CZ294871B6 - Oboustranně řiditelný tyristor - Google Patents

Oboustranně řiditelný tyristor Download PDF

Info

Publication number
CZ294871B6
CZ294871B6 CZ19981556A CZ155698A CZ294871B6 CZ 294871 B6 CZ294871 B6 CZ 294871B6 CZ 19981556 A CZ19981556 A CZ 19981556A CZ 155698 A CZ155698 A CZ 155698A CZ 294871 B6 CZ294871 B6 CZ 294871B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
region
cathode
regions
thyristor
anode
Prior art date
Application number
CZ19981556A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ155698A3 (cs
Inventor
Kenneth Dr. Thomas
Peter Dr. Streit
Original Assignee
Abb Schweiz Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Abb Schweiz Ag filed Critical Abb Schweiz Ag
Publication of CZ155698A3 publication Critical patent/CZ155698A3/cs
Publication of CZ294871B6 publication Critical patent/CZ294871B6/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D62/00Semiconductor bodies, or regions thereof, of devices having potential barriers
    • H10D62/10Shapes, relative sizes or dispositions of the regions of the semiconductor bodies; Shapes of the semiconductor bodies
    • H10D62/13Semiconductor regions connected to electrodes carrying current to be rectified, amplified or switched, e.g. source or drain regions
    • H10D62/141Anode or cathode regions of thyristors; Collector or emitter regions of gated bipolar-mode devices, e.g. of IGBTs
    • H10D62/148Cathode regions of thyristors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D18/00Thyristors
    • H10D18/80Bidirectional devices, e.g. triacs 

Landscapes

  • Thyristors (AREA)

Abstract

Oboustranně řiditelný tyristor obsahuje v polovodičovém tělese mezi první hlavní plochou (2) a druhou hlavní plochou (3) první tyristorovou strukturu s první anodovou oblastí (4), s první n-bází (5), s první p-bází (6), s první katodovou oblastí (7) a s první centrální hradlovou oblastí (8), a antiparalelně s ní druhou tyristorovou strukturu s druhou anodovou oblastí (9), s druhou n-bází (10), s druhou p-bází (11), s druhou katodovou oblastí (12) a s druhou centrální hradlovou oblastí (13). První anodová oblast (4), druhá katodová oblast (12) a druhá centrální hradlová oblast (13) jsou přiřazeny první hlavní ploše (2) a druhá anodová oblast (9), první katodová oblast (7) a první centrální hradlová oblast (8) jsou přiřazeny druhé hlavní ploše (3). Na obou hlavních plochách (2, 3) obsahuje vždy jednu dělicí oblast (14), která je uspořádána mezi oběma tyristorovými strukturami mezi první anodovou oblastí (4) a druhou katodovou oblastí (12) a mezi druhou anodovou oblastí (9) a první katodovou oblastí (7). Tyristor dále obsahuje první zkratové oblasti (16), které zkratují první p-bázi (6) a druhou p-bázi (11) skrz první katodovou oblast (7), popřípadě druhou katodovou oblast (12), prostřednictvím pokovení, překrývajícího tyto katodové oblasti (7, 12). Počet prvních zkratových oblastí (16) na plošnou jednotku se směrem k dělicí oblasti (14) zvětšuje a těsně u dělicí oblasti (14) dosahuje maximální hodnoty.ŕ

