CZ2013164A3 - Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu - Google Patents
Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu Download PDFInfo
- Publication number
- CZ2013164A3 CZ2013164A3 CZ2013-164A CZ2013164A CZ2013164A3 CZ 2013164 A3 CZ2013164 A3 CZ 2013164A3 CZ 2013164 A CZ2013164 A CZ 2013164A CZ 2013164 A3 CZ2013164 A3 CZ 2013164A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- displacement
- coherence
- rotation
- coherent
- calibration
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000011835 investigation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000005210 holographic interferometry Methods 0.000 description 3
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000005314 correlation function Methods 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 1
- 238000011158 quantitative evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
- G01B11/162—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means by speckle- or shearing interferometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy otáčejícího se nebo posunujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti, kdy sledovaný objekt (11) je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje (22) záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra. Podstata řešení spočívá v tom, že nejprve, ve fázi kalibrace, je pole koherenční zrnitosti generované zkoumaným otáčejícím se nebo posunujícím se objektem (11) pro každou polohu jeho otočení nebo posunutí zaznamenáváno na obrazový snímač (5) spolu s informací o velikosti otočení nebo posunutí, když tyto informace jsou ukládány do paměti snímače (5) či řídicího a vyhodnocovacího systému (4) zaznamenávajícího změnu polí koherenční zrnitosti. Následně, ve fázi měření a vyhodnocování detekce polohy otočení nebo posunutí předmětu, je zaznamenané pole koherenční zrnitosti pro neznámou polohu zkoumaného objektu (11) porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí uloženými během kalibrace a jsou identifikovány kalibrační a měřicí výstupní snímky s vysoce korelovanými záznamy polí koherenčních zrnitostí, kterým odpovídá vždy jedna konkrétní poloha otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu.
Description
Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu.
Oblast techniky
Vynález se týká způsobu bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti v optice, vznikajícího při odrazu koherentního nebo částečně koherentního světla od povrchu zkoumaného předmětu, a zařízení k provádění tohoto způsobu.
Dosavadní stav techniky
Řešení problematiky bezkontaktní detekce polohy pohybujícího se předmětu v optice zaznamenala během svého vývoje dvě důležité etapy. První etapa je spojená s metodou holografické interferometrie a svého vrcholu dosáhla v sedmdesátých letech 20. století. Jednalo se především o práci On direct measurements of strain and rotation in holographic interferometry using the line of complete localization“ (Dubas, M., Schumann, W. Opt. Acta, 22 (10), 1975, str. 807), ve které byl stanoven tenzor deformace na povrchu předmětu a tedy také popsány jeho složky otočení a složky posunutí. Obecná metoda navržená v této práci však, kromě běžných postupů známých z holografické interferometrie, vyžadovala velmi přesnou lokalizaci interferenčních proužků. Přesnost lokalizace byla přitom rozhodujícím ukazatelem pro vyhodnocení otočení a posunutí povrchu zkoumaného předmětu.
Další etapa je již spojena s fenoménem koherenční zrnitosti, jehož základní vlastnosti a možný aplikační potenciál jsou zdařile popsány v publikacích Laser Speckle and Application in Optics (Francon, M., Academie Press, New York, 1979) a Laser speckle and related phenomena (Ed. by Dainty, J. C., Springer-Verlag, Berlin, 1984). Metody založené na tomto jevu zaznamenaly prudký rozvoj v polovině sedmdesátých let 20. století. V literatuře můžeme nalézt mnoho způsobů, jak měřit
-2relativní otočení nebo relativní posunutí předmětu užitím jevu koherenční zrnitosti.
Jedná se především o metodu fotografickou a korelační.
