CZ2014852A3 - Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie a zařízení k provádění tohoto způsobu - Google Patents
Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie a zařízení k provádění tohoto způsobu Download PDFInfo
- Publication number
- CZ2014852A3 CZ2014852A3 CZ2014-852A CZ2014852A CZ2014852A3 CZ 2014852 A3 CZ2014852 A3 CZ 2014852A3 CZ 2014852 A CZ2014852 A CZ 2014852A CZ 2014852 A3 CZ2014852 A3 CZ 2014852A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- sample
- braking
- rays
- module
- pattern
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 claims description 8
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 6
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000005461 Bremsstrahlung Effects 0.000 claims description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 14
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000002601 radiography Methods 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
- G01N23/2251—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion using incident electron beams, e.g. scanning electron microscopy [SEM]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/045—Investigating materials by wave or particle radiation combination of at least 2 measurements (transmission and scatter)
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/419—Imaging computed tomograph
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Immunology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Pulmonology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Technické řešení popisuje způsob a zařízení (6) k provádění způsobu rentgenové nanoradiografie a nanotomografie s pomocí skenovacího elektronového mikroskopu (1) zahrnuje fokusaci elektronového svazku z elektronového mikroskopu (1) na jeden bod povrchu sledovaného vzorku (2), emisi brzdného a fluorescenčního záření z ohniska dopadu elektronového svazku, prosvícení snímaného vzorku (2) a zaznamenání obrazu struktury snímaného vzorku (2) na základě změny intensit brzdného a fluorescenčního záření zobrazovacím plošným detektorem (4) uspořádaným za vzorkem (2).
Description
Oblast techniky
Vynález se zabývá způsobem a zařízením pro provádění nanoradiografie a nanotomografie s využitím skenovacího elektronového mikroskopu. Vynález umožňuje vytvoření modelu povrchu, včetně přesného modelu vnitřní struktury, snímaného vzorku.
Dosavadní stav techniky
Skenovací elektronové mikroskopy se používají k mapování povrchu snímaného vzorku s přesností v řádech nanometrů. Skenovací elektronové mikroskopy zpravidla zahrnují zdroj elektronů, který vytváří elektronový svazek. Elektronový svazek je pomocí elektronové optiky zaostřen do jediného bodu na povrchu snímaného vzorku. Při dopadu elektronového svazku do určeného bodu vzorku dojde k odrazu některých elektronů a/nebo k uvolnění sekundárních elektronů a/nebo k emisi charakteristického rentgenového záření. Tyto částice jsou zaznamenány alespoň jedním detektorem, přičemž ve výsledcích jsou uvedeny hodnoty daného bodu povrchu vzorku odrážet, nebo emitovat sekundární částice. Snímaný povrch vzorku je bod po bodu naskenován celý, načež je z výsledků vytvořen jeho obraz.
Při rentgenové transmisní radiografii je sledován útlum intensity rentgenového záření procházejícího vzorkem. Jako zdroj rentgenového záření je použita rentgenová trubice. Do trasy rentgenového záření je vložen vzorek, který je prosvícen. Následně rentgenové záření dopadá na detektor, který zaznamená jeho intensity. Výsledkem je obraz, který zachycuje vnitřní strukturu vzorku z hlediska schopnosti tlumit rentgenové záření.
Je-li zaznamenán větší soubor obrazů vzorku pořízených pod různými ozařovacími úhly, lze pomocí metod výpočetní tomografie vymodelovat trojrozměrný popis vnitřní struktury snímaného vzorku.
- 2 ~
Úkolem vynálezu je vytvoření způsobu a zařízení, které umožňuje v rámci jedné pracovní operace provést nanoradiografii, nanotomografii, mikroskopii a eventuálně i topografii povrchu vzorku.
Podstata vynálezu
Vytčený úkol je vyřešen vytvořením způsobu a zařízení pro provádění nanoradiografie a nanotomografie s využitím skenovacího elektronového mikroskopu podle tohoto vynálezu.
Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie s pomocí skenovacího elektronového mikroskopu zahrnuje nejprve usměrnění elektronového svazku vystupujícího ze skenovacího elektronového mikroskopu do bodu na snímaném povrchu vzorku. Následuje detekce odražených a sekundárních částic alespoň jedním detektorem, který rovněž zaznamená data týkající se odrazových a emisních parametrů daného bodu. Způsob zahrnuje opakování snímání pro všechny body snímaného povrchu vzorku.
Podstata vynálezu spočívá v tom, že současně s dopadem elektronového svazku do bodu na snímaném povrchu vzorku je emitováno brzdné a fluorescenční rentgenové záření, přičemž bod dopadu je rovněž ohniskem takto emitovaného brzdného a fluorescenčního rentgenového záření. Toto rentgenové záření je emitováno z ohniska do všech směrů a jeho část tedy také proniká do vzorku. Intensita tohoto záření je ve vzorku částečně absorbována podle rozložení hustoty materiálu v objemu vzorku. Rentgenové záření, které není utlumeno a vystupuje ze vzorku, je detekováno alespoň jedním zobrazovacím plošným detektorem umístěným za vzorkem. Obraz zachycený tímto detektorem zachycuje vnitřní strukturu vzorku, tak že jsou rozlišeny části struktury vzorku podle jejich schopnosti tlumit procházející rentgenové záření. Tento obraz je zaznamenáván opakovaně pro všechny polohy ohniska na povrchu vzorku a pomocí metod výpočetní tomografie je vymodelována vnitřní struktura vzorku ve 3D.
- 3 - jí:·::.·· · ·”·
Funkce skenovacího elektronového mikroskopu zůstane nezměněna, neboť je stále detekována schopnost povrchu objektu emitovat nebo odrážet částice vdaném bodě. Nově je využito doprovodného jevu, kdy je uvolněno s dopadem elektronového svazku brzdné rentgenové záření. Toto rentgenové záření je pronikavější, nežli elektronový svazek, takže může procházet celým objemem vzorku. Za vzorkem je umístěn zobrazovací plošný detektor, který zaznamená obraz změn intensity rentgenového záření za různými částmi vzorku. Tím vzniká zvětšený obraz vnitřní struktury vzorku. Zvětšení jednotlivých částí struktury vzorku závisí na jejich vzdálenosti od ohniska. Struktury nacházející se těsně pod povrchem a tedy v těsné blízkosti ohniska jsou zvětšeny nejvíce a rozlišovací schopnost v jejich radiografickém obrazu se v tomto případě blíží rozlišení elektronové mikroskopie a činí jednotky až desítky nanometrů. Proto hovoříme o nanoradiografii.
Pokud jsou takto zaznamenány všechny radiografické obrazy pořízené při mnoha polohách ohniska na povrchu snímaného vzorku, je možné ze souboru dat vypočítat trojrozměrný model struktury vzorku s rozlišením jednotek až desítek nanometrů.
V tomto případě hovoříme o nanotomografii. Radiografická data jsou sbírána současně se skenováním elektronovým mikroskopem.
V jiném výhodném provedení způsobu nanoradiografie a nanotomografie podle tohoto vynálezu je umístěn do prostoru mezi vzorkem a zobrazovacím plošným detektorem vzor o známých rozměrech. Tímto vzorem může být například tenká kovová mřížka. V průběhu radiografického snímkování je obraz známého vzoru superponován na obraz vzorku, přičemž zvětšení známého vzoru závisí na vzdálenosti ohniska od známého vzoru. Ze zaznamenaných obrazových dat lze zjistit úroveň zvětšení známého vzoru a následně vypočítat vzdálenost ohniska od tohoto vzoru. Tento postup se postupně aplikuje na všechny polohy ohniska v průběhu skenování. Zjištěné vzdálenosti se použijí pro sestavení 3D modelu tvaru povrchu vzorku tj. jeho topografii. Zjištěný tvar povrchu vzorku lze následně použít k vylepšení tomografické rekonstrukce vzorku.