Description

Oblast techniky
Vynález se týká oboustranně řiditelného tyristoru, obsahujícího v polovodičovém tělese mezi první hlavní plochou a druhou hlavní plochou první tyristorovou strukturu s první anodovou oblastí, s první n-bází, s první p-bází, s první katodovou oblastí a s první centrální hradlovou oblastí, a antiparalelně s ní druhou tyristorovou strukturu s druhou anodovou oblastí, s druhou nbází, s druhou p-bází, s druhou katodovou oblastí a s druhou centrální hradlovou oblastí, přičemž první anodová oblast, druhá katodová oblast a druhá centrální hradlová oblast jsou přiřazeny první hlavní ploše a druhá anodová oblast, první katodová oblast a první centrální hradlová oblast jsou přiřazeny druhé hlavní ploše, dále na obou hlavních plochách vždy jednu dělicí oblast, která je uspořádána mezi oběma tyristorovými strukturami mezi první anodovou oblastí a druhou katodovou oblastí a mezi druhou anodovou oblastí a první katodovou oblastí, jakož i první zkratové oblasti, které zkratují první p-bázi a druhou p-bázi skrz první katodovou oblast, popřípadě druhou katodovou oblast, prostřednictvím pokovení, překrývajícího tyto katodové oblasti.
Dosavadní stav techniky
Tyristor výše uvedeného druhuje popsán například ve spise DE 44 39 012 Al. Jedná se přitom o oboustranně řiditelný tyristor, u něhož jsou v jednom polovodičovém substrátu integrovány dvě antiparalelně zapojené tyristorové struktury. Tyto tyristorové struktury jsou na plochách součástí odděleny vždy jednou dělicí oblastí, která má s výhodou sníženou životnost nosičů nábojů. Dělicí oblast mezi tyristorovými strukturami je nutná zejména ze dvou důvodů. Předně při zapnutí jedné z tyristorových struktur by neměly vznikat žádné parazitní proudové dráhy k druhé tyristorové struktuře, avšak ani při komutaci by nemělo docházet ke vzájemnému působení mezi oběma tyristorovými strukturami. Toto známé řešení může být sice v mnoha případech postačující, avšak nežádoucí migraci nosičů nábojů z jedné již sepnuté tyristorové struktury do druhé ještě nesepnuté tyristorové struktury může být blokující tyristorová struktura zničena lokálním nekontrolovatelným sepnutím.
Podstata vynálezu
Úkolem vynálezu je vytvořit oboustranně řiditelný tyristor, který se vyznačuje zlepšeným oddělením obou tyristorových struktur. Zejména by nemělo docházet k nekontrolovanému spínání blokující struktury nežádoucí migrací nosičů nábojů.
Uvedený úkol splňuje oboustranně řiditelný tyristor, obsahující v polovodičovém tělese (a) mezi první hlavní plochou a druhou hlavní plochou první tyristorovou strukturu s první anodovou oblastí, s první n-bází, s první p-bází, s první katodovou oblastí a s první centrální hradlovou oblastí, a antiparalelně s ní druhou tyristorovou strukturu s druhou anodovou oblastí, s druhou n-bází, s druhou p-bází, s druhou katodovou oblastí a s druhou centrální hradlovou oblastí, přičemž první anodová oblast, druhá katodová oblast a druhá centrální hradlová oblast jsou přiřazeny první hlavní ploše a druhá anodová oblast, první katodová oblast a první centrální hradlová oblast jsou přiřazeny druhé hlavní ploše, (b) na obou hlavních plochách vždy jednu dělicí oblast, která je uspořádána mezi oběma tyristorovými strukturami mezi první anodovou oblastí a druhou katodovou oblastí a mezi druhou anodovou oblastí a první katodovou oblastí, jakož i
