CZ309973B6 - Postup seřizování mikroskopu se svazkem částic - Google Patents
Postup seřizování mikroskopu se svazkem částic Download PDFInfo
- Publication number
- CZ309973B6 CZ309973B6 CZ2018-624A CZ2018624A CZ309973B6 CZ 309973 B6 CZ309973 B6 CZ 309973B6 CZ 2018624 A CZ2018624 A CZ 2018624A CZ 309973 B6 CZ309973 B6 CZ 309973B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- excitation
- setting
- value
- objective lens
- lens
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/147—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path
- H01J37/1471—Arrangements for directing or deflecting the discharge along a desired path for centering, aligning or positioning of ray or beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
- H01J37/265—Controlling the tube; circuit arrangements adapted to a particular application not otherwise provided, e.g. bright-field-dark-field illumination
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/15—Means for deflecting or directing discharge
- H01J2237/1501—Beam alignment means or procedures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Lenses (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
Při způsobu seřizování mikroskopu se svazkem částic jsou prováděny následující kroky: A: Zařízení pro seřizování svazku je uvedeno do prvního nastavení W1, objektivová čočka je nabuzena na první hodnotu buzení objektivové čočky I1 a je pořízen první snímek; B: Zařízení pro seřizování svazku je uvedeno do druhého nastavení W2 a je pořízen druhý snímek; C: Zařízení pro seřizování svazku je uvedeno do prvního nastavení W1, objektivová čočka je nabuzena na druhou hodnotu buzení objektivové čočky I2 a je pořízen třetí snímek; D: Zařízení pro seřizování svazku je uvedeno do druhého nastavení W2 a je pořízen čtvrtý snímek; a E: Zařízení pro seřizování svazku je uvedeno do optimalizovaného nastavení Wopt určeného na základě snímků, objektivová čočka je nabuzena na třetí hodnotu buzení objektivové čočky I3 = I1 + K * (I2 – I1) a je pořízen další snímek.
Description
Postup sefizovâni mikroskopu se svazkem câstic
Oblast techniky
Vynâlez se tÿkâ postupu sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic a pfi tom zejména takovÿch postupù, pfi kterych se poloha svazku câstic sefizuje relativnë k hlavni ose objektivové cocky mikroskopu se svazkem câstic.
Dosavadni stay techniky
Mikroskopy se svazkem câstic, jako napfiklad mikroskopy se svazkem elektronù nebo mikroskopy se svazkem iontù, jsou komplexni technické systémy, které je tfeba sefizovat s ohledem na optimâlni provoz. Jeden z dilcich aspektù sefizovâni mikroskopù se svazkem câstic se tÿkâ sefizovâni svazku câstic namifeného na objekt urcenÿ ke zkoumâni relativnë k objektivové ëoëce, pomoci které je svazek câstic zaostfovân na objekt. Protoze zobrazovaci vady objektivové cocky na svazek câstic pùsobi tim vÿraznëji, cim vice jsou vzdâleny trajektorie câstic prochâzejicich objektivovou ëoëkou od hlavni osy objektivové cocky, je zâdouci svazek câstic prochâzejici objektivovou cockou vystfedit relativnë k hlavni ose. K tomuto ûcelu mikroskop se svazkem ëâstic zahmuje zafizeni pro sefizovâni svazku, které je umistëno mezi zdrojem ëâstic pro generovâni svazku ëâstic a ëoëkou objektivu a které je nastaveno tak, ze svazek ëâstic smëfuje, resp. selektuje tak, aby tento svazek objektivovou ëoëkou prochâzel vystfedënë vzhledem k jeji hlavni ose. Nalezeni nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku, které je k tomuto ùëelu nezbytné, je obvykle provâdëno v samostatném postupu sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic tak, aby byla vylepsena vÿkonnost mikroskopu se svazkem ëâstic.
Bëznÿ postup k tomuto ùëelu je znâm ze spisu EP 2309530 Bl. V tomto bëzném postupu (srov. obrâzek 2 spisu EP 2309530 Bl) je pfi prvnim nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku a prvnim nastaveni objektivové ëoëky pofizen prvni snimek. Poté je pfi prvnim nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku a druhém nastaveni objektivové ëoëky pofizen druhÿ snimek. Poté je pfi druhém nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku a prvnim nastaveni objektivové ëoëky pofizen tfeti snimek. Poté je pfi druhém nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku a druhém nastaveni objektivové ëoëky pofizen ëtvrtÿ snimek. V dùsledku rûznÿch nastaveni jsou tyto ctyfi pofizené snimky vzâjemnë relativnë posunuté. Odpovidajici posuny Ize urëit analÿzou snimkù, pokud je zobrazenÿ objekt dostateënë strukturovanÿ. Z urëenÿch posunù se vypoëitâ optimalizované nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku. S pouzitim tohoto optimalizevaného nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku a prvniho nastaveni objektivové ëoëky jsou nâslednë pofizovâny snimky ve vysoké kvalitë.
Objevil se pozadavek na dalsi vylepseni tohoto postupu.
V reakei na to je ùkolem pfedklâdaného vynâlezu navrhnout postup sefizovâni svazku ëâstic relativnë k objektivové ëoëce v mikroskopu se svazkem ëâstic, kterÿ bude dosahovat relativnë dobrÿch vÿsledkù.
Podstata vynâlezu
Podle tohoto vynâlezu je navrhovân postup sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic, ktery zahmuje zdroj ëâstic pro generovâni svazku ëâstic, objektivovou ëoëku pro zaostfeni svazku ëâstic na urëitÿ objekt a zafizeni pro sefizovâni svazku umistëné v drâze svazku mezi zdrojem ëâstic a objektivovou ëoëkou, a pfiëemz tento postup zahmuje: nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku a objektivové ëoëky ve ëtyfech rûznÿch nastavenich a ponzeni snimku objektu pfi kazdém jednom nastaveni, urëeni optimalizovaného nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku
-1 CZ 309973 B6 zaklâdajici se na ëtyfech snimcich a pofizeni alespon jednoho dalsiho snimku pfi nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do optimalizovaného nastaveni.
Konkrétnë postup podle tohoto vynâlezu zahmuje pofizovâni tëchto ëtyf snimkù za nâsledujicich opatfeni:
Opatfeni A: Nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do prvniho nastaveni Wl, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na prvni hodnotu II buzeni objektivové ëoëky a pofizeni prvniho snimku objektu;
Opatfeni B: Nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do druhého nastaveni W2, které se lisi od prvniho nastaveni Wl, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na prvni hodnotu Il buzeni objektivové ëoëky a pofizeni druhého snimku objektu;
Opatfeni C: Nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do prvniho nastaveni Wl, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na druhou hodnotu 12 buzeni objektivové ëoëky, kterâ se lisi od prvni hodnoty II buzeni objektivové ëoëky, a pofizeni tfetiho snimku objektu;
Opatfeni D: Nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do druhého nastaveni W2, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na druhou hodnotu 12 buzeni objektivové ëoëky a pofizeni ëtvrtého snimku objektu.