Součástí vynálezu je rovněž i zařízení k provádění výše uvedeného způsobu.
_ 4 Zařízení pro rentgenovou nanoradiografii a nanotomografii zahrnující skenovací elektronový mikroskop sestává ze zdroje elektronového svazku, z elektronové optiky pro fokusaci elektronového svazku do bodu na povrchu snímaného vzorku, dále z alespoň jednoho detektoru pro detekci odražených a sekundárních částic. Zařízení rovněž zahrnuje řídící jednotku.
Podstata vynálezu spočívá vtom, že je za vzorkem umístěn zobrazovací plošný detektor pro detekci utlumení brzdného a fluorescenčního rentgenového záření ve vzorku, který je propojen s řídící jednotkou.
To je výhodné, protože bod na povrchu snímaného vzorku, do kterého je fokusován elektronový svazek, je ohniskem emise brzdného a fluorescenčního rentgenového záření a zobrazovací plošný detektor je schopen zaznamenat pokles intenzity brzdného rentgenového záření. Výsledky detekce jsou odesílány do řídicí jednotky, která je zpracuje do modelů. Brzdné záření je doprovodným jevem, takže nevyžaduje vlastní zdroj, ani nezávislou optiku.
V jiném výhodném provedení zařízení pro rentgenovou nanoradiografii a nanotomografii podle tohoto vynálezu zahrnuje řídící jednotka alespoň jeden modul ze skupiny modul pro uložení dat, výpočetní modul, zobrazovací modul, záznamový modul, distribuční modul. Výpočetní jednotka je tvořena počítačem. Modul pro uložení dat je realizován datovým úložištěm, výpočetní modul je realizován procesorem, záznamový modul je realizován připojenou tiskárnou. Zobrazovací modul je displej počítače a distribuční modul je síťová karta umožňující komunikaci se vzdálenými systémy. Moduly je možné realizovat jako virtuální zařízení v operačním programu počítače.
V dalším jiném výhodném provedení zařízení pro rentgenovou nanoradiografii a nanotomografii podle tohoto vynálezu je mezi vzorkem a zobrazovacím plošným detektorem uspořádán alespoň jeden vzor o známých rozměrech a řídící jednotka je upravena pro vyhodnocení zvětšení obrazu tohoto vzoru. Obraz tlumení intenzity brzdného rentgenového záření vzoru a jeho známé rozměry umožňují výpočet polohy
- 5 ohniska. Poloha ohniska je důležitá pro další modelování vzorku, např. topografie povrchu vzorku.
Mezi hlavní výhody vynálezu patří vysoká rozlišovací schopnost a časová úspora na pracovní operace. Během jednoho skenování jsou zajištěna data pro nanotomografii, nanoradiografii, topografii a samotné skenování povrchu elektronovým mikroskopem není nijak ovlivněno.
Objasnění výkresů
Vynález bude blíže osvětlen pomocí následujících vyobrazení, na kterých znázorňují:
obr. 1 schematické vyobrazení změny obrazu intenzity brzdného rentgenového záření k vadě uvnitř vzorku podle ohniska brzdného záření, obr. 2 schematické vyobrazení zařízení pro topografii povrchu vzorku, obr. 3 schematické vyobrazení zařízení pro nanoradiografii a nanotomografii.
Příklady uskutečnění vynálezu
Rozumí se, že jednotlivá uskutečnění vynálezu jsou představována pro ilustraci, nikoli jako omezení vynálezu na výčet zde uvedených příkladů provedení. Odborníci znalí stavu techniky najdou nebo budou schopni zjistit za použití rutinního experimentování mnoho ekvivalentů ke specifickým uskutečněním vynálezu, která jsou zde speciálně popsána. I tyto ekvivalenty budou zahrnuty v rozsahu následujících patentových nároků.