- 1 CZ 294871 B6 (c) první zkratové oblasti, které zkratují první p-bázi a druhou p-bázi skrz první katodovou oblast, popřípadě druhou katodovou oblast, prostřednictvím pokovení, překrývajícího tyto katodové oblasti, podle vynálezu, jehož podstatou je, že počet prvních zkratových oblastí na plošnou jednotku se směrem k dělicí oblasti zvětšuje a těsně u dělicí oblasti dosahuje maximální hodnoty.
Druhá zkratová oblast je s výhodou provedena souvislá ve tvaru přímky a probíhá u prvních zkratových oblastí podél dělicích oblastí, mezi katodovými oblastmi a dělicími oblastmi.
Kolem první centrální hradlové oblasti a druhé centrální hradlové oblasti je mezi těmito hradlovými oblastmi a sousedními anodovými oblastmi s výhodou upravena v podstatě zvlášť vysoce ohmická oblast v podstatě ve tvaru podkovy, přičemž otvor podkovy je přivrácen k první katodové oblasti, popřípadě k druhé katodové oblasti. Oblast ve tvaru podkovy přispívá rovněž k tomu, že nosiče nábojů, přítomné v obvodu hradlo-katoda, se nemohou pohybovat po žádné parazitní dráze mezi hradlovou oblastí a anodovou oblastí druhé tyristorové struktury téže hlavní plochy.
Každá tyristorová struktura obsahuje s výhodou zesilující hradlovou přípojnou strukturu, která vychází z příslušné centrální hradlové oblasti a je na první hlavní ploše, popřípadě druhé hlavní ploše, integrována do příslušné katodové oblasti, přičemž úhel mezi dělicími oblastmi a hradlovými přípojnými strukturami je větší než nula a zejména má hodnotu v podstatě 45°.
Okraje centrálních hradlových oblastí, přivrácené ke katodovým oblastem, jsou s výhodou nasměrovány přesně na anodové oblasti příslušné tyristorové struktury.
Dělicí oblasti probíhají s výhodou diametrálně a mají šířku asi 10 difuzních délek minoritních nosičů nábojů.
Oblast ve tvaru podkovy je s výhodou vytvořena leptáním.
Oblast ve tvaru podkovy je s výhodou vytvořena implantací části dotovacích látek, tvořících pbáze.
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude dále blíže objasněn na příkladech provedení podle přiložených výkresů, na nichž obr. 1 znázorňuje pohled shora na tyristor podle vynálezu, obr. 2 pohled zdola na tyristor podle vynálezu, obr. 3 řez podél čáry A-A z obr. 1 tyristorem podle vynálezu a obr. 4 řez podél čáry B-B z obr. 1 tyristorem podle vynálezu.
Příklady provedení vynálezu
Obr. 1 znázorňuje tyristor 1 podle vynálezu při pohledu shora. V polovodičovém tělese jsou mezi první hlavní plochou 2, označovanou též jako horní, a druhou hlavní plochou 3, označovanou též jako dolní, která je vidět na obr. 2, uspořádány dvě tyristorové struktury. Shora jsou vidět první