Ve fotografii na bázi koherenční zrnitosti popsané v článcích Displacement Measurement from Double-exposure Laser Photographs (Archbold, E., Ennos, A. E., Opt. Acta 19, 1972, str. 253) a A study of the use of laser speckle to measure small tilts of optically rough surfaces accurately (Tiziani, H. J. Opt. Commun., 5, 1972, str. 271) jsou nejprve dvě struktury koherenční zrnitosti navzájem posunuté ve směru ortogonálním ke směru pozorování, vlivem malého otočení předmětu okolo osy ležící v rovině jeho povrchu, nebo malého posunutí předmětu v rovině jeho povrchu, zaznamenány dvojexpozicí do vrstvy světlocitlivého materiálu. Po jejím vyvolání a osvětlení pak směr a velikost relativního otočení nebo relativního posunutí zkoumaného předmětu plyne z analýzy směru a periody interferenčních proužků v oblasti Fourierovy transformace. Vyhodnocení otočení předmětu je v tomto případě analogické detekci sklonu povrchu předmětu. Důležitou roli pro stanovení rozlišovací schopnosti metody představuje také velikost zrn ve struktuře koherenční zrnitosti. Posuv pole koherenční zrnitosti odpovídající vykonanému otočení nebo posunutí předmětu musí být větší než je rozměr samotných zrn. Vývoj moderních optoelektronických komponent, především maticových snímačů, pak vedl od poloviny devadesátých let 20. století k digitální modifikaci výše zmíněné metody, viz například článek Some Recent Advances in Electronic Speckle Photography“ (Sjodahl, M. Opt. Lasers Eng., 29 (2-3), 1998, str. 125).
Metoda korelační nevyžaduje omezující podmínku na velikost zrn ve struktuře koherenční zrnitosti a rovněž nepracuje s interferenčními proužky. Je založena na statistickém přístupu, jak je uvedeno v článcích Speckle displacement and decorrelation in the diffraction and image fields for small object deformation (Yamaguchi, I. Opt. Acta, 28 (10), 1981, str. 1359) a Laser speckle rotary encoder (Yamaguchi, I., Fujita, T. Appl. Opt., 28 (20), 1989, str. 4401) nebo v monografii Koherenční zrnitost v optice (Hrabovský, M., Bača, Z., Horváth, P., Univerzita Palackého v Olomouci, Olomouc, 2001). Poloha maxima funkce vzájemné korelace struktur koherenčních zrnitostí zaznamenaných světlocitlivým obrazovým snímačem předa po otočení nebo posunutí předmětu generujícího pole koherenční zrnitosti • 9'99 a >> 9 »} • e > · * · · · «9 > 9 » · « Μ · 9 99 ' » i · · ·» · V 9 <, » *9 »
-3poskytuje informaci o velikosti relativního posunutí tohoto pole. Z posuvu pole lze následně určit i požadovanou informaci o relativní změně stavu, například otočení nebo posunutí povrchu zkoumaného předmětu. Tato problematika je všeobecně známá.
Ze spisu CZ 295817 je rovněž známo zařízení pro bezkontaktní snímání stability polohy předmětu, které řeší využití obráceného efektu jevu koherenční zrnitosti pouze k registraci změny polohy předmětu, avšak bez možnosti jejího přesného kvantifikovaného, tedy číselného, vyhodnocení. Dále ve spise CZ 302107 je popsáno zařízení pro kvantitativní vyhodnocování pohybu lidského oka či obecných fyzických objektů, tedy dynamického chování všech složek tzv. tenzoru malé deformace elementu povrchu zkoumaného objektu. U tohoto zařízení je nutné při vyhodnocování stanovit konkrétní složku otočení nebo posunutí tenzoru malé deformace dle odvozeného modelu měření uvedeného, například, v publikacích Theory of speckle displacement and decorrelation and its application in mechanics (Hrabovský, M., Bača, Z., Horváth, P., Opt. Lasers Eng. 32 (4), 2000, str. 395) a Full theory of speckle displacement and decorrelation in the image field by wave and geometrical description and its application in mechanics“ (Horváth, P., Hrabovský, M„ Šmíd, P. J. Mod. Opt., 51 (5), 2004, str. 725).
Snahou předkládaného vynálezu je navrhnout takový způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti v optice, kdy sledovaný objekt je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, přičemž součástí vynálezu je i zařízení k provádění tohoto způsobu. Předkládaným vynálezem je umožněna registrace změny polohy předmětu s možností jejího přesného kvantifikovaného, tedy číselného, vyhodnocení, přičemž není nutné při vyhodnocování stanovit konkrétní složku otočení nebo posunutí tenzoru malé deformace dle odvozeného modelu měření, neboť hledaná hodnota složky otočení nebo posunutí se neurčuje pomocí odvozeného modelu měření, tj. z funkční závislosti mezi detekovaným posuvem pole koherenční zrnitosti a odpovídající velikostí složky relativního otočení nebo relativního posunutí předmětu pro dané geometrické parametry experimentální sestavy.
