CVD) nebo jejich kombinaci, pficemz Ti(C,N) mâ tloustku mezi 1 a 20 μιη, prednostnë tloustku mezi 1 az 10 μιη a vrstva OC-AI2O3 sousedici s prvni vrstvou mâ tloustku od cca 1 do 40 μη, prednostnë od 1 do 20 μιη, nejvÿhodnëji od 1 do 10 μιη.
5. Britovâ desticka pro rezaci nâstroje podle kteréhokoli predchâze j iciho nâroku, vyznacujici se tim, ze vrstva α-Α12Ο3 je nejvyssi vrstva.
6. Britovâ desticka pro rezaci nâstroje podle kteréhokoli z predchâzejicich nârokù, vyznacujici se tim, ze se nad vrstvou a-Al2O3 nachâzi vrstva karbidu, nitridu, karbonitridu nebo karboxynitridu jednoho nebo vice prvkù z mnoziny Ti, Zr a Hf, a to o tloustce cca 0,5 az 3 μιη, prednostnë 0,5 az 1,5 μιη.
7. Britovâ desticka pro rezaci nâstroje podle jednoho nebo vice z nârokù, vyznacujici se tim, ze se nad vrstvou CC-AI2O3 nachâzi vrstva karbidu, nitridu, karbonitridu nebo karboxynitridu jednoho nebo vice prvkù z mnoziny Ti, Zr
27 89667 (2789667_CZ.doc) 1.10.2006 a Hf, a to o tloustce od cca 1 do 20 pm, pfednostnë 2 az
8 pm.
8. Britova desticka pro fezaci nâstroje podle jednoho nebo vice z nâroku, vyznacujici se tim, ze se nad vrstvou OC-AI2O3 nachâzi vrstva K-AI2O3 a/nebo γ-Α1203, pfednostnë nad vrstvou (X-AI2O3, 0 tloustce od 0,5 do 10 pm, pfednostnë od 1 do 5 pm.
9. Bfitovâ desticka pro fezaci nâstroje podle jednoho nebo vice z nâroku, vyznacujici se tim, ze se mezi substrâtem a prvni vrstvou nachâzi pfednostnë mezivrstva TiN 0 tloustce mens! nez 3 pm, pfednostnë 0,5-2 pm.
10. Zpùsob vÿroby vrstvy (X-AI2O3 podle nâroku 1 v teplotnim rozmezi 750-1000°C, vyznacujici se tim, ze rûstu OC-AI2O3 je dosazeno optimalizaci jak nukleacniho povrchu, tak rûstu α-Α12Ο3 za pouziti prekurzorû obsahujicich siru a fluor, jako jsou H2S nebo SFg nebo SO2 nebo SFg.
CZ2006-607A 2005-09-27 2006-09-27 Aluminová vrstva se zlepšenou texturou CZ305851B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0502115A SE529051C2 (sv) 2005-09-27 2005-09-27 Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2006607A3 true CZ2006607A3 (cs) 2008-02-27
CZ305851B6 CZ305851B6 (cs) 2016-04-13

Family

ID=37930325

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2006-607A CZ305851B6 (cs) 2005-09-27 2006-09-27 Aluminová vrstva se zlepšenou texturou

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7993742B2 (cs)
JP (1) JP2007125686A (cs)
KR (1) KR101314504B1 (cs)
CN (1) CN1939715B (cs)
BR (1) BRPI0603957A (cs)
CZ (1) CZ305851B6 (cs)
SE (1) SE529051C2 (cs)

Families Citing this family (64)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4946333B2 (ja) * 2006-10-10 2012-06-06 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
SE531930C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för medelgrov till grov svarvn ing av rostfria stål och varmhållfasta legeringar
SE531929C2 (sv) * 2007-07-13 2009-09-08 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för svarvning av stål eller rostfritt stål
SE532023C2 (sv) 2007-02-01 2009-09-29 Seco Tools Ab Texturhärdat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
SE531938C2 (sv) * 2007-02-01 2009-09-15 Seco Tools Ab Belagt skärverktyg för fin till medelgrov svarvning av rostfria stål
SE531670C2 (sv) * 2007-02-01 2009-06-30 Seco Tools Ab Texturerat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning
SE532020C2 (sv) * 2007-09-13 2009-09-29 Seco Tools Ab Belagt hårdmetallskär för frästillämpningar och tillverkningssätt