-2CZ 294871 B6 anodová oblast 4 první tyristorové struktury, druhá katodová oblast 12 druhé tyristorové struktury, druhá centrální hradlová oblast 13 druhé tyristorové struktury, okrajový uzávěr 18 a zesilující hradlová přípojná struktura 15 ve tvaru prstů. Mezi tyristorovými strukturami je uspořádána dělicí oblast 14. Tato dělicí oblast 14 je provedena zvlášť vysoce ohmická a její oblast 19 ve tvaru podkovy obklopuje druhou centrální hradlovou oblast 13. V části druhé katodové oblasti 12 jsou upraveny první zkratové oblasti 16, které jsou vidět pouze na vyobrazeních v řezu. Aby se zabránilo nežádoucí migraci nosičů nábojů z již sepnuté tyristorové struktury na jinou ještě nesepnutou, což by mohlo vyvolat nekontrolované sepnutí ještě nesepnuté tyristorové struktury, zvětšuje se počet prvních zkratových oblastí 16 směrem k dělicí oblasti 14. Tento počet dosahuje u hranice s dělicí oblastí 14 maximální hodnoty, přičemž tato hranice je s výhodou tvořena druhou zkratovou oblastí 17 ve tvaru přímé linie, probíhající podél dělicí oblasti 14.
Na obr. 2 je tyristor 1 znázorněn při pohledu zespodu. Na druhé hlavní ploše 3 jsou vidět druhá anodová oblast 9 druhé tyristorové struktury, první katodová oblast 7 první tyristorové struktury, první centrální hradlová oblast 8 první tyristorové struktury, oblast okrajového uzávěru 18 a zesilující hradlová přípojná struktura 15. Mezi tyristorovými strukturami je rovněž upravena dělicí oblast 14. Tato dělicí oblast 14 je rovněž vytvořena kolem první centrální hradlové oblasti 8 ve tvaru podkovy a je provedena jako zvlášť vysoce ohmická. V první katodové oblasti 7 jsou rovněž upraveny první zkratové oblasti 16, které jsou viditelné pouze na vyobrazeních v řezu. Aby se zabránilo nežádoucí migraci nosičů nábojů z již sepnuté tyristorové struktury na jinou ještě nesepnutou, což by mohlo vyvolat nekontrolované sepnutí ještě nesepnuté tyristorové struktury, zvětšuje se i zde počet prvních zkratových oblastí 16 směrem k dělicí oblasti 14. Tento počet dosahuje u hranice s dělicí oblastí 14 maximální hodnoty, přičemž tato hranice je rovněž s výhodou tvořena druhou zkratovou oblastí 17 ve tvaru přímky, probíhající podél dělicí oblasti 14. Dělicí oblast 14 probíhá diametrálně na obou hlavních plochách 2 a 3 a má šířku asi 10 difuzních délek minoritních nosičů nábojů.
Na obr. 1 a 2 je kromě toho znázorněna ještě zesilující hradlová přípojná struktura 15. Tato zesilující hradlová přípojná struktura 15 nemá, na rozdíl od dosavadního stavu techniky uvedeného v úvodu, žádnou část, která by probíhala podél dělicí oblasti 14, nýbrž hradlové přípojné struktury 15 svírají s dělicí oblastí 14 úhel, který je alespoň větší než nula a jeho hodnota činí s výhodou 45°. Tím hradlová přípojná struktura 15 na jedné straně zajišťuje účinnou spínací reakci, na druhé straně však brání nežádoucímu sepnutí v oblasti mezi oběma tyristorovými strukturami.
Obr. 3 znázorňuje část tyristoru podle vynálezu v řezu podél čáry A-A z obr. 1. Je zřetelně vidět, jak je druhá zkratová oblast 17 uspořádána na obou hlavních plochách 2 a 3 podél dělicí oblasti 14. Druhá zkratová oblast 17 může být, jak je znázorněno, z výrobních důvodů uspořádána v mírném odstupu od sousední katodové oblasti 12, 7. Plošná hustota, to znamená počet prvních zkratových oblastí 16 na plošnou jednotku, se uvnitř odpovídající katodové oblasti 7, 12 směrem k souvislé druhé zkratové oblasti 17 ve tvaru přímky zvětšuje. První zkratové oblasti 16 a druhá zkratová oblast 17 zkratují první p-bázi 6 a druhou p-bázi 11 skrz první katodovou oblast 7, popřípadě druhou katodovou oblast 12, pokovením, které pro přehlednost není znázorněno, a které překrývá katodovou oblast 7, 12. Vyšší počet prvních zkratových oblastí 16 směrem k dělicí oblasti 14 a zejména i souvislá druhá zkratová oblast 17 ve tvaru přímky zaručují, že při vypnutí se nosiče nábojů odstraní dostatečně rychle a může se zabránit nekontrolovanému sepnutí, vedoucímu k destrukci. Proto případné nosiče nábojů neodcházejí přes katodovou oblast 7, 12, nýbrž zkraty. Proto nemohou ani způsobit žádné nekontrolované sepnutí.