Vynález je prezentován na obr. 1, kde je schematicky vyobrazen způsob fungování vynálezu. Způsob používá skenovací elektronový mikroskop 1, uvnitř kterého se generuje svazek elektronů. Elektronový svazek je usměrněn do bodu na povrchu snímaného vzorku 2. Z bodu dopadu je generováno sekundární záření a odražené částice, které se šíří všemi směry. Toto sekundární záření je detekováno alespoň jedním přidruženým detektorem 3 odražených a sekundárních částic, z jehož dat se zjistí charakteristika vzorku 2 v místě dopadu.
- 6 Místo dopadu rovněž tvoří takzvané ohnisko brzdného a fluorescenčního záření, ze kterého se brzdné a fluorescenční záření šíří do prostoru. Toto záření má vysokou pronikavost, takže pronikne snímaným vzorkem 2. Za vzorek 2 se do směru postupu brzdného záření uspořádá alespoň jeden zobrazovací plošný detektor 4, který je schopen zaznamenat intenzitu brzdného záření. Jakmile má vzorek 2 nehomogenní strukturu ve smyslu absorpce rentgenového záření, ovlivňuje tato vnitřní struktura výstupní intenzitu záření a na plošném detektoru 4 je zaznamenán obraz vnitřní struktury snímaného vzorku 2.
Pokud se ohnisko posune, viz obr. 1, změní se i výstupní obraz. Ze souboru obrazů získaných při všech polohách ohniska je dopočten metodou výpočetní tomografie model 3D struktury vzorku 2.
Aby bylo možné modelovat i trojrozměrný model povrchu snímaného vzorku 2, je za snímaný vzorek 2 ve směru postupu brzdného záření od ohniska uspořádán vzor 5 o známých rozměrech. Na zobrazovací plošný detektor 4 je tedy prostupujícím rentgenovým zářením promítnut obraz struktury vzorku 2 i vzoru 5. V takto zachyceném kombinovaném obraze je identifikován obraz vzoru 5 a určeno jeho zvětšení například pomocí metody obrazové korelace. Ze známých rozměrů vzoru 5 a obrazu jeho útlumu intensit brzdného záření procházejícího vzorem 5 je dopočítána vzdálenost ohniska od vzoru 5 a tedy i výška povrchu vzorku 2 ve snímaném bodě. Uspořádáním všech snímaných bodu vedle sebe je vymodelován 3D model povrchu vzorku 2.
Zařízení 6 zahrnuje standardní skenovací elektronový mikroskop 1 mající zdroj 7 elektronového svazku, elektronovou optiku 8 pro směrování a fokusaci elektronového svazku a alespoň jeden přidružený detektor 3 odražených a sekundárních částic od snímaného vzorku 2. Dále je za snímaným vzorkem 2 ve směru postupu brzdného záření uspořádána kovová mřížka tvořící vzor 5 o známých rozměrech a vyobrazovací plošný detektor 4. Vyobrazovací plošný detektor 4 může být např. tvořen polem pixelových detektorů Timepix.
Skenovací elektronový mikroskop 1 a zobrazovací plošný detektor 4 jsou propojeny s řídící jednotkou 9 realizovanou počítačem. Řídící jednotka 9 zahrnuje modul 10 pro uložení dat. Modul 10 je tvořen datovým úložištěm zapojeným do počítače řídící jednotky 9. Součástí řídící jednotky 9 je také výpočetní modul 11. který je tvořen výpočetním softwarovým prostředkem spuštěným v operačním systému řídící jednotky 9. Výpočetní modul 11 využívá procesorů počítače. Zobrazovací modul 12 je tvořen displejem počítače a záznamový modul 13 je tvořen tiskárnou propojenou s počítačem. Distribuční modul 14 je tvořen síťovým adaptérem pro připojení k datovým sítím pro sdílení dat.
