CZ2016224A3 - Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu - Google Patents

Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu

Info

Publication number
CZ2016224A3
CZ2016224A3 CZ2016-224A CZ2016224A CZ2016224A3 CZ 2016224 A3 CZ2016224 A3 CZ 2016224A3 CZ 2016224 A CZ2016224 A CZ 2016224A CZ 2016224 A3 CZ2016224 A3 CZ 2016224A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
electron cyclotron
plasma
pressure plasma
wave resonance
low pressure
Prior art date
Application number
CZ2016-224A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ306799B6 (cs
Inventor
Zdeněk Hubička
Martin Čada
Štěpán Kment
Jiří Olejníček
Petr Adámek
Vítězslav Straňák
Original Assignee
Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i. filed Critical Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
Priority to CZ2016-224A priority Critical patent/CZ306799B6/cs
Publication of CZ2016224A3 publication Critical patent/CZ2016224A3/cs
Publication of CZ306799B6 publication Critical patent/CZ306799B6/cs

Links

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny za účelem určení jeho parametrů, zejména koncentrace elektronů v plazmatu přiváděného do měřícího prostoru (1) vytvořeného ve vakuové komoře (2), spočívá v tom, že v měřícím prostoru (1), v němž je aplikováno regulovatelné stacionární pomocné magnetické pole (B), je pomocí vysokofrekvenčního buzení ze signálového vysokofrekvenčního generátoru (10) s nastavitelnou frekvencí generována pravotočivě polarizovaná elektronová cyklotronová vlna. Velikost její amplitudy je regulována tak, aby neovlivňovala měřené plazma. Jeho vlastnosti se současně měří minimálně dvěma vysokofrekvenčními magnetickými sondami (11). Ze získaných údajů se vyhodnocují a vypočítávají se parametry měřeného plazmatu. Dále je podstatou vynálezu zařízení k provádění tohoto způsobu.
CZ2016-224A 2016-04-18 2016-04-18 Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu CZ306799B6 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2016-224A CZ306799B6 (cs) 2016-04-18 2016-04-18 Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2016-224A CZ306799B6 (cs) 2016-04-18 2016-04-18 Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2016224A3 true CZ2016224A3 (cs) 2017-07-12
CZ306799B6 CZ306799B6 (cs) 2017-07-12

Family

ID=59284915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2016-224A CZ306799B6 (cs) 2016-04-18 2016-04-18 Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ306799B6 (cs)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4081671A4 (en) 2020-12-03 2023-09-27 Univerzita Palackého v Olomouci DEVICE FOR DEPOSITION OF DIELECTRIC OPTICAL THIN FILMS USING SPUTTERING PLASMA SOURCES AND ENERGY ION SOURCES

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203859921U (zh) * 2014-05-04 2014-10-01 核工业西南物理研究院 一种测量等离子体电流分布的极化ece诊断系统

Also Published As

Publication number Publication date
CZ306799B6 (cs) 2017-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016092342A5 (cs)
EP4542237A3 (en) Atom-based electromagnetic field sensing element and measurement system
JP2017515532A5 (cs)
EP4553887A3 (en) Apparatus and method for calibrating or resetting a charge detector
EP3470828A3 (en) Real-time methods for magnetic resonance spectra acquisition
WO2015051175A3 (en) Application of electron-beam induced plasma probes to inspection, test, debug and surface modifications
GB2550809A (en) Apparatus and method for estimating absolute axes' orientations for a magnetic detection system
JP2017228558A5 (cs)
PL407582A1 (pl) Sposób prowadzenia reakcji chemicznej z udziałem katalizatora proszkowego
MX2018001456A (es) Dispositivo y metodo para produccion de plasma, asi como uso de semejante dispositivo.
Van Compernolle et al. Direct detection of resonant electron pitch angle scattering by whistler waves in a laboratory plasma
MX386709B (es) Aparato de evaluacion de caracteristicas de superficie y metodo de evaluacion de caracteristicas de superficie para material de acero.
MY202741A (en) Apparatuses and methods for superposition based wave synthesis
MY200842A (en) Method for Exciting Piezoelectric Transducers and Sound-Producing Arrangement
CZ2016224A3 (cs) Způsob měření depozičního nízkotlakého plazmatu s využitím vlnové rezonance elektronové cyklotronové vlny a zařízení k provádění tohoto způsobu
DE502007006336D1 (de) Textilmaschine sowie berührungsloses messverfahren
PL2300889T3 (pl) Sposób sterowania pojazdem
JP2017028000A (ja) プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
JP2016082180A5 (cs)
FR2943676B1 (fr) Composes biradicalaires de type dinitroxyde optimises pour la polarisation dynamique nucleaire (pdn)
Aidakina et al. Cross-modulation of whistler waves in a magnetized plasma
Lu et al. On the exact controllability of hyperbolic magnetic Schrödinger equations
Ricci et al. Experimental characterization of instabilities in the linear device GyM
Mahmoudian et al. Narrowband stimulated electromagnetic emissions (SEE) spectra: A new ionospheric diagnostic technique
Zhang et al. Simulation experiment of Inductive electric field measurement of Needle-ball electrode based on CST Microwave Studio

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20220418