Dâle postup zahmuje urëeni optimalizovaného nastaveni Wopt zafizeni pro sefizovâni svazku zalozené na prvnim snimku, druhém snimku, tfetim snimku a ëtvrtém snimku, urëeni tfeti hodnoty 13 buzeni objektivové ëoëky a nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do optimalizovaného nastaveni Wopt, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na tfeti hodnotu 13 buzeni objektivové ëoëky, kterâ se lisi od prvni hodnoty II buzeni objektivové ëoëky a od druhé hodnoty 12 buzeni objektivové ëoëky, a pofizeni alespon jednoho dalsiho snimku, pfiëemz tfeti hodnota 13 buzeni objektivové ëoëky je urëenatak, ze je splnëna nâsledujici relace:
= 11 + K* (12-11) pfiëemz
Il je prvni hodnota buzeni objektivové ëoëky, je druhâ hodnota buzeni objektivové ëoëky, je tfeti hodnota buzeni objektivové ëoëky, a K je pfedemurëenâ hodnota.
U vÿse vysvëtleného bëzného postupu jsou pofizovâny ëtyfi snimky pfi dvou rùznÿch nastavenich zafizeni pro sefizovâni svazku a dvou rùznÿch nastavenich objektivové ëoëky. Dvë rùznâ nastaveni objektivové ëoëky jsou vyvolâna dvëma rûznÿmi nastavenimi proudu, ktery se pouzivâ k buzeni objektivové ëoëky. Pfi tom jsou rùznâ nastaveni tohoto proudu pouzivâna tak, ze se tato nastaveni opakuji za sebou.
Magnetické pole urëené k zaostfovâni svazku ëâstic v daném okamziku vytvofené nastavenÿm proudem k buzeni objektivové ëoëky vsak nezâvisi jen na proudu k buzeni ëoëky nastaveném v tomto okamziku, ale také na historii dfive nastavenÿch proudù. Je to dâno hysterezi magnetické objektivové ëoëky.
Vynâlezce poznal, ze hystereze objektivové ëoëky je pfi bëzném postupu sefizovâni svazku ëâstic relativnë k objektivové ëoëce omezujici pfi dosazeni optimalizovaného vÿsledku, ktery by vyhovoval vyssim nârokùm.
-2 CZ 309973 B6
V reakci na to neni buzeni objektivové cocky po pofizeni ctyf snimkù, urëeni optimalizovaného nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku Wopt a nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do optimalizovaného nastaveni Wopt pro ponzeni alespon jednoho dalsiho snimku nastaveno zpët na prvni hodnotu II buzeni objektivové cocky, ale natfeti hodnotu 13 buzeni objektivové cocky, kterâ se urcuje podle vÿse uvedené relace tak, aby zohlednila efekty hystereze objektivové cocky. Pfedem urcenâ hodnota K zâvisi na konfiguraci objektivové cocky a Ize ji urcit napfiklad experimentâlnë.
Pokud vychazime z pfedpokladu, ze prvni hodnota buzeni objektivové cocky byla nastavena pfedem tak, aby bylo mozné pondit relativnë dobfe zaostfenÿ snimek objektu, pak je v bëzném postupu buzeni objektivové ëoëky za ùëelem sefizeni svazku ëâstic relativnë k objektivové ëoëce zmënëno na druhou hodnotu buzeni objektivové ëoëky a poté nastaveno zpët na prvni hodnotu buzeni objektivové ëoëky. V dùsledku hystereze objektivové ëoëky je magnetické pole, které vznikâ, kdyz je buzeni objektivové ëoëky podruhé nastaveno na prvni hodnotu buzeni objektivové ëoëky, odlisné od magnetického pole, které bylo nastaveno, kdyz bylo buzeni objektivové ëoëky poprvé nastaveno na prvni hodnotu buzeni objektivové ëoëky. Bëznÿ postup vsak pfedpoklâdâ, ze po sobë vyvolanâ nastaveni prvni hodnoty buzeni objektivové ëoëky, resp. druhé hodnoty buzeni objektivové ëoëky vedou vzdy ke stejnÿm nastavenim zaostfeni objektivové ëoëky. Protoze tento pfedpoklad neni splnën, nelze pozadovaného sefizeni dosâhnout v dostatecné mife. Nastaveni buzeni objektivové cocky na tfeti hodnotu buzeni objektivové ëoëky, kterâ zohlednuje hysterezi objektivové ëoëky, provedené ve zde popsané formé provedeni vsak vede k lepsimu vÿsledku.
Podle jedné z dalsich pfikladovÿch forem provedeni zahmuje postup pofizovâni ëtyf snimkù nâsledujici opatfeni:
Opatfeni A: Nastaveni zafizeni pro sefizovani svazku do prvniho nastaveni Wl, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na prvni hodnotu II buzeni objektivové ëoëky a ponzeni prvniho snimku objektu; poté
Opatfeni B: Nastaveni zafizeni pro sefizovani svazku do prvniho nastaveni Wl, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na druhou hodnotu 12 buzeni objektivové ëoëky, kterâ se lisi od prvni hodnoty II buzeni objektivové ëoëky, a ponzeni druhého snimku objektu; poté
Opatfeni C: Nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do druhého nastaveni W2, které se lisi od prvniho nastaveni Wl, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na druhou hodnotu 12 buzeni objektivové ëoëky a ponzeni tfetiho snimku objektu; poté
Opatfeni D: Nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do druhého nastaveni W2, nastaveni buzeni objektivové ëoëky na tfeti hodnotu 13 buzeni objektivové ëoëky, kterâ se lisi od prvni hodnoty II buzeni objektivové ëoëky a od druhé hodnoty 12 buzeni objektivové ëoëky, a pofizeni ëtvrtého snimku objektu. Moznost, jak mùze tfeti hodnota 13 buzeni objektivové ëoëky probëhnout pfed provedenim nastaveni buzeni objektivové ëoëky na tfeti hodnotu 13 buzeni objektivové ëoëky, je vysvëtlena dâle.
Postup pak dâle zahmuje urëeni optimalizovaného nastaveni Wopt zafizeni pro sefizovâni svazku zaklâdajici se na prvnim snimku, druhém snimku, tfetim snimku a ëtvrtém snimku, urëeni tfeti hodnoty 13 buzeni objektivové ëoëky a nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do optimalizovaného nastaveni Wopt, nastaveni buzeni objektivové ëoëky natfeti hodnotu 13 buzeni objektivové ëoëky a pofizeni alespon jednoho dalsiho snimku, pfiëemz tfeti hodnota 13 buzeni objektivové ëoëky je urëena tak, aby byla splnëna nâsledujici relace:
= 11 + K* (12-11)
-3 CZ 309973 B6 pfiëemz
Il je prvni hodnota buzeni objektivové cocky, je druhâ hodnota buzeni objektivové cocky, je tfeti hodnota buzeni objektivové cocky, a
K je pfedemurcena hodnota.