Zmíněné p-báze 6 a 11 jsou dimenzovány jako souvislé vrstvy, do nichž jsou nadifundovány více dotované anodové oblasti 4, 9 emitoru. Dělicí oblasti 14 jsou vytvořeny na obou stranách částmi p-bází 6,11, vyskytujícími se na povrchu.
-3 CZ 294871 B6
Z obr. 1 a 2 je dále patrná ve tvaru podkovy provedená oblast 19 dělicí oblasti 14, která obklopuje centrální hradlovou oblast 8, 13. Otevřený konec podkovy je přivrácen k první katodové oblasti 7, popřípadě k druhé katodové oblasti 12. Oblast 19 ve tvaru podkovy zesiluje dělicí účinek mezi oběma tyristorovými strukturami a brání tomu, aby nosiče nábojů, nacházející se v obvodu, obsahujícím centrální hradlovou oblast 8, 13 a katodovou oblast 7, 12, nesledovaly parazitní proudový obvod mezi kontaktem centrální hradlové oblasti 8, 13 a anodovou oblastí 4, 9 druhé tyristorové struktury téže hlavní plochy 2, 3. Vyššího odporu je možno dosáhnout leptáním existujícího dotovacího profilu nebo selektivní implementací vhodné dotovací látky, skryté v oblasti 19.
Tvar centrálních hradlových oblastí 8 a 13 je podlouhlý a zasahuje do katodových oblastí 7 a 12. Konec centrální hradlové oblasti 8 a 13, který se nachází nejblíže k příslušné katodové oblasti 7, 12, je uspořádán přesně nad anodovou oblastí 4 a 9 téže tyristorové struktury. Toto přesné ustavení přispívá rovněž ke zlepšenému oddělení obou tyristorových struktur a zejména zaručuje reprodukovatelné vlastnosti polovodičových prvků.
Obr. 4 znázorňuje řez podél čáry B-B z obr. 1. Je zřetelně vidět, jak mezi centrálními hradlovými oblastmi 13 a 8 a sousedními anodovými oblastmi 4 a 9 vystupuje p-báze 6 a 11 na povrch a tvoří dělicí oblast 19 ve tvaru podkovy. Tyto p-báze 6 a 11 obsahují p-dotovanou vrstvu 22, která je dotována přídavně k dotování p-bází 6 a 11 a je celoplošně vytvořena až do oblasti, na níž je vytvořena oblast 19 ve tvaru podkovy. Toto přídavné dotování p-dotované vrstvy 22 v podstatě určuje vodivost p-bází 6 a 11. Dělicí oblast 19 ve tvaru podkovy je provedena jako vysoce ohmická, protože přídavné dotování je v této dělicí oblasti 19 ve tvaru podkovy vypuštěno. Toho je možno dosáhnout leptáním existujícího dotovacího profilu nebo selektivní implementací pdotované vrstvy 22, skryté v požadované oblasti. Na konci centrální hradlové oblasti 8, 13, který je protilehlý k dělicí oblasti 19 ve tvaru podkovy, je upravena n-dotovaná pomocná katoda 20 ap+ dotovaná kontaktní oblast 24. Následuje katodová oblast 12 s prvními zkratovými oblastmi 16, jejichž hustota, neboli počet, se, jak již bylo uvedeno, směrem ke středu polovodičové součástky zvětšuje.
Celkově vznikne tyristor vodivý v obou směrech, u něhož je podstatně zlepšeno vzájemné oddělení obou tyristorových struktur, takže může být s jistotou použit v každé provozní situaci.