Průmyslová využitelnost
Vynález nalezne uplatnění v biologických a medicínských aplikacích, v aplikacích testujících kvalitu výrobků, v odvětvích zabývajících se novými druhy materiálů, v polovodičovém průmyslu k testování kvality čipů, v archeologii a dalších odvětvích kde je potřeba znát 3D vnitřní strukturu vzorku, aniž by došlo k jeho poškození.
- 8 Přehled vztahových značek skenovací elektronový mikroskop vzorek detektor odražených a sekundárních částic zobrazovací plošný detektor vzor o známých rozměrech zařízení pro rentgenovou nanoradiografii a nanotomografii s pomocí skenovacího elektronového mikroskopu zdroj elektronového svazku elektronová optika řídící jednotka modul uložení dat výpočetní modul zobrazovací modul záznamový modul distribuční modul
Claims (5)
- PATENTOVÉ NÁROKY1.
- 2.Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie s pomocí skenovacího elektronového mikroskopu (1), zahrnující nejprve usměrnění elektronového svazku vystupujícího ze skenovacího elektronového mikroskopu (1) do bodu na povrchu vzorku (2), dále detekci odražených a sekundárních částic alespoň jedním detektorem (3) včetně záznamu dat týkajících se odrazových a emisních parametrů daného bodu, a dále zahrnující opakování snímání pro všechny body snímaného povrchu vzorku (2), vyznačující se tím, že současně s dopadem elektronového svazku do bodu na snímaném povrchu vzorku (2) je emitováno brzdné a fluorescenční rentgenové záření, přičemž bod dopadu je rovněž ohniskem emitovaného brzdného a fluorescenčního rentgenového záření, a dále je brzdné a fluorescenční rentgenové záření vystupující ze vzorku (2) detekováno alespoň jedním zobrazovacím plošným detektorem (4) uspořádaným za vzorkem (2), načež je obraz utlumení brzdného a/anebo fluorescenčního rentgenového záření zaznamenán, a po zaznamenání obrazů všech ohnisek je pomoci počítačové tomografie vymodelována vnitřní struktura vzorku (2) ve 3D.Způsob podle nároku 1, vyznačující se tím, že za vzorek (2) s nerovným povrchem je do prostoru nacházejícím se mezi vzorkem (2) a zobrazovacím plošným detektorem (4) uspořádán alespoň jeden vzor (5) o známých rozměrech, načež je pro každé ohnisko zaznamenán obraz utlumení brzdného a/anebo fluorescenčního rentgenového záření zachycující strukturu vzorku (2) i známého vzoru (5), z velikosti obrazu utlumení rentgenového záření ve vzoru (5) je pomocí ozařovací geometrie vypočítána vzdálenost ohniska od z v V / vzoru a následně je po zaznamenání obrazů všech ohnisek vymodelován 3D model povrchu vzorku (2) a/nebo-3D model objemu vzorku (2).py f Jl.faJij mv.
- 3. Zařízení (6) pro rentgenovou nanoradiografii a nanotomografii s pomocí skenovacího elektronového mikroskopu (1) podle nároku 1 nebo 2, zahrnující skenovací elektronový mikroskop (1) sestávající ze zdroje (7) elektronového svazku, z elektronové optiky (8) pro fokusaci elektronového svazku do bodu na snímaném povrchu vzorku (2), z alespoň jednoho detektoru (3) pro detekci- 10 odražených a sekundárních částic, a dále zahrnující řídící jednotku (9), vyznačující se tím, že za vzorkem (2) ve směru šíření usměrněného elektronového svazku je uspořádán alespoň jeden zobrazovací plošný detektor (4) pro detekci utlumení brzdného a fluorescenčního rentgenového záření ve vzorku (2), který je propojen s řídící jednotkou (9).
- 4. Zařízení podle nároku 3, vyznačující se tím, že řídící jednotka (9) zahrnuje alespoň jeden modul ze skupiny modul (10) pro uložení dat, výpočetní modul (11), zobrazovací modul (12), záznamový modul (13), distribuční modul (14).