-4Podstata vynálezu
Uvedeného cíle je dosaženo vynálezem, kterým je způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti, kdy sledovaný objekt je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, kde podstata řešení spočívá v tom, že nejprve, ve fázi kalibrace, je pole koherenční zrnitosti generované zkoumaným otáčejícím se nebo posunujícím se objektem pro každou polohu jeho otočení nebo posunutí zaznamenáváno na obrazový snímač spolu s informací o velikosti otočení nebo posunutí, když tyto informace jsou ukládány do paměti snímače či řídicího a vyhodnocovacího systému zaznamenávajícího změnu polí koherenční zrnitosti, a následně, ve fázi měření a vyhodnocování detekce polohy otočení nebo posunutí předmětu, je zaznamenané pole koherenční zrnitosti pro neznámou polohu zkoumaného objektu porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí uloženými během kalibrace a jsou identifikovány kalibrační a měřicí výstupní snímky s vysoce korelovanými záznamy polí koherenčních zrnitostí, kterým odpovídá vždy jedna konkrétní poloha otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu.
Také je podstatou vynálezu zařízení pro bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti obsahující osvětlovací blok sestávající jednak ze zdroje záření pracujícím ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, a jednak z osvětlovací optické soustavy polohovatelně ustavené v motorickém posuvném systému, který je uložen mezi objektem a vlastním zdrojem záření a je napojen na řídicí a vyhodnocovací systém, přičemž zdroj záření, motorický posuvný systém a řídicí a vyhodnocovací systém jsou napojeny na napájecí zdroj a ve zvolené rovině pozorování objektu je umístěn obrazový snímač napojený na řídicí a vyhodnocovací systém, kde objekt je umístěn na otočném a posuvném členu tvořícím s objektem jeden segment pro kalibraci a následnou detekci absolutní polohy objektu, přičemž otočný a posuvný člen je napájen zdrojem elektrického napětí a je propojen s řídicím a vyhodnocovacím systémem.
-5Také je výhodné, když mezi objekt sledovaného segmentu a obrazový snímač je vložena zobrazovací optická soustava.
Způsobem podle vynálezu se dosahuje nového a vyššího účinku v tom, že pro přesnou kvantifikaci polohy otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu již není nutné znát hodnoty geometrických parametrů experimentální sestavy. Požadovaná informace se získá pouze statistickým, korelačním, porovnáváním zaznamenaného snímku pole koherenční zrnitosti při měření se snímky polí koherenčních zrnitostí zaznamenaných při kalibraci, přičemž přesná kvantifikace polohy otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu je absolutní.
Objasnění výkresů
Konkrétní příklady provedení vynálezu jsou schématicky znázorněny na připojených výkresech, kde obr.jl je blokové schéma základního provedení zařízení se zkoumaným objektem, který je umístěn na otočném a posuvném členu tvořícím s objektem jeden segment, obr.2 je blokové schéma zařízení v alternativním provedení, obr.3 je příklad výstupů vzájemné korelace intenzitních signálů ve struktuře polí koherenčních zrnitostí, kde mezi všemi intenzitními signály jsou identifikovány dva vysoce korelované signály kalibrační a měřicí a bylo nalezeno korelační maximum, obr.4 je příklad výstupů vzájemné korelace intenzitních signálů ve struktuře polí koherenčních zrnitostí, kde všechny intenzitní signály kalibrační a měřicí jsou identifikovány jako rozdílné a nebylo nalezeno korelační maximum.
Výkresy, které znázorňují představovaný vynález, a následně popsané příklady konkrétních provedení v žádném případě neomezují rozsah ochrany uvedený v definici, ale jen objasňují podstatu vynálezu.