Také zde je tfeti hodnota buzeni objektivové cocky podle uvedené relace urcovâna tak, aby byly zohlednëny efekty hystereze.
Ve vÿse vysvëtlenÿch postupech jsou provâdëna opatfeni, jako napfiklad opatfeni A az D, kterâ vzdy zahmuji nastaveni zanzeni pro sefizovâni svazku, buzeni objektivové cocky, nebo i jinÿch zanzeni. Tato opatfeni nastavovâni zahmuji nejen takovâ opatfeni, pfi kterych je zanzeni nastavovâno na novou, zmënënou a dfive nenastavenou hodnotu. Tato opatfeni zahmuji spise nastaveni pfistroje tak, ze je po provedeni opatfeni nastaven na pozadovanou hodnotu, a to nezâvisle na tom, na jakou hodnotu byl nastaven pfed provedenim opatfeni. Zejména je tak mozné, aby pfitom bylo zachovâno dfive existujici nastaveni.
Podle pfikladovÿch forem provedeni mùze zanzeni pro sefizovâni svazku zahmovat deflektor svazku, pficemz nastavovâni zanzeni pro sefizovani svazku zahmuje nastavovâni buzeni deflektoru svazku. Deflektor svazku mùze bÿt zejména elektrostatickÿm deflektorem svazku s moznosti buzeni pomoci elektrického napëti a/nebo magnetickÿm deflektorem svazku s moznosti buzeni pomoci elektrického proudu.
Podle dalsich pfikladovÿch forem provedeni mùze zanzeni pro sefizovâni svazku zahmovat clonu, kterâ vykazuje desticku a v desticce umistënÿ otvor, kterÿm prochâzi svazek ëâstic, pfiëemz clonu Ize pfemisfovat alespon jednim smërem pfiënë ke smëm svazku ëâstic. Nastavovâni zanzeni pro sefizovâni svazku pfitom zahmuje pfemistëni clony alespon jednim smërem.
Obiasnëni vÿkresù
Formy provedeni vynâlezu jsou dâle vysvëtleny na zâkladë obrâzkù. Obrâzky pfitom znâzornuji nâsledujici:
obrâzek 1 schematické znâzomëni mikroskopu se svazkem ëâstic;
obrâzek 2 vÿvojovÿ diagram, kterÿ vysvëtluje postup sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic podle jedné z forem provedeni;
obrâzek 3 schematické znâzomëni, které dâle vysvëtluje postup zobrazenÿ na obrâzku 2;
obrâzek 4 schematické znâzomëni, které vysvëtluje jednu z dalsich forem provedeni postupu sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic zpùsobem jako na obrâzku 3; a obrâzek 5 schematické znâzomëni, které vysvëtluje bëznÿ postup.
Pnklady uskuteënëni vynâlezu
Obrâzek 1 je zjednodusenÿm schematickÿm znâzomënim mikroskopu se svazkem ëâstic, kterym Ize realizovat formy provedeni postupu sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic. Zjednodusené schematické znâzomëni pfitom obsahuje pouze komponenty mikroskopu se svazkem ëâstic, které jsou nezbytné a relevantni pro provedeni zde vysvëtleného postupu. Kromë toho zahmuje typickÿ elektronovÿ mikroskop velkÿ pocet dalsich komponentù, které jsou vsak ve znâzomëni na obrâzku 1 vypustëny, aby tak bylo usnadnëno vysvëtleni postupu.
Mikroskop 1 se svazkem ëâstic zahmuje zdroj 3 ëâstic ke generovâni svazku 5 ëâstic a anodu 7 s otvorem 9. Zdroj 3 câstic je provozovân prostfednictvim fidici jednotky 12, kterâ zdroji câstic dodâvâ i pfedem urcenÿ elektrickÿ potenciâl (napf. vzhledem k zemnëni). Elektrickÿ potenciâl pfivedenÿ pres fidici jednotku 12 na anodovou clonu 7 pak spoleënë s elektrickÿm potenciâlem zdroj e 3 ëâstic urëuje kinetickou energii, kterou vykazuji ëâstice svazku 5 ëâstic po prûchodu otvorem 9 v anodové clonë 7.
V trajektorii svazku za anodou 7 je umistëna clona 27 pro ohraniëeni svazku, kterâ vykazuje otvor 29. Tvar otvoru 29, ktery je obvykle kruhovitÿ, urëuje prûfez svazku 5 paprskù v nâsledujici trajektorii svazku.
Svazek 5 paprskù prochâzi objektivovou ëoëkou 11. kterâ je na obrâzku 1 znâzomëna schematicky jako elipsa, a prostfednictvim objektivové ëoëky Jri je zaostfovân na povrch objektu 13. Zaostfujici magnetické pole objektivové ëoëky Jri je generovâno civkou 15. kterou protékâ proud. Proud je do civky 15 pfivâdën z fidici jednotky 12. Objektivovâ ëoëka Jri je tak buzena proudem protékajicim civkou Jri. Intenzitu tohoto proudu Ize nastavit prostfednictvim fidici jednotky 12. Hodnota, kterâ reprezentuje intenzitu proudu, je dâle oznaëovâna jako hodnota buzeni objektivové ëoëky. Je mozné jako hodnotu proudu pro hodnotu buzeni objektivové ëoëky v dâle vysvëtleném postupu pouzit jiné veliëiny, pokud hodnota buzeni objektivové ëoëky reprezentuje buzeni objektivové ëoëky.
Uvnitf objektivové ëoëky nebo, pozorovâno ve smëru trajektorie svazku mezi zdrojem 3 ëâstic a objektem 13, krâtce pfed nebo krâtce za objektivovou ëoëkou Jri, je umistën skenovaci deflektor 17. ktery je kontrolovân fidici jednotkou 12 a ktery je pouzivân k pfemist’ovâni ohniska svazku 5 ëâstic na objektu Jri. Câry 19 na obrâzku 1 naznaëuji dvë rùznâ skenovaci vychÿleni, ke kterym dochâzi pfi dvou rùznÿch buzenich skenovaciho deflektoru 17. Mikroskop J. se svazkem ëâstic dâle zahmuje detektor 21 sekundâmich elektronù nebo zpëtnë rozptÿlenÿch elektronù, které jsou z objektu 13 uvolnovâny dopadajicim svazkem 5 ëâstic. Pro ponzeni snimku pomoci mikroskopu 1 se svazkem câstic je ohnisko svazku 5 ëâstic prostfednictvim buzeni skenovaciho deflektoru 17 kontrolovaného fidici jednotkou 12 systematicky skenovâno v rozsifené oblasti na povrchu objektu Jri. Bëhem toho detekuje detektor 21 elektrony a genemje signâly odpovidajici detekovanÿm elektronùm, které jsou naëitâny fidici jednotkou 12. Ridici jednotka 12 uklâdâ tyto signâly a pfifazuje je k mistûm, na kterâ je svazek 5 ëâstic nasmërovân v okamziku detekce pfislusného signâlu. Celâ mnozina tëchto dat reprezentuje snimek objektu 13 pofizenÿ mikroskopem 1 se svazkem ëâstic.