- 5. Zařízení podle nároku 3 nebo 4, vyznačující se tím, že mezi vzorkem (2) a zobrazovacím plošným detektorem (4) je uspořádán alespoň jeden vzor (5) o známých rozměrech a řídící jednotka (9) je upravena pro vyhodnocení zvětšení obrazu tohoto vzoru pořízeného prostřednictvím utlumení intenzity brzdného a fluorescenčního rentgenového záření.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2014-852A CZ2014852A3 (cs) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie a zařízení k provádění tohoto způsobu |
| JP2017528815A JP6362782B2 (ja) | 2014-12-03 | 2015-12-03 | Ｘ線ナノラジオグラフィ及びナノトモグラフィの方法及び装置 |
| EP15823489.8A EP3227670B1 (en) | 2014-12-03 | 2015-12-03 | A method of x-ray nano-radiography and nanotomography and a device for executing this method |
| PCT/CZ2015/000145 WO2016086908A1 (en) | 2014-12-03 | 2015-12-03 | A method of x-ray nano-radiography and nanotomography and a device for executing this method |
| US15/531,467 US9880113B2 (en) | 2014-12-03 | 2015-12-03 | Method of X-ray nano-radiography and nanotomography and a device for executing this method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2014-852A CZ2014852A3 (cs) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie a zařízení k provádění tohoto způsobu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ305955B6 CZ305955B6 (cs) | 2016-05-18 |
| CZ2014852A3 true CZ2014852A3 (cs) | 2016-05-18 |
Family
ID=55129364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ2014-852A CZ2014852A3 (cs) | 2014-12-03 | 2014-12-03 | Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie a zařízení k provádění tohoto způsobu |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9880113B2 (cs) |
| EP (1) | EP3227670B1 (cs) |
| JP (1) | JP6362782B2 (cs) |
| CZ (1) | CZ2014852A3 (cs) |
| WO (1) | WO2016086908A1 (cs) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3176569B1 (en) * | 2016-10-11 | 2018-12-26 | FEI Company | Arrangement for x-ray tomography |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ATE247286T1 (de) * | 1995-02-10 | 2003-08-15 | Nexray Inc | Abbildungssystem mit röntgenstrahlabtastung |
| JPH0982261A (ja) * | 1995-09-13 | 1997-03-28 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP4006165B2 (ja) * | 2000-04-21 | 2007-11-14 | 株式会社日立製作所 | 元素分析装置及び走査透過型電子顕微鏡並びに元素分析方法 |
| JP2002310954A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-23 | Shimadzu Corp | 試料解析装置 |
| JP4199629B2 (ja) * | 2003-09-18 | 2008-12-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 内部構造観察方法とその装置 |
| US7331714B2 (en) * | 2005-09-29 | 2008-02-19 | Uchicago Argonne, Llc | Optomechanical structure for a multifunctional hard x-ray nanoprobe instrument |
| KR100902403B1 (ko) * | 2007-09-11 | 2009-06-11 | 한국기초과학지원연구원 | 투과전자현미경 3차원 관찰 전용 문 그리드 및 그 제조방법 |
| JP5067269B2 (ja) * | 2008-06-12 | 2012-11-07 | 株式会社島津製作所 | マッピング分析装置 |
| JP5423612B2 (ja) | 2010-08-16 | 2014-02-19 | 富士通株式会社 | 共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法 |
| US9214311B2 (en) * | 2010-11-26 | 2015-12-15 | Triple Ring Technologies, Inc. | Method and apparatus for transmission of fluorescence X-ray radiation using a multilayer X-ray target |
| EP2605005A1 (en) * | 2011-12-14 | 2013-06-19 | FEI Company | Clustering of multi-modal data |