·* > » · » Ý *3 i v K Ί » > > » >a ♦ ? í ’ * · « · *i » Λ 4« » «· M · ·5«
-6Příklady uskutečnění vynálezu
V základním provedení podle obr.il je objekt 11 umístěn na otočném a posuvném členu 12 tak, že otočný a posuvný člen 12 vytváří se snímaným objektem Ujeden pohybující se segment 1 zajišťující řízenou kalibraci zařízení pro následnou detekci absolutní polohy objektu H- Zařízení pro bezkontaktní snímání pohybu objektu H je pro osvětlování objektu 11 koherentním nebo kvazikoherentním zářením tvořeno osvětlovacím blokem 2 sestávajícím jednak z vlastního zdroje 22 záření, realizovaného například laserem nebo laserovou diodou, pracujícím ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, a jednak z osvětlovací optické soustavy 21 polohovatelně ustavené v motorickém posuvném systému 23. Motorický posuvný systém je uložen mezi zkoumaným objektem 11 a vlastním zdrojem 22 záření a je napojen na řídicí a vyhodnocovací systém 4 tvořený například počítačovým systémem. Otočný a posuvný člen 12, zdroj 22 záření, motorický posuvný systém 23 a řídicí a vyhodnocovací systém 4 jsou napojeny na napájecí zdroj 3 pracující buď autonomně, nebo je ovládán z řídicího a vyhodnocovacího systému 4. Ve zvolené rovině pozorování objektu 11 je umístěn obrazový snímač 5, například maticový nebo lineární snímač na bázi technologií CCD (Charged Coupled Device) nebo CMOS (Complementary Metal Oxid Semiconductor), který je rovněž napojen na řídicí a vyhodnocovací systém 4.
Popsané zařízení uvedené na obr. 1 není jediným možným provedením podle vynálezu, ale jak plyne z obr.2, lze pro zvýšení citlivosti sledování změn pohybu vložit mezi sledovaný segment 1 a obrazový snímač 5 zobrazovací optickou soustavu 6, například spojnou čočku, rozptylnou čočku nebo zobrazovací objektiv. Pokud je užito více obrazových snímačů 5, je možno vkládat odpovídající počet zobrazovacích optických soustav 6.
Při detekci absolutní polohy osvětleného otáčejícího se nebo posunujícího se zkoumaného objektu H je nejprve, ve fázi kalibrace, pole koherenční zrnitosti generované tímto objektem zaznamenáno na obrazový snímač 5 a uloženo do jeho paměti nebo do paměti řídicího a vyhodnocovacího systému 4, a to pro každou polohu objektu H ve zvoleném rozsahu pohybu otočného a posuvného členu 12 ’ ; t * · v » »· > « J4 t 0 4 > S > 4 a 4 ·» * « a * 4« a a * «14 4“
- a ® » » '4 4 4 >44 S 4
-7nastaveného z řídicího a vyhodnocovacího systému 4. Následně, ve fázi měření a vyhodnocení detekce polohy otočení nebo posunutí objektu H, je pro jeho konkrétní neznámou polohu zaznamenané pole koherenční zrnitosti porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí zaznamenaných při kalibraci. Pokud je poloha objektu při měření shodná s polohou při kalibraci, jsou identifikovány dva vysoce korelované intenzitní signály, měřicí a kalibrační, jak je příkladně uvedeno na obr;j3. V případě, že je neznámá poloha objektu 11 mimo kalibrační polohu, nejsou mezi měřicím intenzitním signálem a intenzitními signály kalibračními identifikovány žádné dva vysoce korelované signály, jak je příkladně uvedeno na obr. 4.
Průmyslová využitelnost
Způsob a zařízení podle vynálezu lze využít v případě požadavku na bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu v celém rozsahu jeho pohybu, což je výhodné zejména v průmyslových a vědeckých aplikacích.