Kvalita pofizeného snimku zâvisi na tom, jak dobfe je svazek 5 ëâstic objektivovou ëoëkou Jri zaostfen na povrch objektu Jri. Zobrazovaci vady objektivové ëoëky 11 zhorsuji vÿsledek. Zobrazovaci vady jsou obvykle mensi tehdy, kdyz je pouzitÿ svazek ëâstic vystfedën vzhledem k hlavni ose 23 objektivové ëoëky jri. Pro vystfedëni svazku 5 ëâstic vzhledem k hlavni ose 23 objektivové ëoëky Jri je mezi zdrojem 3 ëâstic a objektivovou ëoëkou 11 instalovân deflektor 25 svazku, ktery je rovnëz kontrolovân fidici jednotkou 12. Tento deflektor 25 svazku pouzivanÿ k sefizovâni mûze bÿt elektrostatickÿm deflektorem nebo magnetickÿm deflektorem nebo kombinaci elektrostatického deflektoru a magnetického deflektoru. Odpovidajicim zpùsobem je do deflektoru 25 svazku fidici jednotkou 12 pfivâdëno napëti nebo proud, aby pfi prûchodu deflektorem 25 svazku doslo k vychÿleni svazku 5 ëâstic o nastavitelnÿ ûhel. Hodnota, kterâ reprezentuje velikost napëti, resp. intenzitu proudu, bude v dalsim textu oznaëovâna jako hodnota buzeni pro vychylovâni svazku. Je mozné jako hodnotu napëti, resp. proudu pro hodnotu buzeni pro vychylovâni svazku v dâle vysvëtleném postupu pouzit jiné veliëiny, pokud hodnota buzeni pro vychylovâni svazku reprezentuje buzeni deflektoru svazku.
-5 CZ 309973 B6
Na obrâzku 1 je svazek 5 câstic, ktery deflektorem 25 svazku prochâzi bez vychÿleni, znâzomën plnymi carami 5 a 19. zatimco cârkované cary 5‘ a 19' reprezentuji svazek câstic vychÿlenÿ deflektorem 25 svazku o ùhel a. Nevychÿlenÿ svazek a svazek vychÿlenÿ o ùhel a prochazeji objektivovou cockou na rùznÿch pozicich relativnë k jeji hlavni ose 23. Ukol senzovani nyni spociva v nastaveni ùhlu a tak, aby byl svazek 5 câstic pri prûchodu objektivovou cockou 11 vzhledem k jeji hlavni ose 23 vystfedën. K tomuto ùëelu je postup vysvëtlenÿ dâle na zâkladë obrâzku 2 provâdën rïdici jednotkou 12 automatizovanë.
Nejdrive je v kroku 101 nastaveno buzeni deflektoru 25 svazku na prvni hodnotu buzeni deflektoru svazku Wl. Tato hodnota mùze bÿt zvolena libovolnë, mùze odpovidat napfiklad buzeni, které v râmci postupu zatim nebylo pouzito, nebo mùze bÿt hodnotou, kterâ jiz drive vedla k dobrému vÿsledku. Nâslednë je buzeni objektivové ëoëky 11 zmënëno tak, aby bylo splnëno pozadované kritérium pro ostrost snimku. K tomuto ùëelu mùze bÿt opakovanë pofizen snimek objektu a zmënëno buzeni objektivové ëoëky, aby analÿzou pofizenÿch snimkù byla urëena kvalita ostfeni. Buzeni objektivové ëoëky pak mùze bÿt v kroku 103 mënëno tak dlouho, dokud neni splnëno pozadované kritérium ostrosti snimku. Hodnota buzeni objektivové ëoëky, kterâ je vÿsledkem, je jako prvni hodnota II buzeni objektivové ëoëky pouzita v nâsledujicim postupu. Pfitom mùze bÿt jako prvni hodnota buzeni II objektivové ëoëky pouzito jiz drive nastavené buzeni objektivové ëoëky 11. aniz by byly s ohledem na zlepseni kritéria ostrosti snimku opakovanë pofizovâny a analyzevâny snimky, pokud je o drive nastaveném buzeni objektivové ëoëky 11 znâmo, ze jeji pouziti jiz vedlo ke snimkùm s pnjatelnou ostrosti snimku, kterâ nemusi bÿt maximâlni dosazitelnou ostrosti snimku. Krok 103 je tak mozné vynechat.
V kroku 105 je buzeni deflektoru 25 svazku nastaveno na prvni hodnotu vychylovâni svazku Wl a buzeni objektivové ëoëky na prvni hodnotu II buzeni objektivové ëoëky. V kroku 107 je s nastavenimi z kroku 105 pofizen prvni snimek H. Nâslednë je v kroku 109 nastaveni buzeni deflektoru svazku zmënëno na druhou hodnotu buzeni deflektoru svazku W2, zatimeo nastaveni buzeni objektivové ëoëky je zachovâno na prvni hodnotë II buzeni objektivové ëoëky. Nâslednë je v kroku 111 pofizen snimek B2 s nastavenimi z kroku 109. Nâslednë je v kroku 113 buzeni deflektoru 25 svazku nastaveno opët na prvni hodnotu buzeni deflektoru svazku Wl. zatimeo buzeni objektivové ëoëky je nastaveno na druhou hodnotu 12 buzeni objektivové ëoëky. Druhâ hodnota buzeni objektivové ëoëky mùze bÿt napfiklad l,01nâsobkem prvni hodnoty buzeni objektivové ëoëky.
V kroku 115 je pofizen tfeti snimek B3 s nastavenimi kroku 113. Nâslednë je v kroku 117 buzeni deflektoru 25 svazku nastaveno na druhou hodnotu buzeni deflektoru svazku W2. zatimeo buzeni objektivové ëoëky zùstâvâ nastaveno na druhé hodnotë 12 buzeni objektivové ëoëky. V kroku 119 je pofizen ëtvrtÿ snimek B4 s nastavenimi z kroku 117.
V kroku 121 je poté ze ëtyf pofizenÿch snimkù Bl, B2, B3 a B4 vypoëitâna optimalizovanâ hodnota buzeni deflektoru svazku Wopt. Tento vÿpoëet mùze bÿt proveden napfiklad pomoci vzorcù, které Ize ziskat ve spisu EP 2309530 Bl, jehoz zvefejnënâ podoba je v celém rozsahu pfejata do pfedklâdané pfihlâsky.
V kroku 121 je dâle urëena tfeti hodnota 13 buzeni objektivové ëoëky. Tfeti hodnota buzeni objektivové ëoëky mùze bÿt urëena zejména tak, ze je splnëna nâsledujici relace:
= 11 + K* (12-11) pfiëemz
Il je prvni hodnota buzeni objektivové ëoëky, je druhâ hodnota buzeni objektivové ëoëky, 13 je tfeti hodnota buzeni objektivové ëoëky, a K je pfedemurëenâ hodnota.