Claims (8)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Oboustranně řiditelný tyristor, obsahující v polovodičovém tělese (a) mezi první hlavní plochou (2) a druhou hlavní plochou (3) první tyristorovou strukturu s první anodovou oblastí (4), s první n-bází (5), s první p-bází (6), s první katodovou oblastí (7) as první centrální hradlovou oblastí (8), a antiparalelně s ní druhou tyristorovou strukturu s druhou anodovou oblastí (9), s druhou n-bází (10), s druhou p-bází (11), s druhou katodovou oblastí (12) a s druhou centrální hradlovou oblastí (13), přičemž první anodová oblast (4), druhá katodová oblast (12) a druhá centrální hradlová oblast (13) jsou přiřazeny první hlavní ploše (2) a druhá anodová oblast (9), první katodová oblast (7) a první centrální hradlová oblast (8) jsou přiřazeny druhé hlavní ploše (3), (b) na obou hlavních plochách (2, 3) vždy jednu dělicí oblast (14), která je uspořádána mezi oběma tyristorovými strukturami mezi první anodovou oblastí (4) a druhou katodovou oblastí (12) a mezi druhou anodovou oblastí (9) a první katodovou oblastí (7), jakož i
    -4CZ 294871 B6 (c) první zkratové oblasti (16), které zkratují první p-bázi (6) a druhou p-bázi (11) skrz první katodovou oblast (7), popřípadě druhou katodovou oblast (12), prostřednictvím pokovení, překrývajícího tyto katodové oblastí (7, 12), vyznačující se tím, že počet prvních zkratových oblastí (16) na plošnou jednotku se směrem k dělicí oblasti (14) zvětšuje a těsně u dělicí oblasti (14) dosahuje maximální hodnoty.
  2. 2. Oboustranně řiditelný tyristor podle nároku 1, vyznačující se tím, že druhá zkratová oblast (17) je provedena ve tvaru souvislé přímé linie a probíhá u prvních zkratových oblastí (16) podél dělicích oblastí (14), mezi katodovými oblastmi (7, 12) a dělicími oblastmi (14).
  3. 3. Oboustranně řiditelný tyristor podle jednoho z nároků 1 nebo 2, vyznačující se tí m , že kolem první centrální hradlové oblasti (8) a druhé centrální hradlové oblasti (13) je mezi těmito hradlovými oblastmi (8, 13) a sousedními anodovými oblastmi (4, 9) upravena v podstatě zvlášť vysoce ohmická oblast (19) v podstatě ve tvaru podkovy, přičemž otevřený konec podkovy je přivrácen k první katodové oblasti (7), popřípadě k druhé katodové oblasti (12).
  4. 4. Oboustranně řiditelný tyristor podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že každá tyristorová struktura obsahuje zesilující hradlovou přípojnou strukturu (15) ve tvaru prstů, která vychází z příslušné centrální hradlové oblasti (8, 13) a je na první hlavní ploše (2), popřípadě druhé hlavní ploše (3), integrována do příslušné katodové oblasti (7, 12), přičemž úhel mezi dělicími oblastmi (14) a hradlovými přípojnými strukturami (15) je větší než nula a zejména má hodnotu v podstatě 45°.
  5. 5. Oboustranně řiditelný tyristor podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že okraje centrálních hradlových oblastí (8, 13), přivrácené ke katodovým oblastem (7, 12), jsou nasměrovány přesně na anodové oblasti (4, 9) příslušné tyristorové struktury.
  6. 6. Oboustranně řiditelný tyristor podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že dělicí oblasti (14) probíhají diametrálně a mají šířku asi 10 difuzních délek minoritních nosičů nábojů.
  7. 7. Oboustranně řiditelný tyristor podle jednoho z nároků 3 až 6, vyznačující se tím, že oblast (19) ve tvaru podkovy je vytvořena leptáním.
  8. 8. Oboustranně řiditelný tyristor podle jednoho z nároků 3 až 6, vyznačující se t í m , že oblast (19) ve tvaru podkovy je vytvořena implantací části dotovacích látek, tvořících p-báze (6, 11).
CZ19981556A 1997-05-22 1998-05-20 Oboustranně řiditelný tyristor CZ294871B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19721365A DE19721365A1 (de) 1997-05-22 1997-05-22 Beidseitig steuerbarer Thyristor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ155698A3 CZ155698A3 (cs) 1998-12-16
CZ294871B6 true CZ294871B6 (cs) 2005-04-13