-8r\j • ♦ f » í · ’ ? o '♦ » 94 9 9 » t « » ’ ,j ‘ ft iff i» ‘94» i » 9» * ♦ 7 9 9 » i 94
PATENTOVÉ NÁROKY
Claims (3)
- PATENTOVÉ NÁROKY1. Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy otáčejícího se nebo posunujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti, kdy sledovaný objekt (11) je osvětlován svazkem koherentního nebo kvazikoherentního záření ze zdroje (22) záření, pracujícího ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, vyznačující se tím, že nejprve, ve fázi kalibrace, je pole koherenční zrnitosti generované zkoumaným otáčejícím se nebo posunujícím se objektem (11) pro každou polohu jeho otočení nebo posunutí zaznamenáváno na obrazový snímač (5) spolu s informací o velikosti otočení nebo posunutí, když tyto informace jsou ukládány do paměti snímače (5) či řídicího a vyhodnocovacího systému (4) zaznamenávajícího změnu polí koherenční zrnitosti, a následně, ve fázi měření a vyhodnocování detekce polohy otočení nebo posunutí předmětu, je zaznamenané pole koherenční zrnitosti pro neznámou polohu zkoumaného objektu (11) porovnáváno se snímky polí koherenčních zrnitostí uloženými během kalibrace a jsou identifikovány kalibrační a měřicí výstupní snímky s vysoce korelovanými záznamy polí koherenčních zrnitostí, kterým odpovídá vždy jedna konkrétní poloha otočení nebo posunutí zkoumaného předmětu.
- 2. Zařízení pro bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitost obsahující osvětlovací blok (2) sestávající jednak ze zdroje (22) záření pracujícím ve viditelné, blízké infračervené nebo blízké ultrafialové, oblasti spektra, a jednak z osvětlovací optické soustavy (21) polohovatelně ustavené v motorickém posuvném systému (23), který je uložen mezi objektem (11) a vlastním zdrojem (22) záření a je napojen na řídicí a vyhodnocovací systém (4), přičemž zdroj (22) záření, motorický posuvný systém (23) a řídicí a vyhodnocovací systém (4) jsou napojeny na napájecí zdroj (3) a ve zvolené rovině pozorování objektu (11) je umístěn obrazový snímač (5) napojený na řídicí a vyhodnocovací systém (4), vyznačující se tím, že objekt (11) je umístěn na otočném a posuvném členu (12) tvořícím s objektem jeden segment (1) pro kalibraci a následnou detekci absolutní polohy objektu (11), přičemž otočný-9A a posuvný člen (12) je napájen zdrojenr elektrického napětí (3) a je propojen s řídicím a vyhodnocovacím systémem (4).
- 3. Zařízení podle nároku 2, vyznačující se tím, že mezi objekt (11) sledovaného segmentu (1) a obrazový snímač (5) je vložena zobrazovací optická soustava (6).
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2013-164A CZ304207B6 (cs) | 2013-03-05 | 2013-03-05 | Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu |
| EP13005711.0A EP2775268B1 (en) | 2013-03-05 | 2013-12-07 | A method of a non-contact detection of a moving object absolute position by making use of speckle effect and device for implementation of this method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2013-164A CZ304207B6 (cs) | 2013-03-05 | 2013-03-05 | Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ2013164A3 true CZ2013164A3 (cs) | 2014-01-02 |
| CZ304207B6 CZ304207B6 (cs) | 2014-01-02 |
Family
ID=49752911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ2013-164A CZ304207B6 (cs) | 2013-03-05 | 2013-03-05 | Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2775268B1 (cs) |
| CZ (1) | CZ304207B6 (cs) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10365370B2 (en) | 2016-10-31 | 2019-07-30 | Timothy Webster | Wear tolerant hydraulic / pneumatic piston position sensing using optical sensors |
| JP6928088B2 (ja) * | 2016-12-01 | 2021-09-01 | ルーミンコード エーエス | 光学的投影基準を使用する位置探知装置及び方法 |
| EP3695191A1 (en) * | 2017-10-13 | 2020-08-19 | Honeywell International Inc. | Unmanned aerial vehicle ground level inspection system |
| CN108007352B (zh) * | 2018-01-05 | 2024-03-15 | 洛阳理工学院 | 基于数字散斑相关技术的足部受力测量装置 |
| EP4589245A1 (de) * | 2024-01-22 | 2025-07-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und system zum bestimmen eines masses für eine position einer messfläche auf einer oberfläche eines endlosmaterials in einer längsrichtung des endlosmaterials |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS618606A (ja) * | 1984-06-22 | 1986-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 位置検知方法 |