-6 CZ 309973 B6
Tfeti hodnota buzeni objektivové cocky je pfitom urëena tak, ze zaostfujici magnetické pole vytvofené objektivovou cockou 11 v podstate vykazuje stejnou intenzitu jako v pfipadë buzeni objektivové cocky 11 s prvni hodnotou buzeni objektivové cocky pfi pofizovâni snimkù Bl a B2 vkrocich 107 a 111.
Takto Ize v kroku 123 buzeni deflektoru 25 svazku nastavit na optimalizovanou hodnotu buzeni deflektoru svazku Wopt, a buzeni objektivové cocky 11 mùze bÿt pomoci nastaveni na tfeti hodnotu 13 buzeni objektivové cocky nastaveno do znacné miry optimâlnë, takze nâslednë mohou bÿt v kroku 125 pofizeny dalsi snimky Bn objektu, které jsou vlastnim cilem zkoumani. Tyto snimky vykazuji relativnë vysokou kvalitu obrazu, protoze jsou pofizovâny svazkem câstic, ktery je vzhledem k hlavni ose objektivové cocky vystfedënÿ.
Volitelnë je mozné po nastavovâni buzeni deflektoru svazku na optimalizovanou hodnotu buzeni deflektoru svazku Wopt a nastaveni objektivové ëoëky na tfeti hodnotu 13 buzeni objektivové ëoëky v kroku 123 dale vylepsit buzeni objektivové ëoëky optimalizaci objektivové ëoëky s vyuzitim tfeti hodnoty buzeni objektivové ëoëky v kroku 127 s ohledem na splnëni kritéria ostrosti obrazu, jak jiz bylo vysvëtleno vÿse v souvislosti s krokem 103. Z toho vyplÿvajici optimal izovanâ hodnota lopt buzeni objektivové ëoëky pak mùze bÿt v kroku 129 pouzita spolecnë s optimalizovanou hodnotou buzeni deflektoru svazku Wopt, aby bylo pofizeno nëkolik snimkù Bn v kroku 125, které jsou cilem zkoumâni objektu.
Postup vysvëtlenÿ na zâkladë obrâzku 2 je na obrâzku 3 schematicky znâzomën altemativnim zpùsobem. Na obrâzku 3 jsou znâzomëna ëasovë postupnë se za sebou vyskytujici nastaveni hodnoty buzeni objektivové ëoëky a hodnoty buzeni deflektoru svazku jako bloky, které jsou propojeny sipkami a které jsou umistëné v dvourozmëmém poli, pfiëemz sipky vyjadfuji ëasovou posloupnost. Horizontâlnë vedle sebe jsou znâzomëny hodnoty buzeni deflektoru svazku Wl, W2 a Wopt. a vertikâlnë vedle sebe jsou znâzomëny rùzné hodnoty Π, 12, 13 a lopt buzeni objektivové ëoëky. Je zfejmé, ze pfi hodnotë II buzeni objektivové ëoëky jsou snimky Bl a B2 pfi rùznÿch hodnotâch buzeni deflektoru svazku Wl a W2 pofizeny bezprostfednë po sobë. Podobnë jsou oba snimky B3 a B4 s hodnotami buzeni deflektoru svazku Wl, resp. W2 pfi stejné hodnotë buzeni objektivové ëoëky 12 pofizeny bezprostfednë po sobë. Proto jsou i pfi existujici hysterezi objektivové ëoëky oba snimky Bl a B2 pofizeny pfi stejné intenzitë zaostfujiciho magnetického pole. Stejnë tak jsou oba snimky B3 a B4 pofizeny pfi stejné intenzitë zaostfujiciho magnetického pole.
Tento pfipad zjevnë nenastâvâ ani u bëzného postupu podle obrâzku 2 ze spisu EP 2309530 Bl, znâzomëného na obrâzku 5. V dùsledku hystereze objektivové ëoëky 11 nejsou oba snimky B1 a B3 pofizovâny pfi stejné intenzitë zaostfujiciho magnetického pole, aëkoliv se to pfedpoklâdalo. Obdobné plati pro oba snimky B2 a B4.
U postupu vysvëtleného na zâkladë obrâzku 3 je po ponzeni ëtyf snimkù Bl az B4 buzeni objektivové ëoëky nastaveno na hodnotu 13, aby byly pofizeny dalsi snimky Bn. Pfitom je hodnota 13 buzeni objektivové ëoëky urëena tak, ze pfi této hodnotë objektivovâ ëoëka s pfihlédnutim k jeji hysterezi generuje v podstatë stejné zaostfujici magnetické pole, jako v pfedchozim pfipadë pfi hodnotë II buzeni objektivové ëoëky pro ponzeni snimkù Bl a B2. Toto nastaveni je provâdëno, protoze dfive bylo znâmo, ze pfi hodnotë II buzeni objektivové ëoëky mohou bÿt vytvofeny dobfe zaostfené snimky. Pfesto je volitelnë mozné zaostfeni dâle optimalizovat napfiklad na zâkladë kritéria ostrosti obrazu a pouzit vÿslednou optimalizovanou hodnotu lopt buzeni objektivové ëoëky pro pofizeni dalsich snimkù.
Obrâzek 4 vysvëtluje jednu z dalsich forem provedeni postupu sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic. V tomto pfipadë jsou opët ctyfi snimky Bl, B2, B3 a B4 pofizeny pfi rùznÿch nastavenich deflektoru svazku a objektivové ëoëky tak, aby byla urëena optimalizovanâ hodnota buzeni deflektoru svazku Wopt. Pfitom je me zi pofizenim prvniho snimkù Bl a druhého snimkù
-7 CZ 309973 B6
B2 mënëno buzeni objektivové ëoëky z prvni hodnoty II buzeni objektivové ëoëky na druhou hodnotu 12 buzeni objektivové ëoëky. Snimky B2 a B3 jsou pofizovâny pfi rùznÿch hodnotâch buzeni deflektoru svazku Wl, resp. W2, ale pfi stejné hodnotë 12 buzeni objektivové ëoëky. Ctvrtÿ obrâzek B4 je pak pofizen pfi hodnotë buzeni objektivové ëoëky 13 odlisné od druhé hodnoty 12 buzeni objektivové ëoëky a prvni hodnoty II buzeni objektivové ëoëky, kdy hodnota buzeni objektivové ëoëky 13 je urëena tak, ze pfi tfeti hodnotë 13 buzeni objektivové ëoëky s pfihlédnutim k hysterezi vznikâ zaostfujici magnetické pole generované objektivovou ëoëkou, které je v podstatnë stejné jako magnetické pole, které vzniklo dfive pfi pofizeni prvniho snimku B1 buzenim objektivové ëoëky prvni hodnotou II buzeni objektivové ëoëky. Tak jsou oba snimky Bl a B4 pofizeny pfi v podstatë stejném zaostfujicim magnetickém poli.