SE532021C2 (sv) * 2007-09-13 2009-09-29 Seco Tools Ab CVD belagt hårdmetallskär för frästillämpningar och tillverkningssätt
SE532043C2 (sv) * 2007-10-10 2009-10-06 Seco Tools Ab CVD-belagt skär för fräsning samt tillverkningsmetod
GB2455993B (en) * 2007-12-28 2012-09-05 Hauzer Techno Coating Bv A corrosion resistant coated article
CN101959631B (zh) * 2008-02-27 2012-09-26 京瓷株式会社 表面被覆构件及切削工具
SE532047C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av gjutjärn
SE532048C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE532050C2 (sv) * 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE532049C2 (sv) 2008-03-07 2009-10-13 Seco Tools Ab Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
SE533154C2 (sv) * 2008-12-18 2010-07-06 Seco Tools Ab Förbättrat belagt skär för grov svarvning
SE533972C2 (sv) 2009-07-27 2011-03-15 Seco Tools Ab Finkornigt belagt hårdmetallskärverktygsskär för svarvning i härdat stål och verktygsstål
TWI495616B (zh) * 2009-11-20 2015-08-11 Sumitomo Chemical Co 用於製造單晶藍寶石之α－氧化鋁
JP5555835B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-23 国立大学法人東京工業大学 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法
JP5555834B2 (ja) * 2010-03-19 2014-07-23 国立大学法人東京工業大学 耐摩耗性にすぐれたミーリング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法
EP2395126A1 (en) 2010-06-08 2011-12-14 Seco Tools AB Textured alumina layer
EP2446988A1 (en) * 2010-10-29 2012-05-02 Seco Tools AB Cutting tool insert with an alpha-alumina layer having a multi-components texture
WO2012079769A1 (en) 2010-12-17 2012-06-21 Seco Tools Ab Coated cubic boron nitride tool for machining applications
US8507082B2 (en) 2011-03-25 2013-08-13 Kennametal Inc. CVD coated polycrystalline c-BN cutting tools
DE102011053705A1 (de) 2011-09-16 2013-03-21 Walter Ag Schneideinsatz und Verfahren zu dessen Herstellung
EP2570510B2 (en) * 2011-09-16 2019-02-13 Walter AG Sulfur containing alpha-alumina coated cutting tool
EP2570511B2 (en) † 2011-09-16 2025-08-06 Walter AG Grain boundary engineered alpha-alumina coated cutting tool
EP2604720A1 (en) 2011-12-14 2013-06-19 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool and method of manufacturing the same
CN103173761B (zh) * 2011-12-23 2015-08-19 株洲钻石切削刀具股份有限公司 改善涂层结构的切削刀具及其制备方法
JP5757232B2 (ja) * 2011-12-26 2015-07-29 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP5783061B2 (ja) * 2012-01-23 2015-09-24 三菱マテリアル株式会社 高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
ES2543579T3 (es) * 2012-02-15 2015-08-20 Ihi Hauzer Techno Coating B.V. Componentes de cojinete y cojinetes aislados frente a corriente
US9463513B2 (en) 2013-06-27 2016-10-11 Sandvik Intellectual Property Ab Coated cutting tool
RU2675190C2 (ru) * 2014-01-30 2018-12-17 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Покрытый оксидом алюминия режущий инструмент
EP2902528B1 (en) 2014-01-30 2016-06-29 Walter Ag Alumina coated cutting tool with zigzag alumina grain boundaries
RU2704949C2 (ru) 2014-12-19 2019-10-31 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Режущий инструмент с хогф-покрытием
KR102216097B1 (ko) * 2015-08-28 2021-02-15 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구 및 그 제조 방법
WO2017061059A1 (ja) 2015-10-09 2017-04-13 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
EP3311939B1 (en) * 2015-10-09 2019-06-12 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool
EP3360630B1 (en) * 2015-10-09 2020-02-19 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool
US10639724B2 (en) 2016-02-18 2020-05-05 Tungaloy Corporation Coated cutting tool
EP3263743A1 (en) 2016-06-29 2018-01-03 Sandvik Intellectual Property AB Cvd coated cutting tool
CN107557755B (zh) * 2016-07-01 2020-05-01 山特维克知识产权股份有限公司 具有{0 0 1}织构化κ-Al2O3层的CVD涂层切削工具
KR101687142B1 (ko) 2016-07-20 2016-12-15 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
JP6635340B2 (ja) * 2016-08-24 2020-01-22 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6210346B1 (ja) * 2016-11-02 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6210347B1 (ja) * 2016-11-04 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6210348B1 (ja) * 2016-11-08 2017-10-11 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US11286570B2 (en) 2017-01-26 2022-03-29 Walter Ag Coated cutting tool
US10865476B2 (en) * 2017-03-23 2020-12-15 Kennametal Inc. Control and characterization of texture in CVD α-Al2O3 coatings
JP6999383B2 (ja) * 2017-11-29 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN108411279B (zh) * 2018-03-30 2019-07-09 华中科技大学 一种高速钢刀具保护涂层的制备方法
CN112292482B (zh) * 2018-06-28 2023-09-08 山特维克科洛曼特公司 涂布的切削工具
JP6999585B2 (ja) * 2019-01-18 2022-01-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP7055761B2 (ja) * 2019-02-15 2022-04-18 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JP6876278B2 (ja) * 2019-05-14 2021-05-26 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US12163248B2 (en) 2019-05-21 2024-12-10 Kennametal Inc. Quantitative textured polycrystalline coatings
CN110541102A (zh) * 2019-08-30 2019-12-06 广东技术师范大学 一种直接涂覆cbn涂层的涂层梯度硬质合金刀具及其制备方法
EP3848485A1 (en) 2020-01-10 2021-07-14 Sakari Ruppi Improved alpha alumina layer deposited with controlled textures
EP3848484A3 (en) 2020-01-10 2021-09-15 Sakari Ruppi Improved alumina layer deposited at low temperature
CN117836464A (zh) 2021-08-30 2024-04-05 肯纳金属公司 表面涂覆的切削工具
CN114289745B (zh) * 2021-12-29 2023-08-08 厦门钨业股份有限公司 一种切削工具
KR102425215B1 (ko) 2022-03-08 2022-07-27 주식회사 와이지-원 피복 절삭공구 및 그 코팅층 형성방법
US20260115806A1 (en) * 2024-10-29 2026-04-30 Kennametal Inc. Cutting tools having multilayer coatings

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69007885T2 (de) * 1989-07-13 1994-07-28 Seco Tools Ab Mit mehreren Oxiden beschichteter Karbidkörper und Verfahren zu seiner Herstellung.
DE4110005A1 (de) * 1991-03-27 1992-10-01 Krupp Widia Gmbh Verbundkoerper, verwendung des verbundkoerpers und verfahren zu seiner herstellung
US5275882A (en) * 1992-02-03 1994-01-04 General Electric Company Method for improving adhesion of aluminum layers to thermoplastics and article
SE501527C2 (sv) * 1992-12-18 1995-03-06 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE502174C2 (sv) * 1993-12-23 1995-09-04 Sandvik Ab Sätt och alster vid beläggning av ett skärande verktyg med ett aluminiumoxidskikt
SE504968C2 (sv) * 1994-11-15 1997-06-02 Sandvik Ab Metod att belägga ett skärverktyg med ett skikt av alfa-Al2O3
SE514181C2 (sv) * 1995-04-05 2001-01-15 Sandvik Ab Belagt hårmetallskär för fräsning av gjutjärn
SE509560C2 (sv) * 1996-09-06 1999-02-08 Sandvik Ab Belagt hårdmetallskär för bearbetning av gjutjärn
JP3678924B2 (ja) * 1998-11-05 2005-08-03 日立ツール株式会社 酸化アルミニウム被覆工具
US6139922A (en) * 1999-05-18 2000-10-31 Gelest, Inc. Tantalum and tantalum-based films formed using fluorine-containing source precursors and methods of making the same