| FR2618893B1 (fr) * | 1987-07-31 | 1989-12-15 | Sagem | Perfectionnements apportes aux appareils de reconnaissance de forme et/ou de detection de position d'un objet dans l'espace |
| GB9012004D0 (en) * | 1990-05-30 | 1990-07-18 | Univ Southampton | Laser torquemeter |
| JPH05215532A (ja) * | 1992-02-03 | 1993-08-24 | Ono Sokki Co Ltd | エンコーダ |
| US5801390A (en) * | 1996-02-09 | 1998-09-01 | Nikon Corporation | Position-detection method and apparatus with a grating mark |
| EP1019668B1 (en) * | 1997-05-16 | 2002-07-31 | Forskningscenter Riso | Speckle methods and apparatus for determining angular displacement, surface translation, and twist |
| JP2003098034A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-03 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ面間隔測定装置および測定方法 |
| CZ295817B6 (cs) * | 2003-11-26 | 2005-11-16 | Univerzita Palackého | Zařízení pro bezkontaktní snímání stability polohy předmětu |
| US7400415B2 (en) * | 2005-03-15 | 2008-07-15 | Mitutoyo Corporation | Operator interface apparatus and method for displacement transducer with selectable detector area |
| CZ302107B6 (cs) * | 2007-11-15 | 2010-10-20 | Univerzita Palackého | Zarízení pro bezkontaktní snímání a kvantitativní vyhodnocování pohybu lidského oka ci obecných fyzických objektu |
| JP5656467B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2015-01-21 | Dmg森精機株式会社 | 位置検出装置 |
-
2013
- 2013-03-05 CZ CZ2013-164A patent/CZ304207B6/cs not_active IP Right Cessation
- 2013-12-07 EP EP13005711.0A patent/EP2775268B1/en not_active Not-in-force
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2775268A1 (en) | 2014-09-10 |
| EP2775268B1 (en) | 2019-10-16 |
| CZ304207B6 (cs) | 2014-01-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Tay et al. | Digital image correlation for whole field out-of-plane displacement measurement using a single camera | |
| CZ2013164A3 (cs) | Způsob bezkontaktní detekce absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti a zařízení k provádění tohoto způsobu | |
| Osten | Optical metrology: from the laboratory to the real world | |
| Vilar et al. | Fast topographic optical imaging using encoded search focal scan | |
| Wu et al. | Nano step height measurement using an optical method | |
| Yoneyama et al. | Instantaneous phase-stepping interferometry using polarization imaging with a micro-retarder array | |
| CZ25644U1 (cs) | Zařízení pro bezkontaktní detekci absolutní polohy pohybujícího se předmětu s využitím jevu koherenční zrnitosti | |
| Li et al. | High-precision large deflection measurements of thin films using time sequence speckle pattern interferometry | |
| Chugui et al. | 3D image formation in transmitted partially coherent and incoherent light applied to dimensional inspection | |
| Yang et al. | Advanced optical methods for whole field displacement and strain measurement | |
| Zhao et al. | Strain microscope with grating diffraction method | |
| Farid | Speckle metrology in dimensional measurement | |
| Guo et al. | A nanomeasuring machine based white light tilt scanning interferometer for large scale optical array structure measurement | |
| CZ2007797A3 (cs) | Zarízení pro bezkontaktní snímání a kvantitativní vyhodnocování pohybu lidského oka ci obecných fyzických objektu | |
| Song et al. | Speckle referencing: digital speckle pattern interferometry (SR-DSPI) for imaging of non-diffusive surfaces | |
| Sjödahl et al. | Local strain field measurement using phase gradient estimation from holographic speckle correlation | |
| Müller-Lohse et al. | Strain Determination Using a Global Interpolation Concept Based on Coherence Scanning Interferometry Measurements | |
| Jüptner et al. | Digital holography and its application for microsystems inspection | |
| El-Necklawy et al. | Interferometric studies of lateral and axial displacements of an object using digital processing of speckle photography | |
| Sirat et al. | Conoscopic holography | |
| Wilcox et al. | Applied Optical Metrology VI | |
| Balamurugan | Phase Shifting Technique in Laser Speckle Image Processing | |
| Pernechele et al. | Depth calibrations of a 2D-CMOS-based partially coherent light interferometer | |
| Asundi et al. | Interference Fringe-Based Metrology for Industrial Applications | |
| Niehues et al. | Low coherent Linnik interferometer optimized for use in Nano Measuring Machines |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20170305 |