| JPWO2013057851A1 (ja) * | 2011-10-21 | 2015-04-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 液晶表示装置の解体方法 |
| WO2014006443A2 (en) * | 2012-07-01 | 2014-01-09 | Gintare Statkute | Samples holders – grids – supports for the samples characterization or processing with electron, ion, molecular, atomic, photon or other beams |
| EP2708874A1 (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-19 | Fei Company | Method of performing tomographic imaging of a sample in a charged-particle microscope |
| US9194829B2 (en) * | 2012-12-28 | 2015-11-24 | Fei Company | Process for performing automated mineralogy |
| EP3040714A1 (en) * | 2014-12-30 | 2016-07-06 | Fei Company | Charged Particle Microscope with improved spectroscopic functionality |
-
2014
- 2014-12-03 CZ CZ2014-852A patent/CZ2014852A3/cs unknown
-
2015
- 2015-12-03 JP JP2017528815A patent/JP6362782B2/ja active Active
- 2015-12-03 EP EP15823489.8A patent/EP3227670B1/en active Active
- 2015-12-03 US US15/531,467 patent/US9880113B2/en active Active
- 2015-12-03 WO PCT/CZ2015/000145 patent/WO2016086908A1/en not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CZ305955B6 (cs) | 2016-05-18 |
| EP3227670A1 (en) | 2017-10-11 |
| US9880113B2 (en) | 2018-01-30 |
| JP2017536551A (ja) | 2017-12-07 |
| JP6362782B2 (ja) | 2018-07-25 |
| US20170269009A1 (en) | 2017-09-21 |
| EP3227670B1 (en) | 2019-03-13 |
| WO2016086908A1 (en) | 2016-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI743626B (zh) | 包含多束粒子顯微鏡的系統、對3d樣本逐層成像之方法及電腦程式產品 | |
| RU2372610C1 (ru) | Способ и установка радиационного контроля жидких объектов | |
| KR20190015531A (ko) | 엑스선 현미경 관찰을 위한 방법 및 장치 | |
| US7643611B2 (en) | Method and apparatus for shadow aperture backscatter radiography (SABR) system and protocol | |
| JP2010523950A (ja) | 透過する放射線を用いて計測対象の三次元画像を生成するための方法および計測装置 | |
| JP3850711B2 (ja) | 放射線利用検査装置 | |
| US9857318B2 (en) | Method for generating image data relating to an object and particle beam device for carrying out this method | |
| JP7410982B2 (ja) | 光学システム内の光の１つ又は複数の特性の決定 | |
| US20190025231A1 (en) | A method of detection of defects in materials with internal directional structure and a device for performance of the method | |
| KR101480968B1 (ko) | X-선 ct 및 레이저 표면 검사를 이용하는 검사 장치 및 검사 방법 | |
| KR102399898B1 (ko) | 후방 산란 입자에 의한 매립된 피쳐의 검출 | |
| CZ2014852A3 (cs) | Způsob rentgenové nanoradiografie a nanotomografie a zařízení k provádění tohoto způsobu | |
| JP2009156788A5 (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| JP4039565B2 (ja) | Ｘ線検査装置、ｘ線検査方法およびｘ線検査装置の制御プログラム | |
| JP5489412B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析機能付き高分解能ｘ線顕微装置 | |
| JP5028570B2 (ja) | 侵襲性放射を用いて測定対象を検査するための方法及び装置 | |
| CZ27749U1 (cs) | Zařízení k provádění rentgenové nanoradiografie a nanotomografie | |
| JPWO2023145235A5 (cs) | ||
| KR20260032226A (ko) | Ct 장비의 선량 측정용 팬텀장치 및 이를 이용한 선량설정 시스템 | |
| JP6598205B2 (ja) | 非破壊検査方法および装置 | |
| JP7437337B2 (ja) | 内部状態画像化装置および内部状態画像化方法 | |
| KR20240073701A (ko) | 유기박막 두께 측정장치, 및 방법 | |
| JP2015052472A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
| JP2021028575A (ja) | Ｘ線装置および構造物の製造方法 | |
| JPH09318490A (ja) | シンチレーションファイバ束の遮光性能試験装置、放射線の深部線量測定装置及びシンチレーションファイバ束の遮光性能試験方法 |