SE519339C2 (sv) * 2000-11-22 2003-02-18 Sandvik Ab Skärverktyg belagt med aluminiumoxid och sätt att tillverka detsamma
SE522736C2 (sv) * 2001-02-16 2004-03-02 Sandvik Ab Aluminiumoxidbelagt skärverktyg och metod för att framställa detsamma
US6733874B2 (en) * 2001-08-31 2004-05-11 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated carbide alloy cutting tool
SE525581C2 (sv) * 2002-05-08 2005-03-15 Seco Tools Ab Skär belagt med aluminiumoxid framställt med CVD
JP2004188500A (ja) * 2002-06-28 2004-07-08 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
AU2003254888A1 (en) * 2002-08-08 2004-02-25 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho PROCESS FOR PRODUCING ALUMINA COATING COMPOSED MAINLY OF Alpha-TYPE CRYSTAL STRUCTURE, ALUMINA COATING COMPOSED MAINLY OF Alpha-TYPE CRYSTAL STRUCTURE, LAMINATE COATING INCLUDING THE ALUMINA COATING, MEMBER CLAD WITH THE ALUMINA COATING OR LAMINATE COATING, PROCESS FOR PRODUCING THE MEMBER, AND PHYSICAL EVAPORATION APPARATU
JP2004284003A (ja) * 2003-02-28 2004-10-14 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP2004299021A (ja) * 2003-04-01 2004-10-28 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具
SE526526C3 (sv) * 2003-04-01 2005-10-26 Sandvik Intellectual Property Sätt att belägga skär med A1203 samt ett med A1203 belagt skärverktyg
EP1477581A1 (en) * 2003-05-10 2004-11-17 Seco Tools Ab Enhanced alumina layer produced by CVD
SE526602C2 (sv) * 2003-10-27 2005-10-18 Seco Tools Ab Belagt skär för grovsvarvning
JP2005238437A (ja) * 2004-01-27 2005-09-08 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層が高速切削ですぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆サーメット製切削工具
JP2005313242A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Mitsubishi Materials Corp 硬質被覆層がすぐれた耐熱衝撃性を有する表面被覆サーメット製切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070035454A (ko) 2007-03-30
JP2007125686A (ja) 2007-05-24
SE529051C2 (sv) 2007-04-17
KR101314504B1 (ko) 2013-10-07
BRPI0603957A (pt) 2007-08-21
CZ305851B6 (cs) 2016-04-13
SE0502115L (sv) 2007-03-28
US7993742B2 (en) 2011-08-09
CN1939715B (zh) 2010-06-23
CN1939715A (zh) 2007-04-04
US20070104945A1 (en) 2007-05-10
US20120015148A1 (en) 2012-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7993742B2 (en) Alumina layer with enhanced texture
EP1905870A2 (en) Alumina layer with enhanced texture
US7163735B2 (en) Enhanced alumina layer produced by CVD
US7955651B2 (en) Enhanced alumina layer with texture
EP1655392B1 (en) Alumina layer with enhanced texture
EP1953258B1 (en) Texture-hardened alpha-alumina coated tool
EP2497590B1 (en) Coated tool
EP1655388B2 (en) Alumina layer with controlled texture
KR101104493B1 (ko) 절삭공구 또는 내마모성 공구용 표면 피복 박막
JPH05230620A (ja) セラミック酸化物被覆の硬質材料焼結体
IL160911A (en) Oxide coated cutting tool and method for the preparation thereof
WO2014153324A1 (en) COATED BODY WHEREIN THE COATING SCHEME INCLUDES A COATING OF LAYER OF TiAL2O3 AND METHOD OF MAKING THE SAME
JP3910881B2 (ja) 酸化膜被覆工具
IL149884A (en) Oxide coated cutting tool
US7820308B2 (en) Surface-coated hard material for cutting tools or wear-resistant tools
EP1477581A1 (en) Enhanced alumina layer produced by CVD
US20070148498A1 (en) Coating materials for a cutting tool / an abrasion resistance tool
KR100991355B1 (ko) 절삭공구 / 내마모성 공구용 표면 피복부재용 박막
JPWO1999052662A1 (ja) 被覆超硬合金切削工具