Family

ID=7830146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ19981556A CZ294871B6 (cs) 1997-05-22 1998-05-20 Oboustranně řiditelný tyristor

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6078065A (cs)
EP (1) EP0880182B1 (cs)
JP (1) JP4585632B2 (cs)
CN (1) CN1155098C (cs)
CZ (1) CZ294871B6 (cs)
DE (2) DE19721365A1 (cs)
RU (1) RU2194339C2 (cs)
UA (1) UA57716C2 (cs)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2815471B1 (fr) * 2000-10-12 2003-02-07 St Microelectronics Sa Composant vertical a tenue en tension elevee
WO2016096956A1 (en) 2014-12-17 2016-06-23 Abb Technology Ag Bidirectional power semiconductor device
US10297684B2 (en) * 2017-09-29 2019-05-21 Nxp Usa, Inc. Bidirectional power MOSFET structure with a cathode short structure
EP3766101B1 (en) * 2018-02-13 2021-07-21 ABB Power Grids Switzerland AG Bidirectional thyristor device

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5013634B1 (cs) * 1970-12-29 1975-05-21
US3792320A (en) * 1972-05-22 1974-02-12 J Hutson Semiconductor switch devices having improved shorted emitter configurations
CH609714A5 (en) * 1974-07-15 1979-03-15 Agfa Gevaert Ag Process for the production of a hydrophilic surface on silicone rubber mouldings
US4063277A (en) * 1976-05-28 1977-12-13 Rca Corporation Semiconductor thyristor devices having breakover protection
CH598696A5 (cs) * 1976-10-08 1978-05-12 Bbc Brown Boveri & Cie
JPS5749269A (en) * 1980-09-08 1982-03-23 Mitsubishi Electric Corp Bidirectional thyristor
JPS59132167A (ja) * 1983-01-18 1984-07-30 Toshiba Corp 半導体装置
SU1574122A1 (ru) * 1985-09-13 1997-02-27 Всесоюзный Электротехнический Институт Им.В.И.Ленина Быстродействующий тиристор с регенеративным управлением
EP0438700A1 (de) * 1990-01-25 1991-07-31 Asea Brown Boveri Ag Abschaltbares, MOS-gesteuertes Leistungshalbleiter-Bauelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung
DE4439012A1 (de) * 1994-11-02 1996-05-09 Abb Management Ag Zweirichtungsthyristor

Also Published As

Publication number Publication date
UA57716C2 (uk) 2003-07-15
JPH118377A (ja) 1999-01-12
EP0880182A2 (de) 1998-11-25
JP4585632B2 (ja) 2010-11-24
EP0880182A3 (de) 1999-10-27
EP0880182B1 (de) 2008-03-26
US6078065A (en) 2000-06-20
CN1155098C (zh) 2004-06-23
RU2194339C2 (ru) 2002-12-10
DE19721365A1 (de) 1998-11-26
DE59814199D1 (de) 2008-05-08
CN1200576A (zh) 1998-12-02
CZ155698A3 (cs) 1998-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100687079B1 (ko) 바이폴라 mosfet 디바이스
US4821095A (en) Insulated gate semiconductor device with extra short grid and method of fabrication
EP0990268B1 (en) Latch-up free power mos-bipolar transistor
US6118150A (en) Insulated gate semiconductor device and method of manufacturing the same
US11276757B2 (en) Silicon carbide semiconductor device and method of manufacturing the same
JP7805428B2 (ja) 半導体装置
CN116601773A (zh) 用于半导体装置的边缘终止结构
EP4053915B1 (en) Gate-commuted thyristor cell with a base region having a varying thickness
JP2022015727A (ja) 半導体装置、インバータ回路、駆動装置、車両、及び、昇降機
US20240297247A1 (en) Silicon carbide semiconductor device and method for producing same
KR890011026A (ko) 반도체 소자 제조방법
CZ294871B6 (cs) Oboustranně řiditelný tyristor
US4137545A (en) Gate turn-off thyristor with anode rectifying contact to non-regenerative section
US5014101A (en) Semiconductor IGBT with improved turn-off switching time
US7071503B2 (en) Semiconductor structure with a switch element and an edge element
US5894141A (en) Bipolar semiconductor power controlling devices with heterojunction
JP4042617B2 (ja) 絶縁ゲート型半導体装置
US20250113532A1 (en) Transistor device with an edge termination structure and method
JP7636435B2 (ja) 電気接点領域用のバリア層
EP4386857A1 (en) A triac device with high commutating capability
JPH0786567A (ja) 半導体装置
JPH025016B2 (cs)
IE48892B1 (en) Solid state switching device
JPS621263B2 (cs)
WO2026059766A1 (en) Power semiconductor devices including deep shielding regions

Legal Events

Date Code Title Description
PD00 Pending as of 2000-06-30 in czech republic
MK4A Patent expired

Effective date: 20180520