Podobnë jako u postupu vysvëtleného na zâkladë obrâzku 3 je i pfi postupu z obrâzku 4 po pofizeni ëtyf snimkù Bl az B4 nastavena optimalizovanâ hodnota buzeni deflektoru svazku Wopt, a pfi tfeti hodnotë 13 buzeni objektivové ëoëky mohou bÿt pofizeny dalsi snimky Bn.
Kromë toho je také mozné zaostfeni dale vylepsit napfiklad na zâkladë kritéria ostrosti obrazu tak, abychom dospëli k optimalizované hodnotë lopt buzeni objektivové ëoëky tak, aby byly pfi této hodnotë pofizeny dalsi snimky.
Ve vÿse vysvëtlenÿch formâch provedeni je jako zafizeni pro sefizovâni svazku pouzivân jedinÿ deflektor 25 svazku, kterÿm je svazek generovanÿ zdrojem 3 ëâstic vychylovân o ùhel a tak, ze tento svazek prochâzi objektivovou ëoëkou 11 tak, ze vznikajici vady jsou v maximâlni mozné mife omezeny. Altemativnë je mozné do trajektorie svazku umistit dva deflektory za sebou, které mohou bÿt napfiklad ovlâdâny tak, aby jeden po druhém vychylovaly svazek do obrâcenÿch smërû tak, aby doslo k jeho paralelnimu posunu. Pfitom je vÿse vysvëtlenÿ postup sefizovâni pouzivân odpovidajicim zpùsobem tak, ze oba deflektory jsou buzeny tak, ze svazek pfesunou natolik, aby objektivovou ëoëkou 11 prochâzel tak, ze vznikajici vady jsou v maximâlni mozné mife omezeny.
Ve vÿse vysvëtlenÿch formâch provedeni je deflektor 25 svazku pouzivân jako zafizeni pro sefizovâni svazku, aby sefizoval svazek generovanÿ zdrojem 3 ëâstic tak, aby objektivovou ëoëkou 11 prochâzel tak, ze vznikajici vady jsou v maximâlni mozné mife omezeny. Altemativnë nebo navic k tomuto existuji dalsi moznosti pouziti komponentù mikroskopu 1 se svazkem ëâstic jako zafizeni pro sefizovâni svazku.
Jedna z takovÿch moznosti je dâle vysvëtlena na zâkladë obrâzku 1. Zde je prostfednictvim sipky 31 symbolicky znâzomëno, ze clonu 27, kterâ urëuje prùfez svazku 5 ëâstic v navazujici trajektorii svazku, Ize pfemistit pfiënë ke smëru svazku 5 ëâstic. Tohoto pfemistëni je dosazeno aktuâtorem 33 kontrolovanÿm fidici jednotkou 12, napfiklad krokovÿm motorem, a mùze probihat ve dvou vzâjemnë ortogonâlnich smërech. Mùze bÿt instalovân mëfici systém, kterÿ mëfi polohu clony 27 relativnë k dalsim komponentùm mikroskopu 1 se svazkem ëâstic a pfedâvâ ji do fidici jednotky, takze nastaveni polohy clony 27 mùze probihat prostfednictvim zpëtné vazby.
Pfemistëni clony 27 pfiënë ke smëru svazku vede k pfemistëni svazku v rovinë objektivové ëoëky 11. takze i clona 27 mùze bÿt pouzita jako zafizeni pro sefizovâni svazku, aby byl svazek nastaven tak, ze prochâzi objektivovou ëoëkou 11 tak, ze vznikajici vady jsou v maximâlni mozné mife omezeny.
Postupy vysvëtlené na zâkladë obrâzkù 3 a 4 mohou bÿt jednoduchÿm zpùsobem upraveny pro pouziti clony 27 jako zafizeni pro sefizovâni svazku, a to tak, ze nastaveni Wl, W2 a Wopt buzeni deflektoru 25 svazku jsou pouzita jako nastaveni polohy clony 27 a ze postup je proveden odpovidajicim zpùsobem.
Ve vÿse vysvëtlenÿch formâch provedeni probihâ sefizovâni svazku ëâstic relativnë k
-8 CZ 309973 B6 objektivové ëoëce. Mikroskop se svazkem ëâstic samozfejme typicky zahmuje dalsi komponenty, vùci nimz ma bÿt svazek câstic relativnë sefizovân nebo které maji bÿt sefizovâny relativnë ke svazku câstic tak, aby bylo dosazeno pozadovanÿch kritérii pfi provozu câsticového mikroskopu. Napfiklad mùze vÿse vysvëtlenÿ mikroskop 1 se svazkem câstic navic vykazovat stigmâtor.
Tento stigmâtor neni bëhem provâdëni vÿse vysvëtleného postupu sefizovâni nabuzen, takze nejdrive Ize vyrovnat svazek ëâstic relativnë k objektivové ëoëce. Poté je kvadrupôlové pole stigmâtoru vystfedëno relativnë ke svazku ëâstic. To mùze prohibât mechanickÿm pfemist’ovânim stigmâtoru relativnë ke svazku ëâstic nebo tim, ze kvadrupôlové pole stigmâtoru je pfekryto dipôlovÿm polem tak, ze osa soumëmosti kvadrupôlového pole v podstatë splyne se ίο svazkem ëâstic. Intenzita a orientace kvadrupôlového pole pak mohou bÿt nastaveny tak, aby byla dosazena pozadovanâ kritéria pro provoz mikroskopu se svazkem ëâstic.
Claims (8)
- PATENTOVÉ NÂROKY1. Postup sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic, pfiëemz mikroskop se svazkem ëâstic obsahuje zdroj câstic pro generovâni svazku câstic, objektivovou cocku pro zaostfovâni svazku câstic na objekt, a zanzeni pro sefizovâni svazku umistëné v trajektorii svazku mezi zdrojem câstic a objektivovou ëoëkou; a pficemz postup zahmuje nâsledujici opatfeni:Opatfeni A: nastavovâni zanzeni pro sefizovâni svazku do prvniho nastaveni (Wl), nastavovâni buzeni objektivové cocky na prvni hodnotu (II) buzeni objektivové cocky a pofizeni prvniho snimku objektu;Opatfeni B: nastavovâni zanzeni pro sefizovâni svazku do druhého nastaveni (W2), které se lisi od prvniho nastaveni (Wl), nastavovâni buzeni objektivové cocky na prvni hodnotu (II) buzeni objektivové cocky a pofizeni druhého snimku objektu;Opatfeni C: nastavovâni zanzeni pro sefizovâni svazku do prvniho nastaveni (Wl), nastavovâni buzeni objektivové cocky na druhou hodnotu (12) buzeni objektivové cocky, kterâ se lisi od prvni hodnoty (II) buzeni objektivové cocky, a pofizeni tfetiho snimku objektu;Opatfeni D: nastavovâni zanzeni pro sefizovâni svazku do druhého nastaveni (W2), nastavovâni buzeni objektivové cocky na druhou hodnotu (12) buzeni objektivové cocky a pofizeni ctvrtého snimku objektu;a pficemz postup dâle zahmuje:urceni optimalizovaného nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku (Wopt) zalozené na prvnim snimku, druhém snimku, tfetim snimku a ctvrtém snimku;urceni tfeti hodnoty (13) buzeni objektivové cocky; a nastavovâni zanzeni pro sefizovâni svazku do optimalizovaného nastaveni (Wopt), nastavovâni buzeni objektivové cocky na tfeti hodnotu (13) buzeni objektivové cocky, kterâ se lisi od prvni hodnoty (II) buzeni objektivové cocky a od druhé hodnoty (12) buzeni objektivové cocky, a pofizeni alespon jednoho dalsiho snimku, vyznacujici se tim, ze tfeti hodnota (13) buzeni objektivové cocky je urcenatak, ze je splnëna nâsledujici relace:13 =11 + K* (12-11) pfiëemzIl je prvni hodnota buzeni objektivové ëoëky,12 je druhâ hodnota buzeni objektivové ëoëky,13 je tfeti hodnota buzeni objektivové ëoëky aK je pfedem urëenâ hodnota.
- 2. Postup podle nâroku 1, vyznacujici se tim, ze opatfeni A je provedeno pfed nebo po opatfeni B, pfiëemz opatfeni C je provedeno pfed nebo po opatfeni D, a pfiëemz opatfeni A a B jsou provedena pfed opatfenimi C a D.
- 3. Postup sefizovâni mikroskopu se svazkem ëâstic, pfiëemz mikroskop se svazkem ëâstic obsahuje zdroj ëâstic pro generovâni svazku ëâstic, objektivovou ëoëku pro zaostfovâni svazku ëâstic na objekt, a zanzeni pro sefizovâni svazku umistëné v trajektorii svazku mezi zdrojem ëâstic- 10CZ 309973 B6 a objektivovou cockou; a pficemz postup zahmuje nâsledujici opatfeni:Opatfeni A: nastavovâni zafizeni pro sefizovani svazku do prvniho nastaveni (Wl), nastavovâni buzeni objektivové cocky na prvni hodnotu (II) buzeni objektivové cocky a pofizeni prvniho snimku objektu; potéOpatfeni B: nastavovani zafizeni pro sefizovani svazku do prvniho nastaveni (Wl), nastavovani buzeni objektivové cocky na druhou hodnotu (12) buzeni objektivové cocky, kterâ se lisi od prvni hodnoty (II) buzeni objektivové cocky, a pofizeni druhého snimku objektu; potéOpatfeni C: nastavovani zafizeni pro sefizovani svazku do druhého nastaveni (W2), které se lisi od prvniho nastaveni (Wl), nastavovani buzeni objektivové cocky na druhou hodnotu (12) buzeni objektivové cocky a pofizeni tfetiho snimku objektu; potéOpatfeni D: nastavovani zafizeni pro sefizovani svazku do druhého nastaveni (W2), nastavovani buzeni objektivové cocky na tfeti hodnotu (13) buzeni objektivové cocky, kterâ se lisi od prvni hodnoty (II) buzeni objektivové cocky a od druhé hodnoty (12) buzeni objektivové cocky, a pofizeni ctvrtého snimku objektu;a pficemz postup dale zahmuje:urceni optimalizovaného nastaveni zafizeni pro sefizovani svazku (Wopt) zalozené na prvnim snimku, druhém snimku, tfetim snimku a ctvrtém snimku;urceni tfeti hodnoty (13) buzeni objektivové cocky; a nastavovani zafizeni pro sefizovani svazku do optimalizovaného nastaveni (Wopt), nastavovani buzeni objektivové cocky na tfeti hodnotu (13) buzeni objektivové cocky a pofizeni alespon jednoho dalsiho snimku;vyznacujici se tim, ze tfeti hodnota (13) buzeni objektivové cocky je urcenatak, ze je splnëna nâsledujici relace:13 =11 + K* (12-11) pficemzIl je prvni hodnota buzeni objektivové cocky,12 je druhâ hodnota buzeni objektivové cocky,13 je tfeti hodnota buzeni objektivové cocky aK je pfedem urcenâ hodnota.
- 4. Postup podle jednoho z nârokù 1 az 3, vyznacujici se tim, ze dâle zahmuje, pfed provedenim opatfeni A a B, optimalizaci kritéria ostrosti snimku zmënou buzeni objektivové cocky a pouzitim hodnoty buzeni objektivové cocky, pfi které je dosazeno optimalizovaného kritéria ostrosti snimku, jako prvni hodnoty (II) buzeni objektivové cocky.
- 5. Postup podle nâroku 4, vyznacujici se tim, ze bëhem optimalizace kritéria ostrosti snimku je zafizeni pro sefizovâni svazku nastaveno do prvniho nastaveni (Wl).
- 6. Postup podle jednoho z nârokù 1 az 5, vyznacujici se tim, ze dâle zahmuje, po pofizeni alespon jednoho dalsiho snimku, optimalizaci kritéria ostrosti snimku zmënou buzeni objektivové cocky za soucasného zachovâni nastaveni zafizeni pro sefizovâni svazku do optimâlniho nastaveni (Wopt), a- 11 CZ 309973 B6 nastavovâni zafizeni pro sefizovâni svazku do optimalizovaného nastaveni (Wopt), nastavovâni buzeni objektivové cocky na optimalize vanou hodnotu (lopt) buzeni objektivové cocky, pfi které je dosazeno optimalizovaného kritéria ostrosti snimku, a pofizeni alespon jednoho jestë dalsiho snimku.5
- 7. Postup podle jednoho z nârokù 1 az 6, vyznacujici se tim, ze zafizeni pro sefizovâni svazku zahmuje deflektor svazku, zejména elektrostatickÿ deflektor svazku s moznosti buzeni prostfednietvim elektrického napeti a/nebo magneticky deflektor svazku s moznosti buzeni prostfednietvim elektrického proudu, a pficemz nastavovâni zafizeni pro sefizovani svazku zahmuje nastavovâni buzeni deflektoru io svazku.
- 8. Postup podle jednoho z nârokù 1 az 7, vyznacujici se tim, ze zafizeni pro sefizovani svazku zahmuje clonu, kterâ zahmuje desticku a otvor umistënÿ v desticce, kterym prochâzi svazek câstic, pficemz clonu Ize pfemist’ovat alespon jednim smerem pficne ke smeru svazku câstic, a pficemz nastavovâni zafizeni pro sefizovâni svazku zahmuje nastavovâni polohy clony alespon15 jednim smerem.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102017220398.6A DE102017220398B3 (de) | 2017-11-15 | 2017-11-15 | Verfahren zum Justieren eines Teilchenstrahlmikroskops |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ2018624A3 CZ2018624A3 (cs) | 2019-07-03 |
| CZ309973B6 true CZ309973B6 (cs) | 2024-03-20 |
Family
ID=65321969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ2018-624A CZ309973B6 (cs) | 2017-11-15 | 2018-11-13 | Postup seřizování mikroskopu se svazkem částic |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10629404B2 (cs) |
| CN (1) | CN109786195B (cs) |
| CZ (1) | CZ309973B6 (cs) |
| DE (1) | DE102017220398B3 (cs) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102019120279B3 (de) | 2019-07-26 | 2020-09-24 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops sowie Teilchenstrahlmikroskop |
| DE102020113502A1 (de) * | 2020-05-19 | 2021-11-25 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops |
| DE102023115085B4 (de) | 2023-06-07 | 2025-03-27 | Carl Zeiss Multisem Gmbh | Verfahren zum automatisierten mechanischen Justieren einer Teilchenstrahlsäule, zugehöriges Computerprogrammprodukt und Teilchenstrahlsäule |
| DE102023131592A1 (de) * | 2023-11-14 | 2025-05-15 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Teilchenstrahlgeräts, Computerprogrammprodukt sowie Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2463887A2 (en) * | 2010-12-07 | 2012-06-13 | JEOL Ltd. | Method of making axial alignment of charged particle beam and charged particle beam system |
| EP2309530B1 (en) * | 2001-05-30 | 2016-03-30 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam alignment method and charged particle beam apparatus |
| EP2669926B1 (en) * | 2012-05-31 | 2017-07-05 | Jeol Ltd. | Method of axial alignment of charged particle beam and charged particle beam system |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1564075B1 (de) * | 1966-05-13 | 1970-04-30 | Karl-Josef Dr Rer Nat Hanssen | Verfahren zur kontrastreichen Abbildung von Phasen- oder Amplitudenobjekten in einem Korpuskularstrahlgeraet,insbesondere einem Elektronenmikroskop |
| US6067164A (en) | 1996-09-12 | 2000-05-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for automatic adjustment of electron optics system and astigmatism correction in electron optics device |
| DE60237952D1 (de) | 2001-10-10 | 2010-11-25 | Applied Materials Israel Ltd | Verfahren und Vorrichtung zur Ausrichtung einer Säule für Strahlen geladener Teilchen |
| JP2008091125A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujitsu Ltd | 電磁レンズの非点収差測定方法、非点収差測定装置、非点収差補正方法及び電子線装置 |
| DE102009052392A1 (de) * | 2009-11-09 | 2011-12-15 | Carl Zeiss Nts Gmbh | SACP-Verfahren und teilchenoptisches System zur Ausführung eines solchen Verfahrens |
| JP6134145B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2017-05-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置における軌道修正方法 |
| US9500846B2 (en) * | 2014-03-17 | 2016-11-22 | Howard Hughes Medical Institute | Rapid adaptive optical microscopy over large multicellular volumes |
| US10410828B2 (en) * | 2014-12-22 | 2019-09-10 | Carl Zeiss Microscopy, Llc | Charged particle beam system and methods |
| DE102015001292A1 (de) * | 2015-02-02 | 2016-08-04 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops |
| DE102015001297B4 (de) * | 2015-02-02 | 2023-03-30 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Teilchenstrahlmikroskop und Verfahren zum Betreiben eines Teilchenstrahlmikroskops |
| US10103004B2 (en) * | 2015-07-02 | 2018-10-16 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | System and method for imaging a secondary charged particle beam with adaptive secondary charged particle optics |
-
2017
- 2017-11-15 DE DE102017220398.6A patent/DE102017220398B3/de active Active
-
2018
- 2018-11-13 CZ CZ2018-624A patent/CZ309973B6/cs unknown
- 2018-11-13 US US16/188,542 patent/US10629404B2/en active Active
- 2018-11-14 CN CN201811356208.1A patent/CN109786195B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2309530B1 (en) * | 2001-05-30 | 2016-03-30 | Hitachi, Ltd. | Charged particle beam alignment method and charged particle beam apparatus |
| EP2463887A2 (en) * | 2010-12-07 | 2012-06-13 | JEOL Ltd. | Method of making axial alignment of charged particle beam and charged particle beam system |
| EP2669926B1 (en) * | 2012-05-31 | 2017-07-05 | Jeol Ltd. | Method of axial alignment of charged particle beam and charged particle beam system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109786195A (zh) | 2019-05-21 |
| US20190148104A1 (en) | 2019-05-16 |
| CZ2018624A3 (cs) | 2019-07-03 |
| DE102017220398B3 (de) | 2019-02-28 |
| US10629404B2 (en) | 2020-04-21 |
| CN109786195B (zh) | 2023-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11562880B2 (en) | Particle beam system for adjusting the current of individual particle beams | |
| JP6268169B2 (ja) | サンプルの表面を検査する装置および方法 | |
| EP2320217B1 (en) | SACP method and particle optical system for performing the method | |
| CZ309973B6 (cs) | Postup seřizování mikroskopu se svazkem částic | |
| US8592762B2 (en) | Method of using a direct electron detector for a TEM | |
| CZ309547B6 (cs) | Způsob provozu přístroje pro vyzařování částic a přístroj pro vyzařování částic k provádění tohoto způsobu | |
| TW201527745A (zh) | 用於高產量電子束檢測（ｅｂｉ）的多射束系統 | |
| JP6666627B2 (ja) | 荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法 | |
| US7985952B2 (en) | Charged particle spin polarimeter, microscope, and photoelectron spectroscope | |
| CN109411320A (zh) | 透射带电粒子显微镜中的衍射图案检测 | |
| US8772714B2 (en) | Transmission electron microscope and method of observing TEM images | |
| JP7188910B2 (ja) | 粒子ビームを生成するための粒子源及び粒子光学装置 | |
| US20080191134A1 (en) | Charged particle detector assembly, charged particle beam apparatus and method for generating an image | |
| CZ310266B6 (cs) | Způsob provozu přístroje na vyzařování paprsků částic a přístroj na vyzařování paprsků částic pro provádění způsobu | |
| US9543115B2 (en) | Electron microscope | |
| CZ2007510A3 (cs) | Zarízení pro prostorové zobrazování vzorku v reálném case | |
| EP1679734B1 (en) | Multiple lens assembly and charged particle beam device comprising the same | |
| EP1883094B1 (en) | Charged particle beam device and method for inspecting specimen | |
| KR101839693B1 (ko) | 영상정보를 이용한 하전입자소스모듈 정렬 장치 및 정렬방법 | |
| JP5228463B2 (ja) | 電子線装置、電子線形状測定方法及び画像処理方法 | |
| JP2019169362A (ja) | 電子ビーム装置 | |
| JP2009277619A (ja) | 走査透過電子顕微鏡を用いた試料解析方法 | |
| WO2025069195A1 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| KR20120127131A (ko) | 질량 분석 이미징 방법 | |
| JPH0320949A (ja) | 二次荷電粒子解析装置、及びそれを用いた試料解析方法 |